JPH05235132A - Ｉｃのリード曲がり検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リードを含む平面内のリード曲がりととも
に、リードを含む平面に対して垂直な方向のリード曲が
りをも確実に検出する。 【構成】 ＩＣ41の斜め上方に、ＩＣパッケージ41ｐの
一辺に配列されたリード41ａに斜め上方から照明光を照
射する照明用光源装置１を配置する。リード41ａの延長
線上に反射鏡３を水平面及び垂直面に対して傾斜させて
配置する。照明光を受けたリードの端面からの光が反射
鏡によって反射されて二次元ＣＣＤカメラ２へ導かれる
ので、ＩＣ41の上方に配置されたＣＣＤカメラ２によ
り、リード41ａの平面像と、リードを含む平面に対して
垂直な方向のリード曲がりの検出が容易な、リード41ａ
の端面像とを一度に撮像できる。画像処理装置４は、Ｃ
ＣＤカメラ２によって得られる画像に基づいてリードの
曲がりの有無を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板への精
密な接合が必要なフラットタイプＩＣにおけるリードの
曲がりを検出する、ＩＣのリード曲がり検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】微小なリードピッチでもって多数のリー
ドが配列されてなるフラットタイプ（フラットパック
形）ＩＣのリードの曲がりを検出するようにしたＩＣの
リード曲がり検査装置の一例としては、従来、その構成
説明図の図９に示すようにものが知られている。

【０００３】図９に示すように、このリード曲がり検査
装置は、検査対象であるＩＣ51のＩＣパッケージ51ｐの
一辺に一列に配列されたリード51ａを含む平面Ａを挟ん
で対向した配置された、撮像装置としての二次元ＣＣＤ
カメラ52および照明用光源装置53と、二次元ＣＣＤカメ
ラ52により得られる画像に基づいてリード51ａの曲がり
の有無を判定する画像処理装置54より構成されている。
なお、リードは、ＩＣパッケージ51ｐの相対向する二
辺、あるいは四辺にそれぞれ一列に配列されるものであ
る。

【０００４】上記リード曲がり検査装置においては、照
明用光源装置53からの照明光の一部が検査すべきリード
51ａにより遮られることにより、リード51ａの平面像と
しての影像（シルエット像）が二次元ＣＣＤカメラ52に
より撮像されて、図10に示すようなリード51ａの画像が
得られる。この二次元ＣＣＤカメラ52により得られる画
像を、画像処理装置54において、予め入力されている良
品の標準パターンと比較することにより、リード51ａの
曲がりの有無を判定するようにしている。

【０００５】この場合、図10のＢに示すように、リード
51ａを含む平面内のリード曲がりは、標準パターンにお
けるリードピッチとの比較によりその有無が判定され
る。また、リード51ａを含む平面Ａに対して垂直な方向
のリード曲がり（リードの浮き）は、図10のＣに示すよ
うに、標準パターンにおけるリード長手方向寸法との比
較によりその有無が判定されるようになされている。な
お、図示しないＩＣ回転装置によりＩＣ51を１８０度回
転させて位置決めすることにより、相対向する他の辺に
配列されたリード51ｂについてのリード曲がり有無を検
査するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来におけるＩＣのリード曲がり検査装置では、検査すべ
きリードの平面の像に基づいてリードの曲がりを検出す
るようにしたものであるから、リードを含む平面に対し
て垂直な方向のリード曲がり（リードの浮き）をそのリ
ードの曲がりの程度によっては検出し難いという欠点が
ある。また、ＩＣパッケージの一辺に配列されたリード
の曲がりについてしか一度に検出できず、１台の撮像装
置を用いて他の辺に配列されたリードの曲がりを所要の
測定分解能を確保した状態で検出するには、検査対象の
ＩＣを水平面内で何回も回転させることが必要となり、
検査に時間がかかるという欠点がある。

【０００７】そこで、この発明の目的は、リードを含む
平面内のリード曲がりとともに、リードを含む平面に対
して垂直な方向のリード曲がりをも確実に検出できる、
ＩＣのリード曲がり検査装置を提供すること、また、１
台の撮像装置によりＩＣパッケージの複数の辺に配列さ
れたリードの像を高い測定分解能を確保した状態で一度
に撮像でき、検査時間を短縮できる、ＩＣのリード曲が
り検査装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明によるＩＣのリード曲がり検査装
置は、ＩＣパッケージの所定の一辺に配列されたリード
に斜め上方から照明光を照射する照明用光源装置と、前
記リードの延長線上に水平面及び垂直面に対して傾斜さ
せて配置され、照明光を受けたリード端面からの光を上
方へ反射させる反射鏡と、ＩＣパッケージの上方に配置
され、前記リードの、平面像及び前記反射鏡の反射作用
による端面像を一度に撮像する撮像装置と、前記撮像装
置によって得られる画像に基づいて前記リードの曲がり
の有無を判定する画像処理装置と、を備えたことを特徴
とするものである。

【０００９】請求項２の発明によるＩＣのリード曲がり
検査装置は、ＩＣパッケージの相隣合う二辺に配列され
た各リードに斜め上方から照明光を照射する照明用光源
装置と、前記相隣合う二辺の一方の辺に配列されたリー
ドの平面像を平面視で90度回転させる像回転用光学系
と、ＩＣパッケージの上方に配置され、前記相隣合う二
辺の他方の辺に配列されたリードの平面像と前記相隣合
う二辺の一方の辺に配列されたリードの前記像回転用光
学系によって平面視で90度回転された平面像とを一度に
撮像する撮像装置と、前記撮像装置によって得られる画
像に基づいて前記相隣合う二辺に配列された各リードの
曲がりの有無を判定する画像処理装置と、を備えたこと
を特徴とするものである。

【００１０】また、請求項３の発明によるＩＣのリード
曲がり検査装置は、ＩＣパッケージの四辺に配列された
各リードに斜め上方から照明光を照射する照明用光源装
置と、ＩＣパッケージの一方の相対向する二辺に配列さ
れたリードの延長線上に、その相対向する二辺を挟ん
で、水平面及び垂直面に対して傾斜させて配置され、照
明光を受けたリード端面からの光を上方へ反射させる第
１及び第２の反射鏡と、ＩＣパッケージの他方の相対向
する二辺に配列されたリードの延長線上に、その相対向
する二辺を挟んで、水平面及び垂直面に対して傾斜させ
て配置され、照明光を受けたリード端面からの光を上方
へ反射させる第３及び第４の反射鏡と、前記第１及び第
２の反射鏡それぞれの上方に配置される像回転用光学系
であって、前記一方の相対向する二辺に配列されたリー
ドの、平面像と前記第１及び第２の反射鏡の反射作用に
よる端面像とを平面視で90度回転させる像回転用光学系
と、ＩＣパッケージの上方に配置され、前記他方の相対
向する二辺に配列されたリードの、平面像と前記第３及
び第４の反射鏡の反射作用による端面像、並びに前記一
方の相対向する二辺に配列されたリードの、前記像回転
用光学系によって平面視で90度回転された平面像及び端
面像を、一度に撮像する撮像装置と、前記撮像装置によ
って得られる画像に基づいてＩＣパッケージの四辺に配
列された各リードの曲がりの有無を判定する画像処理装
置と、を備えたことを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】請求項１に係るリード曲がり検査装置において
は、ＩＣパッケージの所定の一辺に配列され照明光を受
けたリードの端面からの光が反射鏡によって反射されて
撮像装置へ導かれる。したがって、撮像装置により、前
記リードの、平面像と前記反射鏡の反射作用による端面
像とが一度に撮像される。これにより、リードの平面像
と、リードを含む平面に対して垂直な方向のリード曲が
り（リードの浮き）の検出が容易なリード端面像とを一
度に撮像できる。

【００１２】請求項２に係るリード曲がり検査装置にお
いては、ＩＣパッケージの相隣合う二辺の一方の辺に配
列されたリードの平面像が、像回転用光学系によって平
面視で90度回転されて撮像装置へ導かれる。したがっ
て、撮像装置により、相隣合う二辺の他方の辺に配列さ
れたリードの平面像と、前記相隣合う二辺の一方の辺に
配列されたリードの平面視で90度回転された平面像と
が、画面上において例えば上下に平行に並べられ余分な
ＩＣパッケージ部分が排除された状態で一度に撮像され
る。これにより、１台の撮像装置により、ＩＣパッケー
ジの直角をなす相隣合う二辺に配列された各リードの平
面像を、高い測定分解能を確保した状態で一度に撮像で
きる。

【００１３】請求項３に係るリード曲がり検査装置にお
いては、ＩＣパッケージの他方の相対向する二辺に配列
され照明光を受けたリードの端面からの光が、第３の反
射鏡と第４の反射鏡によってそれぞれ反射されて撮像装
置へ導かれる。また、第１の反射鏡の上方に配置された
像回転用光学系により、ＩＣパッケージの一方の相対向
する二辺における一辺に配列されたリードの、平面像と
前記第１の反射鏡の反射作用による端面像とが、平面視
で90度回転されて撮像装置へ導かれる。さらに、第２の
反射鏡の上方に配置された像回転用光学系により、ＩＣ
パッケージの前記一方の相対向する二辺における他の辺
に配列されたリードの、平面像と前記第２の反射鏡の反
射作用による端面像とが、平面視で90度回転されて撮像
装置へ導かれる。

【００１４】したがって、撮像装置により、前記他方の
相対向する二辺に配列されたリードの平面像及び端面
像、並びに前記一方の相対向する二辺に配列されたリー
ドの、前記像回転用光学系によって平面視で90度回転さ
れた平面像及び端面像が、画面上において例えば上下に
平行に並べられ余分なＩＣパッケージ部分が排除された
状態で一度に撮像される。これにより、１台の撮像装置
により、ＩＣパッケージの四辺に配列された各リードの
平面像及び端面像を、高い測定分解能を確保した状態で
一度に撮像できる。

【００１５】

【実施例】以下、実施例に基づいてこの発明を説明す
る。図１は請求項１の発明の一実施例によるＩＣのリー
ド曲がり検査装置の構成説明図である。

【００１６】図１において、41は検査対象であるフラッ
トタイプのＩＣで、そのＩＣパッケージ41ｐの相対向す
る二辺にリード41ａ，41ｂが一列にそれぞれ配列された
ものである。ＩＣパッケージ41ｐ（ＩＣ41）の斜め上方
には、ＩＣパッケージ41ｐの一辺に配列されたリード41
ａに斜め上方から照明光を照射する照明用光源装置１が
配置されている。また、ＩＣパッケージ41ｐの上方に
は、リード41ａについての後述する像を撮像するための
撮像装置としての二次元ＣＣＤカメラ２が配置されてい
る。リード41ａの延長線上には水平面及び垂直面の双方
に対して45度傾斜させて反射鏡３が配置されている。こ
の反射鏡３は、照明光を受けたリード41ａの端面からの
光を上方へ反射させて二次元ＣＣＤカメラ２へ導くため
のものである。４は二次元ＣＣＤカメラ２によって得ら
れる画像に基づいてリード41ａの曲がりの有無を判定す
る画像処理装置である。

【００１７】上記のように構成されるＩＣのリード曲が
り検査装置においては、検査すべきリード41ａの上面及
び端面に照明光が照射され、照明光を受けたリード41ａ
の端面からの光は、反射鏡３によって反射され二次元Ｃ
ＣＤカメラ２へ導かれる。したがって、二次元ＣＣＤカ
メラ２により、図２における上側に示すように、リード
41ａの平面像と、図２における下側に示すように、反射
鏡３の反射作用によるリード41ａの端面像とが一度に撮
像される。なお、図２中、MEは反射鏡３の周縁部を表す
ものである。

【００１８】そして、画像処理装置４は、二次元ＣＣＤ
カメラ２により得られる画像（画像情報）を、この実施
例では予め入力されている良品の標準パターンと比較す
ることにより、リード41ａの曲がりの有無を判定する。
この場合、リード41ａの平面像に基づいて標準パターン
におけるリードピッチとの比較により、リード41ａを含
む平面内のリード曲がりの有無を判定できる。また、リ
ード41ａを含む平面に対して垂直な方向への曲がりが生
じたリードの端面像は、リード41ａの端面画像を示す図
３のＤに示すように、その位置が標準パターンにおける
それに比べて図における上下方向に位置ずれする。この
ことを利用して、リード41ａを含む平面に対して垂直な
方向のリード曲がりの有無を確実に判定できる。

【００１９】このようにして、リード41ａを含む平面内
のリード曲がりとともに、リード41ａを含む平面に対し
て垂直な方向のリード曲がりをも確実に検出することが
できる。なお、この実施例では、図示しないＩＣ回転装
置によりＩＣ41を水平に180度回転させて位置決めする
ことにより、相対向する他の辺に配列されたリード41ｂ
についてのリード曲がり有無を検査するようにしてい
る。

【００２０】図４は請求項２の発明の一実施例によるＩ
Ｃのリード曲がり検査装置の構成説明図である。図４に
おいて、42は検査対象であるフラットタイプのＩＣであ
る。このＩＣ42は、同図に示すように、そのＩＣパッケ
ージ42ｐの一方の相対向する二辺にリード42ａ，42ｂが
一列にそれぞれ配列され、他方の相対向する二辺にリー
ド42ｃ，42ｄ（図示省略）が一列にそれぞれ配列された
ものである。ＩＣパッケージ42ｐの相隣合う二辺の一方
の辺に配列されたリード42ａ側の斜め上方には、相隣合
う二辺に配列された各リード42ａ，42ｃに斜め上方から
照明光を照射する照明用光源装置11が配置されている。
また、ＩＣパッケージ42ｐ（ＩＣ42）の上方には、二つ
リード42ａ，42ｃについての後述する像を一度に撮像す
るための撮像装置としての二次元ＣＣＤカメラ12が配置
されている。

【００２１】さらに、リード42ａと二次元ＣＣＤカメラ
12の間には、像を90度回転させるための像回転用光学系
としてのドーブ（Dove）プリズム15が配置されている。
14は二次元ＣＣＤカメラ12によって得られる画像に基づ
いて相隣合う二辺に配列されたリード42ａ，42ｃの曲が
りの有無を判定するための画像処理装置である。

【００２２】上記のように構成されるＩＣのリード曲が
り検査装置においては、ＩＣパッケージ42ｐの相隣合う
二辺の一方の辺に配列されたリード42ａの平面像は、ド
ーブプリズム15によって平面視で90度回転されて二次元
ＣＣＤカメラ12へ導かれる。したがって、１台の二次元
ＣＣＤカメラ12により、図５に示すように、相隣合う二
辺に配列されたリード42ａ，42ｃの平面像が、画面上に
おいて上下に平行に並べられ余分なＩＣパッケージ部分
が排除された状態で一度に撮像される。なお、図５中、
DEはドーブプリズム15の周縁部を表すものである。

【００２３】そして、画像処理装置14は、二次元ＣＣＤ
カメラ12により得られる画像を、この実施例では予め入
力されている良品の標準パターンにおけるリードピッチ
との比較により、リード42ａ，42ｃについての平面内の
リード曲がりの有無を判定する。また、標準パターンに
おけるリード長手方向寸法との比較により、リード42
ａ，42ｃの平面に対して垂直な方向へのリード曲がり有
無を判定する。

【００２４】このようにして、１台の二次元ＣＣＤカメ
ラ12により、ＩＣパッケージ42ｐの直角をなす相隣合う
二辺に配列された各リード42ａ，42ｃの平面像を、高い
測定分解能を確保した状態で一度に撮像できるので、検
査時間を短縮することが可能となる。なお、この実施例
では、図示しないＩＣ回転装置によりＩＣ42を水平に18
0 回転させて位置決めすることにより、他の相隣合う二
辺に配列された各リード42ｂ，42ｄ（図示省略）につい
てのリード曲がり有無を検査するようにしている。

【００２５】図６は請求項３の発明の一実施例によるＩ
Ｃのリード曲がり検査装置の構成説明図、図７は図６に
おけるリードの延長線上に配置される反射鏡の位置関係
を説明するための図である。図６及び図７において、43
は検査対象であるフラットタイプのＩＣである。このＩ
Ｃ43は、図に示すように、そのＩＣパッケージ43ｐの一
方の相対向する二辺にリード43ａ，43ｂが一列にそれぞ
れ配列され、他方の相対向する二辺にリード43ｃ，43ｄ
が一列にそれぞれ配列されたものである。この実施例で
は、ＩＣパッケージ43ｐの四辺に配列されたリード43ａ
〜43ｄに斜め上方からそれぞれ照明光を照射する照明用
光源装置21ａ〜21ｄが配置されている。また、ＩＣパッ
ケージ43ｐ（ＩＣ43）の上方には、四つリード43ａ〜43
ｄについての後述する像を一度に撮像するための撮像装
置としての二次元ＣＣＤカメラ22が配置されている。24
は二次元ＣＣＤカメラ22によって得られる画像に基づい
て四つリード43ａ〜43ｄの曲がりの有無を判定する画像
処理装置である。

【００２６】ＩＣパッケージ43ｐの一方の相対向する二
辺に配列されたリード43ａ，43ｂの延長線上に、この相
対向する二辺を挟んで、照明光を受けたリード端面から
の光を上方へ反射させる、第１の反射鏡23ａと第２の反
射鏡23ｂとがそれぞれ配置されている。同様にして、他
方の相対向する二辺に配列されたリード43ｃ，43ｄの延
長線上に、この相対向する二辺を挟んで、照明光を受け
たリード端面からの光を上方へ反射させる、第３の反射
鏡23ｃと第４の反射鏡23ｄとがそれぞれ配置されてい
る。これらの反射鏡23ａ〜23ｄは、水平面及び垂直面の
双方に対して45度傾斜させて配置されている。

【００２７】さらに、上記第１の反射鏡23ａ及びリード
43ａの双方を臨むその上方には、像を90度回転させるた
めの像回転用光学系としての第１のドーブプリズム25ａ
が配置され、第２の反射鏡23ｂ及びリード43ｂの双方を
臨むその上方には、同様に、像を90度回転させるための
像回転用光学系としての第２のドーブプリズム25ｂが配
置されている。また、上記第１のドーブプリズム25ａと
二次元ＣＣＤカメラ22の間には、反射鏡26ａ，27ａが第
１のドーブプリズム25ａからの像（光）を二次元ＣＣＤ
カメラ22へ導くべく配置されている。同様に、上記第２
のドーブプリズム25ｂと二次元ＣＣＤカメラ22の間に
は、反射鏡26ｂ，27ｂが第２のドーブプリズム25ｂから
の像（光）を二次元ＣＣＤカメラ22へ導くべく配置され
ている。

【００２８】上記のように構成されるＩＣのリード曲が
り検査装置においては、ＩＣパッケージ43ｐの他方の相
対向する二辺に配列され照明光を受けたリード43ｃ，43
ｄの端面からの光が、第３の反射鏡23ｃと第４の反射鏡
23ｄによってそれぞれ反射されて二次元ＣＣＤカメラ22
へ導かれる。一方、ＩＣパッケージ43ｐの一方の相対向
する二辺に配列されたリード43ａ，43ｂについては、第
１のドーブプリズム25ａにより、リード43ａの、平面像
と第１の反射鏡23ａの反射作用による端面像とが平面視
で90度回転されて、反射鏡26ａ，27ａを介して、二次元
ＣＣＤカメラ22へ導かれる。また、第２のドーブプリズ
ム25ｂにより、リード43ｂの、平面像と第２の反射鏡23
ｂの反射作用による端面像とが平面視で90度回転され
て、反射鏡26ｂ，27ｂを介して、二次元ＣＣＤカメラ22
へ導かれる。

【００２９】したがって、１台の二次元ＣＣＤカメラ22
により、図８に示すように、ＩＣパッケージ43ｐの他方
の相対向する二辺に配列されたリード43ｃ，43ｄの平面
像及び端面像、並びに一方の相対向する二辺に配列され
たリード43ａ，43ｂの、ドーブプリズム25ａ，25ｂによ
って平面視で90度回転された平面像及び端面像が、画面
上において上下に平行に並べられ余分なＩＣパッケージ
部分が排除された状態で一度に撮像される。そして、画
像処理装置24は、二次元ＣＣＤカメラ22により得られる
上記の画像（画像情報）を、この実施例では予め入力さ
れている良品の標準パターンと比較することにより、四
つリード43ａ〜43ｄについての平面内のリード曲がり及
び平面に対して垂直な方向へのリード曲がりの有無を、
先に述べた図１に示す装置の場合と同様にして、判定す
る。

【００３０】このようにして、１台の二次元ＣＣＤカメ
ラ22により、ＩＣパッケージ43ｐの四辺に配列された各
リード43ａ〜43ｄの平面像及び端面像を高い測定分解能
を確保した状態で一度に撮像でき、リードを含む平面内
のリード曲がりとともに、リードを含む平面に対して垂
直な方向のリード曲がりをも確実に検出し得るととも
に、検査時間をより短縮することが可能となる。

【００３１】なお、像回転用光学系としては、上記図
４、図６に示す実施例による装置ではドーブプリズムで
構成したが、これに限らず、入力端面と出力端面を90度
回転させてなる光ファイバ、あるいは反射鏡を組み合わ
せたもの、等を用いるようにしてもよい。

【００３２】

【発明の効果】請求項１の発明によるＩＣのリード曲が
り検査装置によると、ＩＣパッケージの所定の一辺に配
列され照明光を受けたリードの端面からの光を反射鏡に
よって反射させて撮像装置へ導くように構成したもので
あるから、撮像装置により、前記リードの、平面像及び
前記反射鏡の反射作用による端面像とを一度に撮像でき
る。これにより、リードを含む平面内のリード曲がりと
ともに、リードの端面像に基づいてリードを含む平面に
対して垂直な方向のリード曲がり（リードの浮き）をも
確実に検出することができる。

【００３３】請求項２の発明によるＩＣのリード曲がり
検査装置によると、ＩＣパッケージの相隣合う二辺の一
方の辺に配列されたリードの平面像を像回転用光学系に
よって平面視で90度回転させて撮像装置へ導くように構
成したものであるから、撮像装置により、相隣合う二辺
の他方の辺に配列されたリードの平面像と、前記相隣合
う二辺の一方の辺に配列されたリードの平面視で90度回
転された平面像とを、余分なＩＣパッケージ部分が排除
された状態で一度に撮像できる。これにより、１台の撮
像装置により、ＩＣパッケージの直角をなす相隣合う二
辺に配列された各リードの平面像を、高い測定分解能を
確保した状態で一度に撮像でき、検査時間を短縮するこ
とができる。

【００３４】請求項３の発明によるＩＣのリード曲がり
検査装置は、ＩＣパッケージの他方の相対向する二辺に
配列され照明光を受けたリードの端面からの光が、第３
の反射鏡と第４の反射鏡によってそれぞれ反射されて撮
像装置へ導かれるように構成されている。さらに、第１
の反射鏡の上方に配置された像回転用光学系により、Ｉ
Ｃパッケージの一方の相対向する二辺における一辺に配
列されたリードの、平面像と前記第１の反射鏡の反射作
用による端面像とが、平面視で90度回転されて撮像装置
へ導かれるとともに、第２の反射鏡の上方に配置された
像回転用光学系により、ＩＣパッケージの前記一方の相
対向する二辺における他の辺に配列されたリードの、平
面像と前記第２の反射鏡の反射作用による端面像とが、
平面視で90度回転されて撮像装置へ導かれるように構成
されている。

【００３５】したがって、撮像装置により、ＩＣパッケ
ージの他方の相対向する二辺に配列されたリードの平面
像及び端面像、並びにＩＣパッケージの一方の相対向す
る二辺に配列されたリードの、前記像回転用光学系によ
って平面視で90度回転された平面像及び端面像を、余分
なＩＣパッケージ部分が排除された状態で一度に撮像で
きる。これにより、１台の撮像装置により、ＩＣパッケ
ージの四辺に配列された各リードの平面像及び端面像を
高い測定分解能を確保した状態で一度に撮像でき、リー
ドを含む平面内のリード曲がりとともに、リードを含む
平面に対して垂直な方向のリード曲がりをも確実に検出
できるとともに、検査時間をより短縮することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の発明の一実施例によるＩＣのリード
曲がり検査装置の構成説明図である。

【図２】図１に示す二次元ＣＣＤカメラによって得られ
るリードの画像を示す図である。

【図３】リードの端面画像を示す図である。

【図４】請求項２の発明の一実施例によるＩＣのリード
曲がり検査装置の構成説明図である。

【図５】図４に示す二次元ＣＣＤカメラによって得られ
るリードの画像を示す図である。

【図６】請求項３の発明の一実施例によるＩＣのリード
曲がり検査装置の構成説明図である。

【図７】図６におけるリードの延長線上に配置される反
射鏡の位置関係を説明するための図である。

【図８】図６に示す二次元ＣＣＤカメラによって得られ
るリードの画像を示す図である。

【図９】従来におけるＩＣのリード曲がり検査装置の構
成説明図である。

【図１０】図９に示す二次元ＣＣＤカメラによって得ら
れるリードの画像を示す図である。

【符号の説明】

１，11，21ａ〜21ｄ…照明用光源装置 ２，12，22…二
次元ＣＣＤカメラ ３…反射鏡 23ａ…第１の反射鏡
23ｂ…第２の反射鏡 23ｃ…第３の反射鏡 23ｄ…第４
の反射鏡 26ａ，27ａ，26ｂ，27ｂ…反射鏡 ４，14，
24…画像処理装置 15…ドーブプリズム 25ａ…第１の
ドーブプリズム 25ｂ…第２のドーブプリズム 41，4
2，43…ＩＣ 41ｐ，42ｐ，43ｐ…ＩＣパッケージ 41
ａ，41ｂ…ＩＣ41のリード 42ａ，42ｂ，42ｃ，（42
ｄ）…ＩＣ42のリード 43ａ〜43ｄ…ＩＣ43のリード

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣパッケージの所定の一辺に配列され
   たリードに斜め上方から照明光を照射する照明用光源装
   置と、 前記リードの延長線上に水平面及び垂直面に対して傾斜
   させて配置され、照明光を受けたリード端面からの光を
   上方へ反射させる反射鏡と、 ＩＣパッケージの上方に配置され、前記リードの、平面
   像及び前記反射鏡の反射作用による端面像を一度に撮像
   する撮像装置と、 前記撮像装置によって得られる画像に基づいて前記リー
   ドの曲がりの有無を判定する画像処理装置と、 を備えたことを特徴とするＩＣのリード曲がり検査装
   置。
2. 【請求項２】 ＩＣパッケージの相隣合う二辺に配列さ
   れた各リードに斜め上方から照明光を照射する照明用光
   源装置と、 前記相隣合う二辺の一方の辺に配列されたリードの平面
   像を平面視で90度回転させる像回転用光学系と、 ＩＣパッケージの上方に配置され、前記相隣合う二辺の
   他方の辺に配列されたリードの平面像と前記相隣合う二
   辺の一方の辺に配列されたリードの前記像回転用光学系
   によって平面視で90度回転された平面像とを一度に撮像
   する撮像装置と、 前記撮像装置によって得られる画像に基づいて前記相隣
   合う二辺に配列された各リードの曲がりの有無を判定す
   る画像処理装置と、 を備えたことを特徴とするＩＣのリード曲がり検査装
   置。
3. 【請求項３】 ＩＣパッケージの四辺に配列された各リ
   ードに斜め上方から照明光を照射する照明用光源装置
   と、 ＩＣパッケージの一方の相対向する二辺に配列されたリ
   ードの延長線上に、その相対向する二辺を挟んで、水平
   面及び垂直面に対して傾斜させて配置され、照明光を受
   けたリード端面からの光を上方へ反射させる第１及び第
   ２の反射鏡と、 ＩＣパッケージの他方の相対向する二辺に配列されたリ
   ードの延長線上に、その相対向する二辺を挟んで、水平
   面及び垂直面に対して傾斜させて配置され、照明光を受
   けたリード端面からの光を上方へ反射させる第３及び第
   ４の反射鏡と、 前記第１及び第２の反射鏡それぞれの上方に配置される
   像回転用光学系であって、前記一方の相対向する二辺に
   配列されたリードの、平面像と前記第１及び第２の反射
   鏡の反射作用による端面像とを平面視で90度回転させる
   像回転用光学系と、 ＩＣパッケージの上方に配置され、前記他方の相対向す
   る二辺に配列されたリードの、平面像と前記第３及び第
   ４の反射鏡の反射作用による端面像、並びに前記一方の
   相対向する二辺に配列されたリードの、前記像回転用光
   学系によって平面視で90度回転された平面像及び端面像
   を、一度に撮像する撮像装置と、 前記撮像装置によって得られる画像に基づいてＩＣパッ
   ケージの四辺に配列された各リードの曲がりの有無を判
   定する画像処理装置と、 を備えたことを特徴とするＩＣのリード曲がり検査装
   置。