JPH0521885A - ガス・レーザ管装置 - Google Patents
ガス・レーザ管装置Info
- Publication number
- JPH0521885A JPH0521885A JP17376391A JP17376391A JPH0521885A JP H0521885 A JPH0521885 A JP H0521885A JP 17376391 A JP17376391 A JP 17376391A JP 17376391 A JP17376391 A JP 17376391A JP H0521885 A JPH0521885 A JP H0521885A
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- laser tube
- laser
- laser light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、レーザ光出力レベルを安定化でき
るガス・レーザ管装置を提供する。 【構成】この発明のガス・レーザ管装置は、レーザ光出
力を検出するとともにレーザ管11の放電電流を検出し、
この放電電流に対応する信号をミラー傾き調整機構21,2
2 に伝え、ミラーの傾きを変化させてもレーザ光出力が
ほぼ一定となる範囲でレーザ管放電電流が最小となるよ
うにミラーの傾きが自動調整されるように構成されてな
り、上記の目的を達成することができる。
るガス・レーザ管装置を提供する。 【構成】この発明のガス・レーザ管装置は、レーザ光出
力を検出するとともにレーザ管11の放電電流を検出し、
この放電電流に対応する信号をミラー傾き調整機構21,2
2 に伝え、ミラーの傾きを変化させてもレーザ光出力が
ほぼ一定となる範囲でレーザ管放電電流が最小となるよ
うにミラーの傾きが自動調整されるように構成されてな
り、上記の目的を達成することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガス・レーザ管装置
に係わり、とくにそのミラー傾き調整機構を備える装置
の改良に関する。
に係わり、とくにそのミラー傾き調整機構を備える装置
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス・レーザ管装置は、一般的に図４に
示すような構成である。すなわち、ガス・レーザ管11は
支持枠12に固定され、放電路の両側に高反射ミラー13お
よび出力ミラー14が、各々ミラー固定板15,16 に固定さ
れている。そして、図示しない電源から付勢電力が供給
されるようになっている。動作において、付勢電力によ
ってレーザ媒質は励起され、光共振器を構成する高反射
ミラーと出力ミラーとで光を増幅する。光の一部は、出
力ミラーを通りレーザ光として取り出される。
示すような構成である。すなわち、ガス・レーザ管11は
支持枠12に固定され、放電路の両側に高反射ミラー13お
よび出力ミラー14が、各々ミラー固定板15,16 に固定さ
れている。そして、図示しない電源から付勢電力が供給
されるようになっている。動作において、付勢電力によ
ってレーザ媒質は励起され、光共振器を構成する高反射
ミラーと出力ミラーとで光を増幅する。光の一部は、出
力ミラーを通りレーザ光として取り出される。
【０００３】近来、レーザ光出力レベルの安定化、ある
いはレーザビームの放射方向の変動を抑制するため、出
力レーザ光の一部をビームスプリッタにより分岐する構
成のものが実用になっている。そのような装置において
は、分岐されたレーザ光は受光素子で光電変換され、対
応する出力電気信号が電源制御回路に伝送される。この
制御回路において放電電流の制御を行い、レーザ出力レ
ベルを一定に保つようになっている。
いはレーザビームの放射方向の変動を抑制するため、出
力レーザ光の一部をビームスプリッタにより分岐する構
成のものが実用になっている。そのような装置において
は、分岐されたレーザ光は受光素子で光電変換され、対
応する出力電気信号が電源制御回路に伝送される。この
制御回路において放電電流の制御を行い、レーザ出力レ
ベルを一定に保つようになっている。
【０００４】また、同図に点線15a で示すように、レー
ザ管から発生する熱等のために支持枠やミラー固定板が
変形して、各ミラーの傾きが変化してレーザ光出力レベ
ルの低下やレーザビーム放射方向の変動が生じる場合が
ある。このミラーの傾きを自動修正するため、少なくと
も一方のミラー固定板にミラー傾き調整用パルスモータ
を設け、ビームスプリッタにより分岐したレーザ光に対
応する出力電気信号でパルスモータを駆動制御して両ミ
ラーの平行度を制御するように構成した装置も知られて
いる。
ザ管から発生する熱等のために支持枠やミラー固定板が
変形して、各ミラーの傾きが変化してレーザ光出力レベ
ルの低下やレーザビーム放射方向の変動が生じる場合が
ある。このミラーの傾きを自動修正するため、少なくと
も一方のミラー固定板にミラー傾き調整用パルスモータ
を設け、ビームスプリッタにより分岐したレーザ光に対
応する出力電気信号でパルスモータを駆動制御して両ミ
ラーの平行度を制御するように構成した装置も知られて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザ管の
放電電流を一定に保った状態で、光共振器を構成する一
対のミラーの光学的平行度に対するレーザ光出力レベル
の変化は、図５に示すような関係になる。すなわち、両
ミラーが完全に光学的に平行な位置０から、ミラーの平
行度が劣化すると、レーザ光出力レベルは急激に低下す
る特質がある。したがって、ミラーの平行度が僅かでも
変化するとレーザ光出力レベルが大きく変化するので、
ミラー傾き調整機構の追随が困難になり易い。そのた
め、レーザ光出力レベルやレーザビームの放射方向の変
動が十分抑制できない不都合がある。あるいはまた、付
勢電力の変動によるレーザ光出力レベルの変動と、ミラ
ーの平行度の変動による出力レベルの変動とを区別して
帰還制御することが困難になってしまう。この発明は、
以上のような不都合を解消してレーザ光出力レベルを安
定化できるガス・レーザ管装置を提供することを目的と
する。
放電電流を一定に保った状態で、光共振器を構成する一
対のミラーの光学的平行度に対するレーザ光出力レベル
の変化は、図５に示すような関係になる。すなわち、両
ミラーが完全に光学的に平行な位置０から、ミラーの平
行度が劣化すると、レーザ光出力レベルは急激に低下す
る特質がある。したがって、ミラーの平行度が僅かでも
変化するとレーザ光出力レベルが大きく変化するので、
ミラー傾き調整機構の追随が困難になり易い。そのた
め、レーザ光出力レベルやレーザビームの放射方向の変
動が十分抑制できない不都合がある。あるいはまた、付
勢電力の変動によるレーザ光出力レベルの変動と、ミラ
ーの平行度の変動による出力レベルの変動とを区別して
帰還制御することが困難になってしまう。この発明は、
以上のような不都合を解消してレーザ光出力レベルを安
定化できるガス・レーザ管装置を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、レーザ光出
力を検出するとともにレーザ管の放電電流を検出し、こ
の放電電流に対応する信号をミラー傾き調整機構に伝
え、ミラーの傾きを僅かに変化させてもレーザ光出力が
あまり急激には変化せずレーザ管放電電流が最小となる
ようにミラーの傾きが自動調整されるように構成されて
なるガス・レーザ管装置である。
力を検出するとともにレーザ管の放電電流を検出し、こ
の放電電流に対応する信号をミラー傾き調整機構に伝
え、ミラーの傾きを僅かに変化させてもレーザ光出力が
あまり急激には変化せずレーザ管放電電流が最小となる
ようにミラーの傾きが自動調整されるように構成されて
なるガス・レーザ管装置である。
【０００７】
【作用】この発明によれば、ミラーの傾きがわずかに変
化してもレーザ光出力の変化が少なく、したがってミラ
ーの光学的平行度を最適状態に容易に追随制御でき、レ
ーザ光出力レベルを安定に維持することができる。
化してもレーザ光出力の変化が少なく、したがってミラ
ーの光学的平行度を最適状態に容易に追随制御でき、レ
ーザ光出力レベルを安定に維持することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照してその実施例を説明す
る。なお、同一部分は同一符号であらわす。
る。なお、同一部分は同一符号であらわす。
【０００９】図１に示すガス・レーザ管装置は、次の構
成を有する。レーザ・ヘッド部17には、レーザ管11が収
容され、そのガス放電路を挟んで一方に高反射ミラー1
3、他方に出力ミラー14が配置されている。高反射ミラ
ー13は、パルスモータのようなミラー傾き調整機構21,2
2 により水平方向および垂直方向の傾きが調整されるよ
うになっている。また、レーザ管11の陽極にトリガ回路
部23が接続されている。出力レーザ光路上に、ビームス
プリッタ24が配置され、分岐光路上に光電変換素子25が
設置されている。電源部18では、商用電源26が整流回路
部27およびヒータ・トランス28に接続され、その出力が
レーザ管11の陰極に接続されている。整流回路部27の出
力は、電源安定化回路部29に供給され、さらに電源制御
回路部30に供給されている。この電源制御回路部30の出
力は、レーザ・ヘッド部17のトリガ回路部23、およびミ
ラー傾き制御部19のＡ−Ｄコンバータ31に供給されてい
る。光電変換素子25の出力信号は、比較回路部32に供給
され、その出力が電源制御回路部30に供給されるように
なっている。Ａ−Ｄコンバータ31の出力は、中央制御部
33を経てミラー傾き制御機構を駆動する駆動制御部34に
供給されるようになっている。
成を有する。レーザ・ヘッド部17には、レーザ管11が収
容され、そのガス放電路を挟んで一方に高反射ミラー1
3、他方に出力ミラー14が配置されている。高反射ミラ
ー13は、パルスモータのようなミラー傾き調整機構21,2
2 により水平方向および垂直方向の傾きが調整されるよ
うになっている。また、レーザ管11の陽極にトリガ回路
部23が接続されている。出力レーザ光路上に、ビームス
プリッタ24が配置され、分岐光路上に光電変換素子25が
設置されている。電源部18では、商用電源26が整流回路
部27およびヒータ・トランス28に接続され、その出力が
レーザ管11の陰極に接続されている。整流回路部27の出
力は、電源安定化回路部29に供給され、さらに電源制御
回路部30に供給されている。この電源制御回路部30の出
力は、レーザ・ヘッド部17のトリガ回路部23、およびミ
ラー傾き制御部19のＡ−Ｄコンバータ31に供給されてい
る。光電変換素子25の出力信号は、比較回路部32に供給
され、その出力が電源制御回路部30に供給されるように
なっている。Ａ−Ｄコンバータ31の出力は、中央制御部
33を経てミラー傾き制御機構を駆動する駆動制御部34に
供給されるようになっている。
【００１０】さて、動作において、出力レーザ光の一部
がビームスプリッタ24で分岐され、光電変換素子25によ
って光電変換され、その出力電気信号が比較回路部32に
供給されて基準値信号と比較演算される。そしてその出
力信号が電源制御回路部30に伝えられる。この電源制御
回路部30では、レーザ光出力を安定に保つように放電電
流が制御されている。そこで、この電源制御回路部30で
は同時に放電電流がモニタされ、そのアナログ信号がミ
ラー傾き制御部19のＡ−Ｄコンバータ31に供給される。
そしてＡ−Ｄコンバータ31でディジタル信号に変換され
て中央制御部33に伝えられる。中央制御部33で基準値と
比較、演算処理され、その出力電気信号が駆動制御部34
に伝えられる。この駆動制御部34は、ミラー傾き調整機
構21,22を駆動する。これによりミラーの傾きが制御さ
れ、光共振器の光学的平行度が調整される。
がビームスプリッタ24で分岐され、光電変換素子25によ
って光電変換され、その出力電気信号が比較回路部32に
供給されて基準値信号と比較演算される。そしてその出
力信号が電源制御回路部30に伝えられる。この電源制御
回路部30では、レーザ光出力を安定に保つように放電電
流が制御されている。そこで、この電源制御回路部30で
は同時に放電電流がモニタされ、そのアナログ信号がミ
ラー傾き制御部19のＡ−Ｄコンバータ31に供給される。
そしてＡ−Ｄコンバータ31でディジタル信号に変換され
て中央制御部33に伝えられる。中央制御部33で基準値と
比較、演算処理され、その出力電気信号が駆動制御部34
に伝えられる。この駆動制御部34は、ミラー傾き調整機
構21,22を駆動する。これによりミラーの傾きが制御さ
れ、光共振器の光学的平行度が調整される。
【００１１】中央制御部33では、レーザ管の放電電流が
最低となるミラーの傾き位置を探し出すように駆動制御
部34に制御信号を供給する。その理由は、図２に示すよ
うに、電源制御回路部30でレーザ光出力が一定となるよ
うに放電電流が制御されているため、両ミラーに傾きが
ない位置０で放電電流が最小となり、ミラーの傾きがあ
る程度の範囲Ａではレーザ光出力レベルがほぼ一定とな
る特質を有するからである。したがって、ミラーの平行
度を放電電流が最低となる位置に一旦設定すれば、わず
かなミラーの傾きが生じてもレーザ光出力レベルは無視
できる程度に抑制することができる。このように、レー
ザ光出力がほぼ一定となるように放電電流が制御されて
いるため、ミラーの傾きの変化に対するレーザ光出力の
変動が鋭敏過ぎることがないため、ミラー傾き調整の追
随はより確実、容易である。
最低となるミラーの傾き位置を探し出すように駆動制御
部34に制御信号を供給する。その理由は、図２に示すよ
うに、電源制御回路部30でレーザ光出力が一定となるよ
うに放電電流が制御されているため、両ミラーに傾きが
ない位置０で放電電流が最小となり、ミラーの傾きがあ
る程度の範囲Ａではレーザ光出力レベルがほぼ一定とな
る特質を有するからである。したがって、ミラーの平行
度を放電電流が最低となる位置に一旦設定すれば、わず
かなミラーの傾きが生じてもレーザ光出力レベルは無視
できる程度に抑制することができる。このように、レー
ザ光出力がほぼ一定となるように放電電流が制御されて
いるため、ミラーの傾きの変化に対するレーザ光出力の
変動が鋭敏過ぎることがないため、ミラー傾き調整の追
随はより確実、容易である。
【００１２】図３に示す実施例は、光電変換素子25によ
って光電変換された出力電気信号を電源部の比較回路部
32に供給するとともに、同時にミラー傾き制御部19のＡ
−Ｄコンバータ31を経て中央制御部33に供給するように
構成したものである。それによって、中央制御部33で放
電電流の大小の比較およびレーザ光出力レベルの大小の
比較をともに行ってミラーの傾きを制御するようになっ
ている。
って光電変換された出力電気信号を電源部の比較回路部
32に供給するとともに、同時にミラー傾き制御部19のＡ
−Ｄコンバータ31を経て中央制御部33に供給するように
構成したものである。それによって、中央制御部33で放
電電流の大小の比較およびレーザ光出力レベルの大小の
比較をともに行ってミラーの傾きを制御するようになっ
ている。
【００１３】こうして、レーザ光出力を検出するととも
にレーザ管の放電電流を検出し、この放電電流に対応す
る信号をミラー傾き調整機構に伝え、ミラーの傾きを変
化させてもレーザ光出力がほぼ一定となる範囲でレーザ
管放電電流が最小となるようにミラーの傾きが自動調整
されるように構成されている。
にレーザ管の放電電流を検出し、この放電電流に対応す
る信号をミラー傾き調整機構に伝え、ミラーの傾きを変
化させてもレーザ光出力がほぼ一定となる範囲でレーザ
管放電電流が最小となるようにミラーの傾きが自動調整
されるように構成されている。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
ミラーの傾きがわずか変化してもレーザ光出力の変化が
少なく、したがってミラーの光学的平行度を最適状態に
容易に追随制御でき、レーザ光出力レベルを安定に維持
することができる。
ミラーの傾きがわずか変化してもレーザ光出力の変化が
少なく、したがってミラーの光学的平行度を最適状態に
容易に追随制御でき、レーザ光出力レベルを安定に維持
することができる。
【図１】この発明の実施例を示すブロック図。
【図２】その動作特性図。
【図３】この発明の他の実施例を示すブロック図。
【図４】一般的な装置を示す側面図。
【図５】そのミラーの傾きとレーザ出力との関係を示す
動作特性図。
動作特性図。
11…ガス・レーザ管、13…高反射ミラー、14…出力ミラ
ー、17…レーザ・ヘッド部、18…電源部、19…ミラー傾
き制御部、21,22 …ミラー傾き制御機構、25…光電変換
素子。
ー、17…レーザ・ヘッド部、18…電源部、19…ミラー傾
き制御部、21,22 …ミラー傾き制御機構、25…光電変換
素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ガス・レーザ管の放電路を挟んで一方に
配置された高反射ミラー及び他方に配置された出力側ミ
ラー、これらミラーのうち少なくとも一方のミラーの傾
きを調整するミラー傾き調整機構、前記レーザ管に付勢
電力を供給する電源装置を備え、上記ガス・レーザ管の
レーザ光出力を検出してミラー傾き調整機構を制御する
構成のガス・レーザ管装置において、 上記レーザ光出力を検出するとともにレーザ管の放電電
流を検出し、該放電電流に対応する信号を上記ミラー傾
き調整機構に伝え、ミラーの傾きを変化させても前記レ
ーザ光出力がほぼ一定となる範囲で前記レーザ管放電電
流が最小となるようにミラーの傾きが自動調整されるよ
うに構成されてなることを特徴とするガス・レーザ管装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17376391A JPH0521885A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | ガス・レーザ管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17376391A JPH0521885A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | ガス・レーザ管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521885A true JPH0521885A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15966697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17376391A Pending JPH0521885A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | ガス・レーザ管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521885A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6377601B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-04-23 | Nec Corporation | Ion laser apparatus and mirror angle adjusting method therefor |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP17376391A patent/JPH0521885A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6377601B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-04-23 | Nec Corporation | Ion laser apparatus and mirror angle adjusting method therefor |
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