JPH05210844A

JPH05210844A - 磁気録音ディスク製造方法

Info

Publication number: JPH05210844A
Application number: JP3116333A
Authority: JP
Inventors: Mararii Maikeru; マラリーマイケル; Kazuo Ishibashi; 和夫石橋; Hiroshi Sato; 浩佐藤
Original assignee: NIPPON DIGITAL EQUIP KK
Current assignee: NIPPON DIGITAL EQUIP KK
Priority date: 1990-12-26
Filing date: 1991-05-21
Publication date: 1993-08-20
Also published as: EP0492762A1; CA2041508A1; DE69121867D1; EP0492762B1; DE69121867T2; CA2041508C

Abstract

(57)【要約】【目的】軟質磁性層の形成方法を提供することによ
り、磁気録音ディスク製造上の問題を解決することであ
る。【構成】半径方向の一軸異方性を磁気録音ディスクの
軟質磁性層に提供する方法と装置が開示される。軟質磁
性層が録音ディスクに塗布またはめっきされる間に、磁
界を発生させる。この垂直な交番磁界により、円周方向
に流れるうず電流がディスクに生じる。このうず電流に
より、磁界が半径方向に生じ、その結果、目的の半径方
向の一軸異方性を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータに情報を
記憶させるために使用される磁気録音ディスクの製造方
法に関する。本発明は、磁気録音ディスクの磁気特性を
改善するために、ディスクをコーティングする磁性材料
の層を一定方向に配列する方法に関する。更に詳しく
は、本発明は、磁気録音ディスクの磁性層に一軸異方性
を提供する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気録音ディスクは、コンピュータに多
量の情報を記憶させる形態（いわゆる“マス・ストレー
ジ”）として、広く一般に普及している、重要な形態で
ある。他のマス・ストレージ形態に比べて、磁気録音デ
ィスクは、信頼性が高く、製造が簡単で、非常に多量の
データが記憶でき、情報の記憶と探索との速度が早い。
磁気録音ディスクは、一般に、磁性材料のコーティング
を塗布またはめっきしたアルミニウム等の金属の円板で
構成される。ディスクは、概念的に、同心円（“トラッ
ク”）に分割される。半径方向の線で、ディスクはパイ
型の“セクタ”に分割される。情報は、所定のトラック
の一部分、すなわち所定のセクタに磁界を局所的に加え
ることにより、ディスクに記憶される。そのロケーショ
ンの磁性材料は、加えられた磁界を保持する。情報は、
保持される磁界が方向を変える場所を調べることによ
り、後に読み出されることができる。磁界が方向を変え
るロケーションは、“遷移”として知られる。

【０００３】磁気録音ディスクは、“行方向”が垂直か
で分類することができる。垂直ディスクは、“垂直”と
も呼ばれる。行方向ディスクでは、コーティングの磁界
は、主として円周方向に配列される。遷移は、磁界が時
計回りから反時計回りに変化する時と、その逆の時とに
生じる。ディスク上の特定のロケーションでは、磁界は
半径方向の成分と円周方向の成分とを有することがあ
る、円周方向の成分のみが読み出される。

【０００４】垂直ディスクでは、コーティングの磁界
は、ディスクの面に垂直な軸に沿う方向に配列される。
遷移は、磁界が上向きから下向きに変化した時と、その
逆の時とに生じる。ディスクに記憶できる情報は、でき
るだけ多いほうが良い。トラック幅をできるだけ狭くし
たり、トラックとトラックとをできるだけ近付けたりす
ると、記憶できる情報を増やすことができる。しかし、
そのようにすると、“雑音”の問題が増える。雑音は、
ロケーションへの読み書きがその近傍のロケーションに
記憶されているデータを干渉する場合と、意図したロケ
ーションに記憶されているデータとしてその近傍のロケ
ーションの情報が誤って読み出される場合とに生じる。

【０００５】磁気録音ディスクのもう１つの重要な特性
は、信号の強さである。磁界が有する信号が強ければ強
いほど、雑音による誤読の可能性は減少する。残念なこ
とに、トラック密度を増加させると、信号は弱くなる。
従って、トラック密度の増加に伴い、雑音を減少させる
方法を見つけることが重要になってくる。雑音を減少さ
せる１つの方法として、磁性材料の層を、データを記憶
する磁性コーティングと基板との間に、もう１層作ると
いう方法がある。この第２層の磁性材料は、磁界を誘導
する電流を取り除くと、磁界を保持しない材料である。
このような材料は“軟質”と呼ばれ、このような材料の
層を“軟質磁性層”と呼ぶ。磁界を誘導する電流を取り
除いても、磁界を保持する材料は、“硬質”と呼ばれ、
このような材料の層を“硬質磁性層”と呼ぶ。硬質磁性
層の厚さは、ディスクと読み書きヘッドとの距離（“浮
動高”）や録音密度等によって定まる。行方向ディスク
では、硬質磁性層の厚さは一般に２マイクロインチ程度
（約５×１０^-6cm）であり、軟質磁性層を含む場合は、
軟質磁性層の厚さを硬質磁性層と全く同じにする。垂直
ディスクでは、硬質磁性層の厚さは、典型的には、４か
ら２０マイクロインチ程度（約１０×１０^-6cmから５０
×１０^-6cm）である。軟質磁性層の厚さは、書き込み磁
極の厚さによって定まり、典型的には、１６から２０マ
イクロインチ（約４０×１０^-6cmから５０×１０^-6cm）
である。

【０００６】残念なことに、軟質磁性層には、行方向デ
ィスクの信号を弱めるという性質がある。しかし、この
性質は、磁気的に不活性な材料の層を軟質磁性層と硬質
磁性層との間に置くことによって、改善できる。磁気的
に不活性な層の厚さは、浮動高によって定まる。磁気的
に不活性な層の厚さは、典型的には、５から１０マイク
ロインチ（約１３×１０^-6cmから２５×１０^-6cm）であ
る。

【０００７】軟質磁性層の行方向録音におけるその他の
性質は、米国特許第07／103,965 号に開示されており、
この特許は、発明の名称が行方向録音用磁性媒体であ
り、１９８７年１０月５日にマラリー（Mallary)他によ
り申請され、本申請書の譲受人に譲渡された。マラリー
の特許では、パルスの形の均一化と雑音の生じる軟質磁
性層の最小化とが、軟質磁性層の磁化容易方向を半径方
向に向けることにより、行われる。

【０００８】垂直ディスクでは、軟質磁性層は信号を強
めるという性質を有する。この性質は、情報密度の増加
に伴い、信号は弱くなる傾向を示すので、非常に望まし
いものである。軟質磁性層のこの有益な性質は、磁性材
料の方向を、磁界の方向が一方向になるように向けるこ
とにより増進されるので、全材料の合成磁界がより強い
方向を確立する。磁界がより強い方向を１つ有する性質
は“一軸異方性”と呼ばれる。磁界がより強い方向は、
“磁化容易方向”または“一軸異方性軸”と呼ばれる。
“磁化容易方向”に垂直な軸は、“磁化困難方向”と呼
ばれる。磁気録音ディスクでは、ディスクの面に垂直な
磁化困難方向は無視され、“磁化困難方向”という言葉
は、ディスク面と同一平面上にあって磁化容易方向に垂
直な軸に関してのみ使われるのが普通である。

【０００９】垂直磁気録音方法を用いた磁気録音ディス
ク媒体の一実施例では、いわゆる二層フィルム媒体があ
り、二層フィルム媒体は、クロムコバルト合金の垂直硬
質磁性層と、電界薄膜化またはリン酸化ニッケルめっき
したアルミニウム・ベースと、この２つの間にあるパー
マロイの軟質磁性層とで構成される。この二層媒体の録
音再生特性は、軟質磁性層の磁気特性に強く支配され
る。

【００１０】一般に、軟質磁性層の磁化困難方向での透
磁率は、磁化容易方向での透磁率よりも大きいので、録
音再生特性を良くするためには、軟質磁性層の磁化困難
方向を磁気録音ディスクのトラック方向（円周方向）に
配列する必要がある。軟質磁性層の磁化困難方向を磁気
録音ディスクのトラック方向（円周方向）に配列する方
法は、日本の公開特許公報昭６２〔１９８７〕−１２９
９４０号に開示されている。図１に示すように、内部の
磁石をコーティングしていないディスクの中央に置き、
外部の磁石をディスクの外側のエッジに置く。磁極は、
磁力線がディスク・ベースの中央から外側に半径方向に
伸びるように置かれる。軟質磁性層を塗布またはめっき
する（一般にスパッタリングによる）時に、この磁界
が、磁性材料の磁化容易方向を半径方向に、磁化困難方
向を円周方向に配列する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように磁石を使用した、インライン・スパッタリング装
置を用いた磁気録音ディスク媒体の製造方法では、磁石
は非常に薄いものでなければならないため、この処理に
通常必要な磁界の強さ（正確には１０エルステッド）の
磁界をディスク・ベース表面の半径方向で得ることが困
難である。

【００１２】また、ディスク・ベースの外側の同心円を
囲む外部の磁石は、パレット（ベース・ホルダー）に固
定して構わないが、内部の磁石は、軟質磁性層をディス
ク・ベースの両面に同時に形成するためには、ディスク
・ベースに直接取りつける必要がある。しかし、内部の
磁石をディスク・ベースに直接取りつける処理は、処理
工程を増やしたり、磁石の取り付けや取り外しの際のほ
こりを増やしたりするので、あまり望ましいものとは言
えない。

【００１３】もし、この処理を垂直ディスクの形成の間
に使用するならば、さらに問題が生じる。軟質磁性層の
形成につづいて垂直な磁性層を形成する間、垂直な磁性
層の垂直な磁界の異方性は、磁石の磁力線が中央の磁石
から外向きに放射状にディスク・ベースの表面方向に広
がることにより、悪化する。本発明は、軟質磁性層の形
成方法を提供することにより、磁気録音ディスク製造上
の問題を解決することを目的とする。この方法は、ディ
スク・ベースの中央から外向きの半径方向の磁界を提供
するものである。この磁界は、磁化容易方向を半径方向
にするのに十分な磁界の強さを持つ。この磁界の形成に
は、ディスク・ベースに直接取り付けたり取り外したり
する磁石やコイル等の部品を必要とせず、また、この磁
界は、磁化容易方向が半径方向であるような軟質磁性層
をディスク・ベースの両面に同時に形成することを提供
する。軟質磁性層の形成には、インライン・スパッタリ
ング装置またはめっき槽等の金属被覆方法が使われる。
もし、必要とあらば、ディスク・ベースの中央から外向
きの半径方向の磁界は、他の磁性層を形成する間、簡単
に取り除くことができる。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
め、本発明は、次の２種類の磁界から１つを選択して使
用する。１つは、磁界の強さがディスク・ベースの中央
を中心とした同心円上で一定で、磁界の強さが中心から
の距離によって変化する交番磁界であり、もう１つは、
磁界の強さが一定の交番磁界である。磁界を、アルミニ
ウム等の導電性の材料でできた、導電性のディスク・ベ
ースの表面に垂直に加え、この結果、同心円状のうず電
流がディスク・ベースに電磁誘導により生じる。ディス
ク・ベースの中央から外向きの半径方向の磁界が、この
うず電流により生じ、この磁界が、磁性層の磁化容易方
向をディスク・ベースの半径方向にし、磁化困難方向を
円周方向にする。印加する交番磁界は、硬質磁性層の形
成の間に取り除くことが簡単にできるように、コイルに
より発生させる。うず電流により生じた、ディスク・ベ
ースの半径方向の磁界の強さは、印加する交番磁界の振
幅と周波数の積に比例する。従って、外部から加えた交
番磁界がスパッタリングのプラズマ状態に影響を及ぼす
場合は、交番磁界の強さ（振幅）を小さくすることによ
り影響を削減でき、この時、同時に交番磁界の周波数を
高くすることにより、うず電流により発生したディスク
・ベースの半径方向の磁界の強さは変わらないようにす
ることができる。ディスク・ベースに垂直に印加した交
番磁界が軟質磁性層に影響を及ぼす場合も、同様に影響
を少くすることができる。

【００１５】垂直に印加した交番磁界の強さは、波形を
三角波にすることにより、より小さくできる。この時、
誘導うず電流と、これらの結果の半径方向の誘導磁界と
は、矩形波を持つ。このため、最大値がより小さな垂直
な磁界を印加しても、誘導磁界を必要最小値より大きく
保つことができる。また、スイッチング（１周期に２
回）に要する時間の合計は、１周期の大部分で磁界が必
要最小値より大きくなるように、短くする。印加する磁
界の波形を形づくる目的は、誘導うず電流とこれらの結
果の半径方向の磁界とを、矩形波にすることである。デ
ィスクの固有周波数近傍の周波数では、印加する磁界の
波形を三角波にすることにより、目的である矩形波が得
られる。固有周波数より非常に高い周波数では、印加す
る磁界の波形を矩形波にして、誘導磁界を矩形波にす
る。従って、ディスク・ベースに垂直に加えた磁界の最
適な波形は、周波数とディスクとによって定まる。尚、
ディスクの固有周波数は、Ｒをディスクの抵抗、Ｌをイ
ンダクタンスとすると、Ｆ＝Ｒ／（２＊Ｐｉ＊Ｌ）で表
わされる。

【００１６】ディスク・ベースがガラスやセラミック等
の絶縁物質の場合は、極性層を形成する前に、まず、う
ず電流を発生させることができる適当な厚さの金属層を
ベースの上に形成することにより、本発明を適用でき
る。尚、この金属層は、アルミニウムやチタン等の金属
で作る。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。図２は、本発明による磁気録音ディス
ク製造装置の実施例の構成図である。本実施例では、イ
ンライン・スパッタリング装置を用いて、軟質磁性層を
堆積させたが、軟質磁性層の堆積方法はこの方法だけに
限るものではなく、蒸着や電解めっき等の他の装置を用
いて、軟質磁性層を堆積させても良いことは、当業者に
は明らかである。

【００１８】１１はディスク・ベースであり、数個のデ
ィスク・ベースがパレット３１に取り付けられる。３４
は交流電流であり、抵抗３５を通してコイル３３に接続
され、コイル３３は交番磁界を発生させるために使用さ
れる。交流電流３４により伝送される波形は、正弦波と
して図示されているが、三角波等の他の波形を使用して
も良いことは容易に理解できるであろう。一般に、コイ
ル３３は、全で同一で、長方形で、かつ巻数は複数であ
る。コイル３３の面は、通り抜けることができるよう
に、互いに平行でかつパレット３１に平行に置かれる。
３２は軟質磁性層ターゲットであり、ディスク・ベース
１１を取り付けた、ターゲットとターゲットの間のパレ
ット３１を通り抜けることによりスパッタリングが行な
えるように、コイル３３の内側に置かれ、図に示した方
向に向けられる。

【００１９】以上のように構成された磁気録音ディスク
製造方法について、電源３４により供給された交流電流
は、抵抗３５を通ってコイル３３に流れて、コイル３３
の面に垂直な方向（両向きの矢印で示した方向）に交番
磁界２１を発生させる。交番磁界２１により同心円状の
うず電流５０がディスク・ベース１１に生じ、次に、こ
のうず電流に磁界５２がディスク・ベース１１の半径方
向に生じる。例えば、５０ヘルツを加えた場合、６５エ
ルステッドの交番磁界でディスク・ベース（直径5.２５
mm、厚さ1.９mmのリン酸化めっきしたアルミニウム・ベ
ース）に垂直に発生して、一番外側の同心円上でちょう
ど１０エルステッドの強さをもつ磁界が、半径方向に生
じる。

【００２０】コイル３３は、スパッタリング・タンクの
真空タンクの外側に置かれても良い。この場合、パレッ
ト３１に生じたうず電流がディスク・ベース１１のうず
電流５０を干渉するのを防ぐ必要がある。この干渉は、
ディスク・ベース１１とパレット３１とを相互に絶縁す
ることにより防ぐことができる。パレットをステンレス
鋼などの導電性の低い材料で作ることによっても防ぐこ
とができる。

【００２１】図３は、ディスク・ベース１１に印加する
交番磁界の作成方法を示すものである。４１はコイルで
あり、パレット３１に取り付けられている各ディスク・
ベース１１のすぐ外側を囲むよう置かれる。コイル４１
はそれぞれ円形であり、直径はディスク・ベース１１の
直径よりわずかに大きい。コイル４１を交流電源３４に
抵抗３５を通して接続することによって、交番磁界がデ
ィスク・ベース１１に垂直に発生する。この場合、近接
したコイルの巻線の方向を選択することによって、近接
したコイルにより生じた磁界を利用することができる
し、さらに、パレット上の全てのコイルにより生じた、
ターゲットの表面付近の磁界の強さを減少させることが
できる。

【００２２】図４では、垂直な交番磁界は正弦波６０を
有する。垂直な交番磁界により生じるうず電流の振幅
は、垂直な交番磁界の強さの、時間に関する一次導関数
に比例するので、うず電流の振幅は余弦曲線６２（すな
わち、正弦曲線を４分の１周期ずらしたもの）を描く。
このことから、うず電流が最大振幅値６４をとる期間は
非常に短いことがわかる。

【００２３】図５では、垂直な交番磁界は三角波７０を
有する。垂直な交番磁界により生じるうず電流の振幅
は、垂直な交番磁界の強さの、時間に関する一次導関数
に比例するので、うず電流の振幅は矩形波７２になる。
このことから、うず電流が最大振幅値７４をとる期間は
比較的長いことがわかる。うず電流により生じる磁界の
強さは、うず電流の振幅に比例する。従って、正弦波と
比較すると、三角波７０による磁界は、正弦波により磁
界より強く、そのため、三角波７０は正弦波より高い程
度の一軸異方性をもたらす。正弦波よりも三角波を選ん
で垂直な交番磁界に持たせるならば、正弦波の場合と同
じ程度の一軸異方性が、正弦波よりも小さな振幅で得ら
れる。

【００２４】以上の説明から、本発明は、本実施例だけ
に限定されるものではなく、いろいろな方法で実現でき
ることは、当業者には明らかである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明と同じ効果をもたらす従来技術による方
法の断面図である。

【図２】本発明の第１の実施例に使われる装置の構成図
である。

【図３】本発明の第２の実施例に使われる装置の構成図
である。

【図４】正弦波の場合の垂直に印加した磁界の強さの時
間に対する変化とその結果生じるうず電流の時間に対す
る変化とを示す図である。

【図５】三角波の場合の垂直に印加した磁界の強さの時
間に対する変化とその結果生じるうず電流の時間に対す
る変化とを示す図である。

【符号の説明】

１１ディスク・ベース１２磁石１３磁石３１パレット３２軟質磁性材料ターゲット３３コイル３４交流電源３５抵抗４１コイル。

フロントページの続き (72)発明者佐藤浩神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地日本ディジタルイクイップメント株式会社研究開発センター内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性の基板上に軟質磁性材料でコーテ
ィングを形成する手順と、前記コーティング形成手順の
間、前記導電性基板を交番磁界に露出する手順とを有
し、前記交番磁界が前記基板の表面に垂直な方向に向け
られることを特徴とする磁気録音ディスク製造方法。
【請求項２】前記軟質磁性材料コーティング上に硬質
磁性材料でコーティングを形成する手順を有することを
特徴とする請求項１の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項３】前記硬質磁性材料コーティングが垂直方
向に向けられる請求項２の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項４】前記硬質磁性材料コーティングが前記軟
質磁性コーティング面内にある軸に沿った方向に向けら
れる請求項２の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項５】前記硬質磁性材料コーティングが主とし
て円周方向に向けられる請求項２の磁気録音ディスク製
造方法。
【請求項６】前記軟質磁性コーティング形成手順後、
前記硬質磁性材料コーティング形成手順前に、磁気的に
不活性な材料で層を形成する手順を有することを特徴と
する請求項２の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項７】前記交番磁界が正弦波を有する請求項１
の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項８】前記交番磁界が三角波を有する請求項１
の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項９】導電性の基板上に軟質磁性材料でコーテ
ィングを形成する手順と、前記コーティング形成手順の
間、前記磁気録音ディスクにうず電流を発生させる手順
とを有し、前記うず電流が円周方向に流れることを特徴
とする磁気録音ディスク製造方法。
【請求項１０】前記軟質磁性材料コーティング上に硬
質磁性材料でコーティングを形成する手順を有すること
を特徴とする請求項９の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項１１】前記硬質磁性材料コーティングが垂直
方向に向けられる請求項１０の磁気録音ディスク製造方
法。
【請求項１２】前記硬質磁性材料コーティングが前記
軟質磁性コーティング面内にある軸に沿った方向に向け
られることを特徴とする請求項１０の磁気録音ディスク
製造方法。
【請求項１３】前記硬質磁性材料コーティングが円周
方向に向けられる請求項１０の磁気録音ディスク製造方
法。
【請求項１４】前記軟質磁性コーティング形成手順と
前記うず電流発生手順との後、前記硬質磁性材料コーテ
ィング形成手順前に、磁気的に不活性な材料で層を形成
する手順を有することを特徴とする請求項１０の磁気録
音ディスク製造方法。
【請求項１５】前記うず電流の振幅が正弦波を有する
請求項９の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項１６】前記うず電流の振幅が三角波を有する
請求項９の磁気録音ディスク製造方法。
【請求項１７】導電性の基板上に軟質磁性材料でコー
ティングを形成する手順と、前記コーティング形成手順
の間、前記導電性基板を交番磁界に露出する手順と、前
記軟質磁性材料コーティング上に硬質磁性材料でコーテ
ィングを形成する手順とを有し、前記交番磁界が前記基
板の表面に垂直な方向に向けられることと、前記硬質磁
性コーティングが垂直方向に向けられることを特徴とす
る磁気録音ディスク製造方法。
【請求項１８】導電性の基板上に軟質磁性材料でコー
ティングを形成する手順と、前記コーティング形成手順
の間、前記導電性基板を交番磁界に露出する手順と、磁
気的に不活性な材料で層を形成する手順と、前記軟質磁
性材料コーティング上に硬質磁性材料でコーティングを
形成する手順とを有し、前記交番磁界が前記基板の表面
に垂直な方向に向けられることと、前記硬質磁性コーテ
ィングが前記硬質磁性コーティング面内にある軸に沿っ
た方向に向けられることとを特徴とする磁気録音ディス
ク製造方法。
【請求項１９】導電性の基板上に軟質磁性材料でコー
ティングを形成する手順と、前記コーティング形成手順
の間、うず電流を前記磁気録音ディスクに発生させる手
順と、前記軟質磁性材料コーティング上に硬質磁性材料
でコーティング形成する手順とを有し、前記うず電流が
円周方向に流れることと前記硬質磁性コーティングが垂
直方向に向けられることとを特徴とする磁気録音ディス
ク製造方法。
【請求項２０】導電性の基板上に軟質磁性材料でコー
ティングを形成する手順と、前記コーティング形成手順
の間、うず電流を前記磁気録音ディスクに発生させる手
順と、前記軟質磁性材料コーティング上に磁気的に不活
性な材料でコーティングを形成する手順と、前記磁気的
に不活性なコーティング上に硬質磁性材料でコーティン
グを形成する手順とを有し、前記うず電流が円周方向に
流れることと、前記硬質磁性コーティングが前記硬質磁
性コーティング面内にある軸に沿った方向に向けられる
こととを特徴とする磁気録音ディスク製造方法。
【請求項２１】交番磁界を発生させる手順と、磁性コ
ーティングをディスク上に塗布またはめっきする手段
と、前記塗布またはめっき手段で前記ディスク上に前記
磁性コーティングを塗布またはめっきする間に、前記デ
ィスクを前記交番磁界に露出する手段とを有することを
特徴とする磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２２】前記交番磁界発生手段が、交流電流源
と、前記電流源に電気的に接続する２つのコイルと、軟
質磁性材料でできた板状の２つのターゲットとを有し、
各ターゲットが、それぞれ１つの前記コイルの内側にあ
り前記コイルが形成する面と同一平面上にあることと、
前記コイルに流れる前記電流が、前記軟質磁性材料ター
ゲット間に磁界を発生させることとを特徴とする請求項
２１の磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２３】前記コイルの巻数が複数である請求項
２２の磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２４】前記コイルが長方形である請求項２２
の磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２５】前記ターゲットが互いに平行に置かれ
る請求項２２の磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２６】前記露出手段が前記ディスク取り付け
用の板状のパレットを有し、前記パレットが前記ターゲ
ットの間を通るように＜to pass ＞調節されることを特
徴とする請求項２２の磁気録音ディスク製造装置。
【請求項２７】前記塗布またはめっき手段が、スパッ
タリング装置を有することを特徴とする請求項２１の磁
気録音ディスク製造装置。
【請求項２８】前記塗布またはめっき手段が、電気め
っき装置を有することを特徴とする請求項２１の磁気録
音ディスク製造装置。
【請求項２９】前記交流電流源が、正弦波の電流を発
生させることができる請求項２２の磁気録音ディスク製
造装置。
【請求項３０】前記交流電流源が、三角波の電流を発
生させることができる請求項２２の磁気録音ディスク製
造装置。
【請求項３１】交流電流源と、前記電流源に電気的に
接続する２つのコイルと、軟質磁性材料でできた板状の
２つのターゲットと、前記ディスク取り付け用の板状の
パレットと、前記磁性コーティングを前記ディスク上に
塗布またはめっきする手段とを有し、前記コイルの巻線
が複数であることと、各ターゲットが前記コイルの内側
にあり前記コイルが形成する面と同一平面上にあること
と、前記コイルに流れる前記電流が前記軟質磁性材料タ
ーゲット間に磁界を発生させることと、前記ターゲット
が互いに平行に置かれることと、前記パレットが前記タ
ーゲットの間を通るように＜to pass ＞調節されること
とを特徴とする磁気録音ディスク製造装置。