JPH0577800U - 電子線照射装置の真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空チャンバの真空排気時、照射窓の窓箔に
シワの発生を防ぐこと。 【構成】 真空チャンバ１は、メインの真空ポンプ３と
粗引き用ポンプ６で真空に引かれ、粗引き配管５中に第
１のバルブ４１と第２のバルブを設ける。真空粗引き
時、ポンプ３は作動停止し、ポンプ６を作動させる。粗
引き開始時、先ず、バルブ４２を閉じ、バルブ４１を開
き、粗引き配管の内部を真空に引く。次いで、バルブ４
１を閉じてバルブ４２を開く。真空チャンバからバルブ
４１までの内部が平衡状態に達すると再びバルブ４２を
閉じ、バルブ４１を開く。以後これを繰り返す。真空チ
ャンバはバルブ４１と４２間の配管容積分ずつ真空に引
かれ、窓箔（２１）が冷却用水冷桟（２６）になじんだ
時点で両バルブを開き、本粗引きを行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子線照射装置の真空粗引き時に、照射窓の窓箔におけるシワの発 生を防ぐことができる真空排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置における電子線発生部を収容するチャンバ内は真空状態にあり 、電子線取り出し部を電子線が透過できる金属箔で封止することにより大気或い は不活性ガスの雰囲気下にある照射領域と電子線発生部を隔離している。図２は 、エリアビーム型電子線照射装置についての概略構成図であり、真空チャンバ１ の内部にはカソード及びシールド電極からなる電子銃が収容されており、発生し た帯状の電子線は照射窓２の金属窓箔２１を通って照射領域の被照射物に照射さ れる。真空チャンバ１の内部は、メインの高真空ポンプ、例えばターボ分子ポン プ３及び途中にバルブ４が設置されている粗引き配管５を介して接続された粗引 き用のロータリポンプ６によって真空状態に保たれている。

【０００３】 電子線が照射窓２の窓箔２１を透過するときエネルギの一部が失われ、窓箔は 加熱される。この加熱による窓箔の損傷を防止するために、照射窓２は窓箔を冷 却できるように構成されている。図３ないし図５は照射窓２の一例の構成図であ り、図３は照射領域側から見た正面図、図４は図３のＡ−Ａ線での断面図、図５ は図３のＢ−Ｂ線での断面図である。窓箔２１を取り付けるウインドウフランジ ２２にはＯリング２３を有する真空シール部が形成されており、ウインドウフラ ンジ２２に箔押さえ板２４をボルト２５で固定することにより、窓箔２１はウイ ンドウフランジ２２に密着して取り付けられている。

【０００４】 ウインドウフランジ２２には多数の水冷桟２６が設けられており、ウインドウ フランジ２２の内部に形成された冷媒路２７に冷却水を流すことにより、水冷桟 ２６は冷却される。真空ポンプにより、真空チャンバ１内を真空にすると、窓箔 ２１は水冷桟２６に接触し、冷却される。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

電子線照射装置を運転開始時、メインのターボ分子ポンプ３を停止状態とし、 バルブ４を開き、ロータリポンプ６を作動させて真空チャンバ１内を真空粗引き 排気する。これに伴い、窓箔２１は水冷桟２６に吸い付き、接触するが、窓箔２ １の伸びや窓箔取付け時のタルミ（弛み）により、窓箔面に図３に示すようにシ ワ（皺）２８が発生することがある。このシワ２８の部分は、図５に示すように 水冷桟２６と接触しないから、冷却不良となり、電子線が発生すると加熱疲労、 損傷し、真空洩れという事態にいたる。

【０００６】 これに対処するため、真空排気系の配管径を小さくし、排気コンダクタンスを 低下させても、やはりシワが発生した。

【０００７】 本考案は、電子線照射装置の真空粗引き時に、照射窓の窓箔にシワを発生させ ない真空排気装置を提供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案は、電子線照射装置の真空粗引き配管中 に、交互に開閉される２個のバルブが設けられていることを特徴とするものであ る。

【０００９】

【作用】

真空チャンバの真空粗引き開始時、先ず、２個のバルブのうち粗引き用ポンプ に近い第１のバルブを開き、真空チャンバ側の第２のバルブを閉じ、第２のバル ブまでの配管内の真空をポンプで引く。次いで、第１のバルブを閉じてから、第 ２のバルブを開く。真空チャンバと第１のバルブまでの配管内の真空が平衡状態 に達すると、再び第１のバルブを開いて第２のバルブを閉じ、以後、第１、第２ のバルブの交互開閉を繰り返す。真空チャンバ内は、この交互開閉毎に両バルブ 間の配管容積に相当する僅かな分だけポンプで引かれる。シワを生ずることなく 窓箔は水冷桟になじんで接触するに至る。そこで両バルブを開いて本粗引きを行 う。

【００１０】

【実施例】

本考案の実施例について図面を参照し説明する。図１はその構成図であり、以 下、図２ないし図５と同一符号は同等部分を示す。真空チャンバ１は、メインの 例えばターボ分子ポンプ等の高真空ポンプ３及び粗引き配管５を経て粗引き用ロ ータリポンプ６に接続されており、同配管５中に第１のバルブ４１及び第２のバ ルブ４２を設ける。

【００１１】 真空チャンバ１の真空粗引き時、高真空ポンプ３の作動を停止し、粗引き用ポ ンプ６を作動させる。粗引き開始時に、先ず、 ２個のバルブのうち粗引きポンプ６に近い第１のバルブ４１を開き、真空チャ ンバ１に近い第２のバルブ４２を閉じ、第２のバルブ４２までの配管内の真空 を引く。 次いで、両バルブ４１、４２を閉じる。 第２のバルブ４２を開き、真空チャンバ１から第１のバルブ４１までの配管内 の真空が平衡状態に達するまで、第１のバルブ閉、第２のバルブ開の状態を維 持する。 平衡状態に達すると、両バルブ４１、４２を閉じる。 そして、以後、上記ないしの第１、第２のバルブ４１、４２の交互開閉サイ クルを繰り返す。真空チャンバ１内は、このないしの交互開閉サイクル毎に 、真空チャンバ１の容積に比べ充分に小さい両バルブ４１、４２間の配管内容積 に相当する僅かな分だけポンプ６で真空に引かれる。やがて、窓箔２１はシワを 生ずることなく水冷桟２６になじんで軽く接触する状態に至る。そこで両バルブ ４１、４２を開いて本粗引きを行う。

【００１２】 両バルブ４１、４１間の粗引き配管５の内径が８ｍｍ、長さが１ｍのとき、上 記ないしのバルブの交互開閉サイクルを４回繰り返したとき、窓箔２１は水 冷桟２６になじんで接触し、それから両バルブを開いて本粗引きを行ったが窓箔 にシワは発生しなかった。

【００１３】 なお、上述の実施例ではメインの高真空ポンプ３として同ポンプを介して真空 粗引きが行える背圧型の例えばターボ分子ポンプの場合について説明したが、高 真空ポンプが、それを介して粗引き用ポンプを接続できない例えば拡散ポンプ、 クライオポンプ等のときには、粗引き真空排気系は高真空ポンプ３と並列関係に 構成される。

【００１４】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように、粗引き配管中に交互に開閉される２個のバル ブを設けたことにより、粗引き開始時、真空チャンバに対し、両バルブ間の配管 容積分だけ少しずつ真空に引くことができるから、窓箔はシワを生ずることなく 水冷桟と接触し、その冷却を充分に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の構成図である。

【図２】従来の電子線照射装置の真空排気装置の構成図
である。

【図３】照射窓の正面図である。

【図４】照射窓の水冷桟に平行する位置での断面図であ
る。

【図５】照射窓の水冷桟に直交する位置での断面図であ
る。

【符号の説明】

1 真空チャンバ 2 照射窓 3 メインの真空ポンプ 4、41、41 バルブ 5 粗引き配管 6 粗引き用ロータリポンプ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線照射装置の真空粗引き配管中に、
   交互に開閉することができる２個のバルブが設けられて
   いることを特徴とする電子線照射装置の真空排気装置。