JPH0526162B2 - - Google Patents

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JPH0526162B2
JPH0526162B2 JP15486586A JP15486586A JPH0526162B2 JP H0526162 B2 JPH0526162 B2 JP H0526162B2 JP 15486586 A JP15486586 A JP 15486586A JP 15486586 A JP15486586 A JP 15486586A JP H0526162 B2 JPH0526162 B2 JP H0526162B2
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JP
Japan
Prior art keywords
refractive index
film
optical thickness
index film
high refractive
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP15486586A
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English (en)
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JPS6310106A (ja
Inventor
Isao Hishikari
Yoshinobu Minagawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chino Corp
Original Assignee
Chino Corp
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Publication of JPS6310106A publication Critical patent/JPS6310106A/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、被測定対象の性状を光学的に測定
する光学的測定装置に使用する多層干渉膜フイル
タに関するものである。
［従来の技術］ 被測定対象の厚み、水分、色あい等の性状の測
定において、測定波長の両側近傍に比較波長を設
け、比較演算を行うことにより、被測定対象の性
状を３色を用いて行う測定方法がある。
従来、３波長の分光をする場合、３個のフイル
タを多回転セレクタに設け、モータで回転させて
分光する方法がとられていた。
［この発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このように３個のフイルタを用
いると装置の大型可化、モータの発熱等の問題点
があつた。
このため、比較波長の２波長の分光を、ダブル
ピークをもつ多層干渉膜フイルタにより１枚のフ
イルタで実現することにより測定系の簡素化、高
精度化を図ることができる。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、基準波長
の両側近傍に２つのピークをもつ多層干渉膜フイ
ルタを提供することである。
［問題点を解決するための手段］ この発明は、基板側より、光学的膜厚λ／４の
高屈折率膜、光学的膜厚λ／４の低屈折率膜と高
屈折率膜との交互層を少くとも１組、光学的膜厚
λ／２の低屈折率膜、光学的膜厚λ／４の高屈折
率膜、光学的膜厚λ／２の低屈折率膜、光学的膜
厚がλ／４の高屈折率膜と低屈折率膜との交互層
を少くとも１組、光学的膜厚λ／４の高屈折率膜
を積層した多層膜で、基準波長λの両側近傍に２
つのピークをもつ多層干渉膜フイルタである。
［実施例］ 第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。
一般に、干渉膜フイルタは、蒸着、スパツタリ
ング等で高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に積層
させるもので、高屈折率膜の材料としては、Ge、
Si、TiO2、ZrO2、ZnS等が用いられ、低屈折率
膜の材料としては、SiO、SiO2、MgF2等が用い
られる。
次に、このような高屈折率膜、低屈折率膜を用
いたフイルタの構成を第１図について説明する。
図において、Ｓは、ガラス等の基板で、基準波
長をλとし、この基板Ｓ側より、光学的膜厚λ／
４の高屈折率膜１、光学的膜厚λ／４の低屈折率
膜２と光学的膜厚λ／４の高屈折率膜３との交互
層を少くとも１組、光学的膜厚λ／２の低屈折率
膜４、光学的膜厚λ／４の高屈折率膜５、光学的
膜厚λ／２の低屈折率膜６、光学的膜厚λ／４の
高屈折率膜７と光学的膜厚λ／４の低屈折率膜８
との交互層を少くとも１組、光学的膜厚λ／４の
高屈折率膜９を積層した膜より構成され、最外層
は外部媒質に接している。
たとえば、高屈折率膜にTiO2、低屈折率膜に
SiO2を用い、交互層の数を３とし、基準波長λ
＝1.0μｍとすれば、第２図で示すように、基準波
長λの両側近傍に２つのピークを持つ多層干渉膜
フイルタ（ダブルピークフイルタ）が得られる。
なお、交互層の数は、１〜３位が適当である。
第３図は、この発明の他の実施例を示し、第１
図の実施例において、基板Ｓと多層膜の高屈折率
膜１との間に光学的膜厚λ／４の低屈折率膜１
０、多層膜の最外層の高屈折率膜９に光学的膜厚
λ／４の低屈折率膜１１を設けている。この場合
も、第２図のような基準波長λの両側近傍に２つ
のピークをもつ同様の多層干渉膜フイルタが得ら
れる。
なお、この場合交互層の数だけみると、２〜４
位となる。
［発明の効果］ 高屈折率膜、低屈折率膜を、以上述べたように
積層させることにより、基準波長の両側近傍に２
つのピークをもつ多層干渉膜フイルタ（ダブルピ
ークフイルタ）が得られ、各種光学的測定に用い
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第３図は、この発明の一実施例を示す
構成説明図、第２図は、この発明のフイルタの透
過率特性図である。 Ｓ……基板、１，３，５，７，９……高屈折率
膜、２，４，６，８，１０，１１……低屈折率
膜。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 基板側より、光学的膜厚λ／４の高屈折率
    膜、光学的膜厚λ／４の低屈折率膜と高屈折率膜
    との交互層を少くとも１組、光学的膜厚がλ／２
    の低屈折率膜、光学的膜厚λ／４の高屈折率膜、
    光学的膜厚λ／２の低屈折率膜、光学的膜厚λ／
    ４の高屈折率膜と低屈折率膜との交互層を少くと
    も１組、光学的膜厚λ／４の高屈折率膜を積層し
    た多層膜で、基準波長λでは透過率が低くその両
    側近傍の波長では透過率が高い２つのピークを持
    つことを特徴とする多層干渉膜フイルタ。 ２ 前記基板と多層膜との間、および多層膜の最
    外層に光学的膜厚λ／４の低屈折率膜を設けたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の多層
    干渉膜フイルタ。 ３ 前記交互層の数を１から３としたことを特徴
    とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
    多層干渉膜フイルタ。
JP15486586A 1986-07-01 1986-07-01 多層干渉膜フイルタ Granted JPS6310106A (ja)

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JPS6310106A JPS6310106A (ja) 1988-01-16
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0674823A (ja) * 1992-08-27 1994-03-18 Kubota Corp 分光分析計の波長校正方法
JP4383194B2 (ja) * 2004-02-03 2009-12-16 古河電気工業株式会社 所定の波長光学特性を有する誘電体多層膜フィルタ、その設計方法、その設計プログラム、およびその誘電体多層膜フィルタを用いた光アド・ドロップシステム

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