JPH0540107A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
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- JPH0540107A JPH0540107A JP3222315A JP22231591A JPH0540107A JP H0540107 A JPH0540107 A JP H0540107A JP 3222315 A JP3222315 A JP 3222315A JP 22231591 A JP22231591 A JP 22231591A JP H0540107 A JPH0540107 A JP H0540107A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 探触子の影響を除去して一律なＣスキャン像
を得ることの可能な超音波顕微鏡を提供する。 【構成】 弾性表面波が励起されない基準試料について
超音波探触子ｂを離接しながら測定された基準Ｖ(Ｚ)曲
線を記憶手段ｃ内に予め格納しておき、減算手段ｄによ
り、超音波探触子ｂから検出信号を得た際の試料ａ−探
触子ｂ間の所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の値を記憶
手段ｃから読み出し、この基準Ｖ(Ｚ)曲線の値と超音波
探触子ｂで得られた検出信号との差を算出する。そし
て、この減算手段ｄで得られた値に基づいて、表示手段
ｅによりＣスキャン像を表示する。このＣスキャン像
は、超音波探触子ｂで得られた検出信号から探触子ｂの
音響特性を除去したものとなり、すなわち試料ａの音響
特性のみを示す。
を得ることの可能な超音波顕微鏡を提供する。 【構成】 弾性表面波が励起されない基準試料について
超音波探触子ｂを離接しながら測定された基準Ｖ(Ｚ)曲
線を記憶手段ｃ内に予め格納しておき、減算手段ｄによ
り、超音波探触子ｂから検出信号を得た際の試料ａ−探
触子ｂ間の所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の値を記憶
手段ｃから読み出し、この基準Ｖ(Ｚ)曲線の値と超音波
探触子ｂで得られた検出信号との差を算出する。そし
て、この減算手段ｄで得られた値に基づいて、表示手段
ｅによりＣスキャン像を表示する。このＣスキャン像
は、超音波探触子ｂで得られた検出信号から探触子ｂの
音響特性を除去したものとなり、すなわち試料ａの音響
特性のみを示す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波顕微鏡に関し、特
に、Ｃスキャン像の解析が容易になるように改善したも
のである。
に、Ｃスキャン像の解析が容易になるように改善したも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＣスキャン像が得られる超音波顕
微鏡では、超音波探触子を試料表面に焦点が合った状態
から所定距離だけ試料方向に近付け、この状態で得られ
る反射波の音圧を電圧に変換した検出信号を取り出し、
その検出信号を輝度に変換して点データとして表示装置
上に出力していた。そして、超音波探触子と試料との間
の距離を一定に保持しつつこの超音波探触子を水平面
（Ｘ−Ｙ平面）上で走査するとともに、表示装置上の点
データも同様にＸ−Ｙ平面上を走査させることによりＣ
スキャン像を得ていた。
微鏡では、超音波探触子を試料表面に焦点が合った状態
から所定距離だけ試料方向に近付け、この状態で得られ
る反射波の音圧を電圧に変換した検出信号を取り出し、
その検出信号を輝度に変換して点データとして表示装置
上に出力していた。そして、超音波探触子と試料との間
の距離を一定に保持しつつこの超音波探触子を水平面
（Ｘ−Ｙ平面）上で走査するとともに、表示装置上の点
データも同様にＸ−Ｙ平面上を走査させることによりＣ
スキャン像を得ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の超音波顕微鏡にあっては、探触子−試料間の距離
（Ｚ）と探触子の検出信号Ｖとの関係を示すＶ(Ｚ)曲線
（図３参照）は、 Ｖ(Ｚ)＝ＶI(Ｚ)＋Ｖ0(Ｚ) ……(１) ＶI(Ｚ)：試料の音響特性 Ｖ0(Ｚ)：探触子の音響特性 で表せることが知られており、ある距離Ｚaにおける探
触子からの検出信号Ｖ(Ｚ a)はＶ(Ｚa)＝ＶI(Ｚa)＋Ｖ
0(Ｚa)で表される。すなわち、探触子からの検出信号に
は必ず探触子独特の音響特性が含まれている。
来の超音波顕微鏡にあっては、探触子−試料間の距離
（Ｚ）と探触子の検出信号Ｖとの関係を示すＶ(Ｚ)曲線
（図３参照）は、 Ｖ(Ｚ)＝ＶI(Ｚ)＋Ｖ0(Ｚ) ……(１) ＶI(Ｚ)：試料の音響特性 Ｖ0(Ｚ)：探触子の音響特性 で表せることが知られており、ある距離Ｚaにおける探
触子からの検出信号Ｖ(Ｚ a)はＶ(Ｚa)＝ＶI(Ｚa)＋Ｖ
0(Ｚa)で表される。すなわち、探触子からの検出信号に
は必ず探触子独特の音響特性が含まれている。
【０００４】探触子の音響特性はその探触子独自のもの
であり、また、同一の探触子であっても周波数が異なれ
ばその音響特性も変化する。従って、探触子からの検出
信号をそのまま輝度変換して表示装置上で表示したので
は、得られるＣスキャン像は探触子の音響特性に依存し
たものとなり、探触子あるいは周波数が異なるとＣスキ
ャン像もまた異なったものになって試料の欠陥等の解析
が困難である、という問題があった。
であり、また、同一の探触子であっても周波数が異なれ
ばその音響特性も変化する。従って、探触子からの検出
信号をそのまま輝度変換して表示装置上で表示したので
は、得られるＣスキャン像は探触子の音響特性に依存し
たものとなり、探触子あるいは周波数が異なるとＣスキ
ャン像もまた異なったものになって試料の欠陥等の解析
が困難である、という問題があった。
【０００５】本発明の目的は、探触子の影響を除去して
一律なＣスキャン像を得ることの可能な超音波顕微鏡を
提供することにある。
一律なＣスキャン像を得ることの可能な超音波顕微鏡を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】クレーム対応図である図
１に対応付けて説明すると、本発明は、試料ａから所定
距離離間した試料平面上を超音波探触子ｂで走査して得
られる検出信号によりこの試料のＣスキャン像を得る超
音波顕微鏡に適用される。そして、上述の目的は、弾性
表面波が励起されない基準試料について超音波探触子ｂ
を離接しながら測定された基準Ｖ(Ｚ)曲線が格納された
記憶手段ｃと、前記所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の
値を前記記憶手段ｃから読み出し、前記超音波探触子ｂ
で得られた検出信号と基準Ｖ(Ｚ)曲線の値との差を算出
する減算手段ｄと、前記減算手段ｄで得られた値により
Ｃスキャン像を表示する表示手段ｅとを設けることによ
り達成される。
１に対応付けて説明すると、本発明は、試料ａから所定
距離離間した試料平面上を超音波探触子ｂで走査して得
られる検出信号によりこの試料のＣスキャン像を得る超
音波顕微鏡に適用される。そして、上述の目的は、弾性
表面波が励起されない基準試料について超音波探触子ｂ
を離接しながら測定された基準Ｖ(Ｚ)曲線が格納された
記憶手段ｃと、前記所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の
値を前記記憶手段ｃから読み出し、前記超音波探触子ｂ
で得られた検出信号と基準Ｖ(Ｚ)曲線の値との差を算出
する減算手段ｄと、前記減算手段ｄで得られた値により
Ｃスキャン像を表示する表示手段ｅとを設けることによ
り達成される。
【０００７】
【作用】記憶手段ｃには、弾性表面波が励起されない基
準試料について超音波探触子ｂを離接しながら測定され
た基準Ｖ(Ｚ)曲線が格納され、減算手段ｄは、超音波探
触子ｂにより検出信号を得た際の試料ａと探触子ｂとの
間の所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の値を記憶手段ｃ
から読み出し、この基準Ｖ(Ｚ)曲線の値と超音波探触子
ｂで得られた検出信号との差を算出する。表示手段ｅ
は、この減算手段ｄで得られた値によりＣスキャン像を
表示する。記憶手段ｃに格納された基準Ｖ(Ｚ)曲線は、
試料の音響特性が含まれていない探触子ｂの音響特性そ
のものである。従って、減算手段ｄで得られた値は、超
音波探触子ｂで得られた検出信号から探触子ｂの音響特
性を除去したものとなり、すなわち試料ａの音響特性の
みを示す値になる。
準試料について超音波探触子ｂを離接しながら測定され
た基準Ｖ(Ｚ)曲線が格納され、減算手段ｄは、超音波探
触子ｂにより検出信号を得た際の試料ａと探触子ｂとの
間の所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の値を記憶手段ｃ
から読み出し、この基準Ｖ(Ｚ)曲線の値と超音波探触子
ｂで得られた検出信号との差を算出する。表示手段ｅ
は、この減算手段ｄで得られた値によりＣスキャン像を
表示する。記憶手段ｃに格納された基準Ｖ(Ｚ)曲線は、
試料の音響特性が含まれていない探触子ｂの音響特性そ
のものである。従って、減算手段ｄで得られた値は、超
音波探触子ｂで得られた検出信号から探触子ｂの音響特
性を除去したものとなり、すなわち試料ａの音響特性の
みを示す値になる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて詳細に説明する。図２は本発明による超音波顕微鏡
の一実施例の全体構成を示す図である。図において、１
は例えばバースト波を発信する送信機、２は試料３から
の反射波を受信する受信機である。４は印加されたバー
スト波を超音波に変換する圧電素子とその超音波を試料
３に収束させる音響レンズとを備えた超音波探触子であ
る。５は受信信号のピークを検出するピーク検出器、６
は検出されたピーク値をデジタル値に変換するＡ／Ｄコ
ンバータ、７はピーク検出信号に種々の演算を施して映
像化処理などを行なうＣＰＵを含む制御回路、８は制御
回路７からの映像信号を可視化する表示装置であり、一
例としてモノクロ８ビット（２５６階調）の分解能を有
する。９は試料３を水平面内でＸ−Ｙ方向に、および水
平面に直交する垂直軸Ｚ方向に駆動するＸＹＺスキャナ
ーである。なお、１０は試料３と超音波探触子４との間
に介在される媒体、例えば水である。
いて詳細に説明する。図２は本発明による超音波顕微鏡
の一実施例の全体構成を示す図である。図において、１
は例えばバースト波を発信する送信機、２は試料３から
の反射波を受信する受信機である。４は印加されたバー
スト波を超音波に変換する圧電素子とその超音波を試料
３に収束させる音響レンズとを備えた超音波探触子であ
る。５は受信信号のピークを検出するピーク検出器、６
は検出されたピーク値をデジタル値に変換するＡ／Ｄコ
ンバータ、７はピーク検出信号に種々の演算を施して映
像化処理などを行なうＣＰＵを含む制御回路、８は制御
回路７からの映像信号を可視化する表示装置であり、一
例としてモノクロ８ビット（２５６階調）の分解能を有
する。９は試料３を水平面内でＸ−Ｙ方向に、および水
平面に直交する垂直軸Ｚ方向に駆動するＸＹＺスキャナ
ーである。なお、１０は試料３と超音波探触子４との間
に介在される媒体、例えば水である。
【０００９】また、本実施例では、Ａ／Ｄコンバータ６
と制御回路７の間に減算回路１１が接続されているとと
もに、基準となるＶ(Ｚ)曲線が予め格納された記憶装置
１２が減算回路１１に接続されている。減算回路１１
は、Ａ／Ｄコンバータ６から出力されるＶ(Ｚ)データと
記憶装置１２に記憶されている基準Ｖ(Ｚ)曲線のデータ
との差を演算する。
と制御回路７の間に減算回路１１が接続されているとと
もに、基準となるＶ(Ｚ)曲線が予め格納された記憶装置
１２が減算回路１１に接続されている。減算回路１１
は、Ａ／Ｄコンバータ６から出力されるＶ(Ｚ)データと
記憶装置１２に記憶されている基準Ｖ(Ｚ)曲線のデータ
との差を演算する。
【００１０】なお、請求の範囲と実施例との対応におい
て、記憶装置１２は記憶手段を、減算回路１１は減算手
段を、表示装置８は表示手段をそれぞれ構成している。
て、記憶装置１２は記憶手段を、減算回路１１は減算手
段を、表示装置８は表示手段をそれぞれ構成している。
【００１１】次に、本実施例の超音波顕微鏡の動作を説
明する。まず、初めに白金、鉛等の弾性表面波を励起し
ない平板状の基準試料に対して基準Ｖ(Ｚ)曲線を測定す
る。
明する。まず、初めに白金、鉛等の弾性表面波を励起し
ない平板状の基準試料に対して基準Ｖ(Ｚ)曲線を測定す
る。
【００１２】すなわち、試料台となるＸＹＺスキャナー
９に置かれた基準試料上に媒体１０を滴下し、この媒体
１０を介して超音波探触子４を基準試料に接触させた
後、送信機１からバースト状の電気信号を探触子４に印
加する。探触子４に印加された電気信号は探触子４の圧
電素子により超音波信号に変換されてレンズにより集束
され、媒体１０を介して基準試料に照射される。試料表
面層で反射、散乱を受けた超音波信号は同じレンズで検
出されて探触子４の圧電素子で電気信号に変換された
後、受信機２に送られる。受信機２で受信された電気信
号は適当に増幅された後、ピーク検出器５に送出され、
ここでピーク値が検出される。ピーク値を示す信号は、
Ａ／Ｄコンバータ６によりデジタル値に変換される。
９に置かれた基準試料上に媒体１０を滴下し、この媒体
１０を介して超音波探触子４を基準試料に接触させた
後、送信機１からバースト状の電気信号を探触子４に印
加する。探触子４に印加された電気信号は探触子４の圧
電素子により超音波信号に変換されてレンズにより集束
され、媒体１０を介して基準試料に照射される。試料表
面層で反射、散乱を受けた超音波信号は同じレンズで検
出されて探触子４の圧電素子で電気信号に変換された
後、受信機２に送られる。受信機２で受信された電気信
号は適当に増幅された後、ピーク検出器５に送出され、
ここでピーク値が検出される。ピーク値を示す信号は、
Ａ／Ｄコンバータ６によりデジタル値に変換される。
【００１３】このようにして、探触子４と試料３の距離
をＺ軸方向に変化させて超音波信号の強度を測定する。
この測定結果は、サンプリングピッチ、測定点数、焦点
位置等の測定条件とともに、各測定点と出力電圧とを対
応させた状態で基準Ｖ(Ｚ)曲線を示すデータとして記憶
装置１２に格納される。以上の基準Ｖ(Ｚ)曲線は、Ｃス
キャン測定が行われる各周波数およびレンズの種類毎に
複数測定され、記憶装置１２内に格納される。
をＺ軸方向に変化させて超音波信号の強度を測定する。
この測定結果は、サンプリングピッチ、測定点数、焦点
位置等の測定条件とともに、各測定点と出力電圧とを対
応させた状態で基準Ｖ(Ｚ)曲線を示すデータとして記憶
装置１２に格納される。以上の基準Ｖ(Ｚ)曲線は、Ｃス
キャン測定が行われる各周波数およびレンズの種類毎に
複数測定され、記憶装置１２内に格納される。
【００１４】この時、白金や鉛等を基準試料として用い
た時に探触子４が受信する超音波信号は試料表面からの
直接反射波のみであり、従って、この超音波信号を変換
して得られる基準Ｖ(Ｚ)データは、図４に示すように周
期性を持たない特性となる。すなわち、この基準Ｖ(Ｚ)
データは上述の(１)式において試料の音響特性ＶI(Ｚ)
＝０、すなわちＶ(Ｚ)＝Ｖ0(Ｚ)となるデータであり、
探触子４の音響特性Ｖ0(Ｚ)そのものを表している。
た時に探触子４が受信する超音波信号は試料表面からの
直接反射波のみであり、従って、この超音波信号を変換
して得られる基準Ｖ(Ｚ)データは、図４に示すように周
期性を持たない特性となる。すなわち、この基準Ｖ(Ｚ)
データは上述の(１)式において試料の音響特性ＶI(Ｚ)
＝０、すなわちＶ(Ｚ)＝Ｖ0(Ｚ)となるデータであり、
探触子４の音響特性Ｖ0(Ｚ)そのものを表している。
【００１５】次に、被検体となる試料３をセットし、Ｘ
ＹＺスキャナー９を調整してＣスキャン像を得ようとす
るＺ軸位置（以下Ｚaで表す）に試料３を移動させる。
この状態で、上述と同様に試料３のＶ(Ｚ)曲線を測定す
る。なお、図３に試料３から得られるＶ(Ｚ)曲線を示
す。
ＹＺスキャナー９を調整してＣスキャン像を得ようとす
るＺ軸位置（以下Ｚaで表す）に試料３を移動させる。
この状態で、上述と同様に試料３のＶ(Ｚ)曲線を測定す
る。なお、図３に試料３から得られるＶ(Ｚ)曲線を示
す。
【００１６】これと同時に、予め測定して記憶装置１２
に記憶されている基準Ｖ0(Ｚ)曲線から、このＺ軸位置
に対応したデータＶ0(Ｚa)が読み出され、減算回路１１
に送出される。減算回路１１では、基準Ｖ0(Ｚ)曲線の
データＶ0(Ｚa)と現在測定されている試料３のＶ(Ｚ)デ
ータ、すなわちＶ(Ｚa)との差が演算される。
に記憶されている基準Ｖ0(Ｚ)曲線から、このＺ軸位置
に対応したデータＶ0(Ｚa)が読み出され、減算回路１１
に送出される。減算回路１１では、基準Ｖ0(Ｚ)曲線の
データＶ0(Ｚa)と現在測定されている試料３のＶ(Ｚ)デ
ータ、すなわちＶ(Ｚa)との差が演算される。
【００１７】試料３から得られるＶ(Ｚ)曲線は、上述の
(１)式からＶ(Ｚ)＝ＶI(Ｚ)＋Ｖ0(Ｚ)、すなわち試料３
の音響特性と探触子４の音響特性の和で表され、記憶装
置１２内に格納された基準Ｖ(Ｚ)曲線はＶ(Ｚ)＝Ｖ
0(Ｚ)、すなわち探触子４の音響特性そのものである。
従って、試料３のＶ(Ｚ)データと基準Ｖ(Ｚ)曲線のデー
タとの差は、測定されたＶ(Ｚ)データから探触子４の音
響特性Ｖ0(Ｚ)を除いた試料３の音響特性ＶI(Ｚ)そのも
のである。
(１)式からＶ(Ｚ)＝ＶI(Ｚ)＋Ｖ0(Ｚ)、すなわち試料３
の音響特性と探触子４の音響特性の和で表され、記憶装
置１２内に格納された基準Ｖ(Ｚ)曲線はＶ(Ｚ)＝Ｖ
0(Ｚ)、すなわち探触子４の音響特性そのものである。
従って、試料３のＶ(Ｚ)データと基準Ｖ(Ｚ)曲線のデー
タとの差は、測定されたＶ(Ｚ)データから探触子４の音
響特性Ｖ0(Ｚ)を除いた試料３の音響特性ＶI(Ｚ)そのも
のである。
【００１８】これを、図３〜図５を参照して説明する
と、試料３から得られるＶ(Ｚ)曲線は、図３に示すよう
に、試料表面からの直接反射波と弾性表面波との干渉に
より周期性を持った特性を有する。図４は、上述のよう
にこの周期性を除去した直接反射波のみからなる基準試
料のＶ(Ｚ)曲線であり、これらの差は、図５に示すよう
に、図３のＶ(Ｚ)曲線の中から周期性を持つ成分のみを
取り出したものに相当する。この成分が、すなわち試料
３の音響特性ＶI(Ｚ)である。
と、試料３から得られるＶ(Ｚ)曲線は、図３に示すよう
に、試料表面からの直接反射波と弾性表面波との干渉に
より周期性を持った特性を有する。図４は、上述のよう
にこの周期性を除去した直接反射波のみからなる基準試
料のＶ(Ｚ)曲線であり、これらの差は、図５に示すよう
に、図３のＶ(Ｚ)曲線の中から周期性を持つ成分のみを
取り出したものに相当する。この成分が、すなわち試料
３の音響特性ＶI(Ｚ)である。
【００１９】減算回路１１からの出力は、制御回路７を
介して表示装置８に送出され、この表示装置８において
Ｘ−Ｙ平面上の１点を表すデータとして表示される。そ
して、制御回路７によりＸＹＺスキャナー９を制御して
試料３をＸ−Ｙ平面上で走査しつつ以上の手順を繰り返
せば、所定のＺ軸位置（Ｚa）におけるＣスキャン像を
得ることができる。
介して表示装置８に送出され、この表示装置８において
Ｘ−Ｙ平面上の１点を表すデータとして表示される。そ
して、制御回路７によりＸＹＺスキャナー９を制御して
試料３をＸ−Ｙ平面上で走査しつつ以上の手順を繰り返
せば、所定のＺ軸位置（Ｚa）におけるＣスキャン像を
得ることができる。
【００２０】なお、減算回路１１からの出力は、図５に
示すように、(＋)側のみでなく(−)側にもほぼ対称に現
れるため、これを単純に表示装置８で表示すると(−)側
のデータはすべて０レベルを切ってしまう。そこで、受
信機２のゲインを適宜調整して、減算回路１１からの
(−)側のデータの最大値が表示装置８において０レベル
を切らないようにすることが好ましい。
示すように、(＋)側のみでなく(−)側にもほぼ対称に現
れるため、これを単純に表示装置８で表示すると(−)側
のデータはすべて０レベルを切ってしまう。そこで、受
信機２のゲインを適宜調整して、減算回路１１からの
(−)側のデータの最大値が表示装置８において０レベル
を切らないようにすることが好ましい。
【００２１】従って、本実施例によれば、測定された試
料３のＶ(Ｚ)データから探触子４の特性を除去して試料
３のみの特性を有するＣスキャン像を得ることができる
ので、探触子４の相違あるいは周波数の相違によりＣス
キャン像が変化することがなく、異なる探触子４あるい
は異なる周波数間においても一律な試料３の解析を行う
ことができ、試料の欠陥等の解析が容易になる。この結
果、高精度な解析が可能になる。
料３のＶ(Ｚ)データから探触子４の特性を除去して試料
３のみの特性を有するＣスキャン像を得ることができる
ので、探触子４の相違あるいは周波数の相違によりＣス
キャン像が変化することがなく、異なる探触子４あるい
は異なる周波数間においても一律な試料３の解析を行う
ことができ、試料の欠陥等の解析が容易になる。この結
果、高精度な解析が可能になる。
【００２２】なお、本発明の超音波顕微鏡は、その細部
が上述の一実施例に限定されず、種々の変形が可能であ
る。
が上述の一実施例に限定されず、種々の変形が可能であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、減算手段により探触子からの検出信号と基準Ｖ
(Ｚ)曲線の値との減算を行うことにより、この検出信号
から探触子の音響特性を除去して試料の音響特性のみを
示すＣスキャン像を得ることができる。従って、探触子
の相違あるいは周波数の相違によりＣスキャン像が変化
することがなく、異なる探触子あるいは異なる周波数間
においても一律な試料の解析を行うことができ、Ｃスキ
ャン像による試料の欠陥等の解析が容易になるととも
に、このＣスキャン像により試料の欠陥等の高精度な解
析が可能になる。
れば、減算手段により探触子からの検出信号と基準Ｖ
(Ｚ)曲線の値との減算を行うことにより、この検出信号
から探触子の音響特性を除去して試料の音響特性のみを
示すＣスキャン像を得ることができる。従って、探触子
の相違あるいは周波数の相違によりＣスキャン像が変化
することがなく、異なる探触子あるいは異なる周波数間
においても一律な試料の解析を行うことができ、Ｃスキ
ャン像による試料の欠陥等の解析が容易になるととも
に、このＣスキャン像により試料の欠陥等の高精度な解
析が可能になる。
【図１】本発明のクレーム対応図である。
【図２】本発明の一実施例である超音波顕微鏡の全体構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図３】試料のＶ(Ｚ)曲線を示す図である。
【図４】基準試料のＶ(Ｚ)曲線を示す図である。
【図５】減算回路の出力を示す図である。
ａ 試料 ｂ 超音波探触子 ｃ 記憶手段 ｄ 減算手段 ｅ 表示手段 ３ 試料 ４ 探触子 ８ 表示装置 １１ 減算回路 １２ 記憶装置
Claims (1)
- 【請求項１】 試料から所定距離離間した試料平面上を
超音波探触子で走査して得られる検出信号によりこの試
料のＣスキャン像を得る超音波顕微鏡において、 弾性表面波が励起されない基準試料について超音波探触
子を離接しながら測定された基準Ｖ(Ｚ)曲線が格納され
た記憶手段と、 前記所定距離における基準Ｖ(Ｚ)曲線の値を前記記憶手
段から読み出し、前記超音波探触子で得られた検出信号
と基準Ｖ(Ｚ)曲線の値との差を算出する減算手段と、 前記減算手段で得られた値によりＣスキャン像を表示す
る表示手段とを備えたことを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3222315A JPH0540107A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3222315A JPH0540107A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540107A true JPH0540107A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16780435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3222315A Pending JPH0540107A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540107A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0882087A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Kajima Corp | 枠組足場の組立方法及び解体方法 |
| CN104076089A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-01 | 南京晨光集团有限责任公司 | 环形锻件自动超声波c扫描检测系统 |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP3222315A patent/JPH0540107A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0882087A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Kajima Corp | 枠組足場の組立方法及び解体方法 |
| CN104076089A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-01 | 南京晨光集团有限责任公司 | 环形锻件自动超声波c扫描检测系统 |
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