JPH05245742A - インライン寸法計測装置 - Google Patents
インライン寸法計測装置Info
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- JPH05245742A JPH05245742A JP4676192A JP4676192A JPH05245742A JP H05245742 A JPH05245742 A JP H05245742A JP 4676192 A JP4676192 A JP 4676192A JP 4676192 A JP4676192 A JP 4676192A JP H05245742 A JPH05245742 A JP H05245742A
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- measuring
- spindle
- work
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークを工作機械の主軸にチャックさせたま
まで、測定基準面、ワークの着座面、高さ面の位置を計
測し、ワークの着座状態及び着座面から高さ面までのワ
ーク高さ寸法を高精度に計測するインライン寸法計測装
置を提供する。 【構成】 ワーク３がチャックされる主軸１先端のチャ
ック基準プレート１３の外周部に切欠き１２ｃを形成
し、測定基準面１２ｂ、ワーク着座面３ａ、ワーク高さ
面３ｂの主軸１の軸方向位置Ａ、Ｂ、Ｃをそれぞれ第
１、第２、第３の計測機構１４、１５、１６で計測す
る。そして、信号処理部１８において、第１、第２の計
測機構１４、１５の検出量の差から着座状態つまり間隙
寸法Ｈ0を、第２、第３の計測機構１５、１６の検出量
の差から高さ寸法Ｈ1を得る。
まで、測定基準面、ワークの着座面、高さ面の位置を計
測し、ワークの着座状態及び着座面から高さ面までのワ
ーク高さ寸法を高精度に計測するインライン寸法計測装
置を提供する。 【構成】 ワーク３がチャックされる主軸１先端のチャ
ック基準プレート１３の外周部に切欠き１２ｃを形成
し、測定基準面１２ｂ、ワーク着座面３ａ、ワーク高さ
面３ｂの主軸１の軸方向位置Ａ、Ｂ、Ｃをそれぞれ第
１、第２、第３の計測機構１４、１５、１６で計測す
る。そして、信号処理部１８において、第１、第２の計
測機構１４、１５の検出量の差から着座状態つまり間隙
寸法Ｈ0を、第２、第３の計測機構１５、１６の検出量
の差から高さ寸法Ｈ1を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、回転角度制御機能を
備えた工作機械の主軸にチャックされたワークの着座確
認及び高さ寸法を工作機械の主軸にチャックされた状態
のままで、つまりインラインで計測するインライン寸法
計測装置に関する。
備えた工作機械の主軸にチャックされたワークの着座確
認及び高さ寸法を工作機械の主軸にチャックされた状態
のままで、つまりインラインで計測するインライン寸法
計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】工作機械の主軸にワークをチャックする
場合において、通常用いられる方法としては、主軸先端
に高精度に仕上げた基準面を有するチャック基準プレー
トを取り付け、この基準面とワーク取り付け面とをでき
るだけ正確に密接させることによりチャック時のワーク
姿勢を決めている。
場合において、通常用いられる方法としては、主軸先端
に高精度に仕上げた基準面を有するチャック基準プレー
トを取り付け、この基準面とワーク取り付け面とをでき
るだけ正確に密接させることによりチャック時のワーク
姿勢を決めている。
【０００３】万一この姿勢が正確でないと、ワークの底
面側と高さ面側との平行度が低下するため、要求精度に
よってはワークのチャック時に基準プレートとワークの
取り付け面とが密接しているか否かを測定する、つまり
着座確認が行われることがある。この着座確認を行う手
段として、従来から図６に示すような真空吸引による負
圧測定を利用したチェックが一般に行われていた。
面側と高さ面側との平行度が低下するため、要求精度に
よってはワークのチャック時に基準プレートとワークの
取り付け面とが密接しているか否かを測定する、つまり
着座確認が行われることがある。この着座確認を行う手
段として、従来から図６に示すような真空吸引による負
圧測定を利用したチェックが一般に行われていた。
【０００４】すなわち、主軸１の内部に吸引孔１ａを貫
通させ、外部の真空ポンプ（図示せず）等により吸引孔
１ａを通じて真空吸引し、基準プレート２とワーク３と
の間の密着度合を真空センサ４によって検出することに
より着座確認を行うものである。
通させ、外部の真空ポンプ（図示せず）等により吸引孔
１ａを通じて真空吸引し、基準プレート２とワーク３と
の間の密着度合を真空センサ４によって検出することに
より着座確認を行うものである。
【０００５】また、工作機械の主軸に回転角度制御機能
が備えられた場合には、図７に示すようにチャック爪５
間の間隙から外部の計測ゲージ６（例えば、電気マイク
ロメータやタッチプローブセンサなど）を移動ベット７
により図中矢印方向に移動させ基準プレート２とワーク
３の底面との間に進入させて、ワーク３の着座側底面を
測定することが行われていた。
が備えられた場合には、図７に示すようにチャック爪５
間の間隙から外部の計測ゲージ６（例えば、電気マイク
ロメータやタッチプローブセンサなど）を移動ベット７
により図中矢印方向に移動させ基準プレート２とワーク
３の底面との間に進入させて、ワーク３の着座側底面を
測定することが行われていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のインライン寸法
計測は以上のようになされているので、前者のような真
空吸引による方式では、真空センサ４による負圧検出の
精度が必ずしも十分でなく、安定した着座確認は困難で
あり、又、後者の場合では、単一の電気マイクロメータ
やタッチプローブセンサを測定面に当てただけでは、そ
れら計測ゲージ６の位置決め誤差、すなわち図７におけ
る移動ベッド７の位置決め誤差が測定面の計測量に重畳
してしまうため、正確な測定が困難であった。さらに、
差動形計測方式、つまり一対の測定子を備えたゲージを
用いて測定部を両方向から挟み、その計測量の差から寸
法を得る方法を適用すれば、前記のような位置決め誤差
の重畳の問題は回避され高精度な計測が可能であるが、
図８に示すように、関連する複数部位を計測する際に、
複数の差動計測形ゲージ８、９同士が干渉して干渉部１
０、１１が発生する等の問題点があった。
計測は以上のようになされているので、前者のような真
空吸引による方式では、真空センサ４による負圧検出の
精度が必ずしも十分でなく、安定した着座確認は困難で
あり、又、後者の場合では、単一の電気マイクロメータ
やタッチプローブセンサを測定面に当てただけでは、そ
れら計測ゲージ６の位置決め誤差、すなわち図７におけ
る移動ベッド７の位置決め誤差が測定面の計測量に重畳
してしまうため、正確な測定が困難であった。さらに、
差動形計測方式、つまり一対の測定子を備えたゲージを
用いて測定部を両方向から挟み、その計測量の差から寸
法を得る方法を適用すれば、前記のような位置決め誤差
の重畳の問題は回避され高精度な計測が可能であるが、
図８に示すように、関連する複数部位を計測する際に、
複数の差動計測形ゲージ８、９同士が干渉して干渉部１
０、１１が発生する等の問題点があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ワークの着座確認および高さ寸
法を、物理的な干渉を発生させることなく高精度に計測
することが可能なインライン寸法計測装置を提供するこ
とを目的とする。
ためになされたもので、ワークの着座確認および高さ寸
法を、物理的な干渉を発生させることなく高精度に計測
することが可能なインライン寸法計測装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るインライ
ン寸法計測装置は、一端が主軸先端に取り付けられ他端
にワークの着座面およびこの着座面に平行な測定基準面
を有する切欠きが形成されたチャック基準プレートと、
このチャック基準プレートの測定基準面の主軸の軸方向
位置を検出する第１の計測機構と、ワークの着座面の主
軸の軸方向位置をワークがチャックされた状態で検出す
る第２の計測機構と、ワークの高さ面の主軸の軸方向位
置をワークがチャックされた状態で検出する第３の計測
機構と、第２の計測機構の検出信号から第１の計測機構
の検出信号を減算してワークの着座面とチャック基準プ
レートの測定基準面との間隙寸法を得ることにより着座
状態を計測すると共に、第３の計測機構の検出信号から
第２の計測機構の検出信号を減算してワークの高さ寸法
を計測する信号処理部とを備えたものである。
ン寸法計測装置は、一端が主軸先端に取り付けられ他端
にワークの着座面およびこの着座面に平行な測定基準面
を有する切欠きが形成されたチャック基準プレートと、
このチャック基準プレートの測定基準面の主軸の軸方向
位置を検出する第１の計測機構と、ワークの着座面の主
軸の軸方向位置をワークがチャックされた状態で検出す
る第２の計測機構と、ワークの高さ面の主軸の軸方向位
置をワークがチャックされた状態で検出する第３の計測
機構と、第２の計測機構の検出信号から第１の計測機構
の検出信号を減算してワークの着座面とチャック基準プ
レートの測定基準面との間隙寸法を得ることにより着座
状態を計測すると共に、第３の計測機構の検出信号から
第２の計測機構の検出信号を減算してワークの高さ寸法
を計測する信号処理部とを備えたものである。
【０００９】
【作用】この発明におけるインライン寸法計測装置の信
号処理部は、第２の計測機構の検出信号から第１の計測
機構の検出信号を減算して、ワークの着座面とチャック
基準プレートの測定基準面との間隙寸法を計測し、又、
第３の計測機構の検出信号から第２の計測機構の検出信
号を減算して、ワークの高さ寸法を計測する。
号処理部は、第２の計測機構の検出信号から第１の計測
機構の検出信号を減算して、ワークの着座面とチャック
基準プレートの測定基準面との間隙寸法を計測し、又、
第３の計測機構の検出信号から第２の計測機構の検出信
号を減算して、ワークの高さ寸法を計測する。
【００１０】
実施例１．以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１におけるインライン寸法
計測装置の概略構成を示す図である。図において、主軸
１、ワーク３およびチャック爪５は従来装置のものと同
様である。１２は一端が主軸１に例えばボルト１３等で
固定されたチャック基準プレートで、他端側にはワーク
３が当接する当たり面１２ａと、その外周部にこの当た
り面１２ａと平行に且つ精度良く仕上げられた測定基準
面１２ｂを有する切欠き１２ｃとが形成されている。
る。図１はこの発明の実施例１におけるインライン寸法
計測装置の概略構成を示す図である。図において、主軸
１、ワーク３およびチャック爪５は従来装置のものと同
様である。１２は一端が主軸１に例えばボルト１３等で
固定されたチャック基準プレートで、他端側にはワーク
３が当接する当たり面１２ａと、その外周部にこの当た
り面１２ａと平行に且つ精度良く仕上げられた測定基準
面１２ｂを有する切欠き１２ｃとが形成されている。
【００１１】１４はチャック基準プレート１２の測定基
準面１２ｂの主軸１の軸方向位置Ａを、測定子１４ａを
介して検出する第１の計測機構、１５はワーク３の着座
面３ａの主軸１の軸方向位置Ｂを、測定子１５ａを介し
て検出する第２の計測機構、１６はワーク３の高さ面３
ｂの主軸１の軸方向位置Ｃを、測定子１６ａを介して検
出する第３の計測機構で、これら各計測機構１４、１
５、１６は例えば電気マイクロメータ等が適用される。
１７はこれら各計測機構１４、１５、１６を図中矢印方
向に移動制御する移動制御機構、１８は信号処理部で、
第２の計測機構１５の検出信号ｄ2から第１の計測機構
１４の検出信号ｄ1を減算する第１のオペレーショナル
アンプ１８ａと、第３の計測機構１６の検出信号ｄ3か
ら第２の計測機構１５の検出信号ｄ2を減算する第２の
オペレーショナルアンプ１８ｂと、これら各オペレーシ
ョナルアンプ１８ａ、１８ｂでそれぞれ減算して得られ
る計測値を一時格納するメモリ回路１８ｃと、メモリ回
路１８ｃに一時格納された各計測値を演算して所定の計
測寸法を得る演算回路１８ｄとで構成されている。
準面１２ｂの主軸１の軸方向位置Ａを、測定子１４ａを
介して検出する第１の計測機構、１５はワーク３の着座
面３ａの主軸１の軸方向位置Ｂを、測定子１５ａを介し
て検出する第２の計測機構、１６はワーク３の高さ面３
ｂの主軸１の軸方向位置Ｃを、測定子１６ａを介して検
出する第３の計測機構で、これら各計測機構１４、１
５、１６は例えば電気マイクロメータ等が適用される。
１７はこれら各計測機構１４、１５、１６を図中矢印方
向に移動制御する移動制御機構、１８は信号処理部で、
第２の計測機構１５の検出信号ｄ2から第１の計測機構
１４の検出信号ｄ1を減算する第１のオペレーショナル
アンプ１８ａと、第３の計測機構１６の検出信号ｄ3か
ら第２の計測機構１５の検出信号ｄ2を減算する第２の
オペレーショナルアンプ１８ｂと、これら各オペレーシ
ョナルアンプ１８ａ、１８ｂでそれぞれ減算して得られ
る計測値を一時格納するメモリ回路１８ｃと、メモリ回
路１８ｃに一時格納された各計測値を演算して所定の計
測寸法を得る演算回路１８ｄとで構成されている。
【００１２】次に上記のように構成される実施例１にお
けるインライン寸法計測装置の動作について説明する。
まず、主軸１の先端にチャック基準プレート１２を取り
付け、このチャック基準プレート１２にワーク３をチャ
ックする。その後、移動制御機構１７を駆動させて、各
計測機構１４、１５、１６を移動制御し、各測定子１４
ａ、１５ａ、１６ａをそれぞれチャック基準プレート１
２の測定基準面１２ｂ、ワーク３の着座面３ａおよびワ
ーク３の高さ面３ｂに当接させる。そして、各計測機構
１４、１５、１６は各測定子１４ａ、１５ａ、１６ａを
介して、各面１２ｂ、３ａ、３ｂの主軸１の軸方向位置
Ａ、Ｂ、Ｃを検出し、それぞれ検出信号ｄ1、ｄ2、ｄ3
として出力する。
けるインライン寸法計測装置の動作について説明する。
まず、主軸１の先端にチャック基準プレート１２を取り
付け、このチャック基準プレート１２にワーク３をチャ
ックする。その後、移動制御機構１７を駆動させて、各
計測機構１４、１５、１６を移動制御し、各測定子１４
ａ、１５ａ、１６ａをそれぞれチャック基準プレート１
２の測定基準面１２ｂ、ワーク３の着座面３ａおよびワ
ーク３の高さ面３ｂに当接させる。そして、各計測機構
１４、１５、１６は各測定子１４ａ、１５ａ、１６ａを
介して、各面１２ｂ、３ａ、３ｂの主軸１の軸方向位置
Ａ、Ｂ、Ｃを検出し、それぞれ検出信号ｄ1、ｄ2、ｄ3
として出力する。
【００１３】次に、信号処理部１８はこれらの検出信号
ｄ1、ｄ2、ｄ3を受信すると、第１のオペレーショナル
アンプ１８ａで両検出信号ｄ1、ｄ2の差を演算し、又、
第２のオペレーショナルアンプ１８ｂで両検出信号
ｄ2、ｄ3の差を演算する。このようにして得られた演算
値はメモリ回路１８ｃに一時格納された後、演算回路１
８ｄで演算され計測値として出力される。すなわち、検
出信号ｄ1、ｄ2の差は測定基準面１２ｂと着座面３ａと
の間の寸法Ｈ0を、又、検出信号ｄ2、ｄ3の差は着座面
３ａと高さ面３ｂとの間の寸法Ｈ1をそれぞれ検出した
ことになる。したがって、寸法Ｈ0が予め定められた基
準範囲内であれば、ワーク３の着座状態は正常と判断す
ることができ、又、ワーク３の高さ寸法は取りも直さず
寸法Ｈ1に相当するのでそのまま求められる。
ｄ1、ｄ2、ｄ3を受信すると、第１のオペレーショナル
アンプ１８ａで両検出信号ｄ1、ｄ2の差を演算し、又、
第２のオペレーショナルアンプ１８ｂで両検出信号
ｄ2、ｄ3の差を演算する。このようにして得られた演算
値はメモリ回路１８ｃに一時格納された後、演算回路１
８ｄで演算され計測値として出力される。すなわち、検
出信号ｄ1、ｄ2の差は測定基準面１２ｂと着座面３ａと
の間の寸法Ｈ0を、又、検出信号ｄ2、ｄ3の差は着座面
３ａと高さ面３ｂとの間の寸法Ｈ1をそれぞれ検出した
ことになる。したがって、寸法Ｈ0が予め定められた基
準範囲内であれば、ワーク３の着座状態は正常と判断す
ることができ、又、ワーク３の高さ寸法は取りも直さず
寸法Ｈ1に相当するのでそのまま求められる。
【００１４】なお、上記実施例１における移動制御機構
１７は、通常、ワーク３の工作時には各計測機構１４、
１５、１６を制御して退避位置まで後退させ、工作に差
し支えない状態に保持する。又、移動制御機構１７の位
置決め精度は、計測機構１４、１５および計測機構１
５、１６の組み合わせによって差動形計測方式が適用さ
れるため、各測定子１４ａ、１５ａ、１６ａが対象とす
る面に接触できるだけの精度が満たされれば良い。さら
に、切欠き１２ｃは第１および第２の計測機構１４、１
５の各測定子１４ａ、１５ａが入り込めるわずかな領域
があれば十分であり、計測時にチャック爪５と両測定子
１４ａ、１５ａとが干渉しない位置に形成すれば良い。
１７は、通常、ワーク３の工作時には各計測機構１４、
１５、１６を制御して退避位置まで後退させ、工作に差
し支えない状態に保持する。又、移動制御機構１７の位
置決め精度は、計測機構１４、１５および計測機構１
５、１６の組み合わせによって差動形計測方式が適用さ
れるため、各測定子１４ａ、１５ａ、１６ａが対象とす
る面に接触できるだけの精度が満たされれば良い。さら
に、切欠き１２ｃは第１および第２の計測機構１４、１
５の各測定子１４ａ、１５ａが入り込めるわずかな領域
があれば十分であり、計測時にチャック爪５と両測定子
１４ａ、１５ａとが干渉しない位置に形成すれば良い。
【００１５】実施例２．図２はこの発明の実施例２にお
けるインライン寸法計測装置の要部の概略構成を示す
図、図３は図２における線III-IIIに沿う断面を示す図
である。図において、図１に示す実施例１におけるもの
と同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。１９
は円周方向に９０゜ないし１２０゜ずらして第１および
第２の切欠き１９ａ、１９ｂがそれぞれ形成されたチャ
ック基準プレートである。このように、上記実施例２に
よればチャック基準プレート１９には切欠き１９ａ、１
９ｂが２個所設けられているので、まず、上記実施例１
と同様な計測過程により第１の切欠き１９ａに関して着
座状態つまり間隙寸法Ｈ01を計測した後、主軸１を９０
゜ないし１２０゜回転制御して第２の切欠き１９ｂを計
測可能な位置に割出し、再度第２の切欠き１９ｂに関し
てワーク３の着座状態つまり間隙寸法Ｈ02を計測するも
のである。
けるインライン寸法計測装置の要部の概略構成を示す
図、図３は図２における線III-IIIに沿う断面を示す図
である。図において、図１に示す実施例１におけるもの
と同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。１９
は円周方向に９０゜ないし１２０゜ずらして第１および
第２の切欠き１９ａ、１９ｂがそれぞれ形成されたチャ
ック基準プレートである。このように、上記実施例２に
よればチャック基準プレート１９には切欠き１９ａ、１
９ｂが２個所設けられているので、まず、上記実施例１
と同様な計測過程により第１の切欠き１９ａに関して着
座状態つまり間隙寸法Ｈ01を計測した後、主軸１を９０
゜ないし１２０゜回転制御して第２の切欠き１９ｂを計
測可能な位置に割出し、再度第２の切欠き１９ｂに関し
てワーク３の着座状態つまり間隙寸法Ｈ02を計測するも
のである。
【００１６】その結果、間隙寸法Ｈ01、Ｈ02の計測値が
共に予め設定された許容範囲内か否かにより、着座状態
の良否を判断する。この計測方法によれば、万一ワーク
３が傾いて着座しても確実に着座不良を検出できるの
で、例えば、ワーク３の加工精度がより高く要求され、
ワーク３の着座状態におけるごく僅かな傾きが問題にな
るような場合にも、十分対応できるような計測が可能と
なる。
共に予め設定された許容範囲内か否かにより、着座状態
の良否を判断する。この計測方法によれば、万一ワーク
３が傾いて着座しても確実に着座不良を検出できるの
で、例えば、ワーク３の加工精度がより高く要求され、
ワーク３の着座状態におけるごく僅かな傾きが問題にな
るような場合にも、十分対応できるような計測が可能と
なる。
【００１７】実施例３．図４はこの発明の実施例３にお
けるインライン寸法計測装置の要部の概略構成を示す
図、図５は図４における線V-Vに沿う断面を示す図であ
る。上記実施例２では、ワーク３の着座状態つまり間隙
寸法Ｈ01、Ｈ02が第１、第２の計測機構１４、１５によ
り計測されるが、本実施例３では、図から明らかなよう
に第２、第３の計測機構１４、１５を用いる点のみ異な
り、他は実施例２における計測過程と全く同様にして、
第１の切欠き１９ａ及び９０゜ないし１２０゜ずれた位
置にある第２の切欠き１９ｂに関して、ワーク測定基準
面からワーク高さ面までの高さ寸法Ｈ11、Ｈ12がそれぞ
れ計測される。
けるインライン寸法計測装置の要部の概略構成を示す
図、図５は図４における線V-Vに沿う断面を示す図であ
る。上記実施例２では、ワーク３の着座状態つまり間隙
寸法Ｈ01、Ｈ02が第１、第２の計測機構１４、１５によ
り計測されるが、本実施例３では、図から明らかなよう
に第２、第３の計測機構１４、１５を用いる点のみ異な
り、他は実施例２における計測過程と全く同様にして、
第１の切欠き１９ａ及び９０゜ないし１２０゜ずれた位
置にある第２の切欠き１９ｂに関して、ワーク測定基準
面からワーク高さ面までの高さ寸法Ｈ11、Ｈ12がそれぞ
れ計測される。
【００１８】高さ寸法に関しては、ワーク３の機能との
関係で真に把握すべき寸法が異なるが、一つには高さ寸
法Ｈ11、Ｈ12の算術平均値をもって高さ寸法とすること
が考えられる。このため、図１に示すように第２、第３
の計測機構１５、１６の検出信号ｄ2、ｄ3を信号処理部
１８の第２のオペレーショナルアンプ１８ｂにおいて減
算して計測値とした後、これをメモリ回路１８ｃに導い
て一時格納し、２つの高さ寸法Ｈ11、Ｈ12の計測完了の
のちメモリ回路１８ｃと接続される演算回路１８ｄにお
いて算術平均演算を行えば容易に目的を達成することが
できる。なお、ワークの機能上、平均値ではなく高さ寸
法Ｈ11、Ｈ12の最大値または最小値をもって必要寸法と
するならば、演算回路１６において最大値または最小値
を求めるための比較演算を行えばよい。
関係で真に把握すべき寸法が異なるが、一つには高さ寸
法Ｈ11、Ｈ12の算術平均値をもって高さ寸法とすること
が考えられる。このため、図１に示すように第２、第３
の計測機構１５、１６の検出信号ｄ2、ｄ3を信号処理部
１８の第２のオペレーショナルアンプ１８ｂにおいて減
算して計測値とした後、これをメモリ回路１８ｃに導い
て一時格納し、２つの高さ寸法Ｈ11、Ｈ12の計測完了の
のちメモリ回路１８ｃと接続される演算回路１８ｄにお
いて算術平均演算を行えば容易に目的を達成することが
できる。なお、ワークの機能上、平均値ではなく高さ寸
法Ｈ11、Ｈ12の最大値または最小値をもって必要寸法と
するならば、演算回路１６において最大値または最小値
を求めるための比較演算を行えばよい。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば一端が
主軸先端に取り付けられ他端にワークの着座面およびこ
の着座面に平行な測定基準面を有する切欠きが形成され
たチャック基準プレートと、このチャック基準プレート
の測定基準面の主軸の軸方向位置を検出する第１の計測
機構と、ワークの着座面の主軸の軸方向位置をワークが
チャックされた状態で検出する第２の計測機構と、ワー
クの高さ面の主軸の軸方向位置をワークがチャックされ
た状態で検出する第３の計測機構と、第２の計測機構の
検出信号から第１の計測機構の検出信号を減算してワー
クの着座面とチャック基準プレートの測定基準面との間
隙寸法を得ることにより着座状態を計測すると共に、第
３の計測機構の検出信号から第２の計測機構の検出信号
を減算してワークの高さ寸法を計測する信号処理部とを
備えたので、ワークの着座確認および高さ寸法を、物理
的な干渉を発生させることなく高精度に計測することが
可能なインライン寸法計測装置を提供することができ
る。
主軸先端に取り付けられ他端にワークの着座面およびこ
の着座面に平行な測定基準面を有する切欠きが形成され
たチャック基準プレートと、このチャック基準プレート
の測定基準面の主軸の軸方向位置を検出する第１の計測
機構と、ワークの着座面の主軸の軸方向位置をワークが
チャックされた状態で検出する第２の計測機構と、ワー
クの高さ面の主軸の軸方向位置をワークがチャックされ
た状態で検出する第３の計測機構と、第２の計測機構の
検出信号から第１の計測機構の検出信号を減算してワー
クの着座面とチャック基準プレートの測定基準面との間
隙寸法を得ることにより着座状態を計測すると共に、第
３の計測機構の検出信号から第２の計測機構の検出信号
を減算してワークの高さ寸法を計測する信号処理部とを
備えたので、ワークの着座確認および高さ寸法を、物理
的な干渉を発生させることなく高精度に計測することが
可能なインライン寸法計測装置を提供することができ
る。
【図１】この発明の実施例１におけるインライン寸法計
測装置の概略構成を示す図である。
測装置の概略構成を示す図である。
【図２】この発明の実施例２におけるインライン寸法計
測装置の要部の概略構成を示す図である。
測装置の要部の概略構成を示す図である。
【図３】図２における線III-IIIに沿う断面を示す図で
ある。
ある。
【図４】この発明の実施例３におけるインライン寸法計
測装置の要部の概略構成を示す図である。
測装置の要部の概略構成を示す図である。
【図５】図４における線V-Vに沿う断面を示す図であ
る。
る。
【図６】従来から用いられている負圧測定を利用したワ
ークの着座状態を確認する方式を説明するための図であ
る。
ークの着座状態を確認する方式を説明するための図であ
る。
【図７】従来の単一測定ゲージによる着座面測定状態を
示す図である。
示す図である。
【図８】従来の差動形計測方式による計測時における複
数の測定ゲージの干渉状態を示す図である。
数の測定ゲージの干渉状態を示す図である。
１ 主軸 ３ ワーク ３ａ 着座面 ３ｂ 高さ面 １２ チャック基準プレート １２ａ 当たり面 １２ｂ 測定基準面 １２ｃ 切欠き １４ 第１の計測機構 １５ 第２の計測機構 １６ 第３の計測機構 １４ａ、１５ａ、１６ａ 測定子 １７ 移動制御機構 １８ 信号処理部 １８ａ 第１のオペレーショナルアンプ １８ｂ 第２のオペレーショナルアンプ １８ｃ メモリ回路 １８ｄ 演算回路
Claims (2)
- 【請求項１】 回転角度制御機能を備えた工作機械の主
軸にチャックされたワークの着座状態を計測し、かつ上
記ワークの着座面からの高さ寸法を計測するインライン
寸法計測装置において、一端が上記主軸先端に取り付け
られ他端に上記ワークの着座面およびこの着座面に平行
な測定基準面を有する切欠きが形成されたチャック基準
プレートと、上記チャック基準プレートの測定基準面の
上記主軸の軸方向位置を検出する第１の計測機構と、上
記ワークの着座面の上記主軸の軸方向位置を上記ワーク
がチャックされた状態で検出する第２の計測機構と、上
記ワークの高さ面の上記主軸の軸方向位置を上記ワーク
がチャックされた状態で検出する第３の計測機構と、上
記第２の計測機構の検出信号から上記第１の計測機構の
検出信号を減算して上記ワークの着座面と上記チャック
基準プレートの測定基準面との間隙寸法を得ることによ
り着座状態を計測すると共に、上記第３の計測機構の検
出信号から上記第２の計測機構の検出信号を減算してワ
ークの高さ寸法を計測する信号処理部とを備えたことを
特徴とするインライン寸法計測装置。 - 【請求項２】 チャック基準プレートの切欠きは円周方
向に所定の間隔をずらして複数個所に形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載のインライン寸法計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4676192A JPH05245742A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | インライン寸法計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4676192A JPH05245742A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | インライン寸法計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05245742A true JPH05245742A (ja) | 1993-09-24 |
Family
ID=12756322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4676192A Pending JPH05245742A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | インライン寸法計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05245742A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014161956A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Komatsu Ntc Ltd | ワークを適正寸法に加工する寸法管理装置 |
| JP2017148916A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 日本空圧システム株式会社 | 位置検出装置 |
-
1992
- 1992-03-04 JP JP4676192A patent/JPH05245742A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014161956A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Komatsu Ntc Ltd | ワークを適正寸法に加工する寸法管理装置 |
| JP2017148916A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 日本空圧システム株式会社 | 位置検出装置 |
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