JPH0525501U - 調節計の表示桁可変装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 調節計において測定値と設定値の偏差が大き
いとき測定値の表示を見やすくする。 【構成】 表示部１１は測定値ＰＶおよび設定値ＳＶを
多数桁で表示する。設定部１９は、表示部１１で測定値
ＰＶを全桁表示させる全桁表示帯および小数点以下を空
白にして表示させる概略表示帯とを設定し、表示駆動部
１７へ出力する。表示駆動部１７は表示部１１を駆動し
て測定値ＰＶおよび設定値ＳＶを表示する。表示駆動部
１７は、実際の測定値ＰＶが全桁表示帯および概略表示
帯のいずれにあるかを検索し、概略表示帯にあるとき小
数点以下を空白とした表示となるよう表示器１３を制御
し、測定値ＰＶが全桁表示帯にあるとき小数点以下を含
めて全桁表示するよう表示器１３を制御する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は調節計の表示桁可変装置に係り、例えば半導体製造装置等を温度制御 する高温制御用の温度調節計の表示部においてその桁表示を可変できる表示桁可 変装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の調節計は、制御対象からの測定値ＰＶと予め設定した設定値ＳＶの偏 差からその制御対象の操作量ＭＶをＰＩＤ演算する構成を有するとともに、図９ に示すように、本体ケース１の正面パネル３に主にそれら測定値ＰＶや設定値Ｓ Ｖを表示する表示器５、７を設ける他、設定値ＳＶの入力や各種のモード切換え 等を行なう操作キー９等を配置するのが一般である。 なお、調節計の正面パネル３には、各種の表示ランプや表示エリアもあるが便 宜上図示を省略した。

【０００３】 このような調節計では、表示器５、７としてＬＥＤ（Light Emitted Diode ） やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）を用いるとともに、それら測定値ＰＶおよ び設定値ＳＶを高分解能で表示して動作状態を高精度で確認する観点から、全表 示範囲についてそれら表示器５、７を例えば小数点以下２桁まで表示可能に構成 する例が多い。 ちなみに、図９では設定値ＳＶを「１２００．００」に設定するとともに測定 値ＰＶが「１００．００」の状態を示している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述した調節計においては、その動作中に測定値ＰＶが設定値 ＳＶまで変化するから測定値ＰＶを表示する表示器５の表示もたえず変化し、特 に、起動時には測定値ＰＶが室温付近から設定値ＳＶ付近まで大幅に温度上昇す るので、表示器５の小数点以下を含む下位桁が高速で変化し、オペレータにとっ ては表示が非常に見にくい欠点があった。 もっとも、小数点以下の表示機能を有しない表示器５を用いて表示桁を減らせ ば見にくさを軽減できるが、測定値ＰＶが設定値ＳＶ付近まで上昇して制御安定 状態になった時には高精度の表示ができなくなり、やはり表示器５では全桁表示 が必要である。 このように、従来の調節計では表示モニターに関して相反する要求が混在して いる。 本考案は上述した従来の欠点を解決するためになされたもので、測定値に応じ て表示部の桁表示を自動的に可変でき、表示部をモニターし易い表示桁可変装置 の提供を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

このような課題を解決するために本考案は、複数の表示桁を有し調節計の測定 値を表示する表示部と、この表示部を駆動してその測定値を表示桁に表示させる 表示駆動部と、その測定値に関して少なくとも上記表示桁のうち下位桁まで可変 表示させる全桁表示帯および下位桁を固定させる概略表示帯を設定する設定部と を有して構成されている。 そして、その表示駆動部は、その設定部からの全桁表示帯および概略表示帯に 対する上記測定値の関係を検索し、その測定値が概略表示帯にあるとき下位桁を 空白にするか又は符号を固定表示するように固定させ、その測定値が全桁表示帯 にあるとき下位桁まで可変表示させるよう上記表示部を制御する構成となってい る。 また、本考案では、全桁表示帯に時間的又は領域が連続する補助表示帯を設定 できるように上記設定部を形成し、上記表示駆動部について上記測定値がその補 助表示帯にあるとき上記表示部の特定桁を規則的に可変して表示するよう上記表 示部を制御する形成としてもよい。

【０００６】

【作用】

このような手段を備えた本考案では、測定値に関する全桁表示帯および概略表 示帯が上記設定部から設定されると、実際の測定値が概略表示帯にあるとき、表 示駆動部が下位桁を空白にするか又は符号を固定表示するよう表示部を駆動し、 その下位桁を固定して測定値を表示させる一方、その測定値が全桁表示帯にある ときには表示部にその測定値を全桁で可変表示させる。 また、上記設定部で補助表示帯も設定可能に形成し、上記測定値が補助表示帯 にあるとき上記表示駆動部が特定桁を規則的に可変表示させる構成では、その測 定値が全桁表示帯に移って安定するまでとか、全桁表示帯に近づいたとき、全桁 表示帯から外れたとき、表示駆動部が表示部の特定桁の可変表示を介してそれを 知らせる。

【０００７】

【実施例】

以下本考案の実施例を図面を参照して説明する。なお、便宜上、表示桁可変装 置の概略構成から説明する。 図１は本考案に係る表示桁可変装置の一実施例を概略で示すブロック図である 。 図１において、表示部１１は測定値ＰＶおよび設定値ＳＶを表示する図２のよ うな２段の表示器１３、１５からなり、これら表示器１３、１５は小数点以下２ 桁を含む６桁の表示桁を有してＬＥＤ又はＬＣＤ等で形成されている。 表示駆動部１７は表示部１１の各表示器１３、１５を駆動して測定値ＰＶおよ び設定値ＳＶを表示するとともに、各表示器１３、１５における小数点を含む個 々の桁表示を停止したり点滅制御可能になっている。 設定部１９は、設定値ＳＶを表示駆動部１７へ出力する他、測定値用の表示器 １３において下位桁から測定値ＰＶを全桁表示させる範囲（全桁表示帯）と、同 じ測定値ＰＶを小数点以下を空白にして表示する範囲（概略表示帯）とを設定し て表示駆動部１７へ出力するものである。

【０００８】 一般に、全桁表示帯は測定値ＰＶが設定値ＳＶ付近にあって制御安定状態にあ る場合であり、概略表示帯は起動時に制御安定状態まで立上がる過程である。ま た、全桁表示帯および概略表示帯の設定は設定値ＳＶに対する偏差や区切りとな る値をそのまま入力して行なわれる。 上述した表示駆動部１７は、例えば、実際の測定値ＰＶが全桁表示帯および概 略表示帯のいずれにあるかを検索し、概略表示帯にあるとき、図２のように小数 点以下を空白とした表示「１００． 」となるよう表示器１３を駆動し、測定 値ＰＶが全桁表示帯にあるとき、図３のように小数点以下を含めて全桁表示「１ １５０．００」となるよう表示器１３を制御する機能を有している。 なお、設定部１９では全桁表示帯および概略表示帯の他、後述する補助表示帯 の設定も可能であり、表示駆動部１７はその補助表示帯の設定に対応した表示器 １３に対する制御機能を有するが、詳細は後述する。

【０００９】 図４は上述した表示桁可変装置の具体的回路構成を調節計とともに示すブロッ ク図である。なお、図１と共通する部分には同一の符号を付す。 図４において、制御部２１は、調節計の演算主要部および表示桁可変装置の主 要部をなすＣＰＵ２１ａと、このＣＰＵ２１ａの動作プログラムを格納したＲＯ Ｍ２１ｂと、インターフェースとしてのＩ／Ｏ２１ｃを有するマイクロコンピュ ータであり、設定部１９、表示部１１、記憶部２３、測定入力部２５および出力 部２７に接続され、これらを制御している。 この制御部２１は、測定値ＰＶと設定値ＳＶとの偏差から例えばＰＩＤ演算し て操作量ＭＶを出力するとともに、それら測定値ＰＶ、設定値ＳＶおよび操作量 ＭＶを表示部１１に表示する調節計としての基本的機能の他、後述する機能を有 している。

【００１０】 設定部１９は上述した全桁表示帯および概略表示帯を設定する他、種々の機能 の選択等を行なう操作キー（図９参照）である。 記憶部２３は制御部２１の管理下でそれら全桁表示帯および概略表示帯を記憶 する他、制御部２１による演算過程のデータを記憶するものである。 測定入力部２５は、制御対象としての測定対象２９からの測定値ＰＶを例えば デジタル信号にＡ／Ｄ変換して制御部２１へ出力するものである。 出力部２７は制御部２１にて演算されたデジタル操作量ＭＶをアナログ操作量 に変換したり、デジタル操作量でリレー等を駆動して測定対象２９を操作するも のである。 制御部２１は上述した機能の他、記憶部２３内の全桁表示帯および概略表示帯 を読み出し、測定入力部２５からの測定値ＰＶがいずれの帯にあるかを検索し、 概略表示帯にあるとき、図２のように小数点以下を表示させないよう表示部１１ の表示器１３を駆動し、測定値ＰＶが全桁表示帯にあるとき、図３のように小数 点以下を含めて表示させるよう表示器１１を駆動する桁表示変更機能を有してい る。すなわち、制御部２１は上述した表示駆動部１７としても機能する。

【００１１】 次に本考案の表示桁可変装置の動作を簡単に説明する。 調節計を起動させた後の初期状態では、図２のように例えば設定値ＳＶ「１２ ００．００」に対して測定値ＰＶが低くて偏差が大きいから、図４の制御部２１ は測定値ＰＶが概略表示帯にあると判別し、小数点以下が空白になるよう表示部 １１の表示器１３を駆動する。 これによって、表示器１３は「１００． 」と表示動作して測定値ＰＶが制 御安定帯外であることを示すとともに、表示器１３の下位桁の高速表示変化によ る表示部１１の見にくさが改善される。もちろん、測定値ＰＶの変化により、実 際に表示された桁が変化する。 その後、測定値ＰＶが図３のように全桁表示帯に入ると、図４の制御部２１は 測定値ＰＶが全桁表示帯にあると判別し、表示部１１を駆動して小数点以下を含 めて全桁表示させる。

【００１２】 そのため、表示器１３は「１１５０．００」と表示動作して測定値ＰＶが制御 安定帯内であることを示すとともに詳細な測定値ＰＶを表示するから、調節計の 動作を正確に確認できる。 しかも、測定値ＰＶが変動しても全桁表示帯にあれば、制御部２１はそのまま 全桁表示制御し、測定値ＰＶが全桁表示帯と概略表示帯の間で移ったとき、即座 に図２又は図３のように表示桁を変化させるよう表示部１１を制御する。 このように、上述した表示桁可変装置では、予め制御安定状態として全桁表示 帯を設定し、測定値ＰＶと設定値ＳＶの偏差が大きい領域を概略表示帯を設定し ておけば、例えば調節計の起動時のように測定値ＰＶの変化が大きいときには表 示器１３の下位桁の表示が空白となり、オペレーターにとって表示部１１のモニ ターが容易となる。

【００１３】 上述した実施例では全桁表示帯と概略表示領域を設定する例を示したが、本考 案はこれに限定されない。 例えば、測定値ＰＶが概略表示帯から全桁表示帯に入った後の一定時間（ｔ） を補助表示帯として設定し、この補助表示帯の経過後に表示部１１で桁表示させ るよう構成可能である。 しかも、補助表示帯の経過中には、（１）図２のように小数点以下の桁を空白 としたままにする構成、（２）図５のように小数点以下を空白とするとともに小 数点を点滅させる構成、（３）図６のように小数点以下の桁を点滅させる構成等 がある。

【００１４】 このような構成は、測定値ＰＶが全桁表示帯に入った後の一定時間経過を補助 表示帯として設定したものであるが、一定時間（ｔ）経過するまでは測定値ＰＶ が設定値ＳＶを越えて増減する回数を補助表示帯として設定することも可能であ り、その増減数が所定数に達したとき上述した図５又は図６のように表示桁を即 座に変更又は特定桁を点滅させる構成としてもよい。 このように、補助表示帯を設定する構成では、測定値ＰＶが全桁表示帯に入っ て安定してから全桁表示することになるので、表示が安定である。 さらに、本考案では、測定値ＰＶが設定値ＳＶを越えて増減する回数を含む時 間的経過を補助表示帯として設定する以外に、図７および図８に示すように、全 桁表示帯に隣接した中間的表示帯を補助表示帯として設定し、上述した小数点や 小数点以下の特定桁を点滅表示させる構成も可能である。

【００１５】 そして、全桁表示帯に隣接した中間的表示帯を補助表示帯として設定する構成 では、測定値ＰＶが全桁表示帯から概略表示帯へ移ったとき、（１）測定値ＰＶ が全桁表示帯から一定レベル以上離れるように低下又は上昇したとき表示部１１ の小数点以下を空白表示させるとか、（２）測定値ＰＶの全桁表示を保持するよ う構成可能である。 これら補助表示帯の時間設定、回数設定、中間的表示帯の設定、更にはこれら の補助表示帯の選択は、図４の制御部２１の管理下で設定部１９からなされて記 憶部２３に格納され、制御部２１が表示駆動部として表示部１１を制御する。 ところで、上述した実施例では表示部１１の表示器１３の小数点以下２桁を空 白にする例を説明したが、本考案では小数点以下の１桁以上を空白にする構成や 、小数点を越える桁を空白にする等、任意の下位桁を空白にしたり、小数点を含 む特定桁を規則的に可変表示する構成で実施可能である。

【００１６】 さらに、本考案では、実際の測定値が概略表示帯にあるとき下位桁を空白にす る以外に、その下位桁に英数字等の符号を固定表示させてもよく、表示部１１が 固定表示するように制御部２１を形成すればよい。 このように、下位桁に英数字等の符号を固定表示させる構成では、空白のよう にその表示の意味を１種類から複数種類に増加させることが容易になるから、表 示態様が拡大する。 また、上述した表示桁可変装置では温度調節計に搭載する例を説明したが、本 考案はこれに限らず例えば圧力や流量その他を制御する調節計において広く応用 可能である。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、測定値に関する全桁表示帯および概略表示帯を 設定する設定部と、その測定値を表示する表示部を駆動する表示駆動部であって 、実際の測定値が概略表示帯にあるとき下位桁を固定表示させるよう表示部を制 御するとともにその測定値が全桁表示帯にあるときには全桁を可変表示させる表 示駆動部を有するので、測定値に応じて表示部における測定値の桁表示を自動的 に変化させることができる。 そのため、例えば測定値と設定値の偏差が大きいとき、下位桁を空白又は符号 を固定表示可能となり、表示部における測定値が見易くなる。 他方、制御安定時には測定値を全桁表示して高分解能の表示が可能となり、正 確にモニターできる。 しかも、設定部によって全桁表示帯および概略表示帯を任意に設定できるので 、オペレータにとって見やすい表示にすることができる。 また、設定部で補助表示帯も設定可能に形成し、その測定値が補助表示帯にあ るとき上記表示駆動部が特定桁を規則的に可変表示させる構成では、その測定値 が全桁表示帯に移って安定するまでとか、全桁表示帯に近づいたとき、全桁表示 帯から外れたとき等に、表示部を見るだけで設定値に対する測定値の状態が分る 利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る表示桁可変装置の一実施例を示す
概略ブロック図である。

【図２】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図３】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図４】図１の表示桁可変装置の具体的構成を調節計構
成とともに示すブロック図である。

【図５】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図６】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図７】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図８】本考案の表示桁可変装置において測定値と表示
器の表示関係を説明する図である。

【図９】調節計の正面パネルの構成を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１ 本体ケース ３ 正面パネル ５、７ 表示器 ９ 操作キー １１ 表示部（表示器） １３、１５ 表示器 １７ 表示駆動部 １９ 設定部 ２１ 制御部（表示駆動部） ２３ 記憶部 ２５ 測定入力部 ２７ 出力部 ２９ 測定対象（制御対象）

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の表示桁を有し調節計の測定値を表
   示する表示部と、 この表示部を駆動して前記測定値を前記表示桁に表示さ
   せる表示駆動部と、 前記測定値について、少なくとも前記表示桁のうち下位
   桁まで可変表示させる全桁表示帯および前記下位桁を固
   定させる概略表示帯を設定する設定部と、 を具備してなる調節計の表示桁可変装置であって、 前記表示駆動部は、前記設定部からの全桁表示帯および
   概略表示帯に対する前記測定値の関係を検索し、前記測
   定値が前記概略表示帯にあるとき前記下位桁を固定さ
   せ、前記測定値が前記全桁表示帯にあるとき前記下位桁
   まで可変表示させるよう前記表示部を制御することを特
   徴とする調節計の表示桁可変装置。
2. 【請求項２】 前記表示駆動部は、前記測定値が前記概
   略表示帯にあるとき前記下位桁を空白にするか又は符号
   を固定表示させるよう前記表示部を制御する請求項１記
   載の調節計の表示桁可変装置。
3. 【請求項３】 前記設定部は前記全桁表示帯に時間的又
   は領域が連続する補助表示帯の設定が可能に形成され、
   前記表示駆動部は前記測定値が前記補助表示帯にあると
   き前記表示部の特定桁を規則的に可変表示するよう前記
   表示部を制御する請求項１又は２記載の調節計の表示桁
   可変装置。