JPH05235462A - 固体レーザ用多結晶透明ｙａｇセラミックスの製造方法 - Google Patents
固体レーザ用多結晶透明ｙａｇセラミックスの製造方法Info
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- JPH05235462A JPH05235462A JP3356592A JP3356592A JPH05235462A JP H05235462 A JPH05235462 A JP H05235462A JP 3356592 A JP3356592 A JP 3356592A JP 3356592 A JP3356592 A JP 3356592A JP H05235462 A JPH05235462 A JP H05235462A
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種のレーザ発光元素を添加した透明ＹＡＧ
セラミックスを比較的簡単に製造する手段を見出すこ
と。 【構成】 ９９．９重量％以上の純度を有し、かつそれ
ぞれの比表面積が１〜５０ｍ2 ／ｇ及び５〜１００ｍ2
／ｇであるＡｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3 粉末をＹＡＧ組成近
傍となるよう秤量し、これにＣｅを除くランタニド元素
及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加して、単純な機械的混合
処理によって混練後、一軸または等方圧プレス等によっ
て所定形状となるように成形し、さらにこの成形体を１
６００〜１８５０℃の酸素，水素ガス中、または１０-1
Ｔｏｒｒ以上を有する真空下において焼成することによ
って、アルコキシドや共沈法等の複雑でかつコスト的に
高価な湿式法による粉末合成も必要とせず、比較的簡単
なプロセスによって単結晶とほぼ同等の光学的特性を有
する透明なＹＡＧセラミックスの合成が可能となる。
セラミックスを比較的簡単に製造する手段を見出すこ
と。 【構成】 ９９．９重量％以上の純度を有し、かつそれ
ぞれの比表面積が１〜５０ｍ2 ／ｇ及び５〜１００ｍ2
／ｇであるＡｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3 粉末をＹＡＧ組成近
傍となるよう秤量し、これにＣｅを除くランタニド元素
及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加して、単純な機械的混合
処理によって混練後、一軸または等方圧プレス等によっ
て所定形状となるように成形し、さらにこの成形体を１
６００〜１８５０℃の酸素，水素ガス中、または１０-1
Ｔｏｒｒ以上を有する真空下において焼成することによ
って、アルコキシドや共沈法等の複雑でかつコスト的に
高価な湿式法による粉末合成も必要とせず、比較的簡単
なプロセスによって単結晶とほぼ同等の光学的特性を有
する透明なＹＡＧセラミックスの合成が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振素子として
好適に使用されるガーネット構造を有し、化学式がＹ3
Ａｌ5 Ｏ12として表される透明化したイットリウム・ア
ルミニウム・ガーネット・セラミックス（ＹＡＧ）の製
造に関する。
好適に使用されるガーネット構造を有し、化学式がＹ3
Ａｌ5 Ｏ12として表される透明化したイットリウム・ア
ルミニウム・ガーネット・セラミックス（ＹＡＧ）の製
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＹＡＧは、発光に関与するイオンとし
て、Ｎｄ3+、Ｈｏ3+等のランタニドイオンを添加し、チ
ョコラルスキー法、フローティングゾーン法あるいはブ
リッジマン法にて単結晶化することによってレーザ光を
発振することが可能となる。
て、Ｎｄ3+、Ｈｏ3+等のランタニドイオンを添加し、チ
ョコラルスキー法、フローティングゾーン法あるいはブ
リッジマン法にて単結晶化することによってレーザ光を
発振することが可能となる。
【０００３】ＹＡＧレーザは、添加イオンにより発振波
長が異なり、高出力なレーザ光が得られることから、フ
ァイバー分岐用光源や各種材料の切断、溶接、アニール
または近年ＳＨＧ素子を用い波長変換することによる微
細加工及びレーザメス等の利用が行われている。
長が異なり、高出力なレーザ光が得られることから、フ
ァイバー分岐用光源や各種材料の切断、溶接、アニール
または近年ＳＨＧ素子を用い波長変換することによる微
細加工及びレーザメス等の利用が行われている。
【０００４】単結晶を合成する場合に、単結晶を育成す
る装置や育成に用いるイリジウム坩堝が極めて高価であ
ること、育成温度が約２０００℃を必要とし、かつ育成
速度が０．２〜０．３ｍｍ／ｈｒと極めて遅く、製造コ
スト及び製造時間がかかりすぎること、装置１基に対し
１本の単結晶ロッドしか得られず生産性が低いこと、単
結晶ロッドの径が５０ｍｍ前後の小さなものしか得られ
ないこと、さらには添加イオンの偏析が起こるため添加
イオン濃度を１原子％以上にできない等、様々な問題が
存在している。
る装置や育成に用いるイリジウム坩堝が極めて高価であ
ること、育成温度が約２０００℃を必要とし、かつ育成
速度が０．２〜０．３ｍｍ／ｈｒと極めて遅く、製造コ
スト及び製造時間がかかりすぎること、装置１基に対し
１本の単結晶ロッドしか得られず生産性が低いこと、単
結晶ロッドの径が５０ｍｍ前後の小さなものしか得られ
ないこと、さらには添加イオンの偏析が起こるため添加
イオン濃度を１原子％以上にできない等、様々な問題が
存在している。
【０００５】近年、透明ＹＡＧセラミックスの合成法と
して、たとえば、特開平１−２６４９６３号公報、特開
平２−２８３６６３号公報に記載されているが、これら
は複雑な湿式法により複合粉末を合成しなくてはなら
ず、製造コストの面で問題がある。
して、たとえば、特開平１−２６４９６３号公報、特開
平２−２８３６６３号公報に記載されているが、これら
は複雑な湿式法により複合粉末を合成しなくてはなら
ず、製造コストの面で問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決すべき課
題は、各種レーザ発光元素を添加した透明ＹＡＧセラミ
ックスを比較的簡単に製造する手段を見出すことにあ
る。
題は、各種レーザ発光元素を添加した透明ＹＡＧセラミ
ックスを比較的簡単に製造する手段を見出すことにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の透明ＹＡＧセラ
ミックスの合成法は、９９．９重量％以上の純度を有
し、かつそれぞれの比表面積が１〜５０ｍ2 ／ｇ及び５
〜１００ｍ2 ／ｇであるＡｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3 粉末を
ＹＡＧ組成近傍となるよう秤量し、これにＣｅを除くラ
ンタニド元素及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加して、単純
な機械的混合処理によって混練後、一軸又は等方圧プレ
ス等によって目的となるように成形し、さらにこの成形
体を１６００〜１８５０℃の酸素，水素ガス中、または
１０-1Ｔｏｒｒ以上を有する真空下において焼成するこ
とによって前記目的を達成した。
ミックスの合成法は、９９．９重量％以上の純度を有
し、かつそれぞれの比表面積が１〜５０ｍ2 ／ｇ及び５
〜１００ｍ2 ／ｇであるＡｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3 粉末を
ＹＡＧ組成近傍となるよう秤量し、これにＣｅを除くラ
ンタニド元素及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加して、単純
な機械的混合処理によって混練後、一軸又は等方圧プレ
ス等によって目的となるように成形し、さらにこの成形
体を１６００〜１８５０℃の酸素，水素ガス中、または
１０-1Ｔｏｒｒ以上を有する真空下において焼成するこ
とによって前記目的を達成した。
【０００８】
【作用】本発明は、適正な純度及び比表面積のＡｌ2 Ｏ
3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末を用い、Ｃｅを除くランタニド元素及
びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加し、適正な条件下での合成
を行うことで、レーザ発振機能が付加された透明な高密
度焼結体を得ることができ、大型のセラミックスレーザ
を工業的に安価に製造することができる。
3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末を用い、Ｃｅを除くランタニド元素及
びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加し、適正な条件下での合成
を行うことで、レーザ発振機能が付加された透明な高密
度焼結体を得ることができ、大型のセラミックスレーザ
を工業的に安価に製造することができる。
【０００９】本発明で使用するＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 の
それぞれの原料粉末の合成プロセスは、特には限定され
ないが、焼結性、すなわち、低温焼結の観点及び反応焼
結の観点からいえば、易焼結性で、かつ比表面積もでき
るだけ大きい方が望ましい。
それぞれの原料粉末の合成プロセスは、特には限定され
ないが、焼結性、すなわち、低温焼結の観点及び反応焼
結の観点からいえば、易焼結性で、かつ比表面積もでき
るだけ大きい方が望ましい。
【００１０】Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末をＹＡＧ組成に
秤量する。このとき、Ｃｅを除くランタニド元素成分を
添加する場合はＹ2 Ｏ3 の一部を、またＣｒ、Ｔｉ元素
成分を添加する場合にはＡｌ2 Ｏ3 の一部を置換する。
添加に際しては、硫酸塩，硝酸塩等の塩類、アルコキシ
ド、酸化物粉末を使用できるが、適用する添加方法につ
いて特に限定されるものではない。この配合にアルコー
ル等の有機溶媒又は蒸留水を加え、ポットミル中で混合
する。この混合された粉末を減圧下又は常圧下で乾燥さ
せる。得られた均一な混合粉末は、一軸プレスまたは冷
間等方圧プレス等によって所定形状に成形する。次いで
１６００〜１８５０℃の温度で５〜１００時間、酸素ガ
ス，水素ガス中、または真空中で焼成することによっ
て、透明度の高い高密度ＹＡＧセラミックスが得られ
る。
秤量する。このとき、Ｃｅを除くランタニド元素成分を
添加する場合はＹ2 Ｏ3 の一部を、またＣｒ、Ｔｉ元素
成分を添加する場合にはＡｌ2 Ｏ3 の一部を置換する。
添加に際しては、硫酸塩，硝酸塩等の塩類、アルコキシ
ド、酸化物粉末を使用できるが、適用する添加方法につ
いて特に限定されるものではない。この配合にアルコー
ル等の有機溶媒又は蒸留水を加え、ポットミル中で混合
する。この混合された粉末を減圧下又は常圧下で乾燥さ
せる。得られた均一な混合粉末は、一軸プレスまたは冷
間等方圧プレス等によって所定形状に成形する。次いで
１６００〜１８５０℃の温度で５〜１００時間、酸素ガ
ス，水素ガス中、または真空中で焼成することによっ
て、透明度の高い高密度ＹＡＧセラミックスが得られ
る。
【００１１】本発明では、焼結中に出発原料であるＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末が反応をしながら焼結が進行して
いくが、最初にＹ4 Ａｌ2 Ｏ9 が生成し、その後ＹＡｌ
Ｏ3が生成し、次いでこのＹＡｌＯ3 が残存するＡｌ2
Ｏ3 と反応して最終的にＹＡＧとなる。この焼結過程に
おいて、使用粉末の反応性が低い場合は、焼結の最終段
階まで光学的に異方性を示すＹＡｌＯ3 が残存し、焼結
体の透明度を著しく低下させる。本発明では、特にＹ2
Ｏ3 粉末の反応性が重要であることが判明しており、適
用するＹ2 Ｏ3 粉末の比表面積はＡｌ2 Ｏ3 の約２倍以
上に設定することが好ましい。
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末が反応をしながら焼結が進行して
いくが、最初にＹ4 Ａｌ2 Ｏ9 が生成し、その後ＹＡｌ
Ｏ3が生成し、次いでこのＹＡｌＯ3 が残存するＡｌ2
Ｏ3 と反応して最終的にＹＡＧとなる。この焼結過程に
おいて、使用粉末の反応性が低い場合は、焼結の最終段
階まで光学的に異方性を示すＹＡｌＯ3 が残存し、焼結
体の透明度を著しく低下させる。本発明では、特にＹ2
Ｏ3 粉末の反応性が重要であることが判明しており、適
用するＹ2 Ｏ3 粉末の比表面積はＡｌ2 Ｏ3 の約２倍以
上に設定することが好ましい。
【００１２】また、焼結助剤としてＳｉＯ2 成分を添加
する際には、硫酸塩，硝酸塩等の塩類、アルコキシド、
ＳｉＯ2 粉末そのものを使用できるが、適用する添加方
法について特に限定されるものではない。ＳｉＯ2 は、
焼結体中の粒子を若干粒成長させると同時に、前述した
光学的異方性を示す物質の除去を促進させる効果があ
り、ＳｉＯ2 の添加により焼成時間を短縮できる。Ｓｉ
イオンはＡｌイオンと置換できることから、焼結体中に
異物として存在することはなく、したがって光学的特性
を低下させる要因にはならない。しかし、所定量以上を
添加した場合には、粒界中にＳｉＯ2 が析出したり、ま
た異常粒成長を起こして不均一な組織となり、光学的性
質を低下させる要因となる。また、ＳｉＯ2 量が少ない
場合には、その効果を十分に発揮できず、特定の範囲に
限定される。
する際には、硫酸塩，硝酸塩等の塩類、アルコキシド、
ＳｉＯ2 粉末そのものを使用できるが、適用する添加方
法について特に限定されるものではない。ＳｉＯ2 は、
焼結体中の粒子を若干粒成長させると同時に、前述した
光学的異方性を示す物質の除去を促進させる効果があ
り、ＳｉＯ2 の添加により焼成時間を短縮できる。Ｓｉ
イオンはＡｌイオンと置換できることから、焼結体中に
異物として存在することはなく、したがって光学的特性
を低下させる要因にはならない。しかし、所定量以上を
添加した場合には、粒界中にＳｉＯ2 が析出したり、ま
た異常粒成長を起こして不均一な組織となり、光学的性
質を低下させる要因となる。また、ＳｉＯ2 量が少ない
場合には、その効果を十分に発揮できず、特定の範囲に
限定される。
【００１３】
【実施例】Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 それぞれの粉末を合量
１００ｇ秤量し、ポットミル中へそれぞれの粉末とエチ
ルアルコール３００ｃｃ、さらにアルミナボール５００
ｇを入れ、２４時間混合した。混合した粉末を５００ｍ
ｍＨｇの減圧下で乾燥し、乾燥した粉末を乳鉢で軽く再
混合した。
１００ｇ秤量し、ポットミル中へそれぞれの粉末とエチ
ルアルコール３００ｃｃ、さらにアルミナボール５００
ｇを入れ、２４時間混合した。混合した粉末を５００ｍ
ｍＨｇの減圧下で乾燥し、乾燥した粉末を乳鉢で軽く再
混合した。
【００１４】この粉末を直径５０ｍｍ、高さ１５ｍｍの
タブレットに仮成形後、ラバープレスにより成形圧１０
００ｋｇ／ｃｍ2 で成形した。
タブレットに仮成形後、ラバープレスにより成形圧１０
００ｋｇ／ｃｍ2 で成形した。
【００１５】この成形体を電気炉に入れ、１００℃／ｈ
ｒで昇温し、所定温度にて５時間焼成後、１００℃／ｈ
ｒで冷却した。得られた焼結体は直径１５ｍｍ、厚さ１
ｍｍの試料に加工した。試料の両面は１μｍのダイヤモ
ンドペーストにより鏡面仕上げした。
ｒで昇温し、所定温度にて５時間焼成後、１００℃／ｈ
ｒで冷却した。得られた焼結体は直径１５ｍｍ、厚さ１
ｍｍの試料に加工した。試料の両面は１μｍのダイヤモ
ンドペーストにより鏡面仕上げした。
【００１６】表１に示す実施例１〜１９は、純度９９．
９９重量％のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3粉末の組成比を４
２．９：５７．１（すなわちモル比で５：３）とするこ
とを基準とし、Ｒ及びＣｒ、Ｔｉ元素成分の添加量によ
ってＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 量を調節したもの、またＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末の比表面積がそれぞれ２〜５０ｍ
2 ／ｇ、５〜１００ｍ2 ／ｇの範囲で変動させたもの、
さらには焼結温度を１６００〜１８００℃まで変化させ
た結果を示す。ここでは、Ｒ及びＣｒ、Ｔｉ元素として
Ｎｄのみの記載となっているが、他の添加物質において
も同等の結果が得られた。
９９重量％のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3粉末の組成比を４
２．９：５７．１（すなわちモル比で５：３）とするこ
とを基準とし、Ｒ及びＣｒ、Ｔｉ元素成分の添加量によ
ってＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 量を調節したもの、またＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末の比表面積がそれぞれ２〜５０ｍ
2 ／ｇ、５〜１００ｍ2 ／ｇの範囲で変動させたもの、
さらには焼結温度を１６００〜１８００℃まで変化させ
た結果を示す。ここでは、Ｒ及びＣｒ、Ｔｉ元素として
Ｎｄのみの記載となっているが、他の添加物質において
も同等の結果が得られた。
【００１７】
【表１】 表２に示す実施例２０〜３１は同じく純度９９．９９重
量％のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末のそれぞれの比表面積
を８ｍ2 ／ｇ、２５ｍ2 ／ｇと固定した。これに前記と
同様のＲ及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加し、さらに焼結
助剤としてＳｉＯ2 を添加し、真空中で焼成したときの
結果を示す。
量％のＡｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末のそれぞれの比表面積
を８ｍ2 ／ｇ、２５ｍ2 ／ｇと固定した。これに前記と
同様のＲ及びＣｒ、Ｔｉ元素成分を添加し、さらに焼結
助剤としてＳｉＯ2 を添加し、真空中で焼成したときの
結果を示す。
【００１８】
【表２】 比較例 市販されているＮｄ：ＹＡＧ（０．６ａｔ％）単結晶を
同じ試料サイズに切り出し、両面研磨後、透過率を測定
したところ、波長７００ｎｍでの透過率が８０％であっ
た。
同じ試料サイズに切り出し、両面研磨後、透過率を測定
したところ、波長７００ｎｍでの透過率が８０％であっ
た。
【００１９】表３に示す比較例１〜９は、市販のＡｌ2
Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末（比表面積０．５ｍ2 ／ｇ、２ｍ2
／ｇ）を使用した場合、または、Ａｌ2 Ｏ3 あるいはＹ
2 Ｏ3 のどちらかの粉末が特許請求範囲外であるもの、
さらにはこれに特許請求範囲内のＳｉＯ2 を添加した場
合の結果を示す。さらには特許請求範囲内のＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末にＳｉＯ2 を特許請求範囲外の添
加量加えた場合の結果を示す。
Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末（比表面積０．５ｍ2 ／ｇ、２ｍ2
／ｇ）を使用した場合、または、Ａｌ2 Ｏ3 あるいはＹ
2 Ｏ3 のどちらかの粉末が特許請求範囲外であるもの、
さらにはこれに特許請求範囲内のＳｉＯ2 を添加した場
合の結果を示す。さらには特許請求範囲内のＡｌ
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 粉末にＳｉＯ2 を特許請求範囲外の添
加量加えた場合の結果を示す。
【００２０】
【表３】 比表面積の小さな粉末を使用した場合、あるいはどちら
かの粉末が特許請求範囲外の比表面積の粉末を用いた場
合は、粉末の反応性が低いために焼結体中に光学的異方
性を示す相が多く存在し、このため透過率が低い。さら
に、この配合に特許請求範囲内のＳｉＯ2 を添加しても
透過率の向上は見られない。また、ＳｉＯ2 の添加量が
５０ｐｐｍ以下の場合には、焼結促進の効果は全く見ら
れず、逆に添加量が多い場合には、異常粒成長が起こり
透過率が低くなった。
かの粉末が特許請求範囲外の比表面積の粉末を用いた場
合は、粉末の反応性が低いために焼結体中に光学的異方
性を示す相が多く存在し、このため透過率が低い。さら
に、この配合に特許請求範囲内のＳｉＯ2 を添加しても
透過率の向上は見られない。また、ＳｉＯ2 の添加量が
５０ｐｐｍ以下の場合には、焼結促進の効果は全く見ら
れず、逆に添加量が多い場合には、異常粒成長が起こり
透過率が低くなった。
【００２１】
【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏すること
ができる。
ができる。
【００２２】（１）アルコキシドや共沈法等の複雑でか
つコスト的に高価な湿式法による粉末合成も必要とせ
ず、比較的簡単なプロセスによって単結晶とほぼ同等の
光学的特性を有する透明なＹＡＧセラミックスの合成が
可能となる。
つコスト的に高価な湿式法による粉末合成も必要とせ
ず、比較的簡単なプロセスによって単結晶とほぼ同等の
光学的特性を有する透明なＹＡＧセラミックスの合成が
可能となる。
【００２３】（２）得られた各種元素を添加した透明な
ＹＡＧセラミックスは、レーザ発振小ロッドとして好適
に使用される。
ＹＡＧセラミックスは、レーザ発振小ロッドとして好適
に使用される。
【００２４】（３）得られた各種元素を添加した透明な
ＹＡＧセラミックスは、従来の単結晶に比較してレーザ
発振に寄与する元素を高濃度にすることが可能であるの
で、高出力のレーザが発振でき、従来の単結晶より小型
化できる。
ＹＡＧセラミックスは、従来の単結晶に比較してレーザ
発振に寄与する元素を高濃度にすることが可能であるの
で、高出力のレーザが発振でき、従来の単結晶より小型
化できる。
【００２５】（４）製造法自体が従来とは異なるセラミ
ックス技術により、合成が可能であるので、製造コスト
の大幅低下、製造工程の大幅短縮、さらには大型ロッド
やスラブの作成が可能である。
ックス技術により、合成が可能であるので、製造コスト
の大幅低下、製造工程の大幅短縮、さらには大型ロッド
やスラブの作成が可能である。
Claims (2)
- 【請求項１】 純度９９．９重量％以上でそれぞれの比
表面積が１〜５０ｍ2 ／ｇ及び５〜１００ｍ2 ／ｇのＡ
ｌ2 Ｏ3 及びＹ2 Ｏ3 粉末に、Ｒ（ＲはＣｅを除くラン
タニド元素）及びＣｒ、Ｔｉ元素の１種または複数種を
添加した配合物を機械的混合により混練し、常圧又は減
圧下で乾燥、成形後、１６００〜１８５０℃の温度によ
り焼成することによる透明イットリウム・アルミニウム
・ガーネット・セラミックスの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１の記載において、焼結助剤とし
てＳｉＯ2 成分を５０〜１００００ｐｐｍの範囲で添加
してなる透明イットリウム・アルミニウム・ガーネット
・セラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356592A JPH05235462A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 固体レーザ用多結晶透明ｙａｇセラミックスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356592A JPH05235462A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 固体レーザ用多結晶透明ｙａｇセラミックスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05235462A true JPH05235462A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12390072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3356592A Pending JPH05235462A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 固体レーザ用多結晶透明ｙａｇセラミックスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05235462A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7158546B2 (en) | 2002-02-27 | 2007-01-02 | Nec Corporation | Composite laser rod, fabricating method thereof, and laser device therewith |
| US7691765B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-04-06 | Fujifilm Corporation | Translucent material and manufacturing method of the same |
| WO2010073712A1 (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | 透光性多結晶材料及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP3356592A patent/JPH05235462A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7158546B2 (en) | 2002-02-27 | 2007-01-02 | Nec Corporation | Composite laser rod, fabricating method thereof, and laser device therewith |
| CN100401598C (zh) * | 2002-02-27 | 2008-07-09 | 日本电气株式会社 | 复合激光杆及其制造方法和带有复合激光杆的激光装置 |
| US7496125B2 (en) | 2002-02-27 | 2009-02-24 | Konoshima Chemical Co. Ltd. | Composite laser rod, fabricating method thereof, and laser device therewith |
| US7691765B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-04-06 | Fujifilm Corporation | Translucent material and manufacturing method of the same |
| WO2010073712A1 (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | 透光性多結晶材料及びその製造方法 |
| US8470724B2 (en) | 2008-12-25 | 2013-06-25 | Inter-University Research Institute Corporation, National Institutes Of Natural Sciences | Transparent polycrystalline material and production process for the same |
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