JPH05223997A - 照射窓 - Google Patents
照射窓Info
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- JPH05223997A JPH05223997A JP5605492A JP5605492A JPH05223997A JP H05223997 A JPH05223997 A JP H05223997A JP 5605492 A JP5605492 A JP 5605492A JP 5605492 A JP5605492 A JP 5605492A JP H05223997 A JPH05223997 A JP H05223997A
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- JP
- Japan
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- window
- foil
- flange
- irradiation
- window foil
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 25
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窓箔面におけるシワの発生を防止すること。
【構成】 窓箔１は押さえ板４によってウインドウフラ
ンジ２に密着して取り付けられる。電子線発生部が真空
状態にある電子線照射装置の動作時、窓箔は、ウインド
ウフランジに多数設けられた水冷桟６に接触し冷却され
る。水冷桟の窓箔接触端面は、ウインドウフランジの窓
箔取付け平面より距離ｄだけ照射窓の内側方向に後退し
た位置にある。この距離ｄの段差部分で、真空引き時の
窓箔の伸び、窓箔取付け時のタルミが吸収され、真空引
き時に窓箔にシワが発生しない。
ンジ２に密着して取り付けられる。電子線発生部が真空
状態にある電子線照射装置の動作時、窓箔は、ウインド
ウフランジに多数設けられた水冷桟６に接触し冷却され
る。水冷桟の窓箔接触端面は、ウインドウフランジの窓
箔取付け平面より距離ｄだけ照射窓の内側方向に後退し
た位置にある。この距離ｄの段差部分で、真空引き時の
窓箔の伸び、窓箔取付け時のタルミが吸収され、真空引
き時に窓箔にシワが発生しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウインドウフランジに
設けた水冷桟により窓箔を冷却する照射窓に関する。
設けた水冷桟により窓箔を冷却する照射窓に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子線発生部から電子線を照射領域に取
り出す場合、電子線発生部内は真空状態にあり、照射領
域は大気或いは不活性ガスの雰囲気下にあるから、電子
線取り出し部に、電子線を透過させることができる金属
箔を取り付けて電子線発生部内を真空状態に保ってい
る。図３ないし図５は、かかる金属箔が取り付けられる
照射窓の一例の構成図であり、図３は照射領域側から見
た正面図、図４は図３のＡ−Ａ線での断面図、図５は図
３のＢ−Ｂ線での断面図である。電子線取り出し部に設
けられ、金属箔即ち窓箔１を取り付けるウインドウフラ
ンジ２にはＯリング３を有する真空シール部が形成され
ており、ウインドウフランジ２に箔押さえ板４をボルト
５で固定することにより、窓箔１はウインドウフランジ
２に密着して取り付けられている。
り出す場合、電子線発生部内は真空状態にあり、照射領
域は大気或いは不活性ガスの雰囲気下にあるから、電子
線取り出し部に、電子線を透過させることができる金属
箔を取り付けて電子線発生部内を真空状態に保ってい
る。図３ないし図５は、かかる金属箔が取り付けられる
照射窓の一例の構成図であり、図３は照射領域側から見
た正面図、図４は図３のＡ−Ａ線での断面図、図５は図
３のＢ−Ｂ線での断面図である。電子線取り出し部に設
けられ、金属箔即ち窓箔１を取り付けるウインドウフラ
ンジ２にはＯリング３を有する真空シール部が形成され
ており、ウインドウフランジ２に箔押さえ板４をボルト
５で固定することにより、窓箔１はウインドウフランジ
２に密着して取り付けられている。
【０００３】電子線は窓箔１を透過するときエネルギの
一部が失われ、窓箔は加熱される。この加熱による窓箔
の損傷を防止するために、ウインドウフランジ２に多数
の水冷桟６が設けられている。ウインドウフランジ２の
内部に形成された冷媒路７に冷却水を流すことにより、
水冷桟６は冷却される。電子線発生部内を真空にする
と、窓箔１は水冷桟６に接触し、冷却される。
一部が失われ、窓箔は加熱される。この加熱による窓箔
の損傷を防止するために、ウインドウフランジ２に多数
の水冷桟６が設けられている。ウインドウフランジ２の
内部に形成された冷媒路７に冷却水を流すことにより、
水冷桟６は冷却される。電子線発生部内を真空にする
と、窓箔１は水冷桟６に接触し、冷却される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、窓箔１を
ウインドウフランジ２に取付け、真空引きを行ったとき
に、窓箔の伸びや窓箔取付け時のタルミ（弛み）によ
り、窓箔面に図３に示すようにシワ（皺）８が発生する
ことがある。このシワ８の部分は、図５に示すように水
冷桟６と接触しないから、窓箔面におけるシワの発生は
窓箔の寿命の低減につながるものとなる。
ウインドウフランジ２に取付け、真空引きを行ったとき
に、窓箔の伸びや窓箔取付け時のタルミ（弛み）によ
り、窓箔面に図３に示すようにシワ（皺）８が発生する
ことがある。このシワ８の部分は、図５に示すように水
冷桟６と接触しないから、窓箔面におけるシワの発生は
窓箔の寿命の低減につながるものとなる。
【０００５】本発明は、窓箔面にシワを発生させない照
射窓を提供することを目的とするものである。
射窓を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、水冷構造を有
し、窓箔が取り付けられるウインドウフランジと、この
ウインドウフランジに設けられ、前記窓箔に接触して冷
却する水冷桟とを備えた照射窓において、前記水冷桟の
窓箔接触端面が前記ウインドウフランジの窓箔取付け平
面より照射窓の内側方向に後退した位置にあることを特
徴とするものである。
し、窓箔が取り付けられるウインドウフランジと、この
ウインドウフランジに設けられ、前記窓箔に接触して冷
却する水冷桟とを備えた照射窓において、前記水冷桟の
窓箔接触端面が前記ウインドウフランジの窓箔取付け平
面より照射窓の内側方向に後退した位置にあることを特
徴とするものである。
【０００７】
【作用】水冷桟の窓箔接触端面をウインドウフランジの
窓箔取付け平面より照射窓の内側に後退させたから、前
記接触端面と取付け平面との段差部分で、真空引き時の
窓箔の伸び、窓箔取付け時のタルミ部分が吸収されるこ
とになり、窓箔面にはシワが発生しない。
窓箔取付け平面より照射窓の内側に後退させたから、前
記接触端面と取付け平面との段差部分で、真空引き時の
窓箔の伸び、窓箔取付け時のタルミ部分が吸収されるこ
とになり、窓箔面にはシワが発生しない。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例について図面を参照して説
明する。図１及び図２は、上述の図４、図５に対応する
照射窓の断面図であり、図４、図５と同一符号は同等或
いは対応部分を示す。水冷桟６の照射領域側の端部、即
ち窓箔接触端面は、ウインドウフランジ２の窓箔取付け
平面より、照射窓の内側方向に距離ｄだけ後退して位置
するように、水冷桟６をウインドウフランジ２に設け
る。
明する。図１及び図２は、上述の図４、図５に対応する
照射窓の断面図であり、図４、図５と同一符号は同等或
いは対応部分を示す。水冷桟６の照射領域側の端部、即
ち窓箔接触端面は、ウインドウフランジ２の窓箔取付け
平面より、照射窓の内側方向に距離ｄだけ後退して位置
するように、水冷桟６をウインドウフランジ２に設け
る。
【０００９】このように、窓箔１が水冷桟６と接触する
面を窓箔の取付け面より低くしておくことにより、この
段差部分で、真空引きしたときに生じる窓箔の伸び、窓
箔をウインドウフランジ２に取り付けたときに生じるタ
ルミが吸収されることになり、真空引きしたときに窓箔
面上にシワが残らず、シワを発生させない照射窓を得る
ことができた。
面を窓箔の取付け面より低くしておくことにより、この
段差部分で、真空引きしたときに生じる窓箔の伸び、窓
箔をウインドウフランジ２に取り付けたときに生じるタ
ルミが吸収されることになり、真空引きしたときに窓箔
面上にシワが残らず、シワを発生させない照射窓を得る
ことができた。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、水冷桟
の窓箔接触面をウインドウフランジの窓箔取付け平面よ
り下げるだけであるから、水冷桟の簡単な加工により、
窓箔面にシワを生じさせず、窓箔を水冷桟に均一に接触
させることができる照射窓を構成することができ、窓箔
の寿命を延ばすことができる。
の窓箔接触面をウインドウフランジの窓箔取付け平面よ
り下げるだけであるから、水冷桟の簡単な加工により、
窓箔面にシワを生じさせず、窓箔を水冷桟に均一に接触
させることができる照射窓を構成することができ、窓箔
の寿命を延ばすことができる。
【図１】本発明の実施例の水冷桟に平行する位置での断
面図である
面図である
【図２】水冷桟に直交する位置での断面図である。
【図３】従来の照射窓を照射領域側からみた正面図であ
る。
る。
【図４】水冷桟に平行する位置での断面図である。
【図５】水冷桟に直交する位置での断面図である。
1 窓箔 2 ウインドウフランジ 4 箔押さえ板 6 水冷桟 7 冷媒路 8 シワ d 水冷桟後退距離
Claims (1)
- 【請求項１】 水冷構造を有し、窓箔が取り付けられる
ウインドウフランジと、このウインドウフランジに設け
られ、前記窓箔に接触して冷却する水冷桟とを備えた照
射窓において、前記水冷桟の窓箔接触面が、前記ウイン
ドウフランジの窓箔取付け平面より照射窓の内側方向に
後退した位置にあることを特徴とする照射窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5605492A JPH07119839B2 (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5605492A JPH07119839B2 (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 照射窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223997A true JPH05223997A (ja) | 1993-09-03 |
| JPH07119839B2 JPH07119839B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=13016374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5605492A Expired - Fee Related JPH07119839B2 (ja) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | 照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119839B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727680B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| CN102741966A (zh) * | 2010-02-08 | 2012-10-17 | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 | 用于减少圆形装置中的箔褶皱的组件和方法 |
| JP2013519085A (ja) * | 2010-02-08 | 2013-05-23 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 金属箔の皺を減らすための組立体及び方法 |
| CN113692103A (zh) * | 2020-05-19 | 2021-11-23 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
-
1992
- 1992-02-07 JP JP5605492A patent/JPH07119839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727680B1 (ko) * | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| CN102741966A (zh) * | 2010-02-08 | 2012-10-17 | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 | 用于减少圆形装置中的箔褶皱的组件和方法 |
| JP2013519085A (ja) * | 2010-02-08 | 2013-05-23 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 金属箔の皺を減らすための組立体及び方法 |
| US9437389B2 (en) | 2010-02-08 | 2016-09-06 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Assembly and method for reducing foil wrinkles |
| CN113692103A (zh) * | 2020-05-19 | 2021-11-23 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
| CN113692103B (zh) * | 2020-05-19 | 2023-12-08 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07119839B2 (ja) | 1995-12-20 |
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