JPH0528043U - ウエーハ保持板収納容器 - Google Patents
ウエーハ保持板収納容器Info
- Publication number
- JPH0528043U JPH0528043U JP7615091U JP7615091U JPH0528043U JP H0528043 U JPH0528043 U JP H0528043U JP 7615091 U JP7615091 U JP 7615091U JP 7615091 U JP7615091 U JP 7615091U JP H0528043 U JPH0528043 U JP H0528043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding plate
- storage container
- wafer
- wafer holding
- plate storage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 31
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】互いにウェーハ６が接触することなく、極めて
円滑にフレーム４が挿入される。 【構成】本体の一開口面から奥側に伸びて形成される案
内溝８ａを摺動して出し入れする引出１を設け、この引
出１にフレーム４を入れること特徴とする。
円滑にフレーム４が挿入される。 【構成】本体の一開口面から奥側に伸びて形成される案
内溝８ａを摺動して出し入れする引出１を設け、この引
出１にフレーム４を入れること特徴とする。
Description
【０００１】
本考案は、ウェーハが貼付けられる粘着シートを保持するフレームを複数枚収 納するウェーハ保持板収納容器に関する。
【０００２】
一般に、ウェーハをペレットに分割分離するためにはウェーハを粘着シートに 貼付け、粘着シートの外周囲を保持するウェーハ保持板をタイシング装置に取付 け、ウェーハを各集積回路領域毎にダイシング装置に切断し、各ペレット毎に切 断分離していた。ウェーハを貼付けた粘着シートを保持するウェーハ保持板は、 粘着シートを有しているため、積み重ねて運搬することが出来ないので、通常、 箱形形状のウェーハ保持板収納容器に収納して運搬されていた。
【０００３】 図３は従来の一例を示すウェオーハ保持板収納容器の斜視図である。従来、こ の種のウェーハ保持板収納容器は、図３に示すように、ウェーハ６が貼付けられ た粘着シート５を保持する複数のフレーム４が挿入される案内溝８が形成され、 上側に取手３が取付けられた箱状の本体２で構成されている。
【０００４】 このウェーハ保持板収納容器にウェーハ６を貼付けた粘着シート５を保持する フレーム４を収納するには、開口面から案内溝８に沿ってフレーム４を挿入して 行なわれる。また、粘着シート５を保持するフレーム４は楕円形状をしており、 案内溝８に挿入され易いようになっている。
【０００５】
上述した従来のウェーハ保持板収納容器では、案内溝の間隔が挟いことと、案 内溝とフレームとの間にがたがあるために、フレームを案内溝に挿入する際に、 フレームが上下に尻振り運動を起し、円滑に挿入されず、ややもすると、上下に 隣接するウェーハにきずをつけたりする問題がある。
【０００６】
本考案のウェーハ保持板収納容器は、一方向の開口面に奥側に伸びるように複 数の案内溝が形成される箱形状の本体と、前記案内溝に摺動して出し入れする引 出とを備え、ウェーハが貼付けられる粘着シートを保持するフレームを前記引出 に入れて収納することを特徴としている。
【０００７】
次に、本考案について図面を参照して説明する。
【０００８】 図１は本考案の実施例を示すウェーハ保持板収納容器の斜視図である。このウ ェーハ保持板収納容器は、図１に示すように、本体２ａの案内溝８ａを摺動する 引出１を設け、この引出１にフレーム４を入れる構造にしたことである。
【０００９】 この引出１を設けることにより、フレーム４を収納する際に、引出１を出し入 れするだけで済み、極めて円滑にフレームの収納が出来るようになった。しかも フレームを直接把むことがないので、従来のように、フレーム４の尻振り運動は 無くなり、ウェーハ６にきずを付けることは無い。
【００１０】 図２は本考案の他の実施例を示すウェーハ保持板収納容器の斜視図である。こ のウェーハ保持板収納容器は、前述の実施例における引出に突起物７を取付け、 引出１ａの出し入れの際に手で把み易くしたことである。それ以外は前述の実施 例と同じである。
【００１１】
以上説明したように本考案は、フレームを入れて本体に出し入れする引出を設 けることによって、直接フレームを把んで本体に出し入れすることがなくなるの で、ウェーハ同志の接触を起すことなく極めて円滑にフレームの出し入れが出来 るウェーハ保持収納容器が得られるという効果がある。
【図１】本考案の一実施例を示すウェーハ保持板収納容
器の斜視図である。
器の斜視図である。
【図２】本考案の他の実施例を示すウェオーハ保持板収
納容器の斜視図である。
納容器の斜視図である。
【図３】従来の一例を示すウェーハ保持板収納容器の斜
視図である。
視図である。
１，１ａ 引出 ２，２ａ，２ｂ 本体 ３ 取手 ４ フレーム ５ 粘着シート ６ ウェーハ ７ 突起部 ８，８ａ 案内溝
Claims (1)
- 【請求項１】 一方向の開口面に奥側に伸びるように複
数の案内溝が形成される箱形状の本体と、前記案内溝に
摺動して出し入れする引出とを備え、ウェーハが貼付け
られる粘着シートを保持するフレームを前記引出に入れ
て収納することを特徴とするウェーハ保持板収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7615091U JPH0528043U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | ウエーハ保持板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7615091U JPH0528043U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | ウエーハ保持板収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0528043U true JPH0528043U (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=13596994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7615091U Pending JPH0528043U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | ウエーハ保持板収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0528043U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
| WO2010136568A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Schmid Technology Systems Gmbh | Vorrichtung und verfahren zum stapeln bzw. transport einer vielzahl von flachen substraten |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP7615091U patent/JPH0528043U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
| WO2010136568A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Schmid Technology Systems Gmbh | Vorrichtung und verfahren zum stapeln bzw. transport einer vielzahl von flachen substraten |
| CN102596522A (zh) * | 2009-05-29 | 2012-07-18 | 施米德科技系统有限责任公司 | 用于堆叠或运输大量平整的基质的装置和方法 |
| JP2012528479A (ja) * | 2009-05-29 | 2012-11-12 | シュミット テクノロジー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 複数の平坦基板の積み重ね、または輸送装置および方法 |
| US8337134B2 (en) | 2009-05-29 | 2012-12-25 | Schmid Technology Systems Gmbh | Device and method for stacking and/or conveying a plurality of flat substrates |
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