JPH0521984Y2 - - Google Patents
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- JPH0521984Y2 JPH0521984Y2 JP13672587U JP13672587U JPH0521984Y2 JP H0521984 Y2 JPH0521984 Y2 JP H0521984Y2 JP 13672587 U JP13672587 U JP 13672587U JP 13672587 U JP13672587 U JP 13672587U JP H0521984 Y2 JPH0521984 Y2 JP H0521984Y2
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- electromagnet
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- phase
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- sinθ
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- Linear Motors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、誘導子突起をもつ固定子に対向する
可動子が、電磁石の磁極表面に永久磁石（PM）
を貼付したPM形４相サーフエイスモータに関す
る。
可動子が、電磁石の磁極表面に永久磁石（PM）
を貼付したPM形４相サーフエイスモータに関す
る。
半導体製造設備に用いられるXYステージ、
OA機器、周辺機器のXYプロツタ、スキヤナー、
自動製図機などに、サーフエイスパルスモータの
需要が増加している。
OA機器、周辺機器のXYプロツタ、スキヤナー、
自動製図機などに、サーフエイスパルスモータの
需要が増加している。
たとえば可変磁気抵抗（Variable reluctance）
形、ハイブリツド（HB）形リニアパルスモータ
をＸ軸とＹ軸に配置したザイネテイツクス
（Xeinetix）社の面パルスモータが実用されてい
る。
形、ハイブリツド（HB）形リニアパルスモータ
をＸ軸とＹ軸に配置したザイネテイツクス
（Xeinetix）社の面パルスモータが実用されてい
る。
それらの一つには、２つの部材間の単一の軸に
沿つた相対運動を制御するための装置（特公昭49
−41602号）があり、これは可変磁気抵抗形３相
リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸に２台で
計４台より成る装置である。二つには、特定の１
つの軸に沿つた出力部材の移動を制御する装置
（特公昭52−7962号）があり、それはハイブリツ
ド形２相リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸
に２台と計４台より成る装置である。さらに、本
出願人が先に提案した先行例（特願昭61−122431
号（特開昭62−89467号）・発明の名称サーフエイ
スパルスモータ）がある。この先行例における第
１発明は、 固定子は、平板状の磁性体で、表面には正方格
子が切つてあり、この格子の交差点には磁性体の
突起状の歯を設ける手段と、 可動子は、５相の集中巻電磁石より成り、各電
磁石の固定子に相対する磁極表面には、固定子と
同じピツチで磁性体の突起状の歯をそなえる手段
と、 各相電磁石の相対位置は、この正方格子に対
し、角度tan-1（1/2）だけ回転したＸ，Ｙの直交
座標系において、第１相に対し、それぞれ、第２
相は＋Ｘ方向、第３相は＋Ｙ方向、第４相は−Ｘ
方向、第５相は−Ｙ方向にみな格子ピツチの１／
√５だけ相違が与えられる手段と、 可動子は固定子に対し、一定の空隙をもつて対
向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向に移動できる手段
と、を有することを特徴とするサーフエイスパル
スモータ。
沿つた相対運動を制御するための装置（特公昭49
−41602号）があり、これは可変磁気抵抗形３相
リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸に２台で
計４台より成る装置である。二つには、特定の１
つの軸に沿つた出力部材の移動を制御する装置
（特公昭52−7962号）があり、それはハイブリツ
ド形２相リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸
に２台と計４台より成る装置である。さらに、本
出願人が先に提案した先行例（特願昭61−122431
号（特開昭62−89467号）・発明の名称サーフエイ
スパルスモータ）がある。この先行例における第
１発明は、 固定子は、平板状の磁性体で、表面には正方格
子が切つてあり、この格子の交差点には磁性体の
突起状の歯を設ける手段と、 可動子は、５相の集中巻電磁石より成り、各電
磁石の固定子に相対する磁極表面には、固定子と
同じピツチで磁性体の突起状の歯をそなえる手段
と、 各相電磁石の相対位置は、この正方格子に対
し、角度tan-1（1/2）だけ回転したＸ，Ｙの直交
座標系において、第１相に対し、それぞれ、第２
相は＋Ｘ方向、第３相は＋Ｙ方向、第４相は−Ｘ
方向、第５相は−Ｙ方向にみな格子ピツチの１／
√５だけ相違が与えられる手段と、 可動子は固定子に対し、一定の空隙をもつて対
向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向に移動できる手段
と、を有することを特徴とするサーフエイスパル
スモータ。
であり、さらにその第２発明は、
固定子は、平板状の磁性体で、表面には三角格
子が切つてあり、この格子の交差点には磁性体の
突起状の歯を設ける手段と、 可動子は、７相の集中巻電磁石より成り、各電
磁石の固定子に相対する磁極表面には、固定子と
同じピツチで磁性体の突起状の歯をそなえる手段
と、 各相電磁石の相対位置は、この三角格子に対
し、角度tan-1（√３／５）だけ回転したＸ，Ｙ，
Ｚの斜交座標系において、第１相に対し、それぞ
れ、第２相は＋Ｘ方向、第３相は＋Ｙ方向、第４
相は＋Ｚ方向、第５相は−Ｘ方向、第６相は−Ｙ
方向、第７相は−Ｚ方向にみな格子ピツチの１／
√７だけ相違が与えられる手段と、 可動子は固定子に対し、一定の空隙をもつて対
向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動でき
る手段と、 を有することを特徴とするサーフエイスパルスモ
ータ。
子が切つてあり、この格子の交差点には磁性体の
突起状の歯を設ける手段と、 可動子は、７相の集中巻電磁石より成り、各電
磁石の固定子に相対する磁極表面には、固定子と
同じピツチで磁性体の突起状の歯をそなえる手段
と、 各相電磁石の相対位置は、この三角格子に対
し、角度tan-1（√３／５）だけ回転したＸ，Ｙ，
Ｚの斜交座標系において、第１相に対し、それぞ
れ、第２相は＋Ｘ方向、第３相は＋Ｙ方向、第４
相は＋Ｚ方向、第５相は−Ｘ方向、第６相は−Ｙ
方向、第７相は−Ｚ方向にみな格子ピツチの１／
√７だけ相違が与えられる手段と、 可動子は固定子に対し、一定の空隙をもつて対
向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動でき
る手段と、 を有することを特徴とするサーフエイスパルスモ
ータ。
である。
ところが、従来例の面パルスモータや、Ｘ軸、
Ｙ軸にリニアパルスモータを搭載したヒユーレツ
トパツカード（商社名）のXYプロツタのよう
に、構造が複雑で高価なものしかなく、あまり用
いられていない。
Ｙ軸にリニアパルスモータを搭載したヒユーレツ
トパツカード（商社名）のXYプロツタのよう
に、構造が複雑で高価なものしかなく、あまり用
いられていない。
また、先行例における指令電流は、cosθx・
cosθyのように正弦波の積に比例する形となつて
いて、Ｘ方向とＹ方向の分離ができず、演算も
やゝ複雑であり、Ｘ，Ｙの干渉から制御が簡単で
はないというきらいがあつた。
cosθyのように正弦波の積に比例する形となつて
いて、Ｘ方向とＹ方向の分離ができず、演算も
やゝ複雑であり、Ｘ，Ｙの干渉から制御が簡単で
はないというきらいがあつた。
ここにおいて本考案は、従来例ならびに先行例
の難点を克服し、互いに直交する方向の推力を、
独立に制御できる励磁モードで電流を指令し、推
力、速度、位置制御を容易にしたPM形４相サー
フエイスモータを提供することを、その目的とす
る。
の難点を克服し、互いに直交する方向の推力を、
独立に制御できる励磁モードで電流を指令し、推
力、速度、位置制御を容易にしたPM形４相サー
フエイスモータを提供することを、その目的とす
る。
本考案は、
固定子が、磁性体からなる平板で、可動子に対
向する表面に一定のピツチで正方形の格子状に誘
導子歯をなす複数個の突起を有し、 可動子が、４個の電磁石より成り、各電磁石の
鉄心の固定子対向面には、格子状多極に着磁され
た永久磁石の薄板が貼付され、 可動子は永久磁石の磁極が固定子の誘導子歯に
対向し、一定の空隙を介して平面上の運動を自由
に行なえるように支持され、 可動子永久磁石磁極と固定子誘導子歯の相対位
置は、第１の電磁石EP11の永久磁石のＮ極が誘
導子歯の中心に一致したとき、第１の電磁石の左
側に隣接する第２の電磁石EP21の永久磁石はＮ
極とＳ極の距離をなす極ピツチの1/2だけＸ方向
にずれた位置になり、第１の電磁石の下側に隣接
する第３の電磁石EP12は極ピツチの1/2だけＹ方
向にずれた位置になり、第１の電磁石から対角線
上に隣接する第４の電磁石EP22は極ピツチの1/2
だけＸ方向およびＹ方向にそれぞれずれた位置に
なるように、第１ないし第４の電磁石が配置され
るPM形４相サーフエイスモータである。
向する表面に一定のピツチで正方形の格子状に誘
導子歯をなす複数個の突起を有し、 可動子が、４個の電磁石より成り、各電磁石の
鉄心の固定子対向面には、格子状多極に着磁され
た永久磁石の薄板が貼付され、 可動子は永久磁石の磁極が固定子の誘導子歯に
対向し、一定の空隙を介して平面上の運動を自由
に行なえるように支持され、 可動子永久磁石磁極と固定子誘導子歯の相対位
置は、第１の電磁石EP11の永久磁石のＮ極が誘
導子歯の中心に一致したとき、第１の電磁石の左
側に隣接する第２の電磁石EP21の永久磁石はＮ
極とＳ極の距離をなす極ピツチの1/2だけＸ方向
にずれた位置になり、第１の電磁石の下側に隣接
する第３の電磁石EP12は極ピツチの1/2だけＹ方
向にずれた位置になり、第１の電磁石から対角線
上に隣接する第４の電磁石EP22は極ピツチの1/2
だけＸ方向およびＹ方向にそれぞれずれた位置に
なるように、第１ないし第４の電磁石が配置され
るPM形４相サーフエイスモータである。
４つの電磁石EP11，EP21，EP12，EP22、に流
す電流i11，i21，i12，i22を、 i11∝cosθ〓＋cosθ〓 i21∝sinθ〓−sinθ〓 i12∝sinθ〓＋sinθ〓 i22∝cosθ〓−cosθ〓 のように指令電流の位相が正弦波の和になり演算
が容易で精度が高く、直交するα，βの二方向独
立に制御可能となり、かつ固定子誘導子歯の格子
ピツチを基準に位置決めされる。
す電流i11，i21，i12，i22を、 i11∝cosθ〓＋cosθ〓 i21∝sinθ〓−sinθ〓 i12∝sinθ〓＋sinθ〓 i22∝cosθ〓−cosθ〓 のように指令電流の位相が正弦波の和になり演算
が容易で精度が高く、直交するα，βの二方向独
立に制御可能となり、かつ固定子誘導子歯の格子
ピツチを基準に位置決めされる。
なお、指令電機子電流の位相マトリツクスにお
ける、Ｘ方向の位相角をθx，Ｙ方向の位相角θyと
したとき、それを45°回転したのがθ〓，θ〓である。
ける、Ｘ方向の位相角をθx，Ｙ方向の位相角θyと
したとき、それを45°回転したのがθ〓，θ〓である。
本考案の一実施例における外観を表わす斜視図
（電磁石を省略している）を第１図ａに、示す。
第１図ｂは可動子を形成する１つの素体電磁石の
斜視図である。電磁石EP11（他の電磁石も同様で
ある）は、Ｅ形コアを積層した鉄心３11の中央脚
にコイル４11が集中巻きされ、かつ鉄心３11の固
定子１への対向面に格子状多極に着磁された永久
磁石５11が貼付されている。
（電磁石を省略している）を第１図ａに、示す。
第１図ｂは可動子を形成する１つの素体電磁石の
斜視図である。電磁石EP11（他の電磁石も同様で
ある）は、Ｅ形コアを積層した鉄心３11の中央脚
にコイル４11が集中巻きされ、かつ鉄心３11の固
定子１への対向面に格子状多極に着磁された永久
磁石５11が貼付されている。
第２図は、空隙を介して対向する固定子と可動
子の平面図であり、電機子電磁石を実線で表わし
誘導子歯を点線で示す。
子の平面図であり、電機子電磁石を実線で表わし
誘導子歯を点線で示す。
そして第３図は、固定子の座標系Ｘ−Ｙと可動
子の座標系α−βとの関係図である。
子の座標系α−βとの関係図である。
固定子１は、正方形の格子状に、磁性体の突起
（以下、誘導子歯と称す）１０１，１０２，……，
１７１，……を有する磁性体の平板である。
（以下、誘導子歯と称す）１０１，１０２，……，
１７１，……を有する磁性体の平板である。
可動子２は４個の電磁石EP11，EP12，EP21，
EP22より成り、各電磁石の素体EP11のコイル４11
により励磁される鉄心３11の切断面には、第２図
で実線で表示されるように、格子状多極に着磁さ
れた永久磁石５11の薄板が貼付されて、全体の永
久磁石５を形づくる。
EP22より成り、各電磁石の素体EP11のコイル４11
により励磁される鉄心３11の切断面には、第２図
で実線で表示されるように、格子状多極に着磁さ
れた永久磁石５11の薄板が貼付されて、全体の永
久磁石５を形づくる。
可動子２は固定子１に対し、永久磁石５の磁極
（Ｎ，Ｓ，……）が誘導子歯１０１，……に対向
し、一定のギヤツプをおいて支持され、平面上の
運動を自由に行なえるように構成されている。
（Ｎ，Ｓ，……）が誘導子歯１０１，……に対向
し、一定のギヤツプをおいて支持され、平面上の
運動を自由に行なえるように構成されている。
電磁石磁極の誘導子歯に対する相対位置は、電
磁石EP11のＮ極が誘導子歯の中心に一致した位
置にあるとき、電磁石EP21はＸ方向に極ピツチ
（Ｎ極とＳ極の距離）の1/2ずれた位置になり、電
磁石EP12はＹ方向に極ピツチの1/2ずれた位置、
電磁石EP22はＸ方向およびＹ方向にそれぞれ極
ピツチの1/2ずれた位置になるように、４つの電
磁石EP11，EP21，EP12，EP22が配置されている。
磁石EP11のＮ極が誘導子歯の中心に一致した位
置にあるとき、電磁石EP21はＸ方向に極ピツチ
（Ｎ極とＳ極の距離）の1/2ずれた位置になり、電
磁石EP12はＹ方向に極ピツチの1/2ずれた位置、
電磁石EP22はＸ方向およびＹ方向にそれぞれ極
ピツチの1/2ずれた位置になるように、４つの電
磁石EP11，EP21，EP12，EP22が配置されている。
この状態図が第２図に示される。
そこで、この第２図のような誘導子歯Ｔに対す
る各電機子（可動子２）電磁石EPの永久磁石５
磁極の相対位置において、電磁石EP11のコイル
４11を励磁し、誘導子歯がＳ極になるようにすれ
ば、永久磁石５のＮ極と誘導子歯の誘導Ｓ極が吸
引し合うので、この位置で可動子２は平衡する。
る各電機子（可動子２）電磁石EPの永久磁石５
磁極の相対位置において、電磁石EP11のコイル
４11を励磁し、誘導子歯がＳ極になるようにすれ
ば、永久磁石５のＮ極と誘導子歯の誘導Ｓ極が吸
引し合うので、この位置で可動子２は平衡する。
電磁石EP11の電流i11を切つて、電磁石EP21の
電流i21を流すと、可動子２は右（Ｘ）方向に1/2
磁極ピツチ動いて止る。
電流i21を流すと、可動子２は右（Ｘ）方向に1/2
磁極ピツチ動いて止る。
または、電磁石EP12の電流を流すと、可動子
は下方（−Ｙ）方向に1/2磁極ピツチ動く。
は下方（−Ｙ）方向に1/2磁極ピツチ動く。
このようにして、電磁石EPjk（ｊ，ｋは１ある
いは２）を次々に切換て行けば、どの方向にも推
力を出し、可動子２は固定子１の上を移動するこ
とができる。
いは２）を次々に切換て行けば、どの方向にも推
力を出し、可動子２は固定子１の上を移動するこ
とができる。
可動子２に発生する推力を表わす式は、次のよ
うにして求めることができる。
うにして求めることができる。
電機子電磁石EPjkの起磁力がつくる磁束Baは、
誘導子歯Ｔによつて変調を受け、次のように分布
する。
誘導子歯Ｔによつて変調を受け、次のように分布
する。
Ba＝Bn（１＋K2cos2π／λｘ・cos2π／λｙ）
……（１式）
ただし、
Bnは電機子電磁石の起磁力がつくる最大磁束
振幅、 λは極対ピツチ、 K2は磁界変調率 ｘ，ｙはＸ−Ｙ座標の座標値（長さ）である。
振幅、 λは極対ピツチ、 K2は磁界変調率 ｘ，ｙはＸ−Ｙ座標の座標値（長さ）である。
永久磁石５の磁極のつくる起磁力について、磁
化電流ifで表わすと、 if＝2HcLn ……（２式） となる。
化電流ifで表わすと、 if＝2HcLn ……（２式） となる。
ここに、Hcは永久磁石５の保磁力、Lnは厚さ
である。
である。
磁化電流ifは一辺λ／２（第２図図示）の正方
形のループを流れる。
形のループを流れる。
このループの囲む電機子電磁石の起磁力Baに
よる全磁束をφとすると、推力Fx，Fyは Fx＝ifdφ／dx Fy＝ifdφ／dy となる。
よる全磁束をφとすると、推力Fx，Fyは Fx＝ifdφ／dx Fy＝ifdφ／dy となる。
そこで、ifφ＝Ｕを推力ポテンシアルと考える
と、 Ｕ＝4ifBnK2（λ／2π）2cos2π／λｘ・cos2π／λ
ｙ ……（３式） が得られる。
と、 Ｕ＝4ifBnK2（λ／2π）2cos2π／λｘ・cos2π／λ
ｙ ……（３式） が得られる。
各電磁石による起磁力BnをBjkで表わし、その
ポテンシアルをそれぞれUjkで示すことにする。
ポテンシアルをそれぞれUjkで示すことにする。
ここで、起磁力Bjkを以下のように与える。
B11＝Bncosθx・cosθy
B21＝Bnsinθx・cosθy
B12＝Bncosθx・sinθy
B22＝Bnsinθx・cosθy ……（４式）
このときのポテンシヤルＵは
Ｕ＝U11＋U21＋U12＋U22
すなわち
Ｕ＝4ifBmK2（λ／2π）2cos（θx−2π／λｘ）cos（
θy−2π／λ ｙ） ……（５式） となる。
θy−2π／λ ｙ） ……（５式） となる。
指令電機子電流の位相マトリツクスにおけるＸ
方向の位相角θx，Ｙ方向の位相角をθyとし、それ
らθx，θyを指令すると、その位置まで可動子２が
動いて平衡することは明らかである。
方向の位相角θx，Ｙ方向の位相角をθyとし、それ
らθx，θyを指令すると、その位置まで可動子２が
動いて平衡することは明らかである。
ただし、（４式）で表わすような磁束をつくる
電機子電流ijkをつくつて指令しなければならな
い。
電機子電流ijkをつくつて指令しなければならな
い。
電機子電流の位相マトリツクスは（４式）より
cosθx・cosθy，sinθx・cosθy
cosθx・sinθy，sinθx・sinθy ……（６式）
と表わせる。
この固定子１の座標（θx，θy）を次の可動子２
の座標（θ〓，θ〓）に座標変換する。
の座標（θ〓，θ〓）に座標変換する。
θx＋θy＝θ〓
θx−θy＝−θ〓｝ ……（７式）
そうすると位相マトリツクスは
１／２cosθ〓＋COSθ〓，
sinθ〓−sinθ〓，sinθ〓＋sinθ〓
cosθ〓−cosθ〓 ……（８式）
になる。
（θ〓，θ〓）の座標は（θx，θy）の座標を45°回
転
し（第３図）、寸法を１／√２倍したもので、歯
ピツチ（極対ピツチ）はλ／√２になつている
（第２図）。
転
し（第３図）、寸法を１／√２倍したもので、歯
ピツチ（極対ピツチ）はλ／√２になつている
（第２図）。
これは永久磁石５の磁極の極対ピツチλ／２で
なく、誘導子歯Ｔ（１０１，１０２，……）の格
子ピツチλ／√２を基準にした位置決めを行なう
ことになる。
なく、誘導子歯Ｔ（１０１，１０２，……）の格
子ピツチλ／√２を基準にした位置決めを行なう
ことになる。
（８式）でθ〓とθ〓から指令電流ijkを求める方法
は、（６式）のように正弦波の積ではなく、和の
形になつているので、演算が容易である。
は、（６式）のように正弦波の積ではなく、和の
形になつているので、演算が容易である。
また、（cosθ〓，sinθ〓），（cosθ〓，sinθ〓）
に分け
てみると、（８式）は cosθ〓 ００ cosθ〓＋０ sinθ〓sinθ〓 ０＋cosθ〓 ００ −cosθ〓＋０ sinθ〓−sinθ〓 ０ と書ける。これら４つの電流成分は互いに非干渉
に流れているので、（cosθ〓，sinθ〓）でα方向のリ
ニアモータ、（cosθ〓，sinθ〓）でβ方向のリニアモ
ータになつている。
に分け
てみると、（８式）は cosθ〓 ００ cosθ〓＋０ sinθ〓sinθ〓 ０＋cosθ〓 ００ −cosθ〓＋０ sinθ〓−sinθ〓 ０ と書ける。これら４つの電流成分は互いに非干渉
に流れているので、（cosθ〓，sinθ〓）でα方向のリ
ニアモータ、（cosθ〓，sinθ〓）でβ方向のリニアモ
ータになつている。
次に、本考案の他の実施例として、各電磁石の
巻線にcosθ〓，sinθ〓，cosθ〓，sinθ〓の中から二
つず
つ加算して、演算増幅器により指令電流位相をつ
くる手段がある。
巻線にcosθ〓，sinθ〓，cosθ〓，sinθ〓の中から二
つず
つ加算して、演算増幅器により指令電流位相をつ
くる手段がある。
さらに、本考案の別の実施例として、電機子電
磁石巻線wjkを以下のように接続し、各位相信号
を分離独立させる手段、すなわち、 １／2w11＋１／2w22→cosθ〓 電磁石EP11の巻線w11の1/2と電磁石EP22の巻
線w22の1/2を同相直列に接続し、cosθ〓をうる。
磁石巻線wjkを以下のように接続し、各位相信号
を分離独立させる手段、すなわち、 １／2w11＋１／2w22→cosθ〓 電磁石EP11の巻線w11の1/2と電磁石EP22の巻
線w22の1/2を同相直列に接続し、cosθ〓をうる。
以下、同様に、
１／2w21＋１／2w12→sinθ〓
１／2w11−１／2w22→cosθ〓
ここに−1/2w22は巻線の1/2を逆相直列に接続
することであり、 １／2w12−１／2w21→sinθ〓 である。
することであり、 １／2w12−１／2w21→sinθ〓 である。
かくして本考案によれば、次に掲げる数多くの
格段の効果を奏することから、経済性のすぐれた
信頼性の著しく向上したPM形４相サーフエイス
モータがえられる。
格段の効果を奏することから、経済性のすぐれた
信頼性の著しく向上したPM形４相サーフエイス
モータがえられる。
すなわち、
指令電流の位相が正弦波の和になつているので
演算が容易になり、精度も高くできる。
演算が容易になり、精度も高くできる。
直交する二つの方向α，βが独立に制御でき
る。
る。
固定子歯の格子ピツチを基準に位置決めできる
ので、精度が出し易い。
ので、精度が出し易い。
α方向もβ方向も各電磁石の巻線の位置、電流
の配分が対称的になつているので、位置決め精度
が高くなる。
の配分が対称的になつているので、位置決め精度
が高くなる。
θ〓またはθ〓の位相の励磁モードを零にすること
により、その方向だけの運動を自由にした直線拘
束ができる。
により、その方向だけの運動を自由にした直線拘
束ができる。
第１図は本考案の一実施例の概要的な斜視図、
第２図は固定子突起ならびに可動子磁極の形成す
る格子座標を表わす対向平面図、第３図は固定子
座標系と可動子座標系の関係図である。 １……固定子、１０１，１０２，……、１７１
……固定子突起（誘導子歯）、２……可動子、３1
１……鉄心、４11……コイル、５11……永久磁石、
５……全体の永久磁石。
第２図は固定子突起ならびに可動子磁極の形成す
る格子座標を表わす対向平面図、第３図は固定子
座標系と可動子座標系の関係図である。 １……固定子、１０１，１０２，……、１７１
……固定子突起（誘導子歯）、２……可動子、３1
１……鉄心、４11……コイル、５11……永久磁石、
５……全体の永久磁石。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 固定子は、磁性体からなる平板で、可動子に
対向する表面に一定のピツチで正方形の格子状
に誘導子歯をなす複数個の突起を有し、 可動子は、４個の電磁石より成り、各電磁石
の鉄心の固定子対向面には、格子状多極に着磁
された永久磁石の薄板が貼付され、 可動子は永久磁石の磁極が固定子の誘導子歯
に対向し、一定の空隙を介して平面上の運動を
自由に行なえるように支持され、 可動子永久磁石磁極と固定子誘導子歯の相対
位置は、第１の電磁石EP11の永久磁石のＮ極
が誘導子歯の中心に一致したとき、第１の電磁
石の左側に隣接する第２の電磁石EP21の永久
磁石はＮ極とＳ極の距離をなす極ピツチの1/2
だけＸ方向にずれた位置になり、第１の電磁石
の下側に隣接する第３の電磁石EP12は極ピツ
チの1/2だけＹ方向にずれた位置になり、第１
の電磁石から対角線上に隣接する第４の電磁石
EP22は極ピツチの1/2だけＸ方向およびＹ方向
にそれぞれずれた位置になるように、第１ない
し第４の電磁石が配置される ことを特徴とするPM形４相サーフエイスモー
タ。 ２ 同一巻数を巻回した第１ないし第４の電磁石
のコイルに流す電流i11，i21，i12，i22を、 i11∝cosθ〓＋cosθ〓 i21∝sinθ〓−sinθ〓 i12∝sinθ〓＋sinθ〓 i22∝cosθ〓−cosθ〓 ただし、θ〓，θ〓は指令位置の位相角 のようにθ〓，θ〓の位相をもつ正弦波の合成によ
り、指令・制御することにより、推力、運動、
位置制御を行なわせる 実用新案登録請求の範囲第１項記載のPM形
４相サーフエイスモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13672587U JPH0521984Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13672587U JPH0521984Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6440281U JPS6440281U (ja) | 1989-03-10 |
| JPH0521984Y2 true JPH0521984Y2 (ja) | 1993-06-04 |
Family
ID=31397500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13672587U Expired - Lifetime JPH0521984Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521984Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-07 JP JP13672587U patent/JPH0521984Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6440281U (ja) | 1989-03-10 |
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