JPH052264A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
- Publication number
- JPH052264A JPH052264A JP15308691A JP15308691A JPH052264A JP H052264 A JPH052264 A JP H052264A JP 15308691 A JP15308691 A JP 15308691A JP 15308691 A JP15308691 A JP 15308691A JP H052264 A JPH052264 A JP H052264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- photomask
- groove
- peeling
- adhesive tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ペリクル交換のため、マスクよりペリクルを
剥離する作業を、容易に行なえ、また、この作業におけ
るマスクの汚染を少なくできるペリクルを得る。 【構成】 この発明によるペリクルは、ペリクル枠２の
装着面に溝部４を有し、この溝部４に連通する開口部５
を設けたことにより、このペリクルをフォトマスクから
剥離する場合は、開口部５から剥離剤を注入し、粘着テ
ープ３に剥離剤を選択的に浸透させ、ペリクルのフォト
マスクからの剥離を行なう。
剥離する作業を、容易に行なえ、また、この作業におけ
るマスクの汚染を少なくできるペリクルを得る。 【構成】 この発明によるペリクルは、ペリクル枠２の
装着面に溝部４を有し、この溝部４に連通する開口部５
を設けたことにより、このペリクルをフォトマスクから
剥離する場合は、開口部５から剥離剤を注入し、粘着テ
ープ３に剥離剤を選択的に浸透させ、ペリクルのフォト
マスクからの剥離を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フォトマスクに異物
が付着することを避けるために用いられるペリクルに関
するものである。
が付着することを避けるために用いられるペリクルに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のペリクルを示す断面図であ
り、図において１はニトロセルローズ等の高分子材料を
２〜３ｍｍの厚さにした透明なフィルム、２はフィルム
１を固定するアルマイト等で作られたペリクル枠、３は
ペリクルをフォトマスク（図示せず）に取り付けるため
にペリクル枠２の下面に接着された粘着テープであり、
この粘着テープによりペリクル２の下面は接着面を形成
している。
り、図において１はニトロセルローズ等の高分子材料を
２〜３ｍｍの厚さにした透明なフィルム、２はフィルム
１を固定するアルマイト等で作られたペリクル枠、３は
ペリクルをフォトマスク（図示せず）に取り付けるため
にペリクル枠２の下面に接着された粘着テープであり、
この粘着テープによりペリクル２の下面は接着面を形成
している。
【０００３】従来のペリクルは上記のように構成され、
粘着テープ３によってペリクルをフォトマスクに装着す
ることにより、フォトマスク面の汚染の防止し、またそ
れによる転写時の微粒子の影響を低下している。
粘着テープ３によってペリクルをフォトマスクに装着す
ることにより、フォトマスク面の汚染の防止し、またそ
れによる転写時の微粒子の影響を低下している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のペリクルは以上
のように構成されているので、フィルム１の破損等によ
るペリクルの交換のために、ペリクルをフォトマスクか
ら剥離する場合には、粘着テープ３でペリクルがフォト
マスクに装着されているために、ペリクルの剥離は容易
ではなく、また、このためフォトマスクが粘着テープ３
の破片等で汚染しやすいという課題があった。また、破
損したペリクルを交換するために従来の機械的に剥り方
法を行っていたが、フォトマスクのガラス基板にキズを
つけフォトマスクが使えなくなるといった課題もあっ
た。
のように構成されているので、フィルム１の破損等によ
るペリクルの交換のために、ペリクルをフォトマスクか
ら剥離する場合には、粘着テープ３でペリクルがフォト
マスクに装着されているために、ペリクルの剥離は容易
ではなく、また、このためフォトマスクが粘着テープ３
の破片等で汚染しやすいという課題があった。また、破
損したペリクルを交換するために従来の機械的に剥り方
法を行っていたが、フォトマスクのガラス基板にキズを
つけフォトマスクが使えなくなるといった課題もあっ
た。
【０００５】この発明は、上記のような課題を解消する
ためになされたもので、フォトマスクからペリクルを容
易に剥離できるとともに、剥離時にフォトマスクへの汚
染の少ないペリクルを得ることを目的とする。
ためになされたもので、フォトマスクからペリクルを容
易に剥離できるとともに、剥離時にフォトマスクへの汚
染の少ないペリクルを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るペリクル
は、ペリクル枠のような接着面に溝部を形成し、またこ
の溝部に連通する開口部を形成したものである。
は、ペリクル枠のような接着面に溝部を形成し、またこ
の溝部に連通する開口部を形成したものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、ペリクルをフォトマスク
から剥離しようとする場合、剥離剤を開口部から注入す
ることにより、この剥離剤が接着面に浸透し、ペリクル
は容易に剥離される。
から剥離しようとする場合、剥離剤を開口部から注入す
ることにより、この剥離剤が接着面に浸透し、ペリクル
は容易に剥離される。
【０００８】
実施例１．図１はこの発明の一実施例を示す断面図であ
り、４はペリクル枠２の下面の全周に沿って形成された
溝部、５はこの溝部から外側に向って形成された開口部
である。
り、４はペリクル枠２の下面の全周に沿って形成された
溝部、５はこの溝部から外側に向って形成された開口部
である。
【０００９】上記のように構成されたペリクルをフォト
マスクから剥離しようとする場合、開口部５から剥離剤
を注入することにより、この剥離剤は粘着テープ３に浸
透し、これによって粘着テープ３による装着が解かれ
て、ペリクルがフォトマスクから剥離される。剥離剤は
有機溶剤等であるので、例えば注射器のようなものを用
いれば容易に開口部５から注入することができ、粘着テ
ープ３に使用されている接着剤が容易に有機溶剤に溶
け、接着力を失う。このため、アルマイト等の金属でで
きているペリクル枠２は容易に取り去ることができる。
マスクから剥離しようとする場合、開口部５から剥離剤
を注入することにより、この剥離剤は粘着テープ３に浸
透し、これによって粘着テープ３による装着が解かれ
て、ペリクルがフォトマスクから剥離される。剥離剤は
有機溶剤等であるので、例えば注射器のようなものを用
いれば容易に開口部５から注入することができ、粘着テ
ープ３に使用されている接着剤が容易に有機溶剤に溶
け、接着力を失う。このため、アルマイト等の金属でで
きているペリクル枠２は容易に取り去ることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明のペリクル
によれば、ペリクル枠の開口部から剥離剤を注入し、剥
離剤は接着面に選択的に浸透するようになっているの
で、ペリクルをマスクより容易に剥離でき、ペリクル剥
離時のマスクの汚染を少なくできる効果がある。また、
機械的に剥離する方法に比べてマスク表面にキズをつけ
る可能性も少なくなる効果もある。
によれば、ペリクル枠の開口部から剥離剤を注入し、剥
離剤は接着面に選択的に浸透するようになっているの
で、ペリクルをマスクより容易に剥離でき、ペリクル剥
離時のマスクの汚染を少なくできる効果がある。また、
機械的に剥離する方法に比べてマスク表面にキズをつけ
る可能性も少なくなる効果もある。
【図１】この発明の実施例によるペリクルを示す断面図
である。
である。
【図２】図１のペリクルの斜視図である。
【図３】従来のペリクルの一例を示す断面図である。
２ ペリクル部 ３ 粘着テープ ４ 溝部 ５ 開口部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年６月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のペリクルを示す断面図であ
り、図において１はニトロセルローズ等の高分子材料を
２〜３μｍの厚さにした透明なフィルム、２はフィルム
１を固定するアルマイト等で作られたペリクル枠、３は
ペリクルをフォトマスク（図示せず）に取り付けるため
にペリクル枠２の下面に接着された粘着テープであり、
この粘着テープによりペリクル２の下面は接着面を形成
している。
り、図において１はニトロセルローズ等の高分子材料を
２〜３μｍの厚さにした透明なフィルム、２はフィルム
１を固定するアルマイト等で作られたペリクル枠、３は
ペリクルをフォトマスク（図示せず）に取り付けるため
にペリクル枠２の下面に接着された粘着テープであり、
この粘着テープによりペリクル２の下面は接着面を形成
している。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 マスクにペリクル枠を接着しマスクに異
物が付着することを避けるために用いられるペリクルに
おいて、前記ペリクル枠の接着面に溝部を形成し、また
この溝部に連通する開口部を形成したことを特徴とする
ペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15308691A JPH052264A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15308691A JPH052264A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | ペリクル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052264A true JPH052264A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=15554673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15308691A Pending JPH052264A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052264A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015179123A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-08 | アルパイン株式会社 | 表示装置 |
| WO2016113981A1 (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
| WO2016121180A1 (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
-
1991
- 1991-06-25 JP JP15308691A patent/JPH052264A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015179123A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-08 | アルパイン株式会社 | 表示装置 |
| WO2016113981A1 (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
| JP2016133559A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
| KR20170103819A (ko) * | 2015-01-16 | 2017-09-13 | 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤 | 펠리클용 지지 프레임 |
| EP3246753A4 (en) * | 2015-01-16 | 2018-09-05 | Nippon Light Metal Co., Ltd. | Support frame for pellicle |
| US10281814B2 (en) | 2015-01-16 | 2019-05-07 | Nippon Light Metal Company, Ltd. | Support frame for pellicle |
| TWI670572B (zh) * | 2015-01-16 | 2019-09-01 | 日商日本輕金屬股份有限公司 | 防塵膜用支持框 |
| WO2016121180A1 (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
| JP2016139103A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4737387A (en) | Removable pellicle and method | |
| US10429730B2 (en) | Pellicle | |
| KR20090053680A (ko) | 펠리클, 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기 및 펠리클 수납 용기 내에 펠리클을 보관하는 방법 | |
| DE3856223D1 (de) | Filmherstellungsverfahren und Einstellvorrichtung dazu | |
| DE69129525D1 (de) | Filmabdeckung, Struktur und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| JPH052264A (ja) | ペリクル | |
| JPS6075835A (ja) | ペリクル | |
| JP2000091281A (ja) | ウエハ表面保護テープ剥離装置 | |
| JPH0619124A (ja) | ペリクルフレーム及び半導体装置の製造方法 | |
| KR102259620B1 (ko) | 펠리클 | |
| JPH09204038A (ja) | マスクの製造方法 | |
| JP2000292910A (ja) | ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル | |
| JP2584066B2 (ja) | ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 | |
| JPH07175206A (ja) | ペリクル | |
| JP4319757B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP2021012336A (ja) | ペリクル枠体及びペリクル | |
| JP3427241B2 (ja) | ペリクルのフォトマスクへの貼着構造 | |
| JPH05216214A (ja) | フォトマスク及びペリクル | |
| JPH0812418B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
| JP2002258466A (ja) | ペリクル | |
| JP2855044B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH1124237A (ja) | ペリクル | |
| JP3026637B2 (ja) | ペリクル枠体の剥離法 | |
| JPH03114050A (ja) | ペリクルカバーのフレーム | |
| JPH1039491A (ja) | マスク保護装置の製造方法 |