JPH05232191A - Icテスタ - Google Patents
IcテスタInfo
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- JPH05232191A JPH05232191A JP4072841A JP7284192A JPH05232191A JP H05232191 A JPH05232191 A JP H05232191A JP 4072841 A JP4072841 A JP 4072841A JP 7284192 A JP7284192 A JP 7284192A JP H05232191 A JPH05232191 A JP H05232191A
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- test
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- tester
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 62
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000018650 Solanum gilo Nutrition 0.000 description 9
- 241001198066 Solanum aethiopicum Species 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012854 evaluation process Methods 0.000 description 2
- 101100117775 Arabidopsis thaliana DUT gene Proteins 0.000 description 1
- 101150091805 DUT1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間にICテスタでの評価データを採取す
る。 【構成】 評価するテスト項目、使用する評価ソフトウ
ェア、評価条件等を予め登録し、これ等データを格納す
るメモリ部2と、これ等データを基にテスト実行処理を
制御する専用制御部3とを有することにより、ICテス
タ操作者の操作手順を専用の制御部3が代わりに処理す
る。 【効果】 ICテスタ操作者の操作手順を専用の制御部
が代わりに処理することにより、テスト実行時間の短縮
をはかり正確な評価を図れるという効果がある。
る。 【構成】 評価するテスト項目、使用する評価ソフトウ
ェア、評価条件等を予め登録し、これ等データを格納す
るメモリ部2と、これ等データを基にテスト実行処理を
制御する専用制御部3とを有することにより、ICテス
タ操作者の操作手順を専用の制御部3が代わりに処理す
る。 【効果】 ICテスタ操作者の操作手順を専用の制御部
が代わりに処理することにより、テスト実行時間の短縮
をはかり正確な評価を図れるという効果がある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のICテスタは、被試験IC(以
下、DUTという)に電源電圧や信号を印加し、DUT
からの出力信号を期待値と比較することにより、DUT
の電気的特性をテストするものである。図5は、従来の
ICテスタの概要を示した図である。図中、1は制御
部、2はメモリ部、5はタイミング発生部、6はパタン
発生部、7は波形形成部、8はピンエレクトロニクス部
(以下、ピンエレ部という)、9はDC測定部、10は
切換部、11はDUT、12は比較部である。
下、DUTという)に電源電圧や信号を印加し、DUT
からの出力信号を期待値と比較することにより、DUT
の電気的特性をテストするものである。図5は、従来の
ICテスタの概要を示した図である。図中、1は制御
部、2はメモリ部、5はタイミング発生部、6はパタン
発生部、7は波形形成部、8はピンエレクトロニクス部
(以下、ピンエレ部という)、9はDC測定部、10は
切換部、11はDUT、12は比較部である。
【0003】図6は、テストプログラムを示している。
ICテスタの動作を説明すると、制御部1は、メモリ部
2に格納されたテストプログラムに従って、ICテスタ
内部の各ハードウェアを制御し、動作させる。パタン発
生部6は、タイミング発生部5より発生するタイミング
に基づいてテストパタンを発生し、波形形成部7に送出
する。
ICテスタの動作を説明すると、制御部1は、メモリ部
2に格納されたテストプログラムに従って、ICテスタ
内部の各ハードウェアを制御し、動作させる。パタン発
生部6は、タイミング発生部5より発生するタイミング
に基づいてテストパタンを発生し、波形形成部7に送出
する。
【0004】このテストパタンはDUT11の機能をテ
ストする際に用いるものであり、DUT11の入出力論
理データつまり真理値表に相当するものであったり、D
UT11がメモリICの場合はアルゴリズミックパタン
(GALLOPING,PING−PONG等)であ
る。
ストする際に用いるものであり、DUT11の入出力論
理データつまり真理値表に相当するものであったり、D
UT11がメモリICの場合はアルゴリズミックパタン
(GALLOPING,PING−PONG等)であ
る。
【0005】波形形成部7は、パタン発生部6からの信
号を所定のタイミングで波形を形成し、ピンエレ部8に
送出する。ピンエレ部8は、波形形成部7からの信号を
所定の電圧に増幅し、DUT11に印加する。DUT1
1の出力信号は、ピンエレ部8を介して比較部12に取
り込まれる。比較部12は、DUT11の出力信号とパ
タン発生部6の期待値信号と比較し、比較結果を制御部
1に送出する。
号を所定のタイミングで波形を形成し、ピンエレ部8に
送出する。ピンエレ部8は、波形形成部7からの信号を
所定の電圧に増幅し、DUT11に印加する。DUT1
1の出力信号は、ピンエレ部8を介して比較部12に取
り込まれる。比較部12は、DUT11の出力信号とパ
タン発生部6の期待値信号と比較し、比較結果を制御部
1に送出する。
【0006】また、DCパラメトリックテストは、制御
部1の制御のもとで、DC測定部9で行う。DC測定部
9は、切換部10及びピンエレ部8を介してDUT11
に電流あるいは電圧を印加し、DUT11より発生する
電圧あるいは電流をテストする。
部1の制御のもとで、DC測定部9で行う。DC測定部
9は、切換部10及びピンエレ部8を介してDUT11
に電流あるいは電圧を印加し、DUT11より発生する
電圧あるいは電流をテストする。
【0007】通常ICテスタは、DUTの電気特性を評
価するための種々の評価ソフトウェアを有し、これ等評
価ソフトウェアによるテスト結果データは、コンソール
ディスプレイあるいはプリンタに出力される。これ等ソ
フトウェアには、DCパラメトリックテスト結果をモニ
タできるDCロギング、ファンクションテスト結果をモ
ニタできるファンクションロギング、シュムと呼ばれる
テスト条件内の複数のパラメータ値を変化させながら、
パス、フェイル領域をプロットするソフトウェア、DU
Tの出力信号波形をモニタするソフトウェア等がある。
価するための種々の評価ソフトウェアを有し、これ等評
価ソフトウェアによるテスト結果データは、コンソール
ディスプレイあるいはプリンタに出力される。これ等ソ
フトウェアには、DCパラメトリックテスト結果をモニ
タできるDCロギング、ファンクションテスト結果をモ
ニタできるファンクションロギング、シュムと呼ばれる
テスト条件内の複数のパラメータ値を変化させながら、
パス、フェイル領域をプロットするソフトウェア、DU
Tの出力信号波形をモニタするソフトウェア等がある。
【0008】これ等評価ソフトウェアは、ICテスタ操
作者が、テストプログラムを実行しながら、使用するソ
フトウェアを起動させ、評価条件を設定しながら使用し
ていた。この様子を示したのが図7である。図6のテス
トプログラムにおいて、テスト2でDCロギング、テス
ト3でシュムを実行する場合、ICテスタ操作者は、テ
スト2の直前でテストを中断させるようにブレークポイ
ントを指定し、テストを開始する。
作者が、テストプログラムを実行しながら、使用するソ
フトウェアを起動させ、評価条件を設定しながら使用し
ていた。この様子を示したのが図7である。図6のテス
トプログラムにおいて、テスト2でDCロギング、テス
ト3でシュムを実行する場合、ICテスタ操作者は、テ
スト2の直前でテストを中断させるようにブレークポイ
ントを指定し、テストを開始する。
【0009】ICテスタの制御部1はテスト1を実行
し、テスト2の直前でテスト実行を中断させる。次に、
操作者は、DCロギングソフトウェアを起動させ、ロギ
ングすべきDUTの端子、ディスプレイやプリンタの出
力フォーマット等の条件を指定し、テスト2を実行させ
る。
し、テスト2の直前でテスト実行を中断させる。次に、
操作者は、DCロギングソフトウェアを起動させ、ロギ
ングすべきDUTの端子、ディスプレイやプリンタの出
力フォーマット等の条件を指定し、テスト2を実行させ
る。
【0010】制御部1はDCロギングソフトウェアをこ
の条件に基づいて、テスト2を実行しながらDCロギン
グを実行させ、テストnまで実行させる。次に、テスト
3でのシュムを実行する場合も、上述と同様にテスト2
でテストを中断し、シュムソフトウェアを起動し、シュ
ム条件を設定し、テスト3を実行し、シュムを実行して
いた。
の条件に基づいて、テスト2を実行しながらDCロギン
グを実行させ、テストnまで実行させる。次に、テスト
3でのシュムを実行する場合も、上述と同様にテスト2
でテストを中断し、シュムソフトウェアを起動し、シュ
ム条件を設定し、テスト3を実行し、シュムを実行して
いた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICテ
スタでの評価ソフトウェアによるデータ採取は、ICテ
スタの操作者が、評価するテスト直前でテスト中断させ
るためのブレークポイントを指定し、使用する評価ソフ
トウェアを起動させ、評価条件を指定し、テストを実行
させてデータを採取していた。
スタでの評価ソフトウェアによるデータ採取は、ICテ
スタの操作者が、評価するテスト直前でテスト中断させ
るためのブレークポイントを指定し、使用する評価ソフ
トウェアを起動させ、評価条件を指定し、テストを実行
させてデータを採取していた。
【0012】このような方法では、ICテスタ操作者
が、テスタの実行処理を常時指定する必要がある。一般
に、テスト実行時間は長くても数秒であり、これに対
し、操作者の操作時間は数分程度と長く、随時ICテス
タ操作者がテスト実行処理を指定するため、テスト及び
評価実行時間が長大化するために、テスタのスループッ
トが劣化するという欠点がある。
が、テスタの実行処理を常時指定する必要がある。一般
に、テスト実行時間は長くても数秒であり、これに対
し、操作者の操作時間は数分程度と長く、随時ICテス
タ操作者がテスト実行処理を指定するため、テスト及び
評価実行時間が長大化するために、テスタのスループッ
トが劣化するという欠点がある。
【0013】また、テスト実行時間の長大化は、テスト
プログラムによっては、DUTに電圧を印加した状態で
テストを一時中断させるため、DUTが自己発熱により
DUTの電気特性が変化し、正確なデータを採取できな
いという欠点があった。
プログラムによっては、DUTに電圧を印加した状態で
テストを一時中断させるため、DUTが自己発熱により
DUTの電気特性が変化し、正確なデータを採取できな
いという欠点があった。
【0014】本発明の目的は、前記課題を解決したIC
テスタを提供することにある。
テスタを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るICテスタは、ICテスタの有する一
連の評価ソフトウェアを起動、実行させるための条件
を、テストプログラムとは独立した一つのプログラムに
定義し、そのプログラムを格納する専用のメモリ部と、
テストプログラム実行と同期し、専用メモリ部の条件プ
ログラムに従って評価ソフトウェアを実行する専用の制
御部あるいは制御処理ソフトウェアとを有するものであ
る。
め、本発明に係るICテスタは、ICテスタの有する一
連の評価ソフトウェアを起動、実行させるための条件
を、テストプログラムとは独立した一つのプログラムに
定義し、そのプログラムを格納する専用のメモリ部と、
テストプログラム実行と同期し、専用メモリ部の条件プ
ログラムに従って評価ソフトウェアを実行する専用の制
御部あるいは制御処理ソフトウェアとを有するものであ
る。
【0016】
【作用】専用の制御部あるいは、制御処理ソフトウェア
がICテスタ操作者の操作手順を代わりに処理すること
により、テスト実行時間の短縮を図り、正確な評価を図
れる。
がICテスタ操作者の操作手順を代わりに処理すること
により、テスト実行時間の短縮を図り、正確な評価を図
れる。
【0017】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0018】(実施例1)図1は、本発明の実施例1を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【0019】図1において、1は制御部、2はメモリ
部、5はタイミング発生部、6はパタン発生部、7は波
形形成部、8はピンエレ部、9はDC測定部、10は切
換部、11はDUTである。
部、5はタイミング発生部、6はパタン発生部、7は波
形形成部、8はピンエレ部、9はDC測定部、10は切
換部、11はDUTである。
【0020】さらに、4は、評価するテスト項目、使用
する評価ソフトウェア、評価条件等のデータを格納する
専用メモリ部、3は、これ等データを基にテスト実行処
理を制御する専用制御部である。図6のようにテスト2
でDCロギング、テスト3でシュムを実行する場合につ
いて説明する。
する評価ソフトウェア、評価条件等のデータを格納する
専用メモリ部、3は、これ等データを基にテスト実行処
理を制御する専用制御部である。図6のようにテスト2
でDCロギング、テスト3でシュムを実行する場合につ
いて説明する。
【0021】専用メモリ部4には、予め、テスト2でD
Cロギング及びその条件と、テスト3でシュム及びその
条件データとがテストプログラムとは独立した一つのプ
ログラムに定義され格納されている。
Cロギング及びその条件と、テスト3でシュム及びその
条件データとがテストプログラムとは独立した一つのプ
ログラムに定義され格納されている。
【0022】図2に、その条件プログラム例を示す。I
Cテスタ操作者は、テストを開始する前に、テストプロ
グラムと条件プログラムをそれぞれメモリ部2と専用メ
モリ部4に格納する。
Cテスタ操作者は、テストを開始する前に、テストプロ
グラムと条件プログラムをそれぞれメモリ部2と専用メ
モリ部4に格納する。
【0023】次に、ICテスタ操作者は、評価モードで
あるか通常モードであるかテストを開始前に指定する。
制御部1は、評価モードと指定された場合、ICテスタ
の制御処理を専用制御部3に移す。操作者がテスト開始
を指定したら、専用制御部3は、専用メモリ部4の条件
プログラムを参照し、評価するテスト項目の直前、この
場合はテスト1までテストを制御部1に指示する。
あるか通常モードであるかテストを開始前に指定する。
制御部1は、評価モードと指定された場合、ICテスタ
の制御処理を専用制御部3に移す。操作者がテスト開始
を指定したら、専用制御部3は、専用メモリ部4の条件
プログラムを参照し、評価するテスト項目の直前、この
場合はテスト1までテストを制御部1に指示する。
【0024】制御部1は、テスト1を実行し、中断し、
専用制御部3に中断情報を送出する。専用制御部3は、
この中断情報を受けて、テスト2でDCロギング条件を
制御部1に設定し、テスト2を実行、且つDCロギング
を処理させる。制御部1は、テスト2の実行及びDCロ
ギング完了情報を、専用制御部3に送出する。専用制御
部3は、テスト3のシュム処理に関しても、制御部1に
実行させる。図3に、ICテスタの制御部3及び専用制
御部のテスト,評価処理を示す。
専用制御部3に中断情報を送出する。専用制御部3は、
この中断情報を受けて、テスト2でDCロギング条件を
制御部1に設定し、テスト2を実行、且つDCロギング
を処理させる。制御部1は、テスト2の実行及びDCロ
ギング完了情報を、専用制御部3に送出する。専用制御
部3は、テスト3のシュム処理に関しても、制御部1に
実行させる。図3に、ICテスタの制御部3及び専用制
御部のテスト,評価処理を示す。
【0025】(実施例2)図4は、本発明の実施例2を
示すブロック図である。本実施例は、実施例1の専用制
御部の機能を制御部1′に組み込んだ例である。本実施
例では、最近のICテスタの制御部1′は、多重処理対
応のコンピュータを使用して行うことに着目し、実施例
1の専用制御部の機能を、1つの制御部で処理させた例
である。
示すブロック図である。本実施例は、実施例1の専用制
御部の機能を制御部1′に組み込んだ例である。本実施
例では、最近のICテスタの制御部1′は、多重処理対
応のコンピュータを使用して行うことに着目し、実施例
1の専用制御部の機能を、1つの制御部で処理させた例
である。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明のICテスタ
は、ICテスタの有する一連の評価ソフトウェアを起
動、実行させるための条件を、テストプログラムとは独
立した一つのプログラムに定義し、そのプログラムを格
納する専用のメモリ部と、テストプログラム実行と同期
し、専用メモリ部の条件プログラムに従って評価ソフト
ウェアを実行する専用の制御部あるいは制御処理ソフト
ウェアとを有することにより、専用の制御部あるいは、
制御処理ソフトウェアがICテスタ操作者の操作手順を
代わりに処理することにより、テスト実行時間の短縮を
はかり正確な評価を図れるという効果がある。
は、ICテスタの有する一連の評価ソフトウェアを起
動、実行させるための条件を、テストプログラムとは独
立した一つのプログラムに定義し、そのプログラムを格
納する専用のメモリ部と、テストプログラム実行と同期
し、専用メモリ部の条件プログラムに従って評価ソフト
ウェアを実行する専用の制御部あるいは制御処理ソフト
ウェアとを有することにより、専用の制御部あるいは、
制御処理ソフトウェアがICテスタ操作者の操作手順を
代わりに処理することにより、テスト実行時間の短縮を
はかり正確な評価を図れるという効果がある。
【図1】本発明の実施例1を示すブロック図である。
【図2】評価条件プログラムとテストプログラムの概要
を示す図である。
を示す図である。
【図3】ICテスタの制御部及び専用制御部のテスト、
評価処理を示す図である。
評価処理を示す図である。
【図4】本発明の実施例2を示すブロック図である。
【図5】従来のICテスタの概要を示す図である。
【図6】テストプログラムを示す図である。
【図7】図6のテストプログラムに対し、ICテスタ操
作手順、ICテスタの制御部及び専用制御部のテスト、
評価処理を示す図である。
作手順、ICテスタの制御部及び専用制御部のテスト、
評価処理を示す図である。
1,1′ 制御部 2 メモリ部 3 専用制御部 4 専用メモリ部 5 タイミング発生部 6 パタン発生部 7 波形形成部 8 ピンエレ部 9 DC測定部 10 切換部 11 DUT 12 比較部
Claims (1)
- 【請求項1】 ICテスタの有する一連の評価ソフトウ
ェアを起動、実行させるための条件を、テストプログラ
ムとは独立した一つのプログラムに定義し、そのプログ
ラムを格納する専用のメモリ部と、 テストプログラム実行と同期し、専用メモリ部の条件プ
ログラムに従って評価ソフトウェアを実行する専用の制
御部あるいは制御処理ソフトウェアとを有することを特
徴とするICテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072841A JP2976686B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Ic試験方法及びicテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072841A JP2976686B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Ic試験方法及びicテスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232191A true JPH05232191A (ja) | 1993-09-07 |
| JP2976686B2 JP2976686B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=13501028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4072841A Expired - Fee Related JP2976686B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Ic試験方法及びicテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2976686B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070294A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ用デバッグ支援方法 |
| JP2009250908A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Yokogawa Electric Corp | シュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法 |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP4072841A patent/JP2976686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070294A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ用デバッグ支援方法 |
| JP2009250908A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Yokogawa Electric Corp | シュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2976686B2 (ja) | 1999-11-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |