JPH0523627B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0523627B2 JPH0523627B2 JP61085770A JP8577086A JPH0523627B2 JP H0523627 B2 JPH0523627 B2 JP H0523627B2 JP 61085770 A JP61085770 A JP 61085770A JP 8577086 A JP8577086 A JP 8577086A JP H0523627 B2 JPH0523627 B2 JP H0523627B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe body
- ground
- robot
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は、ロボツト等により、プローブ体を交
換しながら、電子部品回路を自動的にプロービン
グして試験を行なう試験機において、個々のプロ
ーブ体のグランド線の絡みを防止するため、プロ
ーブ体にグランド線と接続した接続端子を設け、
この端子と当接するコンタクトプローブをロボツ
トの着脱保持部に設けることにより、ロボツトに
配線されたグランド線を通して被測定物に接続す
るようにしたものである。
換しながら、電子部品回路を自動的にプロービン
グして試験を行なう試験機において、個々のプロ
ーブ体のグランド線の絡みを防止するため、プロ
ーブ体にグランド線と接続した接続端子を設け、
この端子と当接するコンタクトプローブをロボツ
トの着脱保持部に設けることにより、ロボツトに
配線されたグランド線を通して被測定物に接続す
るようにしたものである。
本発明は、例えば、プリント板等に実装された
電子部品回路の試験に使用されるプローブ体のグ
ランド接続機構に関するものである。
電子部品回路の試験に使用されるプローブ体のグ
ランド接続機構に関するものである。
プリント板は多層プリント基板上にLSIや抵
抗、コンデンサなどの電子部品を実装し、コネク
タを取付けた回路モジユールで、電子計算機の重
要な構成要素の一つである。
抗、コンデンサなどの電子部品を実装し、コネク
タを取付けた回路モジユールで、電子計算機の重
要な構成要素の一つである。
多品種のプリント板を高品質に、かつ低コスト
で製造するためには、組み立ての自動化と共に、
試験の自動化が重要である。
で製造するためには、組み立ての自動化と共に、
試験の自動化が重要である。
試験にはプリント板の良否を判定する良否判定
試験、不良と判定されたプリント板の故障位置を
指摘する故障診断とがある。
試験、不良と判定されたプリント板の故障位置を
指摘する故障診断とがある。
良否判定試験では入試から、試済の捺印に至る
全工程を無人で行なうことは既に実現されている
が、故障診断では故障位置を調べるためのプリン
ト板内部へのプロービング作業だけは人手に頼つ
ているのが現状である。
全工程を無人で行なうことは既に実現されている
が、故障診断では故障位置を調べるためのプリン
ト板内部へのプロービング作業だけは人手に頼つ
ているのが現状である。
ところが、プリント板を搭載する電子部品の微
細化やプリント板実装の高度化等により、人手に
よるプロービング作業はもはや不可能となつてき
ており、プローブでの不良箇所の探索作業の自動
化が要望されている。
細化やプリント板実装の高度化等により、人手に
よるプロービング作業はもはや不可能となつてき
ており、プローブでの不良箇所の探索作業の自動
化が要望されている。
このため、ロボツト等によりプローブをハンド
リングし、自動的にプロービング作業を行なわせ
ることも考えられた。
リングし、自動的にプロービング作業を行なわせ
ることも考えられた。
ところで、プリント板に実装された電子部品回
路の不良箇所の探索発見を行なう作業は、前述し
たように、測定器に接続されたプローブを被測定
部に接触させて測定を行なうものであり、また、
プリント板上に実装される電子部品回路は全て同
じものではなく、種々の特性の異なる電子部品回
路が実装されている。
路の不良箇所の探索発見を行なう作業は、前述し
たように、測定器に接続されたプローブを被測定
部に接触させて測定を行なうものであり、また、
プリント板上に実装される電子部品回路は全て同
じものではなく、種々の特性の異なる電子部品回
路が実装されている。
従つて、電子部品回路の特性の相違により、良
否の測定を行なうのに際して、異なる複数の測定
器が不要となる。その上、電気特性上プローブと
測定器は対で使用するのがよいため、プローブも
測定器と同数分必要となる。
否の測定を行なうのに際して、異なる複数の測定
器が不要となる。その上、電気特性上プローブと
測定器は対で使用するのがよいため、プローブも
測定器と同数分必要となる。
このため、プリント板上の不良箇所の探索を行
なう際、プローブを被測定物に合つた物に取替え
る必要がある。更に、被測定回路の波形を正確に
測定器に伝達するためには、プローブのグランド
を、被測定回路上のグランドとできるだけ近くで
接続する必要がある。
なう際、プローブを被測定物に合つた物に取替え
る必要がある。更に、被測定回路の波形を正確に
測定器に伝達するためには、プローブのグランド
を、被測定回路上のグランドとできるだけ近くで
接続する必要がある。
第4図はこのようなロボツトによるプロービン
グ作業を説明するための図である。
グ作業を説明するための図である。
図において、13はロボツトであり、例えば6
自由度の多関節型ロボツトであり、先端に取付ら
れるプローブをプリント板22上の所望の三次元
位置に位置付けするもの、22はプリント板であ
り、図示しない電子部品回路等が搭載されてお
り、ロボツトによるプロービング作業が行なわれ
るもの、25a,25b,25cは測定器であ
り、電子部品回路のそれぞれ異なる特性を測定す
るように設定されているもの、50a,50b,
50cはプローブホルダであり、それぞれ測定器
25a,25b,25cに接続された汎用プロー
ブ5a,5b,5cを保持しており、且つロボツ
ト13の先端と接続するための接続機構を有する
もの、24はグランド接続器であり、プリント板
22側のグランドが接続されており、更に各プロ
ーブホルダ50a,50b,50cからの各汎用
プローブ5a,5b,5cのグランド線21a,
21b,21cが接続されているものである。
尚、汎用プローブの信号伝達用のケーブルは、固
定ローラ26,テンシヨンローラ27を経て各測
定器に接続されている。
自由度の多関節型ロボツトであり、先端に取付ら
れるプローブをプリント板22上の所望の三次元
位置に位置付けするもの、22はプリント板であ
り、図示しない電子部品回路等が搭載されてお
り、ロボツトによるプロービング作業が行なわれ
るもの、25a,25b,25cは測定器であ
り、電子部品回路のそれぞれ異なる特性を測定す
るように設定されているもの、50a,50b,
50cはプローブホルダであり、それぞれ測定器
25a,25b,25cに接続された汎用プロー
ブ5a,5b,5cを保持しており、且つロボツ
ト13の先端と接続するための接続機構を有する
もの、24はグランド接続器であり、プリント板
22側のグランドが接続されており、更に各プロ
ーブホルダ50a,50b,50cからの各汎用
プローブ5a,5b,5cのグランド線21a,
21b,21cが接続されているものである。
尚、汎用プローブの信号伝達用のケーブルは、固
定ローラ26,テンシヨンローラ27を経て各測
定器に接続されている。
以上説明したような構成において、プリント板
22上の電子部品回路の特性を測定するには、ま
ず測定すべき電子部品回路の特性に応じたプロー
ブホルダの一つを選択し、ロボツト13と接続す
る。
22上の電子部品回路の特性を測定するには、ま
ず測定すべき電子部品回路の特性に応じたプロー
ブホルダの一つを選択し、ロボツト13と接続す
る。
そして、プリント板22上の所望の位置にプロ
ーブを位置付けして電子部品回路の特性の測定を
行なう。
ーブを位置付けして電子部品回路の特性の測定を
行なう。
第4図からも明らかなように、プローブホルダ
50a,50b,50cを順次取替えて測定を行
なうため、複数のグランド線21a,21b,2
1cが相互に絡まりあつてしまい、電子部品回路
の測定を行なうことができなくなるといつた問題
があり、測定の自動化が望めないといつた問題が
あつた。
50a,50b,50cを順次取替えて測定を行
なうため、複数のグランド線21a,21b,2
1cが相互に絡まりあつてしまい、電子部品回路
の測定を行なうことができなくなるといつた問題
があり、測定の自動化が望めないといつた問題が
あつた。
第1図は本発明に係るプローブ体のグランド接
続機構の原理説明図である。
続機構の原理説明図である。
図において、60は移動手段であり、プローブ
体61を三次元空間上の被測定位置に移動させて
位置決めするためのものであり、係合部材を構成
する位置決めピン62,63と、プローブ体61
を吸着保持するための吸着手段を構成する吸盤6
4,65と、グランドに接続されており、プロー
ブ体61方向に往復動可能に設けられたコンタク
トプローブ66とから構成されて成るものであ
り、また、プローブ体61は位置決めピン62,
63と係合する位置決め用ガイド孔67,68か
ら構成される被係合部材と、吸着手段64,65
が吸着するための吸着面69,70と、該プロー
ブ体61側のグランドに接続された導電性部材か
ら成る平板部材71とから構成されている。
体61を三次元空間上の被測定位置に移動させて
位置決めするためのものであり、係合部材を構成
する位置決めピン62,63と、プローブ体61
を吸着保持するための吸着手段を構成する吸盤6
4,65と、グランドに接続されており、プロー
ブ体61方向に往復動可能に設けられたコンタク
トプローブ66とから構成されて成るものであ
り、また、プローブ体61は位置決めピン62,
63と係合する位置決め用ガイド孔67,68か
ら構成される被係合部材と、吸着手段64,65
が吸着するための吸着面69,70と、該プロー
ブ体61側のグランドに接続された導電性部材か
ら成る平板部材71とから構成されている。
以上説明した構成において、平板部材71とコ
ンタクトプローブ66とは移動手段60とプロー
ブ体61との接続時に当接するようにそれぞれプ
ローブ体61と移動手段60とに設けられてい
る。従つて、両者の接続時に、プローブ体61側
のグランド線とグランドとの接続が行なわれる。
ンタクトプローブ66とは移動手段60とプロー
ブ体61との接続時に当接するようにそれぞれプ
ローブ体61と移動手段60とに設けられてい
る。従つて、両者の接続時に、プローブ体61側
のグランド線とグランドとの接続が行なわれる。
前述したように、プローブ体61側のグランド
線は、移動手段60を介してグランドに接続され
るため、個々のプローブ体61から被測定物上の
グランドに接続する必要がない。
線は、移動手段60を介してグランドに接続され
るため、個々のプローブ体61から被測定物上の
グランドに接続する必要がない。
従つて、移動手段60によつて、プローブ体6
1を取替えつつ、測定を行なう場合であつても、
グランド線が絡まりあつたりすることがないた
め、プロービング作業の自動化を実現することが
可能となる。
1を取替えつつ、測定を行なう場合であつても、
グランド線が絡まりあつたりすることがないた
め、プロービング作業の自動化を実現することが
可能となる。
第2図は本発明に係るプローブ体のグランド接
続機構の実施例を説明するための図であり、第3
図は第2図に示すプローブ体のグランド接続機構
を用いたロボツトのプロービング作業を説明する
図である。尚、第3図と第4図において同一部分
には同一番号を付し、その説明を省略する。
続機構の実施例を説明するための図であり、第3
図は第2図に示すプローブ体のグランド接続機構
を用いたロボツトのプロービング作業を説明する
図である。尚、第3図と第4図において同一部分
には同一番号を付し、その説明を省略する。
図において、61はプローブ体であり、汎用プ
ローブ5とこの汎用プローブ5を接続保持するた
めのプローブホルダ50から構成されて成るもの
であり、プローブホルダ50は平板から成るフレ
ーム1を有し、フレーム1はガイド穴2を備え、
更にフレーム1の端部には、リセプタクル3aを
固定する絶縁保持体4が取付られている。リセプ
タクル3aにはコンタクトプローブ3bが内蔵保
持されている。コンタクトプローブ3bはバネを
内蔵しており、被測定物23との接触時に汎用プ
ローブ5の軸方向に往復動可能に予圧されてい
る。絶縁保持体4の他端には、金具9が固定され
ており、この金具9にコネクタ6が取付られてい
る。コネクタ6は汎用プローブ5を着脱自在に保
持するもので、汎用プローブ5の測定ピンとリー
ド線7を介して接続されるリセプタクル3aとを
電気的に接続するものである。保持具8はフレー
ム1に取付られており、汎用プローブ5を保持す
るものである。汎用プローブ5のグランド線5a
は、一端に接続部を有し、他端側に平坦な面を有
し、絶縁物12を介してフレーム1を貫通するよ
うに固定されている接続端子11に接続される。
また、フレーム1の前面側には保護カバー10が
設けられている。
ローブ5とこの汎用プローブ5を接続保持するた
めのプローブホルダ50から構成されて成るもの
であり、プローブホルダ50は平板から成るフレ
ーム1を有し、フレーム1はガイド穴2を備え、
更にフレーム1の端部には、リセプタクル3aを
固定する絶縁保持体4が取付られている。リセプ
タクル3aにはコンタクトプローブ3bが内蔵保
持されている。コンタクトプローブ3bはバネを
内蔵しており、被測定物23との接触時に汎用プ
ローブ5の軸方向に往復動可能に予圧されてい
る。絶縁保持体4の他端には、金具9が固定され
ており、この金具9にコネクタ6が取付られてい
る。コネクタ6は汎用プローブ5を着脱自在に保
持するもので、汎用プローブ5の測定ピンとリー
ド線7を介して接続されるリセプタクル3aとを
電気的に接続するものである。保持具8はフレー
ム1に取付られており、汎用プローブ5を保持す
るものである。汎用プローブ5のグランド線5a
は、一端に接続部を有し、他端側に平坦な面を有
し、絶縁物12を介してフレーム1を貫通するよ
うに固定されている接続端子11に接続される。
また、フレーム1の前面側には保護カバー10が
設けられている。
13はロボツトであり、プローブ体61をプリ
ント板22上の所定の位置に位置付けするための
ものであり、支持金具14が設けられている。
ント板22上の所定の位置に位置付けするための
ものであり、支持金具14が設けられている。
支持金具14には、ガイド穴2と係合するガイ
ドピン15とフレーム1の板面を吸着する吸着パ
ツド16が設けられており、この吸着パツドはチ
ユーブ17で配管されており、継手18a,18
bを経て、図示しない電磁弁さらには真空圧源へ
配管される。
ドピン15とフレーム1の板面を吸着する吸着パ
ツド16が設けられており、この吸着パツドはチ
ユーブ17で配管されており、継手18a,18
bを経て、図示しない電磁弁さらには真空圧源へ
配管される。
このように、プローブ体61とロボツト13と
の結合は、プローブホルダ50のガイド穴2に支
持金具14のガイドピン15が嵌合することによ
り正確な位置決めが行なわれる。
の結合は、プローブホルダ50のガイド穴2に支
持金具14のガイドピン15が嵌合することによ
り正確な位置決めが行なわれる。
た、プローブホルダ50の保持は、吸着パツド
16がプローブホルダ50のフレーム1の板面に
密着した位置で、配管チユーブ17に接続された
図示しない電磁弁を真空側に切替えることにより
真空吸着して行なう。
16がプローブホルダ50のフレーム1の板面に
密着した位置で、配管チユーブ17に接続された
図示しない電磁弁を真空側に切替えることにより
真空吸着して行なう。
支持金具14には、絶縁物19を介してリセプ
タクル20aが貫設設置され、グランド線21が
配線される。また、このグランド線21はロボツ
ト13のアームを介してプリント板22のグラン
ド接続機構24に接続されている。リセプタクル
20aはコンタクトプローブ20bが内蔵されて
おり、このコンタクトプローブ20bはバネを内
蔵しており、コンタクトプローブ20bの軸方向
に往復動可能に予圧されている。
タクル20aが貫設設置され、グランド線21が
配線される。また、このグランド線21はロボツ
ト13のアームを介してプリント板22のグラン
ド接続機構24に接続されている。リセプタクル
20aはコンタクトプローブ20bが内蔵されて
おり、このコンタクトプローブ20bはバネを内
蔵しており、コンタクトプローブ20bの軸方向
に往復動可能に予圧されている。
従つて、プローブホルダ50とロボツト13と
の接続時に、真空吸着を行なうと、プローブホル
ダ50の接続端子11と支持金具14のコンタク
トプローブ20bの先端が接触し、汎用プローブ
5のグランド線5aがプリント板22のグランド
に接続される。
の接続時に、真空吸着を行なうと、プローブホル
ダ50の接続端子11と支持金具14のコンタク
トプローブ20bの先端が接触し、汎用プローブ
5のグランド線5aがプリント板22のグランド
に接続される。
このように、プローブホルダ50を交換するの
みで、そのプローブホルダ50の汎用プローブ5
のグランド線5aが第3図に示されるように自動
的にロボツト13のアーム,グランド接続機構2
4を経て被測定プリント板22のグランドと接続
される。
みで、そのプローブホルダ50の汎用プローブ5
のグランド線5aが第3図に示されるように自動
的にロボツト13のアーム,グランド接続機構2
4を経て被測定プリント板22のグランドと接続
される。
従つて、個々のプローブホルダ50のグランド
線を被測定プリント板22のグランドと接続しな
くてもよく、グランド線の絡みをなくすことがで
き、試験の自動化を実現することが可能となる。
線を被測定プリント板22のグランドと接続しな
くてもよく、グランド線の絡みをなくすことがで
き、試験の自動化を実現することが可能となる。
尚、本実施例においては、汎用のプローブを使
用可能とするため、汎用プローブをプローブホル
ダに収容保持した場合について説明したが、汎用
プローブそのものに被係合部材,吸着面,平板部
材を設けて、ロボツトと接続するようにしてもよ
い。
用可能とするため、汎用プローブをプローブホル
ダに収容保持した場合について説明したが、汎用
プローブそのものに被係合部材,吸着面,平板部
材を設けて、ロボツトと接続するようにしてもよ
い。
以上説明したように、本発明によれば、プロー
ブ体とロボツトとの結合時にプローブ体のグラン
ド線とロボツト側に配線したグランド線とが自動
的に接続されるので、個々のプローブ体のグラン
ド線を被測定回路のグランド側に接続しなくても
よく、測定作業時におけるグランド線の絡みをな
くすことができ、プロービング作業の自動化を実
現することが可能となる。
ブ体とロボツトとの結合時にプローブ体のグラン
ド線とロボツト側に配線したグランド線とが自動
的に接続されるので、個々のプローブ体のグラン
ド線を被測定回路のグランド側に接続しなくても
よく、測定作業時におけるグランド線の絡みをな
くすことができ、プロービング作業の自動化を実
現することが可能となる。
第1図は本発明に係るプローブ体のグランド接
続機構の原理説明図、第2図は本発明に係るプロ
ーブ体のグランド接続機構の実施例を説明するた
めの図、第3図は第2図に示すプローブ体のグラ
ンド接続機構を用いたロボツトのプロービング作
業を説明する図、第4図はロボツトによるプロー
ビング作業を説明するための図である。 図において、60は移動手段、61はプローブ
体、62,63は係合部材、64,65は吸着手
段、66はコンタクトプローブ、67,68は被
係合部材、69,70は吸着面、71は平板部材
である。
続機構の原理説明図、第2図は本発明に係るプロ
ーブ体のグランド接続機構の実施例を説明するた
めの図、第3図は第2図に示すプローブ体のグラ
ンド接続機構を用いたロボツトのプロービング作
業を説明する図、第4図はロボツトによるプロー
ビング作業を説明するための図である。 図において、60は移動手段、61はプローブ
体、62,63は係合部材、64,65は吸着手
段、66はコンタクトプローブ、67,68は被
係合部材、69,70は吸着面、71は平板部材
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 プローブ体61を3次元空間上の被測定位置
に位置決めするための移動手段60に設けられた
係合部材62,63と、該プローブ体61を吸着
保持する吸着手段64,65と、グランドに接続
されており、該プローブ体61方向に往復動可能
に設けられたコンタクトプローブ66とを含み、 更に、該プローブ体61に設けられた被係合部
材67,68と、吸着手段64,65の吸着面6
9,70と、該プローブ体61側のグランドに接
続された導電性部材から成る平板部材71とを含
んで成り、該平板部材71と該コンタクトプロー
ブ66とは該移動手段60と該プローブ体61と
の接続時に当接するように設けられて成ることを
特徴とするプローブ体のグランド接続機構。 2 前記プローブ体は測定用のプローブ5と該プ
ローブ5を収容するプローブホルダ50を含んで
構成され、前記被係合部材67,68、吸着面6
9,70、及び平板部材71は該プローブホルダ
50に設けられて成ることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載のプローブ体のグランド接続機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085770A JPS62254058A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | プロ−ブ体のグランド接続機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085770A JPS62254058A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | プロ−ブ体のグランド接続機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62254058A JPS62254058A (ja) | 1987-11-05 |
| JPH0523627B2 true JPH0523627B2 (ja) | 1993-04-05 |
Family
ID=13868108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61085770A Granted JPS62254058A (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | プロ−ブ体のグランド接続機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62254058A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69032968T2 (de) * | 1989-04-25 | 1999-10-21 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co., Ltd. | Optischer flüssigkeitssensor, sein herstellungsverfahren und kraftfahrzeugöl- und -batterieprüfer |
| US5469064A (en) * | 1992-01-14 | 1995-11-21 | Hewlett-Packard Company | Electrical assembly testing using robotic positioning of probes |
| US7311239B2 (en) * | 2004-05-04 | 2007-12-25 | Sv Probe Pte Ltd. | Probe attach tool |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085770A patent/JPS62254058A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62254058A (ja) | 1987-11-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5469064A (en) | Electrical assembly testing using robotic positioning of probes | |
| US4835469A (en) | Integrated circuit clip for circuit analyzer | |
| WO1998004927A1 (en) | Loaded board drop pin fixture | |
| JPH06213955A (ja) | テストプローブ | |
| US5446393A (en) | Electrical measuring and testing probe having a malleable shaft facilitating positioning of a contact pin | |
| US6051978A (en) | TDR tester for x-y prober | |
| US4290015A (en) | Electrical validator for a printed circuit board test fixture and a method of validation thereof | |
| JP6454467B2 (ja) | 高帯域幅の半田なしリード及び測定システム | |
| JPH10142291A (ja) | Ic試験装置 | |
| JPH0523627B2 (ja) | ||
| JP2008082734A (ja) | 電気的接触装置、高周波測定システムおよび高周波測定方法 | |
| US20200088765A1 (en) | Testing apparatus having a configurable probe fixture | |
| EP0989409A1 (en) | Scan test machine for densely spaced test sites | |
| JPH07335701A (ja) | プロービング装置 | |
| JPH056537Y2 (ja) | ||
| EP4375677A1 (en) | Compact test fixture | |
| CN223217556U (zh) | 一种晶圆接受测试探针卡测试治具、测试机台 | |
| TWI325500B (en) | Integrated circuit testing apparatus | |
| JPH026376Y2 (ja) | ||
| JPH07335353A (ja) | Icソケット構造 | |
| JP2025186856A (ja) | 電気特性計測に用いる計測治具および計測装置 | |
| JPH06181246A (ja) | プローブ装置 | |
| JPH10111314A (ja) | プローブ | |
| JPH06294815A (ja) | 実装部品の検査方法 | |
| JPH0710942U (ja) | バーンインボード試験機用の自己診断基板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |