JPH05264831A - 光導波路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 光軸ずれ等による損失を抑制し、かつ、光部
品の接続に要する作業、および電極に配線を接続する作
業を効率化する装置を提供する。 【構成】 光導波路基板１の両側部に２本の凹条部１３
を形成し、これに挟まれた下面凸部１０に、光導波路１
１と光導波路１１に電界を印加するための電極１２とを
形成する。設置用基板２の上面には凸条部２３ａ、２３
ｂ、上面凹部２０を形成する。凸条部２３ａ、２３ｂ
は、光導波路基板１の凹条部１３にそれぞれ嵌合する。
電極引き出しパターン２２の一端部は電極１２にバンプ
４を介して接合し、他端部は配線５に接続されている。
また、光導波路基板１の端面の光導波路１１と設置用基
板２に形成された光ファイバ用の溝２４に設置した光フ
ァイバ３のコア３１との光軸は略一致している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光通信分野における光導
波路装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、光導波路と光ファイバとの接続
において、設置用基板に形成した嵌合用の凹部と光ファ
イバ設置用の溝とに、嵌合用の段付部を有した光導波路
と光ファイバとを各々はめ込む方法がある。そして、光
導波路が電気配線を必要とする場合には、光導波路を設
置している設置用基板の面の裏側に開けてある電極用の
穴等より配線を行っている。この具体的な方法は、特許
出願番号６３−６２２５２に記載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】設置する光導波路がス
イッチ機能等を有した光導波路基板である場合、スイッ
チを機能させるために電気信号を光導波路基板の電極に
送る必要がある。その電極を下側にして設置用基板に設
置する場合、光ファイバおよび光導波路を設置している
設置用基板の面の裏側に開けてある電極用の穴を通して
電極に配線を接続する。これは光部品設置面の裏側での
作業であり、また、作業面積が小さいため、その作業性
は非常に悪かった。

【０００４】本発明は以上の問題に鑑み、光軸ずれ等に
よる損失を抑制し、かつ、光部品の接続に要する作業、
および電極に配線を接続する作業を効率化することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】以上の問題を解決するた
め、側面近傍に段差を設けることにより下面に凸部が形
成され、光導波路とこの光導波路に電界を印加するため
の電極とがこの下面凸部に形成された光導波路基板と、
この光導波路基板の下面凸部が嵌合される上面凹部が形
成され、かつこれらを嵌合させたときに前述の電極に一
端部が対面し、他端部が光導波路基板から露呈する電極
引き出しパターンが上面凹部に形成された設置用基板と
により構成され、光導波路基板の端面の光導波路とこの
設置用基板に設置する光部品との光軸を略一致させる光
部品用の溝が、その設置用基板に形成されていることを
特徴とする。また、光導波路基板には光軸方向に延びる
２本の凹条部が両側部近傍に形成されて、これによる段
差の間が前記下面凸部をなし、設置用基板には前記２本
の凹条部にそれぞれ嵌合する凸条部が形成されてこの間
が上面凹部をなし、前記凸条部の一方は中間部で切り欠
かれて前記電極引き出しパターンの他端部が前記露呈位
置に引き出されていることを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明により、光導波路基板には下面凸部が形
成され、設置用基板には上面凹部が形成されるので、こ
れらの嵌合により位置決めがされる。そして、設置用基
板に光導波路の光軸に合わせた光部品用の溝が形成され
るため、光部品を溝に沿って設置するだけで損失の少な
い結合ができる。また、光導波路に電界を印加するため
の電極の引き出しパターンは、一端部が光導波路基板の
電極と対面し、他端部が露呈し光導波路装置の表面に出
すことができる。

【０００７】

【実施例】図１及至図２に光ファイバとスイッチ機能を
有した光導波路とを接続した実施例を示す。

【０００８】光導波路基板１の両側部近傍には光軸方向
に延びる２本の凹条部１３が形成され、これによる段差
に挟まれる下面凸部１０に、光導波路１１と光導波路１
１に電界を印加するための電極１２とが形成されてい
る。

【０００９】設置用基板２の上面中央部には凸条部２３
ａ、２３ｂを残して掘り込まれ、上面凹部２０が形成さ
れている。そして、凸条部２３ａ、２３ｂは、光導波路
基板１の凹条部１３とにそれぞれ嵌合している。電極引
き出しパターン２２の一端部は電極１２とバンプ４を介
して接合し、他端部は配線５と接続されている。このよ
うにするため、電極引き出しパターン２２の一端部は電
極１２と対面し、他端部は光導波路基板１が覆う部分か
ら露呈するように引き出され、凸条部２３ａは中間部で
切り欠かれ、電極引き出しパターン２２は上面凹部２０
の略均一平面上に形成されている。

【００１０】また、光導波路基板１の端面の光導波路１
１と設置用基板２に形成された光ファイバ用の溝２４に
設置した光ファイバ３のコア３１との光軸は略一致して
いる。

【００１１】以下、前述の実施例の装置の作製工程を説
明する。

【００１２】シリコンを基板とした光導波路基板１には
光導波路１１およびこの光導波路１１に電界を印加する
ための電極１２が形成されている。そして、光導波路１
１が形成されている面に、ポジ型ホトレジストを使用し
たレジストパターン（図示せず）形成後、エッチングに
より凹条部１３を形成、レジストを除去する。

【００１３】また、シリコンを基板とした設置用基板２
に、光ファイバ設置用の溝２４の部分と電極引き出しパ
ターンを通すための溝の部分（凸条部２３ａの中間部の
切り欠かれている部分）とを凸条部２３ａ、２３ｂ用の
部分に加えたレジストパターン（図示せず）をネガ型ホ
トレジストを使用して形成する。この凸条部２３ａ、２
３ｂ用のレジストパターンの形成にあたっては、前述の
光導波路基板の加工用のマスクパターン（レチクル）と
同一のマスクパターン（レチクル）を用いることで、正
逆が反転したパターンにできる。

【００１４】次に、エッチングにより、嵌合用の凸条部
２３ａ、２３ｂおよび光ファイバ設置用の溝２４を形成
する。この時、光導波路１１の光軸と設置する光ファイ
バ３のコア３１との光軸は、光の接合面において略一致
するように、光ファイバ設置用の溝２４は形成されてい
る。また、同一のマスクパターン（レチクル）で感光し
たポジ型ホトレジストおよびネガ型ホトレジストによる
レジストパターンを利用したことにより、光導波路基板
１は設置位置の確度の高い嵌合ができる。そして、レジ
ストを除去した後、上面凹部２０の表面に電極引き出し
パターン２２を形成する。

【００１５】その後、設置用基板２のそれぞれの溝に沿
って、光導波路基板１および光ファイバ３を設置し、紫
外線硬化樹脂により部品を固定する。また、電極１２と
電極引き出しパターン２２との接合は、バンプ４を介し
たフリップチップ方式により行う。そして、電極引き出
しパターン２２に配線５を接続する。

【００１６】上記構成によれば、光ファイバと光導波路
間との精度の高い光軸合わせ、および電極と電極引き出
しパターンとの位置合わせが、それぞれの溝に部品を設
置するだけで容易にできる。

【００１７】本発明は前述の実施例に限らず様々な変形
が可能である。

【００１８】実施例では、光導波路基板から見て２入力
２出力となっているが、１入力１出力、または複数入力
複数出力等でも良い。また、光導波路基板に接続する光
部品は光ファイバに限らず、例えば、半導体レーザや光
導波路でも良い。

【００１９】さらに、光導波路基板はスイッチ機能を有
したデバイスに限らず、例えば、変調機能を有したデバ
イスでも良い。

【００２０】設置用基板の溝のエッチングは実施例では
一度に行ったが、各部分で分割して行うことも可能であ
り、また、ネガ型ホトレジストとポジ型ホトレジストと
の使用方法は問わない。基板はシリコンを用いたが材質
はこれに限らない。

【００２１】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、設置用基
板の上に光導波路基板を精度良く実装できる。そして、
光導波路基板の光軸に合わせた光部品用の溝がエッチン
グにより精度良く形成される。このため、光部品を溝に
沿って設置するだけで損失の少ない結合ができる。ま
た、光導波路に電界を印加するための電極の引き出しパ
ターンを光導波路装置の表面に露呈することにより、配
線を行う際に作業性が良く、作業効率を上げることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の概略図である。

【図２】本発明の実施例の断面概略図である。

【符号の説明】

１…光導波路基板、１０…下面凸部、１１…光導波路、
１２…電極、１３…光導波路基板の嵌合用の凹条部、２
…設置用基板、２０…上面凹部、２２…電極引き出しパ
ターン、２３ａ、２３ｂ…設置用基板の嵌合用の凸条
部、２４…光ファイバ設置用の溝、３…光ファイバ、３
１…光ファイバのコア、４…バンプ、５…配線。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側面近傍に段差を設けることにより下面
   に凸部が形成され、光導波路と、この光導波路に電界を
   印加するための電極とが前記下面凸部に形成された光導
   波路基板と、 前記光導波路基板の前記下面凸部が嵌合される上面凹部
   が形成され、かつこれらを嵌合させたときに前記電極に
   一端部が対面し、他端部が前記光導波路基板から露呈す
   る電極引き出しパターンが前記上面凹部に形成された設
   置用基板とにより構成され、 前記光導波路基板の端面の前記光導波路と前記設置用基
   板に設置する光部品との光軸を略一致させる光部品用の
   溝が、前記設置用基板に形成されていることを特徴とす
   る光導波路装置。
2. 【請求項２】 前記光導波路基板の下面には前記光軸方
   向に延びる２本の凹条部が両側部近傍に形成されて、こ
   れによる段差の間が前記下面凸部をなし、前記設置用基
   板の上面には前記２本の凹条部にそれぞれ嵌合する凸条
   部が形成されてこの間が前記上面凹部をなし、前記凸条
   部の一方は中間部で切り欠かれて前記電極引き出しパタ
   ーンの他端部が前記露呈位置に引き出されていることを
   特徴とする請求項１記載の光導波路装置。