JPH05256874A - 位置調整機構付きプロービング装置 - Google Patents
位置調整機構付きプロービング装置Info
- Publication number
- JPH05256874A JPH05256874A JP5776492A JP5776492A JPH05256874A JP H05256874 A JPH05256874 A JP H05256874A JP 5776492 A JP5776492 A JP 5776492A JP 5776492 A JP5776492 A JP 5776492A JP H05256874 A JPH05256874 A JP H05256874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probing device
- fixing jig
- holding member
- measured
- Prior art date
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- Pending
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、被測定用電子回路に接触して
物理的固有値を検出するプローブを配置固定したプロー
ビング装置において、プローブの位置を単純な回転、及
び前後移動により被測定体のパッドの位置に合わせるこ
とを可能とすることにある。 【構成】プローブ１と、絶縁盤５上面に一端を回動自在
に保持されたプローブ保持部材２と、前記プローブ１と
プローブ保持部材２を固定する固定用治具（Ｉ）３と固
定用治具（II）４とを備えたプロービング装置。 【効果】プローブの移動が容易にできるので被測定体の
パッドの位置の相違によるプローブカードの作成・交換
などの手間がかからない。
物理的固有値を検出するプローブを配置固定したプロー
ビング装置において、プローブの位置を単純な回転、及
び前後移動により被測定体のパッドの位置に合わせるこ
とを可能とすることにある。 【構成】プローブ１と、絶縁盤５上面に一端を回動自在
に保持されたプローブ保持部材２と、前記プローブ１と
プローブ保持部材２を固定する固定用治具（Ｉ）３と固
定用治具（II）４とを備えたプロービング装置。 【効果】プローブの移動が容易にできるので被測定体の
パッドの位置の相違によるプローブカードの作成・交換
などの手間がかからない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路各部の物理的
特性を測定するプロービング装置に関するものである。
特性を測定するプロービング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プローブの移動が可能なプロービング装
置としては、例えば特開平1−270670号に示されている
ように前後方向への移動が可能なものである。
置としては、例えば特開平1−270670号に示されている
ように前後方向への移動が可能なものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この構造では
プローブが移動できない部分があり、被測定体のパッド
の位置が異なるものにおいてはプローブが移動できない
部分ができてしまい、その結果プローブカードの作成・
交換が必要になる場合があった。
プローブが移動できない部分があり、被測定体のパッド
の位置が異なるものにおいてはプローブが移動できない
部分ができてしまい、その結果プローブカードの作成・
交換が必要になる場合があった。
【０００４】本発明の目的は、プローブの位置を単純な
回転、及び前後移動により被測定体のパッドの位置に合
わせることを可能とすることである。
回転、及び前後移動により被測定体のパッドの位置に合
わせることを可能とすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、絶縁盤
上面に一端を回動自在とし他端を固定できるようにした
プローブ保持部材と固定用治具とを具備することにより
達成できる。
上面に一端を回動自在とし他端を固定できるようにした
プローブ保持部材と固定用治具とを具備することにより
達成できる。
【０００６】
【作用】このような構成によれば、固定用治具の開閉に
よりプローブの固定・回転・前後方向への移動が可能と
なる。
よりプローブの固定・回転・前後方向への移動が可能と
なる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の上面図、図２は図１のＡ−
Ａ断面拡大図、図３は図１のＢ−Ｂ拡大断面図である。
Ａ断面拡大図、図３は図１のＢ−Ｂ拡大断面図である。
【０００９】図に示すように、プロービング装置はプロ
ーブ１，プローブに合わせた溝を有するプローブ保持部
材２，プローブ保持部材２を回転しないように固定する
固定用治具３，プローブ保持部材２を取り付けるための
固定用治具４，絶縁盤５より構成される。
ーブ１，プローブに合わせた溝を有するプローブ保持部
材２，プローブ保持部材２を回転しないように固定する
固定用治具３，プローブ保持部材２を取り付けるための
固定用治具４，絶縁盤５より構成される。
【００１０】固定用治具３，固定用治具４を緩めるとプ
ローブ保持部材２は固定用治具４を中心に回転が可能と
なり、また図３においてプローブ１は左右方向への移動
が可能となる。プローブ１を被測定体のパツドの位置に
合わせてから、固定用治具４を締め付けることによりプ
ローブ１を絶縁盤５上に固定でき、固定用治具３を締め
付けることによりプローブ保持部材２を回転しないよう
に固定することが可能となる。
ローブ保持部材２は固定用治具４を中心に回転が可能と
なり、また図３においてプローブ１は左右方向への移動
が可能となる。プローブ１を被測定体のパツドの位置に
合わせてから、固定用治具４を締め付けることによりプ
ローブ１を絶縁盤５上に固定でき、固定用治具３を締め
付けることによりプローブ保持部材２を回転しないよう
に固定することが可能となる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、プローブの位置を単純
な回転、及び前後移動によりパッドの位置に移動させる
ことが可能となる。
な回転、及び前後移動によりパッドの位置に移動させる
ことが可能となる。
【図１】本発明実施例の上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面拡大図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面拡大図である。
１…プローブ、２…プローブ保持部材、３…固定用治具
（Ｉ）、４…固定用治具（II）、５…絶縁盤。
（Ｉ）、４…固定用治具（II）、５…絶縁盤。
Claims (1)
- 【請求項１】被接触用電子回路に接触して物理的固有値
を検出するプローブを配置固定したプロービング装置に
おいて、絶縁盤と、該絶縁盤の上面に一端を回動自在に
保持されたプロープ保持部材と、該保持部材の上面に設
けられた固定用治具とからなることを特徴とする位置調
整機構付きプロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5776492A JPH05256874A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 位置調整機構付きプロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5776492A JPH05256874A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 位置調整機構付きプロービング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05256874A true JPH05256874A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=13064951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5776492A Pending JPH05256874A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 位置調整機構付きプロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05256874A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7140883B2 (en) | 1993-11-16 | 2006-11-28 | Formfactor, Inc. | Contact carriers (tiles) for populating larger substrates with spring contacts |
| CN116727974A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-09-12 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 供电夹持装置 |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP5776492A patent/JPH05256874A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7140883B2 (en) | 1993-11-16 | 2006-11-28 | Formfactor, Inc. | Contact carriers (tiles) for populating larger substrates with spring contacts |
| US7347702B2 (en) | 1993-11-16 | 2008-03-25 | Formfactor, Inc. | Contact carriers (tiles) for populating larger substrates with spring contacts |
| CN116727974A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-09-12 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 供电夹持装置 |
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