JPH0522965B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0522965B2 JPH0522965B2 JP59100946A JP10094684A JPH0522965B2 JP H0522965 B2 JPH0522965 B2 JP H0522965B2 JP 59100946 A JP59100946 A JP 59100946A JP 10094684 A JP10094684 A JP 10094684A JP H0522965 B2 JPH0522965 B2 JP H0522965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- present
- recording medium
- polyester
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Paints Or Removers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は垂直記録方式に適する磁気記録媒体に
関する。 従来例の構成とその問題点 垂直記録方式は、テープ、デイスク等の磁気記
録媒体の走行方向と垂直方向、即ち磁気記録層の
厚み方向に磁化容易軸をもつた磁気記録媒体を使
用し、磁気記録媒体を厚さ方向に磁化しかつ、こ
の方向に磁化を残留させるよう構成されたもの
で、こうすることで自己減磁界が短波長になる程
小さくでき、結果的に高密度化が可能になるもの
として注目されるものである。 以上のような垂直記録方式に使用される垂直磁
気記録媒体としては、第1図に示したように高分
子フイルム等の非磁性基板1上に軟磁性層2と
Co−Cr等の垂直磁化可能な強磁性金属薄膜3
(以下これを垂直磁化膜と呼ぶ)を積層したもの
が、記録感度が良好なことから、最も好ましい構
成であるとされている。 しかし乍ら、かかる垂直磁気記録媒体を量産す
る立場でみると、かかる構成のものは、量産に適
さない欠点を有している。 即ち、垂直磁化膜の性能の良し悪しの目安であ
る六方晶Co−Cr合金の結晶異方性を示す、C軸
配向性、(002)面によるX線回折線のロツキング
曲線の半値幅△θ50(度)が軟磁性層の影響を強く
受けるため、軟磁性層の結晶成長のめん密な制御
が必要になるからである。 そのため、広幅で、連続してかかる構成の媒体
を得ても、Δθ50のバラツキが大きく、信号対雑
音比(S/N)の良好な垂直磁気記録媒体が得ら
れないため改良が望まれていた。 特に、最も磁気記録媒体の基板としての物性が
調和のとれているポリエステル基板、特にテープ
用基板として破断伸びの面から好ましいとされる
結晶化度が40%以上のポリエステルフイルムでは
△θ50のバラツキが極端に大きくなる問題があつ
た。 発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、S/
Nの改良された汎用性の高いポリエステルフイル
ムを基板として垂直磁気記録媒体を提供するもの
である。 発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、結晶化度が40%以上
のポリエステルフイルム上にプラズマ重合膜を配
した上に垂直磁化膜を直接、或いは、軟磁性層を
介して垂直磁化膜を配したことを特徴とし、磁性
のゆらぎによる雑音が改良されたS/Nの良好な
短波長記録用媒体である。 実施例の説明 以下に図面を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明する。 第2図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図で
ある。第2図において4は結晶化度が40%以上で
あるポリエステル基板で、5はプラズマ重合膜、
6は軟磁性層、7は垂直磁化膜である。 尚、他の構成例として、軟磁性層を介さない場
合でも基本的に本発明の効果は得られるものであ
る。 更に垂直磁化膜表面に保護層を配することや、
かかる構成を基板4の両面に配すること等は本発
明の要旨を逸脱しない範囲で実施できるのは勿論
である。 本発明に用いられる基板は、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリ
エステルフイルムで、結晶化度が40%以上のもの
で、厚みは4μmから20μmが適している。 本発明に用いることの出来る軟磁性層は、電子
ビーム蒸着法、イオンプレーテイング法、スパツ
タリング法等で得られる、Ni−Fe,Ni−Fe−
Mo,Co−Mo−Zr,Co−Ti,Co−Fe−B膜等
であり、垂直磁化膜は、Co−Cr,Co−Ti,Co−
V,Co−Mo,Co−W,Co−P,Co−Cr−Rh等
で無電解めつき法、真空蒸着法、スパツタリング
法、イオンプレーテイング法により得られる。 本発明に用いられるプラズマ重合膜は、モノマ
ーとしてフルオロカーボン類、クロロフルオロハ
イドロカーボン類、フルオロハイドロカーボン
類、シラン類、等から適宜選択できるもので、厚
みは10Å以上であれば効果は再現よく得られる。 プラズマ重合膜は、極薄の膜でも物性が均一化
できるのが特徴であり、ポリエステルの結晶部分
と非晶部分とにより従来、軟磁性層の配向性が制
御されにくかつたためのバラツキが改良されたも
のであり、垂直磁化膜を軟磁性層を介さずに形成
する場合も同じであり、△θ50が小さくかつ均一
にできるため、雑音が小さくなり、短波長での
S/Nが改良されるものである。 以下、さらに具体的な一実施例を説明する。 結晶化度が46%の厚み12μmのポリエチレンテ
レフタレートフイルム上に高周波スパツタリング
法によりNi−Fe膜0.4μm(Ni:80wt%)、Co−
Cr膜0.15μm(Cr:20wt%)を形成して得た垂直
磁気記録媒体と、本発明のプラズマ重合膜を介し
て、同様にNi−Fe,Co−Crの2層膜を配した媒
体を比較検討した。 又他の構成としてNi−Fe膜を介さない場合に
ついても同様に比較検討した。 プラズマ重合膜の形成に用いた装置は、巻取蒸
着機を改造して、直径50cmの円筒状キヤンに沿つ
て、同心状に配置した曲率半径30cm、周長1mの
放電電極に高周波(13.56MHz)を印加する方式
のものである。 得られた薄膜の物性と、磁気テープとしての性
能を評価した結果を含めて表にまとめて示した。
関する。 従来例の構成とその問題点 垂直記録方式は、テープ、デイスク等の磁気記
録媒体の走行方向と垂直方向、即ち磁気記録層の
厚み方向に磁化容易軸をもつた磁気記録媒体を使
用し、磁気記録媒体を厚さ方向に磁化しかつ、こ
の方向に磁化を残留させるよう構成されたもの
で、こうすることで自己減磁界が短波長になる程
小さくでき、結果的に高密度化が可能になるもの
として注目されるものである。 以上のような垂直記録方式に使用される垂直磁
気記録媒体としては、第1図に示したように高分
子フイルム等の非磁性基板1上に軟磁性層2と
Co−Cr等の垂直磁化可能な強磁性金属薄膜3
(以下これを垂直磁化膜と呼ぶ)を積層したもの
が、記録感度が良好なことから、最も好ましい構
成であるとされている。 しかし乍ら、かかる垂直磁気記録媒体を量産す
る立場でみると、かかる構成のものは、量産に適
さない欠点を有している。 即ち、垂直磁化膜の性能の良し悪しの目安であ
る六方晶Co−Cr合金の結晶異方性を示す、C軸
配向性、(002)面によるX線回折線のロツキング
曲線の半値幅△θ50(度)が軟磁性層の影響を強く
受けるため、軟磁性層の結晶成長のめん密な制御
が必要になるからである。 そのため、広幅で、連続してかかる構成の媒体
を得ても、Δθ50のバラツキが大きく、信号対雑
音比(S/N)の良好な垂直磁気記録媒体が得ら
れないため改良が望まれていた。 特に、最も磁気記録媒体の基板としての物性が
調和のとれているポリエステル基板、特にテープ
用基板として破断伸びの面から好ましいとされる
結晶化度が40%以上のポリエステルフイルムでは
△θ50のバラツキが極端に大きくなる問題があつ
た。 発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、S/
Nの改良された汎用性の高いポリエステルフイル
ムを基板として垂直磁気記録媒体を提供するもの
である。 発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、結晶化度が40%以上
のポリエステルフイルム上にプラズマ重合膜を配
した上に垂直磁化膜を直接、或いは、軟磁性層を
介して垂直磁化膜を配したことを特徴とし、磁性
のゆらぎによる雑音が改良されたS/Nの良好な
短波長記録用媒体である。 実施例の説明 以下に図面を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明する。 第2図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図で
ある。第2図において4は結晶化度が40%以上で
あるポリエステル基板で、5はプラズマ重合膜、
6は軟磁性層、7は垂直磁化膜である。 尚、他の構成例として、軟磁性層を介さない場
合でも基本的に本発明の効果は得られるものであ
る。 更に垂直磁化膜表面に保護層を配することや、
かかる構成を基板4の両面に配すること等は本発
明の要旨を逸脱しない範囲で実施できるのは勿論
である。 本発明に用いられる基板は、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリ
エステルフイルムで、結晶化度が40%以上のもの
で、厚みは4μmから20μmが適している。 本発明に用いることの出来る軟磁性層は、電子
ビーム蒸着法、イオンプレーテイング法、スパツ
タリング法等で得られる、Ni−Fe,Ni−Fe−
Mo,Co−Mo−Zr,Co−Ti,Co−Fe−B膜等
であり、垂直磁化膜は、Co−Cr,Co−Ti,Co−
V,Co−Mo,Co−W,Co−P,Co−Cr−Rh等
で無電解めつき法、真空蒸着法、スパツタリング
法、イオンプレーテイング法により得られる。 本発明に用いられるプラズマ重合膜は、モノマ
ーとしてフルオロカーボン類、クロロフルオロハ
イドロカーボン類、フルオロハイドロカーボン
類、シラン類、等から適宜選択できるもので、厚
みは10Å以上であれば効果は再現よく得られる。 プラズマ重合膜は、極薄の膜でも物性が均一化
できるのが特徴であり、ポリエステルの結晶部分
と非晶部分とにより従来、軟磁性層の配向性が制
御されにくかつたためのバラツキが改良されたも
のであり、垂直磁化膜を軟磁性層を介さずに形成
する場合も同じであり、△θ50が小さくかつ均一
にできるため、雑音が小さくなり、短波長での
S/Nが改良されるものである。 以下、さらに具体的な一実施例を説明する。 結晶化度が46%の厚み12μmのポリエチレンテ
レフタレートフイルム上に高周波スパツタリング
法によりNi−Fe膜0.4μm(Ni:80wt%)、Co−
Cr膜0.15μm(Cr:20wt%)を形成して得た垂直
磁気記録媒体と、本発明のプラズマ重合膜を介し
て、同様にNi−Fe,Co−Crの2層膜を配した媒
体を比較検討した。 又他の構成としてNi−Fe膜を介さない場合に
ついても同様に比較検討した。 プラズマ重合膜の形成に用いた装置は、巻取蒸
着機を改造して、直径50cmの円筒状キヤンに沿つ
て、同心状に配置した曲率半径30cm、周長1mの
放電電極に高周波(13.56MHz)を印加する方式
のものである。 得られた薄膜の物性と、磁気テープとしての性
能を評価した結果を含めて表にまとめて示した。
【表】
以上のように本実施例によれば、高密度磁気記
録を行う上で重要なS/Nに対し改良がなされる
ことがわかる。 又、結晶化度が40%以下のポリエステルに直
接、Ni−Fe,Co−Crの2層膜を形成した従来知
られる磁気記録媒体に対してもS/Nでみて、約
2dB0.5μmから0.3μmの短波長で改良されている
ものである。 しかし、改善度合を3dB以上にするには結晶化
度40%以上(上限は57%までその効果の変わらな
いことを確認している)と薄い重合膜の組合せが
好ましい 勿論、Ni−Fe,Co−Crの2層媒体を、補助磁
極励磁型垂直ヘツドで記録再生しても本発明品と
従来品は3dBから5dBの差があり、本発明品の高
性能度合が理解できる。 尚、本発明の他の前記した材料の組み合わせは
勿論、磁気テープ以外のシート状、デイスク状の
媒体でもその効果は十分確認されている。 発明の効果 以上のように本発明の磁気記録媒体は、結晶化
度が40%以上のポリエステルフイルム上にプラズ
マ重合膜を配して垂直磁気記録層を形成すること
で、結晶配向性のバラツキを減らし、短波長での
S/Nを改良したものでその実用的効果は大き
い。
録を行う上で重要なS/Nに対し改良がなされる
ことがわかる。 又、結晶化度が40%以下のポリエステルに直
接、Ni−Fe,Co−Crの2層膜を形成した従来知
られる磁気記録媒体に対してもS/Nでみて、約
2dB0.5μmから0.3μmの短波長で改良されている
ものである。 しかし、改善度合を3dB以上にするには結晶化
度40%以上(上限は57%までその効果の変わらな
いことを確認している)と薄い重合膜の組合せが
好ましい 勿論、Ni−Fe,Co−Crの2層媒体を、補助磁
極励磁型垂直ヘツドで記録再生しても本発明品と
従来品は3dBから5dBの差があり、本発明品の高
性能度合が理解できる。 尚、本発明の他の前記した材料の組み合わせは
勿論、磁気テープ以外のシート状、デイスク状の
媒体でもその効果は十分確認されている。 発明の効果 以上のように本発明の磁気記録媒体は、結晶化
度が40%以上のポリエステルフイルム上にプラズ
マ重合膜を配して垂直磁気記録層を形成すること
で、結晶配向性のバラツキを減らし、短波長での
S/Nを改良したものでその実用的効果は大き
い。
第1図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図、第
2図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 4…ポリエステルフイルム、5…プラズマ重合
膜、6…軟磁性層、7…垂直磁化膜。
2図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 4…ポリエステルフイルム、5…プラズマ重合
膜、6…軟磁性層、7…垂直磁化膜。
Claims (1)
- 1 結晶化度が40%以上のポリエステルフイルム
上に10〜30Åのプラズマ重合膜を配した上に垂直
磁気記録層を配したことを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100946A JPS60243818A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59100946A JPS60243818A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60243818A JPS60243818A (ja) | 1985-12-03 |
| JPH0522965B2 true JPH0522965B2 (ja) | 1993-03-31 |
Family
ID=14287515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59100946A Granted JPS60243818A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60243818A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5860427A (ja) * | 1981-10-05 | 1983-04-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 垂直磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP59100946A patent/JPS60243818A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60243818A (ja) | 1985-12-03 |
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