JPH03201220A - 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法Info
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- JPH03201220A JPH03201220A JP1339705A JP33970589A JPH03201220A JP H03201220 A JPH03201220 A JP H03201220A JP 1339705 A JP1339705 A JP 1339705A JP 33970589 A JP33970589 A JP 33970589A JP H03201220 A JPH03201220 A JP H03201220A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/842—Coating a support with a liquid magnetic dispersion
- G11B5/845—Coating a support with a liquid magnetic dispersion in a magnetic field
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、垂直磁化層と軟磁性層からなる垂直磁気記
録ディスク媒体において、良好な特性をもつ軟磁性層を
得るための方法に関するものである。
録ディスク媒体において、良好な特性をもつ軟磁性層を
得るための方法に関するものである。
従来の技術
垂直磁気記録方式の磁気ディスク媒体には、ＣｏＣｒ合
金などの垂直磁化層と、アルマイト処理あるいはＮｉＰ
メツキを施したアルミニウム基板との間に、パーマロイ
などの軟磁性層を設けたいわゆる二層膜媒体がある。こ
の二層膜媒体の記録再生特性は軟磁性層の磁気特性に強
く依存することが知られている。
金などの垂直磁化層と、アルマイト処理あるいはＮｉＰ
メツキを施したアルミニウム基板との間に、パーマロイ
などの軟磁性層を設けたいわゆる二層膜媒体がある。こ
の二層膜媒体の記録再生特性は軟磁性層の磁気特性に強
く依存することが知られている。
一般に、軟磁性層の磁化困難軸方向における透磁率は、
磁化容易軸方向における透磁率よりも高いので、良好な
記録再生特性を得るためには軟磁性層の磁化困難軸を磁
気ディスクのトラック方向（円周方向）に揃える必要が
ある。この為に従来、スパッタリングなどによって軟磁
性層を形成する際に、第１図に示す様に、磁石１２及び
１３によりディスク基板１１の中心から放射状に発生す
る磁界１４を印加し、この磁界により軟磁性層の磁化容
易軸を半径方向に揃え、磁化困難軸をトラック方向に揃
えるという方法が提案されている（特開昭６２−１２９
９４０号公報を参照）。
磁化容易軸方向における透磁率よりも高いので、良好な
記録再生特性を得るためには軟磁性層の磁化困難軸を磁
気ディスクのトラック方向（円周方向）に揃える必要が
ある。この為に従来、スパッタリングなどによって軟磁
性層を形成する際に、第１図に示す様に、磁石１２及び
１３によりディスク基板１１の中心から放射状に発生す
る磁界１４を印加し、この磁界により軟磁性層の磁化容
易軸を半径方向に揃え、磁化困難軸をトラック方向に揃
えるという方法が提案されている（特開昭６２−１２９
９４０号公報を参照）。
発明が解決しようとする課題
しかし、この様な磁石を使う方法をインラインスパッタ
リング装置による磁気ディスク媒体の生産に適用する場
合、磁石の部分の厚さを小さくせねばならない。そのた
めにディスク基板の面上において、通常必要とされる十
分な強度の半径方向の磁界（杓子エルステッド〉を得る
ことは難しい。
リング装置による磁気ディスク媒体の生産に適用する場
合、磁石の部分の厚さを小さくせねばならない。そのた
めにディスク基板の面上において、通常必要とされる十
分な強度の半径方向の磁界（杓子エルステッド〉を得る
ことは難しい。
また、ディスク基板外周部のリング状磁石１３はパレッ
ト（基板ホルダー）に固定しておいてよいが、ディスク
基板の両面に同時に軟磁性層を形成するためには中心部
の磁石１２を基板自体にとりつけなくてはならない。し
かし、これは工程数の増加および磁石の着脱時における
ダストの発生などの点から望ましくない。
ト（基板ホルダー）に固定しておいてよいが、ディスク
基板の両面に同時に軟磁性層を形成するためには中心部
の磁石１２を基板自体にとりつけなくてはならない。し
かし、これは工程数の増加および磁石の着脱時における
ダストの発生などの点から望ましくない。
さらに、軟磁性層の形成に引き続く垂直磁化層の形成時
に、磁石からの放射状のディスク基板面内方向の磁界が
垂直磁化層の垂直磁気異方性を悪化させてしまうという
問題点があった。
に、磁石からの放射状のディスク基板面内方向の磁界が
垂直磁化層の垂直磁気異方性を悪化させてしまうという
問題点があった。
本発明の目的は、上記の欠点を解決し、二層膜からなる
垂直磁気記録ディスク媒体の製造において、軟磁性層の
形成時にディスク基板の中心から放射状の十分な強度の
磁界を与え、ディスク基板自体に着脱しなくてはならな
い磁石あるいはコイルの様な部品を使う事なく、インラ
インスパッタリング装置にも適用可能な様にディスク基
板の両面に同時に半径方向が磁化容易軸である軟磁性層
を形成できる方法を提供する事である。このディスク基
板の中心から放射状の磁界は、軟磁性層の形成に引き続
く垂直磁化層の形成時においては容易に取り除く事が出
来なければならない。
垂直磁気記録ディスク媒体の製造において、軟磁性層の
形成時にディスク基板の中心から放射状の十分な強度の
磁界を与え、ディスク基板自体に着脱しなくてはならな
い磁石あるいはコイルの様な部品を使う事なく、インラ
インスパッタリング装置にも適用可能な様にディスク基
板の両面に同時に半径方向が磁化容易軸である軟磁性層
を形成できる方法を提供する事である。このディスク基
板の中心から放射状の磁界は、軟磁性層の形成に引き続
く垂直磁化層の形成時においては容易に取り除く事が出
来なければならない。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成する為、本発明においては、第２図に
示す様に、アルミニウムなどの電気伝導性のあるディス
ク基板１１の面に対して垂直方向に、−様な強度の交流
磁界、あるいはディスク基板の中心に対して同心円状に
強度が変化する垂直交流磁界２１を印加し、電磁誘導に
よってディスク基板内に同心円状の渦電流２２を発生さ
せる。
示す様に、アルミニウムなどの電気伝導性のあるディス
ク基板１１の面に対して垂直方向に、−様な強度の交流
磁界、あるいはディスク基板の中心に対して同心円状に
強度が変化する垂直交流磁界２１を印加し、電磁誘導に
よってディスク基板内に同心円状の渦電流２２を発生さ
せる。
この渦電流によりディスク基板上には中心から放射状の
磁界２３が発生し、この磁界により軟磁性層の磁化容易
軸は半径方向に揃い、磁化困難軸はトラック方向に揃う
。印加する交流磁界２１はコイルにより発生させる事が
でき、垂直磁化層の形成時には容易に取り除く事ができ
る。
磁界２３が発生し、この磁界により軟磁性層の磁化容易
軸は半径方向に揃い、磁化困難軸はトラック方向に揃う
。印加する交流磁界２１はコイルにより発生させる事が
でき、垂直磁化層の形成時には容易に取り除く事ができ
る。
作用
この渦電流によるディスク基板上の放射状磁界の強度は
、印加する交流磁界の振幅と振動数との積に比例する。
、印加する交流磁界の振幅と振動数との積に比例する。
したがって外部から印加する交流磁界がスパッタリング
のプラズマ状態に悪影響を及ぼす場合には、交流磁界の
強度（振幅〉を下げ振動数を上げる事で、渦電流による
放射状磁界の強度を保ったままプラズマに対する悪影響
をなくす事が出来る。また、ディスク基板に対して垂直
である印加交流磁界の軟磁性層に対する影響も同じ方法
で低下させる事ができる。
のプラズマ状態に悪影響を及ぼす場合には、交流磁界の
強度（振幅〉を下げ振動数を上げる事で、渦電流による
放射状磁界の強度を保ったままプラズマに対する悪影響
をなくす事が出来る。また、ディスク基板に対して垂直
である印加交流磁界の軟磁性層に対する影響も同じ方法
で低下させる事ができる。
尚、ディスク基板がガラス、セラミックスなどの絶縁体
の場合には、軟磁性層の形成に先立ち、アルミニウムあ
るいはチタニウムなどの金属の層を適当な厚さだけ基板
上に形成して、この層内に渦電流を発生させる事により
本発明を適用できる。
の場合には、軟磁性層の形成に先立ち、アルミニウムあ
るいはチタニウムなどの金属の層を適当な厚さだけ基板
上に形成して、この層内に渦電流を発生させる事により
本発明を適用できる。
実施例
以下本発明の実施例を図を用いて説明する。
第３図は本発明をインラインスパッタリング装置に適用
した例である。複数のディスク基板１１をパレッ）３１
に装着する。交流電源３４を抵抗３５を介して交流磁界
発生用のコイル３３に接続する。このコイル３３の内側
に、ディスク基板１１を装着したパレット３１が通過し
ながらスパッタリングが行なわれるように軟磁性材料の
ターゲット３２を設ける。
した例である。複数のディスク基板１１をパレッ）３１
に装着する。交流電源３４を抵抗３５を介して交流磁界
発生用のコイル３３に接続する。このコイル３３の内側
に、ディスク基板１１を装着したパレット３１が通過し
ながらスパッタリングが行なわれるように軟磁性材料の
ターゲット３２を設ける。
このような構成のもとで、交流電源３４を付勢すると、
電流が抵抗３５及びコイル３３を流れて、交流磁界２１
が発生する。この交流磁界２１によりディスク基板ｌｌ
内に渦電流が生じ、これにより放射状のディスク基板面
内磁界が発生する。
電流が抵抗３５及びコイル３３を流れて、交流磁界２１
が発生する。この交流磁界２１によりディスク基板ｌｌ
内に渦電流が生じ、これにより放射状のディスク基板面
内磁界が発生する。
例として、ＮｉＰメツキを施した直径５．２５インチの
アルミニウム基板（厚さ１．９ミリ）に垂直に、５０ヘ
ルツ、６５エルステツドの交流磁界を印加したところ、
ディスクの最外周において十分な強度の約１０エルステ
ツドの放射状磁界が発生した。
アルミニウム基板（厚さ１．９ミリ）に垂直に、５０ヘ
ルツ、６５エルステツドの交流磁界を印加したところ、
ディスクの最外周において十分な強度の約１０エルステ
ツドの放射状磁界が発生した。
また、コイル３３はスパッタリング装置の真空槽の外部
に設けても良い。尚、同心円状の渦電流を生じさせるた
めには、ディスク基板１１をパレッ）３１と電気的に絶
縁する必要がある。
に設けても良い。尚、同心円状の渦電流を生じさせるた
めには、ディスク基板１１をパレッ）３１と電気的に絶
縁する必要がある。
第４図はディスク基板に加える交流磁界の別の発生方法
を示す。パレット３１上に装着されたディスク基板１１
のすぐ外側にコイル４１を設は抵抗３５を介してこのコ
イル４１を交流電源３４に接続することにより、ディス
ク基板１１に垂直な交流磁界を発生させる。尚、この場
合隣り合うコイルの巻き線の方向を逆にする事により、
隣り合うコイルからの磁界を利用する事ができ、また、
ターゲットの表面付近における、パレット上の複数個の
コイル全体からの磁界の強さを低下させる事ができる。
を示す。パレット３１上に装着されたディスク基板１１
のすぐ外側にコイル４１を設は抵抗３５を介してこのコ
イル４１を交流電源３４に接続することにより、ディス
ク基板１１に垂直な交流磁界を発生させる。尚、この場
合隣り合うコイルの巻き線の方向を逆にする事により、
隣り合うコイルからの磁界を利用する事ができ、また、
ターゲットの表面付近における、パレット上の複数個の
コイル全体からの磁界の強さを低下させる事ができる。
発明の効果
本発明によれば、垂直磁気記録ディスク媒体の製造にお
いて、ディスク基板の半径方向に磁化容易軸を持つ軟磁
性層を得る事ができる。
いて、ディスク基板の半径方向に磁化容易軸を持つ軟磁
性層を得る事ができる。
また、本発明はインラインスパッタリング装置における
ディスク媒体の両面同時製膜に適した方法であり、垂直
磁化層の形成時に悪影響を及ぼす事がない。
ディスク媒体の両面同時製膜に適した方法であり、垂直
磁化層の形成時に悪影響を及ぼす事がない。
更に、ディスク基板に磁石などの部品を取り付けなくて
すむ極めて実用性のある方法である。
すむ極めて実用性のある方法である。
第１図は従来技術による方法を説明する図、第２図は本
発明による垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法を示す
図、第３図、第４図は本発明の実施例を示す図である。 １１・・・・ディスク基板、 １２・・・・中心部磁石
、１３・・・・外周部リング状磁石、 １４・・・・直流磁界、 ２１・・・・印加交流
磁界、２２・・・・同心円状渦電流、 ３・・・・渦電流による放射状磁界、 １・・・・パレット（基板ホルダー）、２・・・・ター
ゲット、 ３・・・・交流磁界発生用コイノペ ４・・・・交流電源、３５ 抵抗、 １・・・・交流磁界発生用コイル。 第 ２ 図 第 図 ４ ５
発明による垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法を示す
図、第３図、第４図は本発明の実施例を示す図である。 １１・・・・ディスク基板、 １２・・・・中心部磁石
、１３・・・・外周部リング状磁石、 １４・・・・直流磁界、 ２１・・・・印加交流
磁界、２２・・・・同心円状渦電流、 ３・・・・渦電流による放射状磁界、 １・・・・パレット（基板ホルダー）、２・・・・ター
ゲット、 ３・・・・交流磁界発生用コイノペ ４・・・・交流電源、３５ 抵抗、 １・・・・交流磁界発生用コイル。 第 ２ 図 第 図 ４ ５
Claims (1)
- 電気伝導性のあるディスク基板の面に対し垂直に交流磁
界を印加してディスク基板内に同心円状の渦電流を生じ
させた状態で軟磁性層を形成し、この後軟磁性層上に垂
直磁化層を形成することを特徴とする垂直磁気記録ディ
スク媒体の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1339705A JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
| US07/629,191 US5147679A (en) | 1989-12-27 | 1990-12-26 | Method for providing uniaxial anisotropy in magnetic recording disks |
| US07/797,504 US5226966A (en) | 1989-12-27 | 1992-03-02 | Apparatus for providing uniaxial anisotropy in a magnetic recording disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1339705A JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201220A true JPH03201220A (ja) | 1991-09-03 |
| JPH0719374B2 JPH0719374B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=18330027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1339705A Expired - Lifetime JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5147679A (ja) |
| JP (1) | JPH0719374B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05210844A (ja) * | 1990-12-26 | 1993-08-20 | Nippon Digital Equip Kk | 磁気録音ディスク製造方法 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP1339705A patent/JPH0719374B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-26 US US07/629,191 patent/US5147679A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05210844A (ja) * | 1990-12-26 | 1993-08-20 | Nippon Digital Equip Kk | 磁気録音ディスク製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0719374B2 (ja) | 1995-03-06 |
| US5147679A (en) | 1992-09-15 |
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