JPH05242427A - 薄膜磁気ヘッドコア - Google Patents
薄膜磁気ヘッドコアInfo
- Publication number
- JPH05242427A JPH05242427A JP7534892A JP7534892A JPH05242427A JP H05242427 A JPH05242427 A JP H05242427A JP 7534892 A JP7534892 A JP 7534892A JP 7534892 A JP7534892 A JP 7534892A JP H05242427 A JPH05242427 A JP H05242427A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- film magnetic
- thin film
- head core
- fine particles
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】薄膜磁気ヘッドコアを構成する軟磁性合金の選
択的な摩耗を防止する。 【構成】薄膜磁気ヘッドコアを構成する軟磁性合金３中
に高硬度の酸化物微粒子４を分散含有せしめてなる薄膜
磁気ヘッドコア。
択的な摩耗を防止する。 【構成】薄膜磁気ヘッドコアを構成する軟磁性合金３中
に高硬度の酸化物微粒子４を分散含有せしめてなる薄膜
磁気ヘッドコア。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コアを構成する軟磁性
合金中に酸化物微粒子、特に高硬度の酸化物微粒子を含
む薄膜磁気ヘッドコアに関するものである。
合金中に酸化物微粒子、特に高硬度の酸化物微粒子を含
む薄膜磁気ヘッドコアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッド用材料には高い飽和磁束密度
（ＢS ）および高い透磁率（μ）が必要とされる。従
来、高ＢS 、高μ値を有する薄膜磁気ヘッド用軟磁性用
材料としてＮｉ−Ｆｅ系のパーマロイ膜が一般的に知ら
れている。このパーマロイ膜は、電気メッキ法やスパッ
タ法により製造が可能であり薄膜磁気ヘッドコアとして
広く利用されている。
（ＢS ）および高い透磁率（μ）が必要とされる。従
来、高ＢS 、高μ値を有する薄膜磁気ヘッド用軟磁性用
材料としてＮｉ−Ｆｅ系のパーマロイ膜が一般的に知ら
れている。このパーマロイ膜は、電気メッキ法やスパッ
タ法により製造が可能であり薄膜磁気ヘッドコアとして
広く利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の薄膜磁
気ヘッドコアは、フォトレジスト、電気メッキ等の方法
を用いて基板の上にコア、コイル等からなる素子を形成
したものを最終的に機械加工により仕上げて得られる。
図２は、薄膜磁気ヘッドの書き込み、読みだしギャップ
部付近の断面を示し、１は基板、２はセラミック絶縁
層、３はパーマロイであり、部分５を最終的に機械加工
により仕上げる。しかし従来、加工時にパーマロイ部分
が特に摩耗しへこみやすいという欠点があった。これ
は、パーマロイ膜は、ビッカース硬度（ＨV ）で２００
と他のアルミナ等の薄膜磁気ヘッドの構成材料の硬度に
比べて極めて小さく、ヘッドの加工時にパーマロイが選
択的に摩滅するためである。このへこみは、記録特性の
ばらつきの原因となっていた。
気ヘッドコアは、フォトレジスト、電気メッキ等の方法
を用いて基板の上にコア、コイル等からなる素子を形成
したものを最終的に機械加工により仕上げて得られる。
図２は、薄膜磁気ヘッドの書き込み、読みだしギャップ
部付近の断面を示し、１は基板、２はセラミック絶縁
層、３はパーマロイであり、部分５を最終的に機械加工
により仕上げる。しかし従来、加工時にパーマロイ部分
が特に摩耗しへこみやすいという欠点があった。これ
は、パーマロイ膜は、ビッカース硬度（ＨV ）で２００
と他のアルミナ等の薄膜磁気ヘッドの構成材料の硬度に
比べて極めて小さく、ヘッドの加工時にパーマロイが選
択的に摩滅するためである。このへこみは、記録特性の
ばらつきの原因となっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決すべくなされたものであり、薄膜磁気ヘッドコアにお
いて、コアを構成する軟磁性合金中に酸化物微粒子、特
に高硬度酸化物微粒子を分散含有せしめたことを特徴と
した薄膜磁気ヘッドコアを提供するものである。
決すべくなされたものであり、薄膜磁気ヘッドコアにお
いて、コアを構成する軟磁性合金中に酸化物微粒子、特
に高硬度酸化物微粒子を分散含有せしめたことを特徴と
した薄膜磁気ヘッドコアを提供するものである。
【０００５】本発明において、上記酸化物微粒子として
アルミナ、シリカまたはジルコニアの酸化物微粒子を用
いることができる。また、本発明において上記酸化物微
粒子としてＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライ
トなどの高透磁率酸化物微粒子を用いることができる。
上記いずれの酸化物微粒子も、その粒径が５０〜５００
ｎｍの範囲にあることが好ましい。また、これら酸化物
のコア中の体積分率が５〜３０％の範囲にあることが好
ましい。
アルミナ、シリカまたはジルコニアの酸化物微粒子を用
いることができる。また、本発明において上記酸化物微
粒子としてＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライ
トなどの高透磁率酸化物微粒子を用いることができる。
上記いずれの酸化物微粒子も、その粒径が５０〜５００
ｎｍの範囲にあることが好ましい。また、これら酸化物
のコア中の体積分率が５〜３０％の範囲にあることが好
ましい。
【０００６】
【作用】本発明において、パーマロイ内に分散した酸化
物微粒子は、ビッカース硬度が１０００〜２０００と高
いため、パーマロイ全体としての硬度が高まり、機械加
工時のパーマロイの選択的な摩耗を防ぎ、磁気ヘッドの
記録特性のばらつきを極めて小さくすることができる。
物微粒子は、ビッカース硬度が１０００〜２０００と高
いため、パーマロイ全体としての硬度が高まり、機械加
工時のパーマロイの選択的な摩耗を防ぎ、磁気ヘッドの
記録特性のばらつきを極めて小さくすることができる。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を以下に説明する。まず、ガ
ラス基板上に電気メッキが可能なようにスパッタ法によ
りパーマロイ膜を１０〜１００ｎｍ形成した。この基板
を陰極としＦｅおよびＮｉの電解溶液中に浸漬し、パー
マロイの電解メッキを行う。このときの電解液として
は、ＮｉＳＯ4 ・６Ｈ2 Ｏ ２００ｇ／ｌ、ＮｉＣｌ2
・６Ｈ2 Ｏ ２０ｇ／ｌ、ＦｅＳＯ4 ・７Ｈ2 Ｏ １０
ｇ／ｌ、Ｈ2 ＢＯ3 ３０ｇ／ｌおよび少量の添加剤を加
えたものを４０〜５０℃に加温して使用した。この電解
メッキの際、電解液に平均粒径１００ｎｍのアルミナ微
粒子を１０〜１００ｇ／ｌ分散させ、撹拌しながらメッ
キ膜を成長させアルミナが取り込まれるようにした。パ
ーマロイ膜へのアルミナの混入量はアルミナの投入量と
メッキ時の電流密度を０．５〜３Ａ／ｄｍ2と変更する
ことによって調整した。パーマロイ膜を３μｍ成長させ
たあと、メッキ槽から取り出し、さらにこの膜上に保護
膜としてスパッタ法によりアルミナを２０μｍ形成して
試料とした。
ラス基板上に電気メッキが可能なようにスパッタ法によ
りパーマロイ膜を１０〜１００ｎｍ形成した。この基板
を陰極としＦｅおよびＮｉの電解溶液中に浸漬し、パー
マロイの電解メッキを行う。このときの電解液として
は、ＮｉＳＯ4 ・６Ｈ2 Ｏ ２００ｇ／ｌ、ＮｉＣｌ2
・６Ｈ2 Ｏ ２０ｇ／ｌ、ＦｅＳＯ4 ・７Ｈ2 Ｏ １０
ｇ／ｌ、Ｈ2 ＢＯ3 ３０ｇ／ｌおよび少量の添加剤を加
えたものを４０〜５０℃に加温して使用した。この電解
メッキの際、電解液に平均粒径１００ｎｍのアルミナ微
粒子を１０〜１００ｇ／ｌ分散させ、撹拌しながらメッ
キ膜を成長させアルミナが取り込まれるようにした。パ
ーマロイ膜へのアルミナの混入量はアルミナの投入量と
メッキ時の電流密度を０．５〜３Ａ／ｄｍ2と変更する
ことによって調整した。パーマロイ膜を３μｍ成長させ
たあと、メッキ槽から取り出し、さらにこの膜上に保護
膜としてスパッタ法によりアルミナを２０μｍ形成して
試料とした。
【０００８】図１は、本発明の酸化物微粒子４を分散さ
せたパーマロイ膜を電気メッキ法により形成したパーマ
ロイ膜３の断面図である。図１で１は基板、２はセラミ
ック絶縁層である。この基板をパーマロイ膜に垂直にダ
イヤモンドカッターにより切断し、研磨用の樹脂に埋め
込み試料とした。加工試験は、錫製の研磨板上に試料を
載せ２０ｇ／ｃｍ2 の圧力を加えながら１μｍのダイヤ
モンド砥粒で３０分研磨した。このあと、パーマロイ部
分の摩耗深さを触針式の表面粗さ計で測定した。表１
は、このようにして測定した加工時のパーマロイ部の摩
耗深さと酸化物含有量との関係をまとめたものである。
このように酸化物の含有量が体積分率５〜３０％の範囲
で増加すると共に摩耗量も小さくかつそのばらつきも小
さくなる。
せたパーマロイ膜を電気メッキ法により形成したパーマ
ロイ膜３の断面図である。図１で１は基板、２はセラミ
ック絶縁層である。この基板をパーマロイ膜に垂直にダ
イヤモンドカッターにより切断し、研磨用の樹脂に埋め
込み試料とした。加工試験は、錫製の研磨板上に試料を
載せ２０ｇ／ｃｍ2 の圧力を加えながら１μｍのダイヤ
モンド砥粒で３０分研磨した。このあと、パーマロイ部
分の摩耗深さを触針式の表面粗さ計で測定した。表１
は、このようにして測定した加工時のパーマロイ部の摩
耗深さと酸化物含有量との関係をまとめたものである。
このように酸化物の含有量が体積分率５〜３０％の範囲
で増加すると共に摩耗量も小さくかつそのばらつきも小
さくなる。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドコアは、パーマ
ロイ膜に高硬度の酸化物微粒子を分散含有させることに
よりパーマロイ膜の加工特性が改善され、これによりヘ
ッドの加工時にパーマロイ膜が選択的に摩滅することが
防止される特徴を有する。またこれにより本発明の薄膜
磁気ヘッドコアは安定した磁気特性を有する。
ロイ膜に高硬度の酸化物微粒子を分散含有させることに
よりパーマロイ膜の加工特性が改善され、これによりヘ
ッドの加工時にパーマロイ膜が選択的に摩滅することが
防止される特徴を有する。またこれにより本発明の薄膜
磁気ヘッドコアは安定した磁気特性を有する。
【図１】本発明の酸化物微粒子分散パーマロイ膜を電気
メッキ法により形成したパーマロイ膜の断面図。
メッキ法により形成したパーマロイ膜の断面図。
【図２】薄膜磁気ヘッドのコア部の部分断面図。
１ 基板 ２ セラミック絶縁層 ３ パーマロイ ４ 酸化物微粒子 ５ 機械加工面
Claims (4)
- 【請求項１】薄膜磁気ヘッドコアを構成する軟磁性合金
中に酸化物微粒子を分散含有せしめたことを特徴とする
薄膜磁気ヘッドコア。 - 【請求項２】酸化物微粒子がアルミナ、シリカまたはジ
ルコニアの酸化物微粒子あるいはこれら酸化物微粒子の
混合物であって、その粒径が５０〜５００ｎｍの範囲に
あり、コア中の体積分率が５〜３０％であることを特徴
とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッドコア。 - 【請求項３】酸化物微粒子がＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎ
ｉ−Ｚｎフェライト等の高透磁率酸化物の微粒子であっ
て、その粒径が５０〜５００ｎｍの範囲にあり、コア中
の体積分率が５〜３０％であることを特徴とする請求項
１記載の薄膜磁気ヘッドコア。 - 【請求項４】薄膜磁気ヘッドコアを構成する軟磁性合金
が、ニッケルと鉄の２成分からなり、鉄の重量比率が５
〜４０％の範囲にあることを特徴とする請求項１記載の
薄膜磁気ヘッドコア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7534892A JPH05242427A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜磁気ヘッドコア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7534892A JPH05242427A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜磁気ヘッドコア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242427A true JPH05242427A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=13573657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7534892A Withdrawn JPH05242427A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 薄膜磁気ヘッドコア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05242427A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5935403A (en) * | 1996-05-28 | 1999-08-10 | Read-Rite Smi Corporation | Magnetic thin film and magnetic thin film manufacturing method |
| US6134079A (en) * | 1997-09-17 | 2000-10-17 | Fujitsu Limited | Magnetic head including a pole piece with soft magnetic particles dispersed therein and manufacturing method therefor |
| JP2011220798A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP7534892A patent/JPH05242427A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5935403A (en) * | 1996-05-28 | 1999-08-10 | Read-Rite Smi Corporation | Magnetic thin film and magnetic thin film manufacturing method |
| US6134079A (en) * | 1997-09-17 | 2000-10-17 | Fujitsu Limited | Magnetic head including a pole piece with soft magnetic particles dispersed therein and manufacturing method therefor |
| JP2011220798A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Ulvac Japan Ltd | 触針式段差計における差動トランス用コア及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |