JPH02181700A - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電線ケーフル絶縁被膜の架欄、飲料容器の
殺菌等に用いられるもので、金属薄膜１こより閉鎖され
た窓枠を有する真空容器内で電子を発生させるとともに
この電子を電界で加速して前記金属薄膜を透過させ、前
記金属薄膜の外側に該金属薄膜を壁面の一部として画成
された電子線照射空間内の被照射物に照射する電子線照
射装置に関する。

〔従来の技術〕

第３図にこの種電子線照射装置の従来の構成例を示す。

金属薄ｍ１１により閉鎖された窓枠１ａを有する接地電
位の真空容器１内には、図示されない大気側の′電源か
ら負の高電圧が印加されるカソード２電極面が前記窓枠
ｌａ側へ向けて配され、一方、窓枠１ａのカソード２側
には負に課電されるグリッド３が配されるとともにこの
グリッド３と金属薄膜１１との間の空間にはプラズマ原
料ガスが導入され、この空間に配された図示されないワ
イヤ電極に大気側から電圧を印加してプラズマ４が形成
される。このプラズマ中のイオンはグリッド３により真
空容器１内へ引き出されカソード２により加速されてカ
ソード２に衝突し、カソード２から２次電子を放出させ
る。この放出された２次電子はカソード２の負電位によ
り窓枠１ａ方向へ加速され、グリッド３を通り、プラズ
マ４を通過して金属薄膜１１を透過し、大気中を横ぎり
、この金属薄膜１１を壁面の一部とする電子線照射空間
８内を移動する被照射物７を照射し、被照射物に架橋１
重合、殺菌などの処理を施す。金属薄膜１１は真空容器
１円の真空を保ちつる厚みを持ちかつ電子を透過させる
機能を有するもので、例ψ えば純アル箔が用いられる。電子線照射空間８には排気
ダクト１２が設けられ、電子線照射空間８内のオゾンを
含む空気を排出することにより、電子線照射時に電子線
照射空間８内に発生するオゾンの濃度を低く抑え、オゾ
ンの電子線処理禁止作用や、図示されない被照射物の駆
動部９回転部等の腐蝕作用などを抑制するようにしてい
る。また、電子線照射空間８内に発生するオゾンは金属
薄膜１１の表面を酸化してその寿命を短くするため、第
２図に示されるように、金属薄膜２またとえば純アルミ
箔の電子線照射空間８側表面に耐酸性膜２またとえばチ
タンあるいは窒化チタンの膜を形成するなどの対策が提
案されている（特開昭６１−１７８７００号公報参照）
。

〔発明が解決しようとする詠題〕

オゾンの害を抑制するためにこのように構成される電子
線照射装置においても、なお次のような点が問題点とし
て考えられる。すなわち、排気ダクトを用いてオゾンを
排出する装置では、装置全体が大形化し複雑となる。ま
た、金属薄＠表面への耐酸性膜の形成は、耐酸性膜を大
面積（例えば数＋α角）の金属薄膜表面に均一に蒸着す
る必要から膜形成のためのコストが高くなり、しかも耐
酸性膜の形成だけでは、金属薄膜の酸化は防止されても
、こんどは、発生した８人体に有害なオゾンが電子線照
射空間から被照射物の挿入口あるいは引出し口の隙間を
通って外部へ洩れ出すため、照射中は人が装置に近づく
ことができないという問題がある。そこで、排気ダクト
を含む排気装置と耐酸性膜を形成した金属薄膜とを併用
すればオゾンの害は大幅（こ低減されるが、装置が大形
化しかつ高価となる。

この発明の目的は、前述のごとき従来装置の問題点に鑑
み、装置を大形化することなく安価に電子線照射空間内
のオゾン濃度を抑制するとともに電子線照射空間外部へ
のオゾンの洩れを実質的に防止しうる電子線照射装置を
提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、この発明においては、金属
薄膜により閉鎖された窓枠を有する真空容器内で電子を
発生させるとともにこの電子を電界で加速して前記金属
薄膜を透過させ、前記金属薄膜の外側に該金属薄膜を壁
面の一部として画成された電子線照射空間内の被照射物
に照射する電子線照射装置において、＃Ｊ記金属薄喚を
透過する電子線により前記電子線照射空間内に生ずるオ
ゾンを吸着する吸着剤を該電子線照射空間内に内蔵させ
るものとする。

〔作用〕

電子線照射空間内に内蔵させる吸着剤としては、身近な
ものとして、冷蔵庫の脱臭剤やたばこのフィルタなどに
含まれる活性炭がある。活性炭は気体の吸着作用が強く
、かつ多孔性のため吸着表面積が太き（、大量の気体を
吸着することができる。

従って、このような吸着剤を電子線照射空間内に電子線
量に見合って適当量、適宜の位置に内蔵させることによ
り、電子線照射空間内のオゾン濃度が低く保たれ、かつ
外部へのオゾンの洩れも実質的に防止することが可能と
なり、前述のような。

電子線照射空間内におけるオゾンの害の抑制や。

電子線照射中の装置への人の接近が安価に可能となる。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例を示す。図中、第３図と同一
の部材には同一符号を付し、説明を省略する。電子線照
射空間１８内゛には、被照射物７が左から右へ移動して
おり、発生したオゾンは被照射物７とともに移動して右
方の引出し口から外部へもれ易いから、吸着剤９は金属
薄［１１より右側にかつ被照射物の上面側に引出し口ま
で連続して並べられている。なお、本実施例の構成に加
え、さらに電子線照射空間の被照射物の挿入口と引出し
口とに、被照射物との隙間をさらに小さくするアダプタ
を設けるようにすれば、オゾンの洩れ防止番と対し、さ
らに確実な効果を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上に述べたように、この発明によれば、金属薄膜によ
り閉鎖された窓枠を有する真空容器内で電子を発生させ
るとともにこの電子を電界で加速して前記金属薄膜を透
過させ、前記金属薄膜の外側に該金属薄膜を壁面の一部
として画成された電子線照射空間内の被照射物に照射す
る電子線照射装置において、前記金属薄膜を透過する電
子線により前記電子線照射空間内に生ずるオゾンを吸着
する吸着剤を該電子線照射空間内に内蔵させたので、装
置全体を大形、複雑化することなく、かつ安価に、電子
線照射空間内のオゾン濃度を低減するとともに電子線照
射空間外部へのオゾンの洩れを防止することができ、電
子線が透過する大面積金属薄膜への高価な耐酸住換形成
を行うことなく金属薄膜の寿命が延長され、同時に、電
子線照射空間外部での人体への危険性がなくなり、電子
線照射中でも装置に近づくことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す電子線照射装置の全体
断面図、第２図は従来の金属薄膜の酸化防止手段の一例
を示す断面図、第３図は従来の電子線照射ｔｅａの構成
例を示す全体断面図である。 １・・・真空容器、１ａ・・・窓枠、２・・・カソード
、６・・・電子線、７・・・被照射物、８，１８・・・
電子線照射空間、９・・・吸着剤、１０・・・オゾン、
１１．２１・・・金属薄膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）金属薄膜により閉鎖された窓枠を有する真空容器内
   で電子を発生させるとともにこの電子を電界で加速して
   前記金属薄膜を透過させ、前記金属薄膜の外側に該金属
   薄膜を壁面の一部として画成された電子線照射空間内の
   被照射物に照射する電子線照射装置において、前記金属
   薄膜を透過する電子線により前記電子線照射空間内に生
   ずるオゾンを吸着する吸着剤を該電子線照射空間内に内
   蔵させたことを特徴とする電子線照射装置。