JPH032700A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH032700A JPH032700A JP13855089A JP13855089A JPH032700A JP H032700 A JPH032700 A JP H032700A JP 13855089 A JP13855089 A JP 13855089A JP 13855089 A JP13855089 A JP 13855089A JP H032700 A JPH032700 A JP H032700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window frame
- electron beam
- metal foil
- foil
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被処理物にカーテン状の電子線を照射する電
子線照射装置に関するものである。
子線照射装置に関するものである。
第６図は電子線照射装置の概略斜視図、第７図は従来の
電子線照射装置の窓枠の概略部分斜視図、第８図は従来
の電子線照射装置の窓部の概略断面図である。第６図乃
至第８図において１０は電子線発生部、２０は照射室、
３０は窓部である。
電子線照射装置の窓枠の概略部分斜視図、第８図は従来
の電子線照射装置の窓部の概略断面図である。第６図乃
至第８図において１０は電子線発生部、２０は照射室、
３０は窓部である。
電子線発生部１０は電子線を放射する、たとえば線状陰
極１１と、シールド電極１２と、放射された電子線をコ
ントロールするグリッド１３とを含むものである。また
、電子線発生部１０の内部は、図示しない拡散ポンプ等
により真空に保たれている。
極１１と、シールド電極１２と、放射された電子線をコ
ントロールするグリッド１３とを含むものである。また
、電子線発生部１０の内部は、図示しない拡散ポンプ等
により真空に保たれている。
照射室２０は被処理物Ａを搬入する搬送口２１と、被処
理物Ａを搬出する搬出口２２と、被処理吻Ａに電子線を
照射する照射部２３とを含むものである。また、たとえ
ば樹脂塗料の硬化処理を行う場合には、空気中の酸素が
硬化を抑制するので、照射室２０の内部は不活性雰囲気
、たとえば窒素ガス等で置換する。
理物Ａを搬出する搬出口２２と、被処理吻Ａに電子線を
照射する照射部２３とを含むものである。また、たとえ
ば樹脂塗料の硬化処理を行う場合には、空気中の酸素が
硬化を抑制するので、照射室２０の内部は不活性雰囲気
、たとえば窒素ガス等で置換する。
窓部３０は、薄膜状の金属箔３１と窓枠３２と押え板３
３とを含むものである。窓枠３２には桟３４により同一
形状の長方形状の開口部３５が多数形成されている。ま
た、窓枠３２の下面の周縁部にはＯリング３６を嵌入す
るための４３７が形成されている。そして、窓枠３２の
下面は平坦状に形成され、その下部には、第８図に示す
ように金属箔３１が押え仮３３で取着されている。金属
箔３１は電子線を発生する電子線発生部１０内の真空雰
囲気と、被処理物Ａに電子線を照射する照射室２０内の
照射雰囲気（たとえば窒素ガス）とを仕切るためのもの
であるが、電子線は金属箔３１を透過する。
３とを含むものである。窓枠３２には桟３４により同一
形状の長方形状の開口部３５が多数形成されている。ま
た、窓枠３２の下面の周縁部にはＯリング３６を嵌入す
るための４３７が形成されている。そして、窓枠３２の
下面は平坦状に形成され、その下部には、第８図に示す
ように金属箔３１が押え仮３３で取着されている。金属
箔３１は電子線を発生する電子線発生部１０内の真空雰
囲気と、被処理物Ａに電子線を照射する照射室２０内の
照射雰囲気（たとえば窒素ガス）とを仕切るためのもの
であるが、電子線は金属箔３１を透過する。
尚、矢印Ｘは窓部３０の下部を通過する被処理物Ａの通
過方向を、矢印ＥＢは電子線の照射方向を示す。
過方向を、矢印ＥＢは電子線の照射方向を示す。
上記の構成により、被処理物へに電子線を照射する際に
は、予め電子線発生部１０内を真空状態とするため、金
属箔３１を電子線発生部１０の下方に設けられた窓枠３
２に取り付ける。ところで、窓枠３２に金属箔３１を取
り付けるには、先ず手作業によりゴム製のＯＩＪソング
６を窓枠３２の溝３７に嵌入し、金属箔３１を窓枠３２
の下面に押し当て〜押え板３３により下方から押圧して
螺子等により取着する。このように、従来の電子線照射
装置では、Ｏリング３６を介して金属箔３１を窓枠３２
に取着する。
は、予め電子線発生部１０内を真空状態とするため、金
属箔３１を電子線発生部１０の下方に設けられた窓枠３
２に取り付ける。ところで、窓枠３２に金属箔３１を取
り付けるには、先ず手作業によりゴム製のＯＩＪソング
６を窓枠３２の溝３７に嵌入し、金属箔３１を窓枠３２
の下面に押し当て〜押え板３３により下方から押圧して
螺子等により取着する。このように、従来の電子線照射
装置では、Ｏリング３６を介して金属箔３１を窓枠３２
に取着する。
しかしながら、従来の電子線照射装置では、窓枠３２下
面に取り付ける金属′４３１は薄膜状のものであり、窓
枠３２に取り付けたときに弛みが生し易い。また窓枠３
２に取着した金属箔３１に弛みが生じている状態で電子
線発生部１０内を真空に引くと、第９図に示すように金
属箔３１に皺３９が発生し、この財３９が金属箔３１の
寿命に悪影響を与える。したがって、従来の電子線照射
装置では金属箔３１に皺３９が生じないように、金属箔
３１をビンと張った状態で窓枠３２に取着しな（ではな
らないので、金属箔３１の取り付けが容易でなく、作業
能率が悪いという欠点があった。
面に取り付ける金属′４３１は薄膜状のものであり、窓
枠３２に取り付けたときに弛みが生し易い。また窓枠３
２に取着した金属箔３１に弛みが生じている状態で電子
線発生部１０内を真空に引くと、第９図に示すように金
属箔３１に皺３９が発生し、この財３９が金属箔３１の
寿命に悪影響を与える。したがって、従来の電子線照射
装置では金属箔３１に皺３９が生じないように、金属箔
３１をビンと張った状態で窓枠３２に取着しな（ではな
らないので、金属箔３１の取り付けが容易でなく、作業
能率が悪いという欠点があった。
また、金属箔３１に弛みが生じないように窓枠３２下面
に取着するには、金属箔３１を十分に伸張した状態で取
着する必要がある。しかしながら、窓枠３２と押え板３
３とで金属箔３１を挟んで取着する際に、気密性を持た
せるために使用する従来のＱ ＩＪソング６は、第１０
図に示すように断面が円形状に形成されている。このよ
うな従来のＯリング３６は、第１１図に示す溝３７に嵌
入しても、金属箔３１の取着作業の際に、ゴムの反発力
によって溝３７から外れ易いので、金属７＆３１の窓枠
３２への取着が容易でなく、作業能率が悪いという欠点
があった。
に取着するには、金属箔３１を十分に伸張した状態で取
着する必要がある。しかしながら、窓枠３２と押え板３
３とで金属箔３１を挟んで取着する際に、気密性を持た
せるために使用する従来のＱ ＩＪソング６は、第１０
図に示すように断面が円形状に形成されている。このよ
うな従来のＯリング３６は、第１１図に示す溝３７に嵌
入しても、金属箔３１の取着作業の際に、ゴムの反発力
によって溝３７から外れ易いので、金属７＆３１の窓枠
３２への取着が容易でなく、作業能率が悪いという欠点
があった。
本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、電子
線発生部内の真空雰囲気と照射室内の照射雰囲気とを仕
切るための金属箔を容易に窓枠下面に取着することがで
き、作業能率の向上を図ることができる電子線照射装置
を提供することを目的とするものである。
線発生部内の真空雰囲気と照射室内の照射雰囲気とを仕
切るための金属箔を容易に窓枠下面に取着することがで
き、作業能率の向上を図ることができる電子線照射装置
を提供することを目的とするものである。
上記の目的を達成するための第１の発明は、電子線発生
部内の真空雰囲気と被処理物に電子線を照射する照射室
内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数の開口部が形成さ
れ且つ前記筒を取着する面の周縁部に溝が形成された窓
枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯリングと、８１０
リングを介して前記筒を前記窓枠に取着する押え板とを
含む窓部を有する電子線照射装置において、前記窓枠の
前記筒を取着する面に凹面状の凹部を形成したものであ
る。
部内の真空雰囲気と被処理物に電子線を照射する照射室
内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数の開口部が形成さ
れ且つ前記筒を取着する面の周縁部に溝が形成された窓
枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯリングと、８１０
リングを介して前記筒を前記窓枠に取着する押え板とを
含む窓部を有する電子線照射装置において、前記窓枠の
前記筒を取着する面に凹面状の凹部を形成したものであ
る。
上記の目的を達成するための第２の発明は、電子線発生
部内の真空雰囲気と被処理物に電子線を照射する照射室
内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数の開口部が形成さ
れ且つ前記筒を取着する面の周縁部に溝が形成された窓
枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯリングと、該０リ
ングを介して前記箔を前記窓枠に取着する押え板とを含
む窓部を存する電子線照射装置において、前記Ｏリング
の断面形状を略瓢箪状に形成したものである。
部内の真空雰囲気と被処理物に電子線を照射する照射室
内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数の開口部が形成さ
れ且つ前記筒を取着する面の周縁部に溝が形成された窓
枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯリングと、該０リ
ングを介して前記箔を前記窓枠に取着する押え板とを含
む窓部を存する電子線照射装置において、前記Ｏリング
の断面形状を略瓢箪状に形成したものである。
第１の発明は前記の構成によって、窓枠の箔を取着する
面には凹面状の凹部が形成されているので、電子線発生
部内を真空に引くと、窓枠に取着された箔は窓枠に吸い
寄せられ、箔の取着時に箔に生じた弛みは、窓枠の凹部
によって吸収される。
面には凹面状の凹部が形成されているので、電子線発生
部内を真空に引くと、窓枠に取着された箔は窓枠に吸い
寄せられ、箔の取着時に箔に生じた弛みは、窓枠の凹部
によって吸収される。
したがって、窓枠に箔を取着後、電子線発生部内を真空
に引いても、箔は皺にならずに、窓枠に沿って均一に伸
張される。
に引いても、箔は皺にならずに、窓枠に沿って均一に伸
張される。
第２の発明は前記の構成により、Ｏリングは断面が１ｌ
ＫＷ状に形成され、少なくとも一方の膨らみ部を完全に
溝内に嵌入することができるので、０リングを窓枠の溝
に確実に保持することができる。
ＫＷ状に形成され、少なくとも一方の膨らみ部を完全に
溝内に嵌入することができるので、０リングを窓枠の溝
に確実に保持することができる。
以下に第１の発明の１実施例を第１図乃至第３図を参照
して説明する。第１図は本発明の１実施例である電子線
照射装置の窓枠の構造を示す概略断面図、第２図は金属
箔の取り付は状態を示す窓部の概略断面図、第３図は窓
枠の構造を説明するための図である。尚、本実施例及び
第２の発明の実施例において、電子線発生部１０、照射
室２０、窓部３０及び金属箔３Ｉは従来の電子線照射装
置と同様であるので、同一の符号を付すことにより、そ
の詳細な説明を省略する。
して説明する。第１図は本発明の１実施例である電子線
照射装置の窓枠の構造を示す概略断面図、第２図は金属
箔の取り付は状態を示す窓部の概略断面図、第３図は窓
枠の構造を説明するための図である。尚、本実施例及び
第２の発明の実施例において、電子線発生部１０、照射
室２０、窓部３０及び金属箔３Ｉは従来の電子線照射装
置と同様であるので、同一の符号を付すことにより、そ
の詳細な説明を省略する。
第１図及び第２図において１は窓枠であり、窓枠１には
、長方形状の開口部２が多数形成され、またその下面の
周縁部にはＯリング３を嵌入する溝４が形成されている
。開口部２の下面５には図に示すように緩やかな凹面状
、たとえば円弧状の凹部６が形成されている。尚、凹部
６の端縁６ａは金属箔３１の破損を防止するため曲面状
に形成するのが望ましい。
、長方形状の開口部２が多数形成され、またその下面の
周縁部にはＯリング３を嵌入する溝４が形成されている
。開口部２の下面５には図に示すように緩やかな凹面状
、たとえば円弧状の凹部６が形成されている。尚、凹部
６の端縁６ａは金属箔３１の破損を防止するため曲面状
に形成するのが望ましい。
上記の構成によれば、窓枠１の下面には円弧状の凹部６
が形成されているので、金属箔３１を窓枠１に取り付け
、電子線発生部１０を真空に引くと、電子線発生部１０
内の圧力が下がるにつれて、金属箔３１は第２図に示す
ように窓枠１の凹部６に沿って吸い寄せられる。
が形成されているので、金属箔３１を窓枠１に取り付け
、電子線発生部１０を真空に引くと、電子線発生部１０
内の圧力が下がるにつれて、金属箔３１は第２図に示す
ように窓枠１の凹部６に沿って吸い寄せられる。
ところで、凹部６が形成された本実施例の窓枠１と断面
形状が平坦状の従来の窓枠３２とを比較した場合に、本
実施例の窓枠１下面の沿面長の増加分Δｌは、 第３図に示すように、凹部６の中央をＡ、四部６の両端
をＢ及びＣ１両両端−Ｃ間の中間点を０として、距ｊｉ
ｉｌＯＡ間をａ、距離８０間をｂとすれば、ａはｂに対
して非常に小さい値（ａ＜＜１））であるので、凹部６
の沿面長ｌは直線ＡＢと直線ＡＣとの和で近似すること
ができる。すなわち、（ＡＢ）” ＝ （ＡＯ）” ＋
（ＢＯ）”（ＡＢ）＝ （ＡＣ） であるので、 ｆｆ＝２ （ＡＢ）で表すことができる。
形状が平坦状の従来の窓枠３２とを比較した場合に、本
実施例の窓枠１下面の沿面長の増加分Δｌは、 第３図に示すように、凹部６の中央をＡ、四部６の両端
をＢ及びＣ１両両端−Ｃ間の中間点を０として、距ｊｉ
ｉｌＯＡ間をａ、距離８０間をｂとすれば、ａはｂに対
して非常に小さい値（ａ＜＜１））であるので、凹部６
の沿面長ｌは直線ＡＢと直線ＡＣとの和で近似すること
ができる。すなわち、（ＡＢ）” ＝ （ＡＯ）” ＋
（ＢＯ）”（ＡＢ）＝ （ＡＣ） であるので、 ｆｆ＝２ （ＡＢ）で表すことができる。
したがって、
ｇ＝２ （ＡＢ）
＝２ ｂ （ａ” ／ｂ” ＋１／４）””となり、沿
面長の増加分Δｌは、 Δ７！＝２ （ＡＢ）−（ＢＣ） ＝ｂ （２（ａ” ／ｂ” ＋１／４） ”’
−１）となる。
面長の増加分Δｌは、 Δ７！＝２ （ＡＢ）−（ＢＣ） ＝ｂ （２（ａ” ／ｂ” ＋１／４） ”’
−１）となる。
したがって、予め、従来の通常の金属箔３１取若作業で
生ずる弛み分に基づいて、上記の計算式により求めた沿
面長βとなる円弧状に、凹部６を形成することにより、
金属箔３１の取着時に弛みが生じても、電子線発生部１
０内を真空に引くと、凹部６によって弛み分を吸収する
ことができる。
生ずる弛み分に基づいて、上記の計算式により求めた沿
面長βとなる円弧状に、凹部６を形成することにより、
金属箔３１の取着時に弛みが生じても、電子線発生部１
０内を真空に引くと、凹部６によって弛み分を吸収する
ことができる。
したがって、金属箔３１に皺が生しることなく金属箔３
１を窓枠１下面に取着することができる。
１を窓枠１下面に取着することができる。
尚、金属箔３１は、たとえばチタン箔等で形成されてい
るので、材料的に多少の伸張は可能であり、したがって
金属箔３１が弛み無く取着された場合でも、金属Ｎ３１
に亀裂が生じることはない。
るので、材料的に多少の伸張は可能であり、したがって
金属箔３１が弛み無く取着された場合でも、金属Ｎ３１
に亀裂が生じることはない。
上記の実施例によれば、金属′４３１を取り付ける際に
多少の弛みが生じても、凹部６により弛みを吸収するこ
とができるので、金属箔３１の取着作業が容易となり、
作業能率の向上を図ることができる。
多少の弛みが生じても、凹部６により弛みを吸収するこ
とができるので、金属箔３１の取着作業が容易となり、
作業能率の向上を図ることができる。
尚、上記の実施例では、窓枠１の下面の凹部６は断面形
状が円弧状になるように形成した場合について説明した
が、凹部６は緩やかな凹面状であれば、他の形状であっ
てもよい。
状が円弧状になるように形成した場合について説明した
が、凹部６は緩やかな凹面状であれば、他の形状であっ
てもよい。
また、上記の実施例では、凹部６を窓枠１の開口部２の
下面全体に形成した場合について説明したが、凹部６は
これに限定されるものではなく、開口部２の下面の一部
を凹面状としたものでありもよく、また窓枠１の下面全
体を凹面状としだものあってもよい。
下面全体に形成した場合について説明したが、凹部６は
これに限定されるものではなく、開口部２の下面の一部
を凹面状としたものでありもよく、また窓枠１の下面全
体を凹面状としだものあってもよい。
第４図は第２の発明の１実施例である電子線照射装置の
窓枠に嵌入するＯリングの概略断面図、第５図はその０
リングを嵌入する溝の概略断面図である。第４図及び第
５図において８は断面が瓢箪状に形成されたゴム製の０
リング、９はＯリング８を嵌入する溝である。尚、本実
施例において前述の第１の発明の実施例と同様の機能を
有するものについては、その詳細な説明を省略する。
窓枠に嵌入するＯリングの概略断面図、第５図はその０
リングを嵌入する溝の概略断面図である。第４図及び第
５図において８は断面が瓢箪状に形成されたゴム製の０
リング、９はＯリング８を嵌入する溝である。尚、本実
施例において前述の第１の発明の実施例と同様の機能を
有するものについては、その詳細な説明を省略する。
本実施例によれば、Ｏリング８は断面が瓢箪状に形成さ
れているので、少なくとも０リング８の下部の膨らみ部
８ａは溝９内に完全に保持することができる。これによ
り、金属箔３１の取着作業の際に、Ｏリング８が溝９か
ら飛び出すのを防止し、作業能率の向上を図ることがで
きる。
れているので、少なくとも０リング８の下部の膨らみ部
８ａは溝９内に完全に保持することができる。これによ
り、金属箔３１の取着作業の際に、Ｏリング８が溝９か
ら飛び出すのを防止し、作業能率の向上を図ることがで
きる。
尚、本実施例は窓枠１の溝９に嵌入する０リングについ
て説明したが、０リングが使用される箇所はこれに限定
されるものではなく、気密性を必要とする箇所であれば
、何処に使用してもよく、また圧力容器や真空容器等の
一般的な密閉容器に使用してもよい。
て説明したが、０リングが使用される箇所はこれに限定
されるものではなく、気密性を必要とする箇所であれば
、何処に使用してもよく、また圧力容器や真空容器等の
一般的な密閉容器に使用してもよい。
以上説明したように第１の発明によれば、窓枠の下面に
凹面状の凹部を形成することにより、金属箔の取着時に
多少の弛みが生じても、電子線発生部内を真空に引く際
に箔の弛みが凹部に引き寄せられるので、金属箔に皺を
生じさせることなく金属箔を窓枠の下面に取着すること
ができる。したがって、金属箔の取着が容易で、作業能
率の向上を図ることができる電子線照射装置を提供する
ことができる。
凹面状の凹部を形成することにより、金属箔の取着時に
多少の弛みが生じても、電子線発生部内を真空に引く際
に箔の弛みが凹部に引き寄せられるので、金属箔に皺を
生じさせることなく金属箔を窓枠の下面に取着すること
ができる。したがって、金属箔の取着が容易で、作業能
率の向上を図ることができる電子線照射装置を提供する
ことができる。
また、第２の発明によれば、Ｏリングの断面形状を瓢箪
型に形成することにより、０リングを溝内に確実に保持
し、金属箔の取着が容易で、作業能率の向上を図ること
ができる電子線照射装置を提供することができる。
型に形成することにより、０リングを溝内に確実に保持
し、金属箔の取着が容易で、作業能率の向上を図ること
ができる電子線照射装置を提供することができる。
第１図は本発明の１実施例である電子線照射装置の窓枠
の構造を示す概略断面図、第２図は窓部の概略断面図、
第３図は窓枠構造の説明図、第４図は第２の発明の１実
施例である電子線照射装置の窓枠の溝に嵌入する０リン
グの概略断面図、第５図はその０リングを嵌入する溝の
概略断面図、第６図は電子線照射装置の概略斜視図、第
７図は従来の電子線照射装置の窓枠の概略部分斜視図、
第８図は従来の電子線照射装置の窓部の概略断面図、第
９図は窓枠に金属箔を取着した状態を示す図、第１０図
は従来の０リングの断面図、第１１図は従来の窓枠に形
成された溝の断面図である。 ７１３．押え板、８．・・０リング、９・・溝、ｌＯ・
・・電子線発生部、２０・・・照射室、３０・・・窓部
、３１・・・金属箔。 出願人 岩 崎 電 気 株式会社 １・・・窓枠、２・・・開口部、３・・・０リング、４
・・・溝、５・・・下面、６・・・凹部、第１図 第２図
の構造を示す概略断面図、第２図は窓部の概略断面図、
第３図は窓枠構造の説明図、第４図は第２の発明の１実
施例である電子線照射装置の窓枠の溝に嵌入する０リン
グの概略断面図、第５図はその０リングを嵌入する溝の
概略断面図、第６図は電子線照射装置の概略斜視図、第
７図は従来の電子線照射装置の窓枠の概略部分斜視図、
第８図は従来の電子線照射装置の窓部の概略断面図、第
９図は窓枠に金属箔を取着した状態を示す図、第１０図
は従来の０リングの断面図、第１１図は従来の窓枠に形
成された溝の断面図である。 ７１３．押え板、８．・・０リング、９・・溝、ｌＯ・
・・電子線発生部、２０・・・照射室、３０・・・窓部
、３１・・・金属箔。 出願人 岩 崎 電 気 株式会社 １・・・窓枠、２・・・開口部、３・・・０リング、４
・・・溝、５・・・下面、６・・・凹部、第１図 第２図
Claims (2)
- （１）電子線発生部内の真空雰囲気と被処理物に電子線
を照射する照射室内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数
の開口部が形成され且つ前記箔を取着する面の周縁部に
溝が形成された窓枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯ
リングと、該Ｏリングを介して前記箔を前記窓枠に取着
する押え板とを含む窓部を有する電子線照射装置におい
て、前記窓枠の前記箔を取着する面に凹面状の凹部を形
成したことを特徴とする電子線照射装置。 - （２）電子線発生部内の真空雰囲気と被処理物に電子線
を照射する照射室内の照射雰囲気とを仕切る箔と、多数
の開口部が形成され且つ前記箔を取着する面の周縁部に
溝が形成された窓枠と、該窓枠の前記溝に嵌入されるＯ
リングと、該Ｏリングを介して前記箔を前記窓枠に取着
する押え板とを含む窓部を有する電子線照射装置におい
て、前記Ｏリングの断面形状を略瓢箪状に形成したこと
を特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13855089A JPH032700A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13855089A JPH032700A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032700A true JPH032700A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15224771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13855089A Pending JPH032700A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032700A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5802886A (en) * | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spin basket for a washing machine |
| EP0899175A2 (en) | 1997-08-25 | 1999-03-03 | Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Hydraulic booster device |
| US10060401B2 (en) | 2016-04-22 | 2018-08-28 | Caterpillar Inc. | Fuel inlet filter for fuel injectors |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP13855089A patent/JPH032700A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5802886A (en) * | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spin basket for a washing machine |
| EP0899175A2 (en) | 1997-08-25 | 1999-03-03 | Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Hydraulic booster device |
| US10060401B2 (en) | 2016-04-22 | 2018-08-28 | Caterpillar Inc. | Fuel inlet filter for fuel injectors |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04326725A (ja) | プラズマ装置 | |
| JP3704983B2 (ja) | 表面処理装置 | |
| EP0856349A3 (en) | Apparatus for processing gas by electron beam | |
| JPH032700A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPS63155728A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JP3915625B2 (ja) | 電子線照射装置の窒素ガスチャンバの構造 | |
| JPH0716761A (ja) | 高速原子線を用いる加工装置 | |
| JPS63207131A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| GB2157140A (en) | Electron beam reaction chamber | |
| JP4162216B2 (ja) | 照射窓ユニットの取り付け方法および保管方法 | |
| JPH0680807A (ja) | ウエブの連続表面処理方法 | |
| JPH0317907B2 (ja) | ||
| DE69120874D1 (de) | Ionenpumpe und Vakuumpumpanlage dafür | |
| JPH11260298A (ja) | 電子線測長装置 | |
| JPH04312797A (ja) | プラズマ発生装置 | |
| JP7414269B2 (ja) | 電子線照射装置の組付方法 | |
| JP3517666B2 (ja) | ガス密閉機構およびこのガス密閉機構を使用した表面処理装置 | |
| JP2589535Y2 (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH0915399A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH05223997A (ja) | 照射窓 | |
| JPH0712960Y2 (ja) | 電子線照射装置の搬送装置 | |
| JP3020075B2 (ja) | プラズマ装置 | |
| JP3767055B2 (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH02181700A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH0535230B2 (ja) |