JPH05241340A

JPH05241340A - 光重合性組成物

Info

Publication number: JPH05241340A
Application number: JP4039653A
Authority: JP
Inventors: Sadao Fujikura; 貞雄藤倉; Masayuki Iwasaki; 政幸岩崎; Masatoshi Yumoto; 眞敏湯本
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1992-02-26
Filing date: 1992-02-26
Publication date: 1993-09-21
Anticipated expiration: 2013-05-25
Also published as: JP2756623B2

Abstract

(57)【要約】【目的】剥離片が微細で、かつエッジフュージョンが
発生しにくい、アルカリ水溶液で処理可能な光重合性組
成物を提供する。【構成】光重合性組成物が、（１）カルボキシル基含
有バインダー、（２）光重合可能なモノマー、及び
（３）光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶液で現像
可能な光重合性組成物であって、該カルボキシル基含有
バインダーが、スチレン／（メタ）アクリル酸の共重合
体（重量平均分子量１、０００〜１００、０００）を、
全バインダーの５〜５０重量％含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は新規なバインダーを含有
する光重合性組成物に関する。更に詳しくは、プリント
基板作成用ドライフィルムフォトレジスト又はフォトマ
スク、平版印刷版、樹脂凸版などの用途に好適な、剥離
片が細かく、保存性に優れた、アルカリ現像可能な光重
合性組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、プリント基板作成の分野におい
て、ドライフィルムレジストが広く使用されている。プ
リント基板作成には、テンティング法とメッキ法の２つ
の方法があるが、何れの方法においても、回路形成工程
の中で不要となったレジストを剥離する。この際、剥離
片が大きいと剥離機のロールに剥離片が絡まり著しく作
業性を低下させるのみならず、剥離片が清浄な基板に再
付着する可能性があるため、剥離片は細かいことが好ま
しい。また、現像や剥離工程には、人体への影響と環境
汚染において、有機溶剤よりもアルカリ性水溶液で処理
できることが好ましい。このために、ドライフィルムレ
ジストの組成として、カルボキシル基を有するバインダ
ーを用いることが広く知られている。

【０００３】以上のような要求を満たすため、特開昭６
４−５５５５０に記載されているように、バインダーと
して「メタクリル酸／（メタ）アクリル酸エステル共重
合体の分子量の高いものと低いものを混合する」方法、
及び特開昭６４−５５５５１号明細書に記載されている
ように、バインダーとして、「分子量の低いメタクリル
酸／スチレン／（メタ）アクリル酸エステル３元共重合
体と分子量の高いメタクリル酸／（メタ）アクリル酸エ
ステル共重合体の混合による方法」、及び特開平２−２
２１９６０号明細書に記載の「単官能モノマーを用いる
方法」などが提案されているが、剥離片の大きさが未だ
十分ではなかった。更に、ドライフィルムをロール状に
巻取った状態で長期間保存した際、フィルムの端から感
光層がしみだして隣合うフィルム同士が融着するいわゆ
るエッジフュージョンが発生し易い点でも、未だ十分で
はなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、剥離片が微
細で、かつエッジフュージョンが発生しにくい、アルカ
リ水溶液で処理可能な光重合性組成物を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、種々の検
討を重ねた結果、上記の目的を達成しうる光重合性組成
物を見出した。即ち、本発明の目的は、（１）カルボ
キシル基含有バインダー、（２）光重合可能なモノマ
ー、及び（３）光重合開始剤系を含有するアルカリ水溶
液で現像可能な光重合性組成物であって、該カルボキシ
ル基含有バインダーが、スチレン／（メタ）アクリル酸
の共重合体（重量平均分子量１、０００〜１００、００
０）を、全バインダーの５〜５０重量％含むことを特徴
とする光重合性組成物により達成された。

【０００６】スチレン／（メタ）アクリル酸共重合体の
分子量が１，０００未満では、レジストが柔らかくなり
すぎ、エッジフュージョンが発生しやすくなる。１０
０，０００を越えると、剥離片が細かくならず、本発明
の組成物には適さない。スチレン／（メタ）アクリル酸
共重合体の含有量が５重量％未満では、剥離片が十分細
かくならない。一方、５０重量％を越えると、膜が脆く
なるため、本発明の組成物には適さない。共重合体の具
体例としては、スチレン／メタクリル酸共重合体、スチ
レン／アクリル酸共重合体、スチレン／メタアクリル酸
／アクリル酸共重合体が挙げられる。共重合組成比はス
チレン／酸基（含有モノマーの合計）＝５：９５〜９
５：５（モル比）が好ましく、特に好ましいのは１５／
８５〜６０／４０である。

【０００７】上記のスチレン／（メタ）アクリル酸共重
合体以外のバインダーとしては、以下の広範な種類の高
分子物質の中から選ばれたバインダーを組み合わせて用
いることができる。組み合わせることのできるバインダ
ーとしては、光重合可能なモノマー、光重合開始剤系と
の相溶性が良好で、塗布液の調製から、塗布、乾燥にい
たる製造工程、および得られる混合物の保存中に脱混合
を起こさないこと、本発明の使用法に応じた性質、例え
ば、テンティング用フォトレジストに用いる場合には強
度、延伸性、耐摩耗性、耐薬品性などが適当であるこ
と、さらに、バインダーの分子量、分子間力、硬さ、軟
化温度、結晶性、破壊伸度などが適切なことである。

【０００８】本発明のバインダーとして好適に用いられ
るものの具体例を挙げると、スチレン／無水マレイン酸
共重合体、特開昭６０−２５８５３９号明細書記載のメ
タクリル酸メチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−エ
チルヘキシル／メタクリル酸ベンジル四元共重合体、特
公昭５５−３８９６１号明細書記載のスチレン／マレイ
ン酸モノ−ｎ−ブチルエステル共重合体、特公昭５４−
２５９５７号明細書記載のスチレン／メタクリル酸メチ
ル／アクリル酸エチル／メタクリル酸の四元共重合体、
特開昭５２−９９８１０号明細書記載のメタクリル酸ベ
ンジル／メタクリル酸共重合体、特公昭５８−１２５７
７号明細書記載のアクリロニトリル／メタクリル酸２−
エチルヘキシル／メタクリル酸の三元共重合体、および
特公昭５５−６２１０号明細書記載のメタクリル酸メチ
ル／アクリル酸エチル／アクリル酸の三元共重合体とイ
ソプロパノールで一部分エステル化したスチレン／無水
マレイン酸共重合体の２種などである。特に好ましく
は、メタクリル酸メチル／メタクリル酸／メタクリル酸
２−エチルヘキシル／メタクリル酸ベンジル四元共重合
体などがある。これらの分子量は、バインダーの種類に
よって広範な値をとりうるが、一般的には、５，０００
〜２，０００，０００、好ましくは、１０，０００〜２
００，０００の範囲である。分子量が５，０００未満で
は、光重合して得られたレジストの力学的強度が不十分
となり、２，０００，０００以上では現像性が悪化する
ため、本発明の目的には適さない。全バインダーの量
は、光重合性組成物の固形分に対して好ましくは４０〜
９０ｗｔ％、より好ましくは５０〜７０ｗｔ％である。
４０ｗｔ％未満では、光重合組成物の流動性が高すぎて
エッジフュージョンを起こしやすくなり、また９０ｗｔ
％を越えると露光部と未露光部との溶解性の差が小さく
なりすぎるため良好な画質が得られないため、いずれも
本発明の目的には適さない。

【０００９】本発明に用いることのできる光重合性モノ
マーとしては、以下のものがある。例えば、特開昭６０
−２５８５３９号、特開平２−２６９７２１号明細書に
記載されているような、公知の（メタ）アクリル酸エス
テルを挙げることができる。具体的には、ジエチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、テトラデカエチレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、ノナプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ドデカプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのエチ
レンオキサイド付加物のトリ（メタ）アクリレート、ペ
ンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエ
リスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセリンジ
（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ
（メタ）アクリレート等のポリオールの（メタ）アクリ
ル酸エステルが挙げられる。

【００１０】（メタ）アクリルアミド類としては、メチ
レンビス（メタ）アクリルアミドのほか、エチレンジア
ミン、ジアミノプロパン、ジアミノブタン、ペンタメチ
レンジアミン、ビス（２−アミノプロピル）アミン、ジ
エチレントリアミンジアミン、フェニレンジアミン、ジ
アミノ安息香酸などから誘導されるポリ（メタ）アクリ
ルアミドがある。

【００１１】アリル化合物としては、例えば、フタル
酸、マロン酸等のジアリルエステル、ベンゼンジスルホ
ン酸、２，５−ジヒドロキシジスルホン酸等のジアリル
エステルなどがある。

【００１２】ビニルエーテル化合物としては、例えば、
エチレングリコールジビニルエーテル、１，３，５−ト
リ−β−ビニルオキシエトキシベンゼンなどがある。

【００１３】ビニルエステル類としては、コハク酸ジビ
ニル、アジピン酸ジビニルなどがある。

【００１４】スチレン化合物としては、ジビニルベンゼ
ン、ｐ−アリルスチレンなどがある。

【００１５】更に、少なくとも二つの水酸基を有するポ
リオール化合物と、やや過剰の少なくとも二つのイソシ
アネート基を有するポリイソシアネート化合物とを反応
させて得られた反応生成物に、少なくとも一つの水酸基
と少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物
とを反応させて得られる、少なくとも二つのエチレン性
不飽和基を有する多官能ウレタン化合物も本発明に好適
に用いることができる。

【００１６】光重合性モノマーの量は光重合性組成物の
固形分の１０〜６０ｗｔ％、好ましくは２５〜５０ｗｔ
％の範囲で用いられる。１０ｗｔ％未満では、露光部と
未露光部との溶解性の差が小さすぎるため、良好な画質
が得られず、６０ｗｔ％を越えると、光重合性組成物の
流動性が高すぎてエッジフュージョンを起こしやすいの
で本発明の目的には適合しない。

【００１７】本発明に使用できる好適な光重合開始剤と
しては、約３００〜８００ｎｍ、より好ましくは３３０
〜５００ｎｍの範囲に少なくとも約５０の分子吸光係数
を有する成分を少なくとも１種含有していることが好ま
しい。例えば、芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベン
ゾインおよびベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類お
よびこれらの２種以上の組合せなどがある。

【００１８】これらの具体例として、以下の化合物を挙
げることができる。芳香族ケトン類としては、例えば、
ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベ
ンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベン
ゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベン
ゾフェノン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４
−ジメチルアミノベンゾフェノン、４−ジメチルアミノ
アセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、２−ｔｅ
ｒｔ−ブチルアントラキノン、２−メチルアントラキノ
ン、キサントン、チオキサントン、２−クロルチオキサ
ントン、２，４−ジエチルチオキサントン、フルオレノ
ン、アクリドンなどがある。

【００１９】ロフィン２量体として好適に用いられるも
のとしては、前記の特公昭４５−３７３７７号、特公昭
４８−３８４０３号、特開昭５６−３５１３４号、特願
昭６３−２００６０５号各明細書に記載されているもの
などが挙げられる。例えば、２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）イミダゾール２量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール２量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール２量体などがある。

【００２０】ベンゾインおよびベンゾインエーテル類と
しては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンフェニルエーテルなどがある。

【００２１】ポリハロゲン化合物としては、例えば、四
臭化炭素、フェニルトリブロモメチルフェニルスルホ
ン、フェニルトリクロロメチルケトン、および、特開昭
５３−１３３４２８号、特公昭５７−１８１９号、特公
昭５７−６０９６号、米国特許第３６１５４５５号各明
細書に記載の化合物がある。

【００２２】特に好ましい例としては、４，４’−ビス
（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス
（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４−ジエチル
チオキサントン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベ
ンゾフェノンとベンゾフェノンとの組合せ、４，４’−
ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量
体との組合せ、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベン
ゾフェノンとフェニルトリブロモメチルフェニルスルホ
ンとの組合せなどが挙げられる。

【００２３】光重合開始剤系の含有量は、光重合性組成
物の固形分に対して、好ましくは０．１〜２０ｗｔ％、
より好ましくは０．２〜１０ｗｔ％である。０．１ｗｔ
％未満では、感度が不足し、２０ｗｔ％を越えると光重
合性組成物の膜物性に悪影響を及ぼすため、本発明の目
的には適合しない。

【００２４】本発明の光重合性組成物は、前述のごと
く、カルボキシル基含有バインダー、光重合開始剤
（系）および光重合性モノマーから成るが、必要に応じ
て、熱重合禁止剤、可塑剤、色素、変色剤、密着促進剤
等を併用してもよく、これによって目的とするフォトレ
ジスト、樹脂凸版、平版印刷版、フォトマスク等を広範
に調製できる。

【００２５】熱重合禁止剤は、光重合性組成物の熱的な
重合や経時的な重合を防止するために添加するもので、
これにより光重合性組成物の調製時や金属板に積層して
使用するまでの保存時の化学的な安定性を高めることが
できる。熱重合禁止剤の例としては、ｐ−メトキシフェ
ノール、ハイドロキノン、ベンゾキノン、ｏ−トルキノ
ン、ｐ−トルキノン、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロ
ール、２−ヒドロキシベンゾフェノン、４−メトキシ−
２−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチ
アジン、フェニドン、フロラニル、クロラニル、ナフチ
ルアミン、ピリジン、ｐ−トルイジン、β−ナフトー
ル、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ニトロ
ベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、Ｎ−ニトロ
ソフェニルヒドロキシルアミンのアルミニウム塩もしく
はアンモニウム塩、メチレンブルー有機銅、サリチル酸
メチル、アリールフォスファイト等が挙げられる。熱重
合禁止剤の好ましい添加量は、光重合性組成物の固形分
に対して、０．００１〜１０ｗｔ％、より好ましくは、
０．０１〜３ｗｔ％である。０．００１ｗｔ％未満で
は、熱安定性が劣り、１０ｗｔ％を越えると感度が低下
する。

【００２６】可塑剤は、光重合性組成物の光硬化前後の
膜質やその他の物性、感光性等を調整するために添加す
る。可塑剤の例としては、フタル酸ジブチル、フタル酸
ジヘプチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ジアリル等
のフタル酸エステル類、トリエチレングリコールジアセ
テート、テトラエチレングリコールジアセテート等のグ
リコールエステル類、ｐ−トルエンスルホンアミド、ベ
ンゼンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルベンゼンスルホ
ンアミド等の酸アミド類、アジピン酸ジイソブチル、ア
ゼライン酸ジオクチル、マレイン酸ジブチル等の脂肪族
２塩基酸エステル類、クエン酸トリブチル、グリセリン
トリアセテート、ラウリン酸ブチル４，５−ジエポキシ
シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ジオクチルなど
が挙げられる。可塑剤の好ましい添加量は、光重合性組
成物の固形分の０．００１〜５０ｗｔ％であり、より好
ましくは、０．０１〜２０ｗｔ％である。５０ｗｔ％を
越えると現像性や画質に悪影響を及ぼす。

【００２７】色素は、光重合性組成物の着色のために添
加される。色素の例としては、マラカイトグリーン、メ
チルグリーン、ブリリアトグリーン、メチルバイオレッ
ト、クリスタルバイオレット、エチルバイオレット、ビ
クトリアピュアブルーＢＯＨ、オイルブルー＃６０３
（オリエント化学工業株式会社製）、エオシン、エリス
ロシンＢ、ローズベンガル、ローダミンＢ、ローダミン
６Ｇ、２，７−ジクロロフルオレセイン、フェノールフ
タレイン、アリザリンレッドＳ、チモールフタレイン、
キナルジンレッド、メタニルイエロー、チモールスルホ
フタレイン、ジフェニルトリアゼン、キシレノールブル
ー、メチルコンゴレッド、ジフェニルチオカルバゾン、
パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾブルブリン
４Ｂ、α−ナフチルレッド、ナイルブルーＡ、フェナセ
タリン、パラフクシン、ベーシックフクシン等を挙げる
ことができる。色素の好ましい添加量は、光重合性組成
物の固形分の０．００１〜１０ｗｔ％、より好ましくは
０．１〜５ｗｔ％である。１０ｗｔ％を越えると、感度
に悪影響を与える。

【００２８】変色剤は、光重合性組成物をフォトマスク
を通して光照射したときに可視像が得られるように添加
される。変色剤の例としては、前記の色素の他にジフェ
ニルアミン、ジベンジルアニリン、トリフェニルアミ
ン、ジエチルアニリン、ジフェニル−ｐ−フェニレンジ
アミン、ｐ−トルイジン、４，４’−ビフェニルジアミ
ン、ｏ−クロロアニリン、ｐ，ｐ’，ｐ”−ヘキサメチ
ルトリアミノトリフェニルメタン、ｐ，ｐ’−テトラメ
チルジアミノトリフェニルメタン、ｐ，ｐ’，ｐ”−
トリアミノトリフェニルカルビノール等が挙げられる。
変色剤の好ましい添加量は、光重合性組成物の固形分の
０．００１〜１０ｗｔ％、より好ましくは０．０１〜５
ｗｔ％である。１０ｗｔ％を越えると、感度低下やカブ
リを起こしやすい。

【００２９】密着促進剤は、銅、ステンレス、陽極酸化
したアルミニウム、シリコン等の金属板等の表面への光
重合性組成物の密着性を高めるために添加する。密着促
進剤の例としては、特公昭５０−９１７７号明細書に記
載されているベンズイミダゾール、ベンズチアゾール、
ベンズトリアゾール、特開昭５３−７０２号明細書に記
載されている２−メルカプトベンズチアゾール、２−メ
ルカプトベンズイミダゾール、また、特開昭５９−１１
３４３２号、特開昭５９−１６５０１号、特開昭６０−
１２５４３号、特開昭６０−１２５４４号、特開昭６１
−１７２１３９号各明細書に記載されている化合物を挙
げることができる。密着促進剤の好ましい添加量は、光
重合性組成物の固形分の０．００１〜１０ｗｔ％、より
好ましくは０．０１〜５ｗｔ％である。１０ｗｔ％を越
えると現像残りの原因となる。

【００３０】本発明の光重合性組成物は、公知の方法に
より基板にラミネート・画像露光した後、未露光部を溶
解除去（現像）することにより、レジスト像を形成す
る。

【００３１】本発明の光重合性組成物は、アルカリ水溶
液により現像することができる。現像液としては、例え
ば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウ
ム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、ア
ンモニア等の０．１〜１０ｗｔ％の水溶液を用いること
ができるが、場合によっては、アミン類、例えばブチル
アミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミ
ン等の１級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルア
ミン等の２級アミン、トリエチルアミン等の３級アミ
ン、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミン、２−アミノ−１，３−プロパンジオール
等のヒドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペ
ラジン、ピペリジン等の環状アミン、前記アミンの硫酸
塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属リン酸塩、ピロリ
ン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルアンモニウムヒドロ
キシド、コリン等のヒドロキシ塩等を使用することもで
きる。以下に、実施例に基づき本発明を更に詳細に説明
するが、本発明はこれによって限定されるものではな
い。なお、「部」は、「重量部」を意味する。

【００３２】

【実施例】

実施例１〜２、比較例１〜５以下に示した素材を混合して均一な溶液を調製した。ドデカプロピレングリコールジアクリレート１５．０部テトラエチレングリコールジメタクリレート３．５部ｐ−トルエンスルホンアミド１．２部４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．１２部ベンゾフェノン２．３部２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体（２５ｗｔ％ジクロロメタン溶液）４．５部トリブロモメチルフェニルスルホン０．２５部ロイコクリスタルバイオレット０．２５部マラカイトグリーン０．０２部

【００３３】このようにして得られた溶液２７．１４部
に表１に挙げた量の各種バインダーの３５％溶液を添加
した。

【００３４】表１：バインダーの種類と組成物の性能バインダー種ＡＢＣＤ剥離片サイズエッジフュージョン実施例１９０１０３ｃｍ融着なし実施例２８０２０１ｃｍ融着なし比較例１１００５ｃｍ融着なし比較例２８０２０３ｃｍ融着あり比較例３８０２０５ｃｍ融着なし比較例４７０３０３ｃｍ融着あり比較例５６０４０２ｃｍ融着ありバインダーＡ：メタクリル酸メチル／メタクリル酸／ア
クリル酸２−エチルヘキシル／メタクリル酸ベンジル共
重合体（モル比＝５５／２８／１２／５，重量平均分子
量＝８０，０００の３５ｗｔ％溶液、溶媒はメチルエチ
ルケトン／１−メトキシ−２−プロパノール＝２／１）バインダーＢ：重量平均分子量＝１５０，０００である
以外はバインダーＡと同様バインダーＣ：重量平均分子量＝１０，０００である以
外はバインダーＡと同様バインダーＤ：スチレン／アクリル酸共重合体（モル比
＝６３／３７，重量平均分子量１０、０００）

【００３５】更に攪拌した後、各々の溶液を厚さ２０μ
ｍのポリエチレンテレフタレート仮支持体上に塗布し、
１００℃で２分間乾燥して約４０μｍ厚の感光性樹脂塗
布膜を有するドライフィルムを作製した。

【００３６】＜剥離片の評価＞上で作製したドライフィ
ルムを清浄化した銅張積層板（銅厚３５μ）上に１０５
℃で積層した。１５分後に、５ｋｗ超高圧水銀灯（オー
ク社（株）製ＨＭＷ−５３２Ｄ）を用いて７０ｍｊ／ｃ
ｍ²全面露光した。露光１５分後、１％炭酸ナトリウム
水溶液（３０℃）で４０秒間スプレー現像したのち、２
０℃の水で４０秒間水洗した。このようにして得られた
レジストを５０℃の３％ＮａＯＨ水溶液で剥離し、剥離
片の大きさを評価した。

【００３７】＜エッジフュージョンの評価＞ドライフィ
ルムを正確に５ｃｍ角に裁断して１０枚重ね合わせ、１
ｋｇの重りを載せた。３０℃８０％の雰囲気下でサンプ
ルを保存し、１週間後に１０枚のサンプルの端が融着し
ているかどうかチェックした。

【００３８】

【発明の効果】表１に示したように、本発明の光重合性
組成物は、剥離片サイズが小さく、かつエッジフュージ
ョンが発生しにくい点において従来公知の組成物より優
れていることは明らかである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ 6921−4Ｅ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（１）カルボキシル基含有バインダー、
（２）光重合可能なモノマー、及び（３）光重合開始剤
系を含有するアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成
物であって、該カルボキシル基含有バインダーが、スチ
レン／（メタ）アクリル酸の共重合体（重量平均分子量
１、０００〜１００、０００）を、全バインダーの５〜
５０重量％含むことを特徴とする光重合性組成物。
【請求項２】請求項１において、該スチレン／（メ
タ）アクリル酸の共重合体以外のカルボキシル基含有バ
インダーが、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタ
クリル酸ベンジル／アクリル酸−２−エチルヘキシル共
重合体であることを特徴とする光重合性組成物。
【請求項３】請求項１において、該光重合開始剤系が
ロフィン２量体を含有することを特徴とする光重合性組
成物。