JPH0521246Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0521246Y2 JPH0521246Y2 JP8788388U JP8788388U JPH0521246Y2 JP H0521246 Y2 JPH0521246 Y2 JP H0521246Y2 JP 8788388 U JP8788388 U JP 8788388U JP 8788388 U JP8788388 U JP 8788388U JP H0521246 Y2 JPH0521246 Y2 JP H0521246Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass spectrometer
- nozzle
- skimmer
- interface
- casing
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、高周波誘導結合プラズマ（ICP）イ
オン源と質量分析計とを結合した高周波誘導結合
プラズマ質量分析装置（ICP−MS）に関するも
のである。
オン源と質量分析計とを結合した高周波誘導結合
プラズマ質量分析装置（ICP−MS）に関するも
のである。
［従来の技術］
かかるICP−MSは第２図に示すような構造を
有している。
有している。
同図において、１はICPイオン源で、高周波誘
導コイル２を巻回した石英等の電気絶縁体製プラ
ズマトーチ３と試料液を噴霧するためのネブライ
ザ４とから構成されている。５は試料液６を収納
すると共にネブライザ４に導入管７を介して接続
された試料ボトルである。８は電気良導体で形成
されたコーン状のノズル９と第１及び第２のスキ
マー１０，１１とからなるインターフエース、１
２は質量分析装置で、内部に質量分析計１３が設
けてある。
導コイル２を巻回した石英等の電気絶縁体製プラ
ズマトーチ３と試料液を噴霧するためのネブライ
ザ４とから構成されている。５は試料液６を収納
すると共にネブライザ４に導入管７を介して接続
された試料ボトルである。８は電気良導体で形成
されたコーン状のノズル９と第１及び第２のスキ
マー１０，１１とからなるインターフエース、１
２は質量分析装置で、内部に質量分析計１３が設
けてある。
１４は前記質量分析装置１２内を高真空に保つ
ための油拡散ポンプ、１５，１６は前記ノズル９
と第１のスキマー１０及び第１、第２のスキマー
１０と１１との間に夫々形成される空間Ｓ１，Ｓ
２を排気するための油回転ポンプである。
ための油拡散ポンプ、１５，１６は前記ノズル９
と第１のスキマー１０及び第１、第２のスキマー
１０と１１との間に夫々形成される空間Ｓ１，Ｓ
２を排気するための油回転ポンプである。
１７はイオンを加速、集束して前記質量分析計
１３に導入させるための電極群である。
１３に導入させるための電極群である。
かかる構成において、プラズマトーチ３内には
図示外のガス供給源からアルゴンガスが供給さ
れ、また、ネブライザ４から試料液６が霧状とな
つて導入される。この状態において、高周波誘導
コイル２に電力を印加して高周波磁界を形成する
と、高周波誘導結合プラズマＰが発生するため、
このプラズマ内の試料イオンがノズル９、各スキ
マー１０，１１を通つてインターフエース８内に
進入する。このインターフエース内に進入したイ
オンは電極群１７により加速、集束されて質量分
析計１３に導入され質量分析される。
図示外のガス供給源からアルゴンガスが供給さ
れ、また、ネブライザ４から試料液６が霧状とな
つて導入される。この状態において、高周波誘導
コイル２に電力を印加して高周波磁界を形成する
と、高周波誘導結合プラズマＰが発生するため、
このプラズマ内の試料イオンがノズル９、各スキ
マー１０，１１を通つてインターフエース８内に
進入する。このインターフエース内に進入したイ
オンは電極群１７により加速、集束されて質量分
析計１３に導入され質量分析される。
［考案が解決しようとする課題］
ところで、従来におけるICP−MSにおいては、
質量分析計１３として四重極型質量分析計を使用
している。このように四重極型質量分析計を使用
した場合には、試料イオンに高いエネルギーを与
える必要がなく、プラズマ中の試料イオンを引き
込むためのノズル９や各スキマー１０，１１の電
位は略アース電位程度ですむ。そのため、これら
部材をインターフエース８の筐体に取り付ける
際、放電の問題は考える必要がなかつた。
質量分析計１３として四重極型質量分析計を使用
している。このように四重極型質量分析計を使用
した場合には、試料イオンに高いエネルギーを与
える必要がなく、プラズマ中の試料イオンを引き
込むためのノズル９や各スキマー１０，１１の電
位は略アース電位程度ですむ。そのため、これら
部材をインターフエース８の筐体に取り付ける
際、放電の問題は考える必要がなかつた。
しかし、近時、質量分析計１３に磁場型質量分
析計を使用して高い分解能を得るようにしたICP
−MSが提案されている。このように磁場型質量
分析計を使用すると、試料イオンに高いエネルギ
ーを与える必要があるため、第２図中で符号１８
で示すように第２のスキマー１０と電極群１７間
に加速電極を設置し、この電極に例えば±10KV
程度の高電圧を印加すると共に、ノズル９、第１
及び第２のスキマー１０，１１にも同程度の高電
圧を印加しなければならない。従つて、高電圧が
印加されるノズル９及び第１，第２のスキマー１
０，１１を放電が発生しないようにインターフエ
ース８の筐体内部に取り付ける必要がある。
析計を使用して高い分解能を得るようにしたICP
−MSが提案されている。このように磁場型質量
分析計を使用すると、試料イオンに高いエネルギ
ーを与える必要があるため、第２図中で符号１８
で示すように第２のスキマー１０と電極群１７間
に加速電極を設置し、この電極に例えば±10KV
程度の高電圧を印加すると共に、ノズル９、第１
及び第２のスキマー１０，１１にも同程度の高電
圧を印加しなければならない。従つて、高電圧が
印加されるノズル９及び第１，第２のスキマー１
０，１１を放電が発生しないようにインターフエ
ース８の筐体内部に取り付ける必要がある。
そこで、本考案はかかる要求を満足することの
できる装置を提供することを目的とするものであ
る。
できる装置を提供することを目的とするものであ
る。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本考案は高周波誘導
結合プラズマイオン源を用いて試料をイオン化
し、生じたイオンをノズル及びスキマーからなる
インターフエースを介して質量分析計に導入する
ようにした装置において、前記インターフエース
の筐体を電気絶縁体で形成し、この電気絶縁体製
筐体の内部に前記ノズル及びスキマーを取り付け
たことを特徴とするものである。
結合プラズマイオン源を用いて試料をイオン化
し、生じたイオンをノズル及びスキマーからなる
インターフエースを介して質量分析計に導入する
ようにした装置において、前記インターフエース
の筐体を電気絶縁体で形成し、この電気絶縁体製
筐体の内部に前記ノズル及びスキマーを取り付け
たことを特徴とするものである。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳説す
る。
る。
［実施例］
第１図は本考案の一実施例を示す要部拡大断面
図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要
素を示す。
図であり、第２図と同一符号のものは同一構成要
素を示す。
即ち、本実施例においては、インターフエース
の筐体１９を例えばセラミツクのような電気絶縁
体で形成し、この電気絶縁体製筐体の内部にノズ
ル９及びスキマー１０，１１を夫々取り付けるよ
うにしたことを特徴とするものである。
の筐体１９を例えばセラミツクのような電気絶縁
体で形成し、この電気絶縁体製筐体の内部にノズ
ル９及びスキマー１０，１１を夫々取り付けるよ
うにしたことを特徴とするものである。
前記第１のスキマー１０は筐体１９に嵌合によ
り取り付けられており、また、このスキマーと筐
体の縁部分との間にリング状のスペーサ２０を介
在させ、任意の厚さのスペーサと交換することに
よりノズル９とこのスキマーの間隔を調整する。
さらに、第２のスキマー１１はネジ方式により筐
体１９に取り付けられ、その締め付け量により第
１と第２のスキマーの間隔を調整する。さらに、
また、前記筐体１９には空間Ｓ１，Ｓ２に連通し
た排気穴２１，２２が夫々形成され、この各排気
穴はゴム等の電気絶縁物質で形成されたホース２
３，２４を介して第２図で示す各油回転ポンプ１
５，１６に夫々接続されている。
り取り付けられており、また、このスキマーと筐
体の縁部分との間にリング状のスペーサ２０を介
在させ、任意の厚さのスペーサと交換することに
よりノズル９とこのスキマーの間隔を調整する。
さらに、第２のスキマー１１はネジ方式により筐
体１９に取り付けられ、その締め付け量により第
１と第２のスキマーの間隔を調整する。さらに、
また、前記筐体１９には空間Ｓ１，Ｓ２に連通し
た排気穴２１，２２が夫々形成され、この各排気
穴はゴム等の電気絶縁物質で形成されたホース２
３，２４を介して第２図で示す各油回転ポンプ１
５，１６に夫々接続されている。
［効果］
以上詳述したような本考案によれば、高電圧が
印加されるノズル及びスキマーを電気絶縁体で形
成されたインターフエースの筐体内部に取り付け
るようにしてあるため、放電を発生させることな
くノズルやスキマーを取り付けることができる。
印加されるノズル及びスキマーを電気絶縁体で形
成されたインターフエースの筐体内部に取り付け
るようにしてあるため、放電を発生させることな
くノズルやスキマーを取り付けることができる。
第１図は本考案の一実施例を示す要部拡大断面
図、第２図はICP−MSの構成を示す図である。 １……ICPイオン源、２……高周波コイル、３
……プラズマトーチ、４……ネブライザ、５……
試料ボトル、６……試料液、７……導入管、８…
…インターフエース、９……ノズル、１０，１１
……第１、第２のスキマー、１２……質量分析装
置、１４……油拡散ポンプ、１５，１６……油回
転ポンプ、１７……電極群、１８……加速電極、
１９……インターフエースの筐体、２０……スペ
ーサ、２１，２２……排気穴、２２，２４……ホ
ース。
図、第２図はICP−MSの構成を示す図である。 １……ICPイオン源、２……高周波コイル、３
……プラズマトーチ、４……ネブライザ、５……
試料ボトル、６……試料液、７……導入管、８…
…インターフエース、９……ノズル、１０，１１
……第１、第２のスキマー、１２……質量分析装
置、１４……油拡散ポンプ、１５，１６……油回
転ポンプ、１７……電極群、１８……加速電極、
１９……インターフエースの筐体、２０……スペ
ーサ、２１，２２……排気穴、２２，２４……ホ
ース。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマイオン源を用いて試料
をイオン化し、生じたイオンをノズル及びスキマ
ーからなるインターフエースを介して質量分析計
に導入するようにした装置において、前記インタ
ーフエースの筐体を電気絶縁体で形成し、この電
気絶縁体製筐体の内部に前記ノズル及びスキマー
を取り付けたことを特徴とする高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8788388U JPH0521246Y2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8788388U JPH0521246Y2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028854U JPH028854U (ja) | 1990-01-19 |
| JPH0521246Y2 true JPH0521246Y2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=31312473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8788388U Expired - Lifetime JPH0521246Y2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521246Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991017070A1 (fr) * | 1990-04-27 | 1991-11-14 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Dispositif protecteur pour chauffeur du type a coussin pneumatique |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP8788388U patent/JPH0521246Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991017070A1 (fr) * | 1990-04-27 | 1991-11-14 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Dispositif protecteur pour chauffeur du type a coussin pneumatique |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028854U (ja) | 1990-01-19 |
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