JPH0527483Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は試料に必要な時だけイオン照射させる
ためのイオンボンバーダ装置のシヤツタ機構に関
するものである。

〔考案の背景〕

従来は第２図に示すようにプラズマ室１を油回
転真空ポンプ２で10^-2Torr台まで排気する。そ
の後、Arガス３をプラズマ室に導入して、流量
計４の調整により、10^-1Torr台の圧力に維持す
る。プラズマ室の外周には、コイル５を巻いて、
それに高周波電源６により高周波を印加して、
Arガスを＋Arイオン７と電子８に電離する。試
料室９の底部には、接地電極１０を設け、発生し
た＋Arイオンを試料室の底部方向に引き出し、
試料に照射できるようにする。

以上により、試料面をおおつていないため、イ
オン照射条件を設定している時に、試料面が＋
Arイオンでたたかれる欠点があつた。またプラ
ズ室や試料室の内面が＋Arイオンでたたかれた
コンタミが試料に付着する欠点があつた。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、必要な時だけイオン照射でき、かつプラズ
マ室や試料室内壁から発生するガスを放出する場
合には、試料面にコンタミが付着しないように保
護することである。

〔考案の概要〕

本考案は試料台を垂直にした場合には、試料室
の側面に密着して、試料がおおわれ、試料台を
90°回転させて水平にした場合には、試料がイオ
ンで照射できるように工夫したものである。

〔考案の実施例〕

本考案の第１図及び第３図に示すようにプラズ
マ室１を油回転真空ポンプ２で10^-2Torr台まで
排気する。その後、Arガス３をプラズマ室に導
入して流量計４の調整により、10^-1Torr台まで
の圧力に維持する。プラズマ室の外周にはコイル
５を巻いて、それに高周波電源６により、高周波
を印加してArガスを＋Arイオン７と電子８に電
離する。試料室の底部には、接地電極９を設け、
発生した＋Arイオンを試料室の底部方向に引き
出して試料１０に照射する。試料台１１は外部か
らモータ１２（または手動）で90°回転でき、垂
直時には、試料台は試料室の内壁に密着して試料
をおおい、水平時には、試料は＋Arイオンが照
射できるようにしてある。試料台の回転軸１３の
シールは回転軸シール１４，１５によつて真空シ
ールしてある。

〔考案の効果〕 本考案によれば、試料をおおうシヤツタを設け
たので、必要な時間だけイオン照射のコントロー
ルができる。また、プラズマ室及び試料室が大気
に開放した時、内壁が汚れるので、試料をカバー
してイオンシヤワーしてガス出しをすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す正面図である。
第２図は従来機構を示す正面図である。第３図は
第１図のＡ−Ａ線断面図である。 １はプラズマ室、２は真空ポンプ、３はArガ
ス、４は流量計、５はコイル、６は電源、７は＋
Arイオン、８は電子、９は接地電極、１０は試
料、１１は試料台、１２はモータ、１３は回転軸
である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料にイオン照射する装置において、イオン照
   射条件を設定する場合には、試料台を垂直にして
   試料室の側面に密着させて試料をおおつて、試料
   にイオンが照射されないようにし、イオン照射条
   件が決定したら、試料台を90°回転させて水平に
   して、試料にイオン照射できるようにした、イオ
   ンボンバーダ装置のシヤツタ機構。