JPS6264043A - 誘導結合プラズマ・質量分析計 - Google Patents
誘導結合プラズマ・質量分析計Info
- Publication number
- JPS6264043A JPS6264043A JP60175267A JP17526785A JPS6264043A JP S6264043 A JPS6264043 A JP S6264043A JP 60175267 A JP60175267 A JP 60175267A JP 17526785 A JP17526785 A JP 17526785A JP S6264043 A JPS6264043 A JP S6264043A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- gap
- potential
- mass spectrometer
- skimmer
- Prior art date
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- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、誘導結合プラズマ７分光分析計と質量分析計
を結合させてなる誘導結合プラズマ・質量分析計に関す
る。
を結合させてなる誘導結合プラズマ・質量分析計に関す
る。
〈従来の技術〉
誘導結合プラズマ・質量分析計は、プラズマを用いて試
料を励起させ、生じたイオンをノズルとスキマカラなる
インターフェースを介して四重極質量分析計に導いて電
気的に検出し該イオン量を精密に測定することによ妙、
試料中の被測定元素を分析するように構成されている。
料を励起させ、生じたイオンをノズルとスキマカラなる
インターフェースを介して四重極質量分析計に導いて電
気的に検出し該イオン量を精密に測定することによ妙、
試料中の被測定元素を分析するように構成されている。
第４図は、このような従来の誘導結合プラズマ・質量分
析計の要部構成説明図であり、図中、１は誘導コイル、
２は高周波電源、３はアース、４はノズル、５はスキマ
、６はプラズマである。この図において、けられると、
該高周波磁界によって瞬時にプラズマ６が生ずる。この
プラズマ６は一定の直流電位を有している。一方、ノズ
ル４やスキマ５はアース３に接続されて接地電位を有し
ている。このため、スキマ５の先端とプラズマ６との間
に放電が生ずるようになる。また、スキマ５の先端近辺
の電位勾配は急となり、プラズマ６からスキマ５内に引
出されるイオンはスキマ５の先端近辺で加速されるよう
になる。従って、スキマ５内に引出されるイオンはプラ
ズマ６内のイオンと分布もエネルギーも異なるものとな
ってくる。このような理由により、スキマ５内に引出さ
れたイオンはその良い特性が失われたものとなり、イオ
ンの分析に大きな誤差を与えるようになる。
析計の要部構成説明図であり、図中、１は誘導コイル、
２は高周波電源、３はアース、４はノズル、５はスキマ
、６はプラズマである。この図において、けられると、
該高周波磁界によって瞬時にプラズマ６が生ずる。この
プラズマ６は一定の直流電位を有している。一方、ノズ
ル４やスキマ５はアース３に接続されて接地電位を有し
ている。このため、スキマ５の先端とプラズマ６との間
に放電が生ずるようになる。また、スキマ５の先端近辺
の電位勾配は急となり、プラズマ６からスキマ５内に引
出されるイオンはスキマ５の先端近辺で加速されるよう
になる。従って、スキマ５内に引出されるイオンはプラ
ズマ６内のイオンと分布もエネルギーも異なるものとな
ってくる。このような理由により、スキマ５内に引出さ
れたイオンはその良い特性が失われたものとなり、イオ
ンの分析に大きな誤差を与えるようになる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明はかかる状況に鑑みてなされたものであり、その
目的は、誘導結合プラズマ分光分析計内のイオン状態を
そのまま質量分析計に導いて正しいイオンの分析を行な
うことができる誘導結合プラズマ・質量分析計を提供す
ることにある。
目的は、誘導結合プラズマ分光分析計内のイオン状態を
そのまま質量分析計に導いて正しいイオンの分析を行な
うことができる誘導結合プラズマ・質量分析計を提供す
ることにある。
〈問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、誘導結
合プラズマ分光分析計と質量分析計を結合させてなる誘
導結合プラズマ・質量分析計において、スキマの電位が
アース電位と異なるように構成したことにある。
合プラズマ分光分析計と質量分析計を結合させてなる誘
導結合プラズマ・質量分析計において、スキマの電位が
アース電位と異なるように構成したことにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本発明実施例の要部構成説明図であり、図中、第４
図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複
説明は省略する。また、７け例えば絶縁ゴムのような絶
縁体である。このような実施例においては、スキマ５が
絶縁体６によってアース３から電気的に浮がされること
Ｋなる。
図は本発明実施例の要部構成説明図であり、図中、第４
図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複
説明は省略する。また、７け例えば絶縁ゴムのような絶
縁体である。このような実施例においては、スキマ５が
絶縁体６によってアース３から電気的に浮がされること
Ｋなる。
このため、プラズマ６がノズル４ｆｔ、経由してスキー
ｖ５Ｋｆｉ７’ｃる。！：スキマ５の電位がプラズマ６
の電位と略同−となり、スキマ５の先端とプラズマ６と
の間に放電が生ずることもなくなる。従って、スキマ５
内に引出されるイオンはプラズマ６内のイオンと分布も
エネルギーも略同−となる。第２図は本発明実施例の全
体的な構成説明図であし、図中、第１図と同一記号は同
一意味をもたせて使用し、ここでの重複説明は省略する
。また、８はアルゴンガス供給源、８′はガス調節器、
９は試料を貯留する檜、１０は試料を霧化するネプライ
ザ、１１は霧化されたエアロゾル試料がアルゴンガスに
よって搬入される中心管１１ａと補助アルゴンガスが流
される外側管１１ｂとアルゴン冷却ガスが流される最外
側管１１ｃとからなる例えば三重管間心構造のプラズマ
トーチ、１２は回転ポンプ、１３は拡散ポンプ、１４は
イオンポンプ、１５は４本の金属製柱状電極が平行に保
持されてなる四重極、１６は二次電子増倍管、１７は信
号処理部である。このような構成からなる本発明実施例
において、プラズマトーチ１１の外側管１１ｂおよび最
外側管１１ｃにガス調整器８を介してアルゴンガスが供
給される。また、中心管１１ａにはネプライザ１ｏから
エアロゾル試料がアルゴンガスによって搬入され、誘導
コイル１の周囲に形成される高周波磁界の作用で第１図
のプラズマ６が生ずる。このプラズマ内のイオンはその
ままスキマ５内に引出されてのち、四重極１５で検出さ
れる。該検出信号は二次電子増倍管１６で増幅されての
ち信号処理部１７に送出され、究極的Ｋ試料の分析値を
与える。
ｖ５Ｋｆｉ７’ｃる。！：スキマ５の電位がプラズマ６
の電位と略同−となり、スキマ５の先端とプラズマ６と
の間に放電が生ずることもなくなる。従って、スキマ５
内に引出されるイオンはプラズマ６内のイオンと分布も
エネルギーも略同−となる。第２図は本発明実施例の全
体的な構成説明図であし、図中、第１図と同一記号は同
一意味をもたせて使用し、ここでの重複説明は省略する
。また、８はアルゴンガス供給源、８′はガス調節器、
９は試料を貯留する檜、１０は試料を霧化するネプライ
ザ、１１は霧化されたエアロゾル試料がアルゴンガスに
よって搬入される中心管１１ａと補助アルゴンガスが流
される外側管１１ｂとアルゴン冷却ガスが流される最外
側管１１ｃとからなる例えば三重管間心構造のプラズマ
トーチ、１２は回転ポンプ、１３は拡散ポンプ、１４は
イオンポンプ、１５は４本の金属製柱状電極が平行に保
持されてなる四重極、１６は二次電子増倍管、１７は信
号処理部である。このような構成からなる本発明実施例
において、プラズマトーチ１１の外側管１１ｂおよび最
外側管１１ｃにガス調整器８を介してアルゴンガスが供
給される。また、中心管１１ａにはネプライザ１ｏから
エアロゾル試料がアルゴンガスによって搬入され、誘導
コイル１の周囲に形成される高周波磁界の作用で第１図
のプラズマ６が生ずる。このプラズマ内のイオンはその
ままスキマ５内に引出されてのち、四重極１５で検出さ
れる。該検出信号は二次電子増倍管１６で増幅されての
ち信号処理部１７に送出され、究極的Ｋ試料の分析値を
与える。
第３図は本発明の他の実施例を示す要部構成説明図であ
り、図中、第１図と同一記号は同一意味をもたせて使用
し、ここでの重複説明は省略する。
り、図中、第１図と同一記号は同一意味をもたせて使用
し、ここでの重複説明は省略する。
また、１８はスキマ５に所定の電圧を印加する直流電源
である。このような実施例においては、スキマ５に直流
電圧が印加されるため、スキマ５の先端とプラズマ６と
の間に放電が生ずることもなくなる。従って、スキマ５
内に引出されるイオンはプラズマ６内のイオンと分布も
エネルギーも同一となって、第１図の実施例の場合と同
様に正しい分析値が得られる。尚、本発明は上述の実施
例に限定されることなく種々の変形が可能であり、例え
ばプラズマ６の電位を検出し、この値を絶縁したスキマ
５に加えるように構成してもよい。
である。このような実施例においては、スキマ５に直流
電圧が印加されるため、スキマ５の先端とプラズマ６と
の間に放電が生ずることもなくなる。従って、スキマ５
内に引出されるイオンはプラズマ６内のイオンと分布も
エネルギーも同一となって、第１図の実施例の場合と同
様に正しい分析値が得られる。尚、本発明は上述の実施
例に限定されることなく種々の変形が可能であり、例え
ばプラズマ６の電位を検出し、この値を絶縁したスキマ
５に加えるように構成してもよい。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したような本発明によれば、誘導結合プ
ラズマ・質量分析計において、スキマの電位をアース電
位と異ならしめるような構成であるため、該スキマ内に
引出されるイオンとグッズマ内のイオンとが分布もエネ
ルギーも等しくなり究極的に質量分析計で正しい分析値
が得られるようになる。
ラズマ・質量分析計において、スキマの電位をアース電
位と異ならしめるような構成であるため、該スキマ内に
引出されるイオンとグッズマ内のイオンとが分布もエネ
ルギーも等しくなり究極的に質量分析計で正しい分析値
が得られるようになる。
第１図は本発明実施例の要部構成説明図、第２図は本発
明実施例の全体的な構成説明図、第３図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図、第４図は従来例の要部構成説
明図である。 １・・・誘導コイル、２・・・高周波電源、４・・・ノ
ズル、５・・・スキマ、６・・・プラズマ、７・・・絶
縁体、８・・・アルゴンガス供給源、１０・・・ネプラ
イザ、１１・・・プラズマトーチ、１２〜１４・・・ポ
ンプ。
明実施例の全体的な構成説明図、第３図は本発明の他の
実施例の要部構成説明図、第４図は従来例の要部構成説
明図である。 １・・・誘導コイル、２・・・高周波電源、４・・・ノ
ズル、５・・・スキマ、６・・・プラズマ、７・・・絶
縁体、８・・・アルゴンガス供給源、１０・・・ネプラ
イザ、１１・・・プラズマトーチ、１２〜１４・・・ポ
ンプ。
Claims (3)
- （１）誘導結合プラズマ分光分析計と質量分析計を結合
させてなる誘導結合プラズマ・質量分析計において、ス
キマの電位がアース電位と異なるように構成したことを
特徴とする誘導結合プラズマ・質量分析計。 - （２）前記スキマとアースの間に絶縁体を介在させて前
記スキマの電位が前記アース電位と異なるように構成し
たことを特徴とする特許請求範囲第（１）項記載の誘導
結合プラズマ・質量分析計。 - （３）前記スキマとアースの間に絶縁体を介在させ且つ
該スキマに所定の直流電圧を印加して前記スキマの電位
とアース電位が異なるように構成したことを特徴とする
特許請求範囲第（１）項記載の誘導結合プラズマ・質量
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60175267A JPS6264043A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 誘導結合プラズマ・質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60175267A JPS6264043A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 誘導結合プラズマ・質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6264043A true JPS6264043A (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=15993160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60175267A Pending JPS6264043A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 誘導結合プラズマ・質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6264043A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647467A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | Shimadzu Corp | Induction coupling plasma mass spectrometer |
| US5218204A (en) * | 1992-05-27 | 1993-06-08 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Plasma sampling interface for inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) |
| JPH0650229U (ja) * | 1992-01-09 | 1994-07-08 | 日本電子株式会社 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計における排気装置 |
| JP2001185073A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Yokogawa Analytical Systems Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法 |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP60175267A patent/JPS6264043A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647467A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | Shimadzu Corp | Induction coupling plasma mass spectrometer |
| JPH0650229U (ja) * | 1992-01-09 | 1994-07-08 | 日本電子株式会社 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計における排気装置 |
| US5218204A (en) * | 1992-05-27 | 1993-06-08 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Plasma sampling interface for inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) |
| JP2001185073A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Yokogawa Analytical Systems Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法 |
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