JPH05211785A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH05211785A JPH05211785A JP4015147A JP1514792A JPH05211785A JP H05211785 A JPH05211785 A JP H05211785A JP 4015147 A JP4015147 A JP 4015147A JP 1514792 A JP1514792 A JP 1514792A JP H05211785 A JPH05211785 A JP H05211785A
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- JP
- Japan
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- friction
- vibrator
- contact
- ultrasonic motor
- friction sliding
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 棒状超音波モータの振動子とロータの摺動面
に、摩擦材料として無機材料を設けた場合、無機材料か
らなる摩擦摺動層が、接触する相手方との摺動により欠
けたりするのを防止する。 【構成】 摩擦層31が表面に形成された振動子1の駆
動面に、凸形状の摺動部30を設けると共に、摩擦層2
aが表面に形成されたロータ2の接触部21の内外の稜
線2c,2bは、この摺動部30の内外縁よりも夫々内
側、外側に位置させるようにロータ2を配置し、該接触
部21の稜線2b,2cが摺動部30の有効接触部Bと
接触しないようにしている。
に、摩擦材料として無機材料を設けた場合、無機材料か
らなる摩擦摺動層が、接触する相手方との摺動により欠
けたりするのを防止する。 【構成】 摩擦層31が表面に形成された振動子1の駆
動面に、凸形状の摺動部30を設けると共に、摩擦層2
aが表面に形成されたロータ2の接触部21の内外の稜
線2c,2bは、この摺動部30の内外縁よりも夫々内
側、外側に位置させるようにロータ2を配置し、該接触
部21の稜線2b,2cが摺動部30の有効接触部Bと
接触しないようにしている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、振動発生用素子と、該
素子からの振動を受けて振動する振動子に発生させた振
動によって、該振動子に圧接した移動体を相対的に移動
させる超音波モータに係り、特に摩擦摺動部近傍の構造
に関するものである。
素子からの振動を受けて振動する振動子に発生させた振
動によって、該振動子に圧接した移動体を相対的に移動
させる超音波モータに係り、特に摩擦摺動部近傍の構造
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】超音波モータ、特に棒形状に形成された
超音波モータは、棒又はペンシル形状に形成された振動
子と、該振動子の駆動面に加圧接触する移動体とが同軸
的に配置され、振動子の圧電素子に交流電圧を印加する
ことにより励起される屈曲振動の合成により、振動子の
駆動面における表面粒子に、円又は楕円運動を生じさ
せ、これにより移動体を摩擦駆動する。
超音波モータは、棒又はペンシル形状に形成された振動
子と、該振動子の駆動面に加圧接触する移動体とが同軸
的に配置され、振動子の圧電素子に交流電圧を印加する
ことにより励起される屈曲振動の合成により、振動子の
駆動面における表面粒子に、円又は楕円運動を生じさ
せ、これにより移動体を摩擦駆動する。
【0003】図6は従来の棒状超音波モータの概略断面
図を示し、1は駆動用の圧電素子8,8等を振動子構造
体1a,1b間に挟持固定した振動子、2は不図示のバ
ネ手段により振動子構造体1aの駆動面に加圧接触して
いる移動体である。
図を示し、1は駆動用の圧電素子8,8等を振動子構造
体1a,1b間に挟持固定した振動子、2は不図示のバ
ネ手段により振動子構造体1aの駆動面に加圧接触して
いる移動体である。
【0004】移動体側の摩擦摺動材としてアルマイトを
使用していながら、その摩擦摺動面の全面が振動子側の
摩擦摺動面に接触する。
使用していながら、その摩擦摺動面の全面が振動子側の
摩擦摺動面に接触する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例ではモータが駆動することによって、移動体側の接
触摺動面の少なくとも1つの稜線が、振動子側の摩擦摺
動面に強く当たる様になる。これは次の理由による。移
動体側の接触摺動部は、振動子側の接触摺動部の変位に
よって力を受けるわけであるが、この振動子の変位の方
向は、接触面に対して垂直ではなく、傾いている。又、
移動体側接触部のフランジ状ばね構造も接触面が傾くよ
うに変形する。従って、移動体の摩擦摺動面は振動子側
の摩擦摺動面とある角度をもって接触する様になる。
来例ではモータが駆動することによって、移動体側の接
触摺動面の少なくとも1つの稜線が、振動子側の摩擦摺
動面に強く当たる様になる。これは次の理由による。移
動体側の接触摺動部は、振動子側の接触摺動部の変位に
よって力を受けるわけであるが、この振動子の変位の方
向は、接触面に対して垂直ではなく、傾いている。又、
移動体側接触部のフランジ状ばね構造も接触面が傾くよ
うに変形する。従って、移動体の摩擦摺動面は振動子側
の摩擦摺動面とある角度をもって接触する様になる。
【0006】つまり、無機物であるアルマイトを形成し
た移動体側の摩擦摺動面のぜい弱な稜線が、強く振動子
側の摩擦摺動面に当たる様になるのである。
た移動体側の摩擦摺動面のぜい弱な稜線が、強く振動子
側の摩擦摺動面に当たる様になるのである。
【0007】それにより、アルマイトの稜線に欠けが入
り、そして、一度欠けが入いると次々にその欠けが進行
するため、振動子側の変位をなめらかに移動体側に伝え
られなくなる。その結果起動トルクが大巾に低減した
り、欠けたアルマイト粉が研磨材のごとく作用し該移動
体の摩擦材が急激に摩耗してしまったり、あるいはセン
サー相の出力が不安定になりフィードバック制御が不能
になったりした。
り、そして、一度欠けが入いると次々にその欠けが進行
するため、振動子側の変位をなめらかに移動体側に伝え
られなくなる。その結果起動トルクが大巾に低減した
り、欠けたアルマイト粉が研磨材のごとく作用し該移動
体の摩擦材が急激に摩耗してしまったり、あるいはセン
サー相の出力が不安定になりフィードバック制御が不能
になったりした。
【0008】本発明は、上記した従来の問題点を解決す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の目的を実現する
具体的な構成は、特許請求の範囲に記載した通りであ
る。
具体的な構成は、特許請求の範囲に記載した通りであ
る。
【0010】
【実施例】図1は本発明による超音波モータの第1の実
施例を示し、図1の(a)は縦断面図、(b)は摩擦接
触部の拡大断面図を示している。
施例を示し、図1の(a)は縦断面図、(b)は摩擦接
触部の拡大断面図を示している。
【0011】振動子1は、駆動用およびセンサ用圧電素
子8と電極板9を挟持する振動子構造体1aと1bとを
ボルト10により締結して構成されており、また振動子
構造体1bとボルト10とを電気的に絶縁するために、
絶縁シート11が介装されている。
子8と電極板9を挟持する振動子構造体1aと1bとを
ボルト10により締結して構成されており、また振動子
構造体1bとボルト10とを電気的に絶縁するために、
絶縁シート11が介装されている。
【0012】本実施例の振動子1は、振動子構造体1a
の頂面を駆動面とし、台形状に突設された環状の突起部
からなる摺動部30が形成されている。
の頂面を駆動面とし、台形状に突設された環状の突起部
からなる摺動部30が形成されている。
【0013】移動体(ロータ)2は、円環形状のロータ
本環20から下方にバネ性を有する構造体の接触部21
が一体的に形成され、この接触部21が振動子1の摺動
部30に当接する。
本環20から下方にバネ性を有する構造体の接触部21
が一体的に形成され、この接触部21が振動子1の摺動
部30に当接する。
【0014】6は加圧バネで、バネケース4を介してロ
ータ2に加圧力を付与する。3は外周部に歯車部が形成
されたギアで、ベアリング7により支承されると共に、
バネケース4と係合し、ロータ2と共に回転する。5は
ボルト10の先端部に軸方向にのみ移動可能に取付けら
れたフランジで、ベアリング7を固定しており、ギア3
と共に軸方向上方へ移動すると、ギア3とバネケース4
との係合を解除することができる。
ータ2に加圧力を付与する。3は外周部に歯車部が形成
されたギアで、ベアリング7により支承されると共に、
バネケース4と係合し、ロータ2と共に回転する。5は
ボルト10の先端部に軸方向にのみ移動可能に取付けら
れたフランジで、ベアリング7を固定しており、ギア3
と共に軸方向上方へ移動すると、ギア3とバネケース4
との係合を解除することができる。
【0015】移動体2は、表面に摩擦材からなる摩擦層
2aが形成されており、本実施例では厚さ30μmのア
ルマイトにより摩擦層2aを構成している。
2aが形成されており、本実施例では厚さ30μmのア
ルマイトにより摩擦層2aを構成している。
【0016】振動子1の振動子構造体の表面には、摩擦
材からなる摩擦層31が形成されており、本実施例では
厚さ35μmのKN−SiCメッキにより摩擦層31を
構成している。
材からなる摩擦層31が形成されており、本実施例では
厚さ35μmのKN−SiCメッキにより摩擦層31を
構成している。
【0017】以上のように構成した超音波モータにおい
て、図中Bで示す領域が実際の接触摺動部であり、ロー
タ2の接触部21の下端面における幅は、該Bの幅より
も大きく形成され、接触部21の中央と摺動部30の中
央部とが略一致するように当接する。
て、図中Bで示す領域が実際の接触摺動部であり、ロー
タ2の接触部21の下端面における幅は、該Bの幅より
も大きく形成され、接触部21の中央と摺動部30の中
央部とが略一致するように当接する。
【0018】したがって、ロータ2の摺動部21の外周
側稜線(角部)2bは、振動子1の接触摺動面の外周側
稜線より直径が大きく、逆にロータ2の内周側の稜線2
cは、振動子1の接触摺動面の内周側稜線より直径が小
さい。
側稜線(角部)2bは、振動子1の接触摺動面の外周側
稜線より直径が大きく、逆にロータ2の内周側の稜線2
cは、振動子1の接触摺動面の内周側稜線より直径が小
さい。
【0019】すなわち、ロータ側の両稜線2b,2c
は、振動子側の接触摺動面30と接触することがない。
は、振動子側の接触摺動面30と接触することがない。
【0020】なお、本実施例の超音波モータの全体の外
形寸法は、直径11mm、長さ25mmである。
形寸法は、直径11mm、長さ25mmである。
【0021】図2は第2の実施例を示す摩擦摺動部の拡
大断面図である。
大断面図である。
【0022】本実施例は、ロータ2の摺動部21の外周
側稜線2bのみが、振動子1側の接触摺動面の外径より
も大きく、該摺動部21の内周側稜線2cは振動子の接
触摺動面上に位置する。しかし、内周側稜線2cは丸み
を持たせた摩擦層2dを摺動部21の端面に形成してい
るので、この稜線2cが直接、振動子の摺動面上に接触
することはない。
側稜線2bのみが、振動子1側の接触摺動面の外径より
も大きく、該摺動部21の内周側稜線2cは振動子の接
触摺動面上に位置する。しかし、内周側稜線2cは丸み
を持たせた摩擦層2dを摺動部21の端面に形成してい
るので、この稜線2cが直接、振動子の摺動面上に接触
することはない。
【0023】なお、本実施例では、ロータ2の摺動部2
1の端面に形成した摩擦層2dはカーボンの板材により
構成しており、その厚みは0.5mmとし、接着剤によ
り接着されている。
1の端面に形成した摩擦層2dはカーボンの板材により
構成しており、その厚みは0.5mmとし、接着剤によ
り接着されている。
【0024】また、振動子1の摺動面には、放射状に多
数本の溝、例えば平目のローレット溝で、溝の深さを
0.05mmとし、外径8mmの摺動面上に例えば30
本の溝を形成している。
数本の溝、例えば平目のローレット溝で、溝の深さを
0.05mmとし、外径8mmの摺動面上に例えば30
本の溝を形成している。
【0025】これらの溝には、摩擦摺動によって生じた
摩耗粉を堆積させることができ、摩耗の促進をおさえる
役割を果す。
摩耗粉を堆積させることができ、摩耗の促進をおさえる
役割を果す。
【0026】図3は第3の実施例を示す摩擦摺動部の拡
大断面図である。
大断面図である。
【0027】本実施例は、振動子1の駆動面に、段部で
あるガイド32を形成すると共に、該ガイド32の内周
側に2条の突部33,34を同心状に形成し、さらに、
これら突部33,34間に摩耗粉排除用の溝35を形成
している。そして、ロータ2の摺動部21の端面を突部
33,34上に当接させる一方、その内外周の稜線2
b,2cを、突部33,34の内外周に形成される溝部
33a,34b上に位置させている。
あるガイド32を形成すると共に、該ガイド32の内周
側に2条の突部33,34を同心状に形成し、さらに、
これら突部33,34間に摩耗粉排除用の溝35を形成
している。そして、ロータ2の摺動部21の端面を突部
33,34上に当接させる一方、その内外周の稜線2
b,2cを、突部33,34の内外周に形成される溝部
33a,34b上に位置させている。
【0028】なお、ガイド32の内側にロータの摺動部
21が位置することにより、ロータ2の偏心、公転が防
止される。
21が位置することにより、ロータ2の偏心、公転が防
止される。
【0029】図4は第4の実施例を示す摩擦摺動部の拡
大断面図である。
大断面図である。
【0030】本実施例は、振動子1の摺動面の範囲内
に、ロータ2の接触部21の端面の稜線が位置する形式
で、振動子摺動面に厚さ0.2mmのアルミナ板からな
る摩擦層36を接着している。
に、ロータ2の接触部21の端面の稜線が位置する形式
で、振動子摺動面に厚さ0.2mmのアルミナ板からな
る摩擦層36を接着している。
【0031】2eはポリイミドアミド樹脂をアルミ合金
(A5056製)のロータ2にスプレーコーティングし
て形成された摩擦層で角部には丸みを付けている。
(A5056製)のロータ2にスプレーコーティングし
て形成された摩擦層で角部には丸みを付けている。
【0032】この実施例の場合、アルミナ板35の稜線
1e及び1fが欠けることがなく、その稜線でポリイミ
ドアミド樹脂を傷つけることもない。
1e及び1fが欠けることがなく、その稜線でポリイミ
ドアミド樹脂を傷つけることもない。
【0033】図5は第5の実施例を示す摩擦摺動部の拡
大断面図である。
大断面図である。
【0034】本実施例は、ロータ2の接触部21の外周
側に段差を有するガイド部22を形成すると共に、振動
子1の駆動面には、外周側に摺動部30を形成し、ロー
タ2の稜線2cが摺動部30の稜線よりも内周側に位置
させている。
側に段差を有するガイド部22を形成すると共に、振動
子1の駆動面には、外周側に摺動部30を形成し、ロー
タ2の稜線2cが摺動部30の稜線よりも内周側に位置
させている。
【0035】この場合も移動体側の摩擦摺動面の稜線2
cは振動体側の摩擦接触部に当たらないようになってい
る。
cは振動体側の摩擦接触部に当たらないようになってい
る。
【0036】図7は本発明による超音波モータを駆動源
とする装置の概略図を示す。
とする装置の概略図を示す。
【0037】54は大歯車部54aと小歯車部54bと
を同軸的に有するギアで、大歯車部54aがモータのギ
ア3と噛合し、また小歯車部54bは被駆動体、例えば
レンズ鏡筒55の歯車部55aに噛合しており、モータ
の回転をレンズ鏡筒55に伝達する。一方、ギア54に
はエンコーダスリット板56が取り付けられ、フォトカ
ップラー57により回転を検出する。
を同軸的に有するギアで、大歯車部54aがモータのギ
ア3と噛合し、また小歯車部54bは被駆動体、例えば
レンズ鏡筒55の歯車部55aに噛合しており、モータ
の回転をレンズ鏡筒55に伝達する。一方、ギア54に
はエンコーダスリット板56が取り付けられ、フォトカ
ップラー57により回転を検出する。
【0038】
【発明の効果】以上、説明した様に本発明によれば、振
動子又は移動体のいずれか一方の摩擦摺動面にもろく欠
けやすい無機材料等の摩擦摺動層を設けた超音波モータ
において、該無機材料を使用した摩擦摺動面の少なくと
も1つの稜線が、他方の接触摺動面と接触しない構造に
したことで、モータ性能の安定と長寿命化が図れた。
動子又は移動体のいずれか一方の摩擦摺動面にもろく欠
けやすい無機材料等の摩擦摺動層を設けた超音波モータ
において、該無機材料を使用した摩擦摺動面の少なくと
も1つの稜線が、他方の接触摺動面と接触しない構造に
したことで、モータ性能の安定と長寿命化が図れた。
【図1】本発明による超音波モータの第1の実施例を示
す図。
す図。
【図2】本発明による超音波モータの第2の実施例を示
す摩擦摺動部の断面図。
す摩擦摺動部の断面図。
【図3】本発明による超音波モータの第3の実施例を示
す摩擦摺動部の断面図。
す摩擦摺動部の断面図。
【図4】本発明による超音波モータの第4の実施例を示
す摩擦摺動部の断面図。
す摩擦摺動部の断面図。
【図5】本発明による超音波モータの第5の実施例を示
す摩擦摺動部の断面図。
す摩擦摺動部の断面図。
【図6】従来の超音波モータの断面図。
【図7】本発明の超音波モータを駆動源として用いた装
置の概略図。
置の概略図。
1…振動子 31,36…摩擦
層 32…ガイド 33,34…突部 35…溝 2…ロータ 20…ロータ本環 21…接触部 2a,2d,2e…摩擦層 3…ギア 4…バネケース 5…フランジ 6…バネ 7…ベアリング 8…圧電素子 9…電極板 10…ボルト
層 32…ガイド 33,34…突部 35…溝 2…ロータ 20…ロータ本環 21…接触部 2a,2d,2e…摩擦層 3…ギア 4…バネケース 5…フランジ 6…バネ 7…ベアリング 8…圧電素子 9…電極板 10…ボルト
Claims (4)
- 【請求項1】 挟持固定される電気−機械エネルギー変
換素子へ交流電圧を印加することにより、駆動面の表面
粒子に円又は楕円運動を発生させる振動子と、該振動子
の駆動面の摺動面に加圧接触し、摩擦駆動される移動体
とから構成される超音波モータにおいて、 該振動子側の摺動面あるいは該移動体側の摺動面の少な
くとも一方に摩擦摺動層を形成すると共に、該摩擦摺動
層を形成された側の摩擦摺動面の少なくとも1つの稜線
は、相接触する側の摩擦摺動面とは非接触であることを
特徴とする超音波モータ。 - 【請求項2】 請求項1において、摩擦摺動層を形成し
た側の摩擦摺動部の外径は、接触相手側の外径よりも大
又は、摩擦摺動層を形成した側の摩擦摺動部の内径は接
触相手側の内径よりも小であることを特徴とする超音波
モータ。 - 【請求項3】 請求項1において、摩擦摺動層を形成し
た側の摩擦摺動部の稜線は、丸みを設けた形状であるこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載の超
音波モータを駆動源として有し、該超音波モータの移動
体により駆動される出力部材を有することを特徴とする
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01514792A JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
| EP93101337A EP0553829B1 (en) | 1992-01-30 | 1993-01-28 | A vibration driven actuator |
| DE69333691T DE69333691T2 (de) | 1992-01-30 | 1993-01-28 | Vibrationsgetriebener Antrieb |
| US08/340,469 US6150749A (en) | 1992-01-30 | 1994-11-14 | Vibration driven actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01514792A JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05211785A true JPH05211785A (ja) | 1993-08-20 |
| JP3205026B2 JP3205026B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=11880694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01514792A Expired - Fee Related JP3205026B2 (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6150749A (ja) |
| EP (1) | EP0553829B1 (ja) |
| JP (1) | JP3205026B2 (ja) |
| DE (1) | DE69333691T2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6107724A (en) * | 1996-09-09 | 2000-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving device and apparatus having the same |
| US6107725A (en) * | 1997-04-08 | 2000-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type driving device and apparatus using the same |
| JP2011166907A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒およびカメラ |
| JP2011166899A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Nikon Corp | 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
| JP2017055554A (ja) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニットおよび撮像装置 |
| US10833610B2 (en) | 2016-10-05 | 2020-11-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibration-type actuator, control method for vibration-type actuator, vibration-type driving apparatus, and electronic apparatus that improve acceleration performance and deceleration performance in driving vibration-type actuator |
| US11183950B2 (en) | 2017-05-11 | 2021-11-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibratory actuator, driving apparatus, imaging apparatus, and method for controlling vibratory actuator |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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