JPH05253778A - セラミックス構造体の保持装置 - Google Patents
セラミックス構造体の保持装置Info
- Publication number
- JPH05253778A JPH05253778A JP4051281A JP5128192A JPH05253778A JP H05253778 A JPH05253778 A JP H05253778A JP 4051281 A JP4051281 A JP 4051281A JP 5128192 A JP5128192 A JP 5128192A JP H05253778 A JPH05253778 A JP H05253778A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic structure
- holding
- inner peripheral
- peripheral portion
- rings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 中空円錐状のセラミックス構造体を研削する
ときに、簡単な操作で短時間に正確に位置決めして、同
軸に保持できる円錐状セラミックス構造体の保持装置を
得る。 【構成】 保持治具１１の内周部をセラミックス構造体
１０の外周部と相似形にし、この内周部の基部１２側と
先端部１４側に、セラミックス構造体１０に密着するよ
うに複数のＯリング１５、１６を設ける。保持治具１１
の内周部にセラミックス構造体１０を挿入して、Ｏリン
グ１５、１６間の空間から真空排気孔２１を通して真空
排気することにより、セラミックス構造体１０を保持す
る。
ときに、簡単な操作で短時間に正確に位置決めして、同
軸に保持できる円錐状セラミックス構造体の保持装置を
得る。 【構成】 保持治具１１の内周部をセラミックス構造体
１０の外周部と相似形にし、この内周部の基部１２側と
先端部１４側に、セラミックス構造体１０に密着するよ
うに複数のＯリング１５、１６を設ける。保持治具１１
の内周部にセラミックス構造体１０を挿入して、Ｏリン
グ１５、１６間の空間から真空排気孔２１を通して真空
排気することにより、セラミックス構造体１０を保持す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は中空円錐状のセラミッ
クス構造体、特に焼成により変形した中空円錐状のセラ
ミックスを研削等を行うために保持する装置に関するも
のである。
クス構造体、特に焼成により変形した中空円錐状のセラ
ミックスを研削等を行うために保持する装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の焼成により変形した中空円
錐状のセラミックス構造体の保持装置を示す縦断面図、
図６はそのＡ−Ａ断面図である。図において、１０は中
空円錐状のセラミックス構造体、１はこのセラミックス
構造体１０の外周部を保持する保持治具で、円形の基部
２から中空円錐状の保持部３が突出しており、保持部３
の基部２側および先端部４側には、円周方向に並べてそ
れぞれ３個の保持ボルト５、６が貫通し、先端に押え部
材７、８が取付けられている。
錐状のセラミックス構造体の保持装置を示す縦断面図、
図６はそのＡ−Ａ断面図である。図において、１０は中
空円錐状のセラミックス構造体、１はこのセラミックス
構造体１０の外周部を保持する保持治具で、円形の基部
２から中空円錐状の保持部３が突出しており、保持部３
の基部２側および先端部４側には、円周方向に並べてそ
れぞれ３個の保持ボルト５、６が貫通し、先端に押え部
材７、８が取付けられている。
【０００３】上記の保持装置においては、焼成により変
形したセラミックス構造体１０を先端部１０ａから保持
治具１の保持部３の内側に挿入し、セラミックス構造体
１０の周囲から保持ボルト５、６を締付け、押え部材
７、８でセラミックス構造体１０を保持する。この状態
で、保持治具１を研削盤（図示せず）の主軸に取付けて
回転させ、回転する砥石によりセラミックス構造体１０
の内面を研削する。
形したセラミックス構造体１０を先端部１０ａから保持
治具１の保持部３の内側に挿入し、セラミックス構造体
１０の周囲から保持ボルト５、６を締付け、押え部材
７、８でセラミックス構造体１０を保持する。この状態
で、保持治具１を研削盤（図示せず）の主軸に取付けて
回転させ、回転する砥石によりセラミックス構造体１０
の内面を研削する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記の従来の
セラミックス保持装置においては、保持治具１にセラミ
ックス構造体１０を保持する際、保持ボルト５、６によ
り締付けるため、位置決めが困難であり、セラミックス
構造体１０と保持治具１を同軸に合せるのが困難であ
り、位置決めに長時間を要するという問題点があった。
セラミックス保持装置においては、保持治具１にセラミ
ックス構造体１０を保持する際、保持ボルト５、６によ
り締付けるため、位置決めが困難であり、セラミックス
構造体１０と保持治具１を同軸に合せるのが困難であ
り、位置決めに長時間を要するという問題点があった。
【０００５】この発明は上記の問題点を解決するために
なされたもので、簡単な構造と操作により、短時間に正
確に位置決めを行って、中空円錐状のセラミックス構造
体を保持できるセラミックス構造体の保持装置を得るこ
とを目的とする。
なされたもので、簡単な構造と操作により、短時間に正
確に位置決めを行って、中空円錐状のセラミックス構造
体を保持できるセラミックス構造体の保持装置を得るこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は次のセラミック
ス構造体の保持装置である。 （１）中空円錐状のセラミックス構造体の外周部とほぼ
相似形の円錐状の内周面を有する保持部が基部から突出
する保持治具と、前記保持部の基部側および先端側の内
周部に、セラミックス構造体の外周部に達するように設
けられた複数のＯリングと、前記複数のＯリング間の空
間から真空排気するように前記保持治具に設けられた真
空排気孔とを備えたセラミックス構造体の保持装置。 （２）中空円錐状のセラミックス構造体の内周部とほぼ
相似形の円錐状の外周面を有する保持部が基部から突出
する保持治具と、前記保持部の基部側および先端側の外
周部に、セラミックス構造体の内周部に達するように設
けられた複数のＯリングと、前記複数のＯリング間の空
間から真空排気するように前記保持治具に設けられた真
空排気孔とを備えたセラミックス構造体の保持装置。
ス構造体の保持装置である。 （１）中空円錐状のセラミックス構造体の外周部とほぼ
相似形の円錐状の内周面を有する保持部が基部から突出
する保持治具と、前記保持部の基部側および先端側の内
周部に、セラミックス構造体の外周部に達するように設
けられた複数のＯリングと、前記複数のＯリング間の空
間から真空排気するように前記保持治具に設けられた真
空排気孔とを備えたセラミックス構造体の保持装置。 （２）中空円錐状のセラミックス構造体の内周部とほぼ
相似形の円錐状の外周面を有する保持部が基部から突出
する保持治具と、前記保持部の基部側および先端側の外
周部に、セラミックス構造体の内周部に達するように設
けられた複数のＯリングと、前記複数のＯリング間の空
間から真空排気するように前記保持治具に設けられた真
空排気孔とを備えたセラミックス構造体の保持装置。
【０００７】
【作用】本発明の請求項１のセラミックス構造体の保持
装置においては、保持治具の内側に中空円錐状のセラミ
ックス構造体を挿入して、その外周部を複数のＯリング
に当接させた状態で、真空排気孔から真空排気すると、
複数のＯリング間の空気が排出され、セラミックス構造
体はＯリングに密着して保持される。この場合、セラミ
ックス構造体が変形していても、Ｏリングの弾性変形に
より吸収され、セラミックス構造体は、短時間で容易に
同軸に位置決めされ保持される。
装置においては、保持治具の内側に中空円錐状のセラミ
ックス構造体を挿入して、その外周部を複数のＯリング
に当接させた状態で、真空排気孔から真空排気すると、
複数のＯリング間の空気が排出され、セラミックス構造
体はＯリングに密着して保持される。この場合、セラミ
ックス構造体が変形していても、Ｏリングの弾性変形に
より吸収され、セラミックス構造体は、短時間で容易に
同軸に位置決めされ保持される。
【０００８】本発明の請求項２のセラミックス構造体の
保持装置においては、保持治具の外側に中空円錐状のセ
ラミックス構造体を被せるように装着して、その内周部
を複数のＯリングに当接させた状態で真空排気孔から真
空排気すると、複数のＯリング間の空気が排出され、セ
ラミックス構造体はＯリングに密着して保持される。こ
の場合、セラミックス構造体が変形していても、Ｏリン
グの弾性変形により吸収され、セラミックス構造体は、
短時間で容易に同軸に位置決めされ保持される。
保持装置においては、保持治具の外側に中空円錐状のセ
ラミックス構造体を被せるように装着して、その内周部
を複数のＯリングに当接させた状態で真空排気孔から真
空排気すると、複数のＯリング間の空気が排出され、セ
ラミックス構造体はＯリングに密着して保持される。こ
の場合、セラミックス構造体が変形していても、Ｏリン
グの弾性変形により吸収され、セラミックス構造体は、
短時間で容易に同軸に位置決めされ保持される。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を図面の実施例により説明す
る。 実施例１ 図１は実施例１の焼成により変形した中空円錐状セラミ
ックス構造体の保持装置を示す縦断面図、図２はそのＢ
−Ｂ断面図、図３は研削装置の平面図であり、図におい
て、図５および図６と同一符号は同一または相当部分を
示す。
る。 実施例１ 図１は実施例１の焼成により変形した中空円錐状セラミ
ックス構造体の保持装置を示す縦断面図、図２はそのＢ
−Ｂ断面図、図３は研削装置の平面図であり、図におい
て、図５および図６と同一符号は同一または相当部分を
示す。
【００１０】１１は中空円錐状のセラミックス構造体１
０の外周部を保持する保持治具で、円形の基部１２から
中空円錐状の保持部１３が突出している。保持部１３の
内周面は、セラミックス構造体１０の外周部とほぼ相似
形の円錐状に形成されている。保持部１３の基部１２側
および先端部１４側の内周部には、セラミックス構造体
１０の外周部に達するように複数のＯリング１５、１６
が設けられている。
０の外周部を保持する保持治具で、円形の基部１２から
中空円錐状の保持部１３が突出している。保持部１３の
内周面は、セラミックス構造体１０の外周部とほぼ相似
形の円錐状に形成されている。保持部１３の基部１２側
および先端部１４側の内周部には、セラミックス構造体
１０の外周部に達するように複数のＯリング１５、１６
が設けられている。
【００１１】Ｏリング１５は、保持部１３の基部１２側
の内周面に形成された摺動面１７に沿って、軸方向に摺
動可能に設けられた摺動リング１８に取付けられてい
る。Ｏリング１６は先端部１４に形成されたフランジ部
１９に取付けられている。２０は摺動面１７の両側に設
けられたストッパである。
の内周面に形成された摺動面１７に沿って、軸方向に摺
動可能に設けられた摺動リング１８に取付けられてい
る。Ｏリング１６は先端部１４に形成されたフランジ部
１９に取付けられている。２０は摺動面１７の両側に設
けられたストッパである。
【００１２】保持治具１１には、Ｏリング１５、１６間
に開口する真空排気孔２１が設けられており、その他端
は、基部１２の中心部から三方弁２２を介して真空ポン
プ２３に接続している。三方弁２２の他の流路にはコン
プレッサ２４が接続している。２５は圧力計である。
に開口する真空排気孔２１が設けられており、その他端
は、基部１２の中心部から三方弁２２を介して真空ポン
プ２３に接続している。三方弁２２の他の流路にはコン
プレッサ２４が接続している。２５は圧力計である。
【００１３】図３において、３１は研削盤、３２は保持
治具１１の基部１２を取付けて回転する研削盤主軸、３
３はｘ方向に移動可能な砥石台、３４はｙ方向に移動可
能な回転砥石である。
治具１１の基部１２を取付けて回転する研削盤主軸、３
３はｘ方向に移動可能な砥石台、３４はｙ方向に移動可
能な回転砥石である。
【００１４】上記のように構成されたセラミックス構造
体の保持装置においては、保持治具１１の保持部１３の
内側に中空円錐状のセラミックス構造体１０を挿入し
て、その外周部を複数のＯリング１５、１６に当接させ
た状態で、真空ポンプ２３により真空排気孔２１から真
空排気すると、Ｏリング１５、１６間の空気が排出さ
れ、セラミックス構造体１０はＯリングに密着して保持
される。
体の保持装置においては、保持治具１１の保持部１３の
内側に中空円錐状のセラミックス構造体１０を挿入し
て、その外周部を複数のＯリング１５、１６に当接させ
た状態で、真空ポンプ２３により真空排気孔２１から真
空排気すると、Ｏリング１５、１６間の空気が排出さ
れ、セラミックス構造体１０はＯリングに密着して保持
される。
【００１５】この場合、真空排気によりセラミックス構
造体１０が挿入方向に移動して、Ｏリング１５、１６に
圧着されるとともに、摺動リング１８も逆方向に移動し
て、Ｏリング１５、１６とセラミックス構造体１０が密
着する。このためセラミックス構造体が変形していて
も、Ｏリングの弾性変形により吸収され、セラミックス
構造体は、短時間で容易に同軸に位置決めされ保持され
る。
造体１０が挿入方向に移動して、Ｏリング１５、１６に
圧着されるとともに、摺動リング１８も逆方向に移動し
て、Ｏリング１５、１６とセラミックス構造体１０が密
着する。このためセラミックス構造体が変形していて
も、Ｏリングの弾性変形により吸収され、セラミックス
構造体は、短時間で容易に同軸に位置決めされ保持され
る。
【００１６】上記のようなセラミックス構造体の保持
は、図３に示すように、保持治具１１の基部１２を研削
盤３１の研削盤主軸３２に取付けた状態で行われる。そ
して所定の真空度（例えば６００ｍｍＨｇ）になった
後、研削盤主軸３２を回転させることにより、保持治具
１１およびセラミックス構造体１０を回転させ、回転砥
石３４を回転させながら、ｘ、ｙ方向に移動させること
により、セラミックス構造体１０の内周面を研削する。
このときセラミックス構造体１０と保持治具１１とが同
軸になっているため、所定の位置において研削を行うこ
とができる。
は、図３に示すように、保持治具１１の基部１２を研削
盤３１の研削盤主軸３２に取付けた状態で行われる。そ
して所定の真空度（例えば６００ｍｍＨｇ）になった
後、研削盤主軸３２を回転させることにより、保持治具
１１およびセラミックス構造体１０を回転させ、回転砥
石３４を回転させながら、ｘ、ｙ方向に移動させること
により、セラミックス構造体１０の内周面を研削する。
このときセラミックス構造体１０と保持治具１１とが同
軸になっているため、所定の位置において研削を行うこ
とができる。
【００１７】研削終了後、真空ポンプ２３を停止させ、
三方弁２２を切換えて、コンプレッサ２４を起動して空
気を供給し、０ｋｇ／ｃｍ2Ｇ付近の圧力になった状態
でセラミックス構造体１０を取外し、新しいものと交換
して、上記の作業を繰返えす。
三方弁２２を切換えて、コンプレッサ２４を起動して空
気を供給し、０ｋｇ／ｃｍ2Ｇ付近の圧力になった状態
でセラミックス構造体１０を取外し、新しいものと交換
して、上記の作業を繰返えす。
【００１８】実施例２ 図４は実施例２の焼成により変形した中空円錐状セラミ
ックス構造体の保持装置を示す縦断面図である。図にお
いて、１１ａは中空円錐状のセラミックス構造体１０の
内周部を保持する保持治具で、円形の基部１２ａから円
錐状の保持部１３ａが突出している。保持部１３ａの外
周面は、セラミックス構造体１０の内周部とほぼ相似形
の円錐状に形成されている。保持部１３ａの基部１２ａ
側および先端部１４ａ側の外周部には、セラミックス構
造体１０の内周部に達するように複数のＯリング１５
ａ、１６ａが設けられている。
ックス構造体の保持装置を示す縦断面図である。図にお
いて、１１ａは中空円錐状のセラミックス構造体１０の
内周部を保持する保持治具で、円形の基部１２ａから円
錐状の保持部１３ａが突出している。保持部１３ａの外
周面は、セラミックス構造体１０の内周部とほぼ相似形
の円錐状に形成されている。保持部１３ａの基部１２ａ
側および先端部１４ａ側の外周部には、セラミックス構
造体１０の内周部に達するように複数のＯリング１５
ａ、１６ａが設けられている。
【００１９】Ｏリング１５ａは、保持部１３ａの基部１
２ａ側の内周面に形成された突出部１７ａに取付けられ
ている。Ｏリング１６ａは先端部１４ａに形成されたフ
ランジ部１９ａに取付けられている。保持治具１１ａに
は、Ｏリング１５ａ、１６ａ間に開口する真空排気孔２
１ａが設けられており、その他端は基部１２ａの中心部
から三方弁２２を介して真空ポンプ２３に接続してい
る。
２ａ側の内周面に形成された突出部１７ａに取付けられ
ている。Ｏリング１６ａは先端部１４ａに形成されたフ
ランジ部１９ａに取付けられている。保持治具１１ａに
は、Ｏリング１５ａ、１６ａ間に開口する真空排気孔２
１ａが設けられており、その他端は基部１２ａの中心部
から三方弁２２を介して真空ポンプ２３に接続してい
る。
【００２０】上記のように構成されたセラミックス構造
体の保持装置においては、保持治具１１ａの外側に中空
円錐状のセラミックス構造体１０を被せるように装着し
て、その内周部を複数のＯリング１５ａ、１６ａに当接
させた状態で、真空排気孔２１ａから真空排気すると、
Ｏリング１５ａ、１６ａ間の空気が排出され、セラミッ
クス構造体１０はＯリング１５ａ、１６ａに密着して保
持される。
体の保持装置においては、保持治具１１ａの外側に中空
円錐状のセラミックス構造体１０を被せるように装着し
て、その内周部を複数のＯリング１５ａ、１６ａに当接
させた状態で、真空排気孔２１ａから真空排気すると、
Ｏリング１５ａ、１６ａ間の空気が排出され、セラミッ
クス構造体１０はＯリング１５ａ、１６ａに密着して保
持される。
【００２１】この場合、真空排気によりセラミックス構
造体１０が装着方向に移動して、Ｏリング１５ａ、１６
ａに圧着する。これによりセラミックス構造体が変形し
ていても、Ｏリングの弾性変形により吸収され、セラミ
ックス構造体は、短時間で容易に同軸に位置決めされ保
持される。
造体１０が装着方向に移動して、Ｏリング１５ａ、１６
ａに圧着する。これによりセラミックス構造体が変形し
ていても、Ｏリングの弾性変形により吸収され、セラミ
ックス構造体は、短時間で容易に同軸に位置決めされ保
持される。
【００２２】上記の保持治具１１ａは図３と同様に研削
盤３１に装着され、同様にしてセラミックス構造体１０
の外周部が研削される。
盤３１に装着され、同様にしてセラミックス構造体１０
の外周部が研削される。
【００２３】なお上記実施例２においては、Ｏリング１
５ａを突出部１７ａに取付けたが、実施例１と同様に、
突出部１７ａの位置に摺動面および摺動リングを設け、
摺動リングにＯリング１５ａを取付けてもよい。
５ａを突出部１７ａに取付けたが、実施例１と同様に、
突出部１７ａの位置に摺動面および摺動リングを設け、
摺動リングにＯリング１５ａを取付けてもよい。
【００２４】また上記実施例では、保持装置を研削用の
ものとして説明したが、マテリアルハンドリング用の保
持装置としても利用できる。
ものとして説明したが、マテリアルハンドリング用の保
持装置としても利用できる。
【００２５】
【発明の効果】本発明の保持装置は、保持部の基部側お
よび先端側の内周部または外周部に、セラミックス構造
体の外周部または内周部に達するように複数のＯリング
を設け、上記複数のＯリング間から真空排気するように
真空排気孔を設けたので、簡単な構造と操作により、短
時間に正確に位置決めを行って、中空円錐状のセラミッ
クス構造体を保持治具と同軸に保持することができる。
よび先端側の内周部または外周部に、セラミックス構造
体の外周部または内周部に達するように複数のＯリング
を設け、上記複数のＯリング間から真空排気するように
真空排気孔を設けたので、簡単な構造と操作により、短
時間に正確に位置決めを行って、中空円錐状のセラミッ
クス構造体を保持治具と同軸に保持することができる。
【図１】実施例１の保持装置を示す縦断面図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】研削装置の平面図である。
【図４】実施例２の保持装置を示す縦断面図である。
【図５】従来の保持装置を示す縦断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
１０ セラミックス構造体 １１、１１ａ 保持治具 １２、１２ａ 基部 １３、１３ａ 保持部 １４、１４ａ 先端部 １５、１５ａ、１６、１６ａ Ｏリング １７ 摺動面 １７ａ 突出部 １８ 摺動リング １９ フランジ部 ２０ ストッパ ２１、２１ａ 真空排気孔 ２２ 三方弁 ２３ 真空ポンプ ２４ コンプレッサ ２５ 圧力計 ３１ 研削盤 ３２ 研削盤主軸 ３３ 砥石台 ３４ 回転砥石
Claims (2)
- 【請求項１】 中空円錐状のセラミックス構造体の外周
部とほぼ相似形の円錐状の内周面を有する保持部が基部
から突出する保持治具と、 前記保持部の基部側および先端側の内周部に、セラミッ
クス構造体の外周部に達するように設けられた複数のＯ
リングと、 前記複数のＯリング間の空間から真空排気するように前
記保持治具に設けられた真空排気孔とを備えたことを特
徴とするセラミックス構造体の保持装置。 - 【請求項２】 中空円錐状のセラミックス構造体の内周
部とほぼ相似形の円錐状の外周面を有する保持部が基部
から突出する保持治具と、 前記保持部の基部側および先端側の外周部に、セラミッ
クス構造体の内周部に達するように設けられた複数のＯ
リングと、 前記複数のＯリング間の空間から真空排気するように前
記保持治具に設けられた真空排気孔とを備えたことを特
徴とするセラミックス構造体の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4051281A JPH05253778A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | セラミックス構造体の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4051281A JPH05253778A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | セラミックス構造体の保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253778A true JPH05253778A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12882557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4051281A Pending JPH05253778A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | セラミックス構造体の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253778A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112059906A (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-11 | 诺伯特智能装备（山东）有限公司 | 一种管件夹紧定位装置 |
| CN113021137A (zh) * | 2021-03-06 | 2021-06-25 | 曹树梁 | 陶瓷太阳板锥管口图像识别加工方法及装置 |
| CN113427301A (zh) * | 2021-07-16 | 2021-09-24 | 北京新风航天装备有限公司 | 一种锥形舱体半自动仿形支撑工装 |
-
1992
- 1992-03-10 JP JP4051281A patent/JPH05253778A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112059906A (zh) * | 2020-08-12 | 2020-12-11 | 诺伯特智能装备（山东）有限公司 | 一种管件夹紧定位装置 |
| CN112059906B (zh) * | 2020-08-12 | 2022-03-08 | 诺伯特智能装备（山东）有限公司 | 一种管件夹紧定位装置 |
| CN113021137A (zh) * | 2021-03-06 | 2021-06-25 | 曹树梁 | 陶瓷太阳板锥管口图像识别加工方法及装置 |
| CN113427301A (zh) * | 2021-07-16 | 2021-09-24 | 北京新风航天装备有限公司 | 一种锥形舱体半自动仿形支撑工装 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09181153A (ja) | 半導体ウェーハ固定装置 | |
| KR19990007082A (ko) | 디스크형 물품, 특히 실리콘 웨이퍼 처리 방법 및 장치 | |
| JPS61145839A (ja) | 半導体ウエ−ハの接着方法および接着治具 | |
| JPH05253778A (ja) | セラミックス構造体の保持装置 | |
| JPH0671689B2 (ja) | 研磨、研削用真空吸着装置 | |
| JP3732060B2 (ja) | 吸着プレート及び真空吸引装置 | |
| JP7221739B2 (ja) | ウエハ保持装置 | |
| JP5203827B2 (ja) | 保持装置 | |
| KR19990083307A (ko) | 화학적기계적연마장치 | |
| JP7372107B2 (ja) | ウェーハ研磨用ヘッド | |
| JPS6218362Y2 (ja) | ||
| JP2601086Y2 (ja) | ウエハ研削盤の真空チャック装置 | |
| JP2001319905A (ja) | バキュームチャック | |
| JPH10128633A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH07290355A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH07302831A (ja) | 共用試料ホールダ | |
| JPH04367227A (ja) | ウェハの裏面研削処理方法及びこの方法に用いるウェハチャック | |
| JP2005011748A (ja) | ボタン型電池の製造装置 | |
| JP3078433U (ja) | 帯鋸盤の切断片支持装置 | |
| JPH0478446B2 (ja) | ||
| CN214672563U (zh) | 一种半导体扩散设备的石英部件加工用定位装夹装置 | |
| JPH05285763A (ja) | 真空チャック | |
| JPS6445567A (en) | Semiconductor wafer applying method and device | |
| JPH08264629A (ja) | 真空ピンセット | |
| JPH11156697A (ja) | 平面研磨装置及び平面研磨方法 |