JPH0528071B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0528071B2 JPH0528071B2 JP60096225A JP9622585A JPH0528071B2 JP H0528071 B2 JPH0528071 B2 JP H0528071B2 JP 60096225 A JP60096225 A JP 60096225A JP 9622585 A JP9622585 A JP 9622585A JP H0528071 B2 JPH0528071 B2 JP H0528071B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostrictive
- clamp
- disk
- control device
- piezoelectric actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/023—Inchworm motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回転角制御装置に関し、特に圧電アク
チユエータにより駆動する微小回転角制御装置に
関する。
チユエータにより駆動する微小回転角制御装置に
関する。
従来、この種の回転角制御装置はステツピング
モータなどのように電磁気力を駆動力として用い
たものである。
モータなどのように電磁気力を駆動力として用い
たものである。
上述した従来の回転角制御装置は電磁気を利用
するため電気機械変換効率が悪く電力消費量が多
い欠点がある。また、精密な位置決めを必要とす
る用途では、コイルと永久磁石の大きさをあまり
小さくできないため微小回転角の制御が難しい欠
点がある。
するため電気機械変換効率が悪く電力消費量が多
い欠点がある。また、精密な位置決めを必要とす
る用途では、コイルと永久磁石の大きさをあまり
小さくできないため微小回転角の制御が難しい欠
点がある。
本願発明によれば、圧電アクチユエータ２０
と、駆動制御装置３０とを有する、円板１３など
の回転体用回転角制御装置であつて、 圧電アクチユエータ２０は、第１クランプ素子
９と、第２のクランプ素子１０と、第１の電歪効
果素子１１とを有し、第１のクランプ素子９と第
２のクランプ素子１０とは、並行して配置され、
そのそれぞれは、所定の間隔で対向して配置され
る２本のアーム１，２が、一端側で、並列に配置
された第２の電歪効果素子７と連結部８とによつ
てヒンジ３，４；５，６を介して接続され、両者
の連結部８が第１の電歪効果素子１１によつて結
合されたものであり、回転軸１４を有する円板１
３などの回転体を他端側の２本のアーム１，２間
に挟着して回転駆動するものであり、 駆動制御装置３０は、第１および第２のクラン
プ素子９，１０のぞれぞれの第２の電歪効果素子
７と、第１の電歪効果素子１１とに異なるタイミ
ングで電気信号を印加して、第１および第２の電
歪効果素子１１，７に異なるタイミングの伸びの
歪をそれぞれ生じさせることにより、円板１３な
どの回転体を回転駆動するものである 円板などの回転体用回転角制御装置が得られ
る。
と、駆動制御装置３０とを有する、円板１３など
の回転体用回転角制御装置であつて、 圧電アクチユエータ２０は、第１クランプ素子
９と、第２のクランプ素子１０と、第１の電歪効
果素子１１とを有し、第１のクランプ素子９と第
２のクランプ素子１０とは、並行して配置され、
そのそれぞれは、所定の間隔で対向して配置され
る２本のアーム１，２が、一端側で、並列に配置
された第２の電歪効果素子７と連結部８とによつ
てヒンジ３，４；５，６を介して接続され、両者
の連結部８が第１の電歪効果素子１１によつて結
合されたものであり、回転軸１４を有する円板１
３などの回転体を他端側の２本のアーム１，２間
に挟着して回転駆動するものであり、 駆動制御装置３０は、第１および第２のクラン
プ素子９，１０のぞれぞれの第２の電歪効果素子
７と、第１の電歪効果素子１１とに異なるタイミ
ングで電気信号を印加して、第１および第２の電
歪効果素子１１，７に異なるタイミングの伸びの
歪をそれぞれ生じさせることにより、円板１３な
どの回転体を回転駆動するものである 円板などの回転体用回転角制御装置が得られ
る。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図ａは本発明の圧電アクチユエータの例を
示す正面図である。ｂは同上の側面図である。
示す正面図である。ｂは同上の側面図である。
第２図は本発明の回転角制御装置の例を示す図
である。
である。
第１図に示すとおり、圧電アクチユエータ２０
は、第１のクランプ素子９と、第２のクランプ素
子１０と、第１の電歪効果素子１１とを有する。
第１のクランプ素子９と第２のクランプ素子１０
とは、並行して配置され、そのそれぞれは、所定
の間隔で対向して配置される２本のアーム１，
２、一端側で、並列に配置された第２の電歪効果
素子７と連結部８とによつてヒンジ３，４；５，
６を介して接続されている。さらに、両者の連結
部８が第１の電歪効果素子１１によつて結合され
た構成となつている。このような圧電アクチユエ
ータ２０は、第２図に示すように、連結部８に接
続された固定端子１２で保持されて円板１３が２
本のアーム１，２間に位置するように配置され
る。円板１３は軸受け１５で支持された回転軸１
４を有する。駆動制御装置３０は、第１および第
２のクランプ素子９，１０のそれぞれの第２の電
歪効果素子７と、第１の電歪効果素子１１に信号
線３１，３２，３３を介して異なるタイミングで
電気信号を印加して、第１および第２の電歪効果
素子１１，７に異なるタイミングの伸びの歪をそ
れぞれ生じさせることにより、第１のクランプ素
子９と第２のクランプ素子１０とで円板１３を異
なるタイミングでクランプするとともに第２のク
ランプ素子１０に印加される電気信号により第１
のクランプ素子９と第２のクランプ素子１０との
間隔を変化させて円板１３を回転軸１４の回りに
回転させるものである。
は、第１のクランプ素子９と、第２のクランプ素
子１０と、第１の電歪効果素子１１とを有する。
第１のクランプ素子９と第２のクランプ素子１０
とは、並行して配置され、そのそれぞれは、所定
の間隔で対向して配置される２本のアーム１，
２、一端側で、並列に配置された第２の電歪効果
素子７と連結部８とによつてヒンジ３，４；５，
６を介して接続されている。さらに、両者の連結
部８が第１の電歪効果素子１１によつて結合され
た構成となつている。このような圧電アクチユエ
ータ２０は、第２図に示すように、連結部８に接
続された固定端子１２で保持されて円板１３が２
本のアーム１，２間に位置するように配置され
る。円板１３は軸受け１５で支持された回転軸１
４を有する。駆動制御装置３０は、第１および第
２のクランプ素子９，１０のそれぞれの第２の電
歪効果素子７と、第１の電歪効果素子１１に信号
線３１，３２，３３を介して異なるタイミングで
電気信号を印加して、第１および第２の電歪効果
素子１１，７に異なるタイミングの伸びの歪をそ
れぞれ生じさせることにより、第１のクランプ素
子９と第２のクランプ素子１０とで円板１３を異
なるタイミングでクランプするとともに第２のク
ランプ素子１０に印加される電気信号により第１
のクランプ素子９と第２のクランプ素子１０との
間隔を変化させて円板１３を回転軸１４の回りに
回転させるものである。
第３図ａからｅは動作原理を示す図である。本
発明の回転角制御装置は駆動部に圧電アクチユエ
ータを用いて回転軸を有する円板を回転させる構
成となつている。第１図ａにおいて、アーム１と
２はヒンジ３と４を介して連結部８で接続されて
おり、ヒンジ５と６を介して電歪効果素子７で接
続されている。以下これをクランプ素子と呼ぶ。
いま、電歪効果素子７に電気信号を加えると伸び
の歪みを生じこの歪みがヒンジ５と６を介してア
ーム１と２へ伝達される。伝達された歪みはヒン
ジ３と５のアーム１と連結部８およびヒンジ４と
６とアーム２と連結部８によつてテコの原理によ
り増幅拡大される。
発明の回転角制御装置は駆動部に圧電アクチユエ
ータを用いて回転軸を有する円板を回転させる構
成となつている。第１図ａにおいて、アーム１と
２はヒンジ３と４を介して連結部８で接続されて
おり、ヒンジ５と６を介して電歪効果素子７で接
続されている。以下これをクランプ素子と呼ぶ。
いま、電歪効果素子７に電気信号を加えると伸び
の歪みを生じこの歪みがヒンジ５と６を介してア
ーム１と２へ伝達される。伝達された歪みはヒン
ジ３と５のアーム１と連結部８およびヒンジ４と
６とアーム２と連結部８によつてテコの原理によ
り増幅拡大される。
かかる動作を経てアーム１と２の先端部が互い
に近づく方向へ動きあたかもピンセツトで物を挾
むが如きクランプ動作をする。電歪効果素子７へ
加えた電気信号を取り除けばアーム１と２は元の
位置に戻る。第１図ｂにおいてクランプ素子９と
１０は電歪効果素子１１で左右対称に接続されて
おり、クランプ素子１０は固定素子１２と接続さ
れている。いま、電歪効果素子１１に電気信号を
加えると伸びの歪みを生じクランプ素子９と１０
の間隔は広がる方向へ動き、電気信号を取り除け
ば元の位置へ戻る。かくして本発明の圧電アクチ
ユエータを用いた回転角制御装置が完成する。第
２図において回転軸１４を有する円板１３の外周
部分の一部が前記圧電アクチユエータのクランプ
素子９と１０の４本のアームを貫くよう位置せし
め、固定端子１２によつて固定されている。回転
軸１４は軸受け１５で支えられており回転軸１４
は自由に動くようになつている。
に近づく方向へ動きあたかもピンセツトで物を挾
むが如きクランプ動作をする。電歪効果素子７へ
加えた電気信号を取り除けばアーム１と２は元の
位置に戻る。第１図ｂにおいてクランプ素子９と
１０は電歪効果素子１１で左右対称に接続されて
おり、クランプ素子１０は固定素子１２と接続さ
れている。いま、電歪効果素子１１に電気信号を
加えると伸びの歪みを生じクランプ素子９と１０
の間隔は広がる方向へ動き、電気信号を取り除け
ば元の位置へ戻る。かくして本発明の圧電アクチ
ユエータを用いた回転角制御装置が完成する。第
２図において回転軸１４を有する円板１３の外周
部分の一部が前記圧電アクチユエータのクランプ
素子９と１０の４本のアームを貫くよう位置せし
め、固定端子１２によつて固定されている。回転
軸１４は軸受け１５で支えられており回転軸１４
は自由に動くようになつている。
次に第３図により動作原理を説明する。第３図
はクランプ素子９と１０、電歪効果素子１１、円
板１３の一連の動作がａからｂへ、ｂからｃへ、
ｃからｄへｄからｅへ、ｅからａへとくり返すこ
とを示している。ａはクランプ端子９が円板１３
をクランプし、電歪効果素子１１はノーマルな状
態であり、クランプ素子１０は円板１３をクラン
プしていない状態を示す。ｂへ移ると電歪効果素
子１１へ電気信号が加えられ伸びの歪みを生じ
る。その他はａと同じである。ｃへ移るとクラン
プ素子１０が円板１３をクランプする。その他は
ｂと同じである。ｄへ移るとクランプ素子９のク
ランプ状態が解除され、同時に電歪効果素子１１
に加わつていた電気信号が取り除かれノーマルな
状態へ戻る。その他はｃと同じである。ｅへ移る
とクランプ素子９が円板１３をクランプする。そ
の他はｄと同じである。次にまたａへ戻り上述し
た一連の動作がくり返され、円板を左方向へ送
り、動かすことができる。クランプ素子９と１０
のクランプ圧力は第１図の電歪効果素子７に加え
る電気信号電圧を適当に選ぶことによつて自由に
選択でき、動作周期は電気信号の周期を適当に選
ぶことによつて自由に選択できる。電歪効果素子
１１の伸び歪みの大きさは同素子に加える電気信
号の電圧を適当に選ぶことにより自由に選択で
き、動作周期は電気信号の周期を適当に選ぶこと
によつて自由に選択できる。また、円板を動かす
方向はクランプ素子９と１０で円板１３をクラン
プするタイミングを変えることによつて左、右い
ずれの方向でも選択できる。なお、停電などの際
に円板を固定しておきたい場合は第１図ａにおい
てアーム８と電歪効果素子７の位置を入れ替え、
クランプ素子９と１０が定常状態で第２図の円板
１３をクランプしているようにあらかじめ設定し
ておけばよい。
はクランプ素子９と１０、電歪効果素子１１、円
板１３の一連の動作がａからｂへ、ｂからｃへ、
ｃからｄへｄからｅへ、ｅからａへとくり返すこ
とを示している。ａはクランプ端子９が円板１３
をクランプし、電歪効果素子１１はノーマルな状
態であり、クランプ素子１０は円板１３をクラン
プしていない状態を示す。ｂへ移ると電歪効果素
子１１へ電気信号が加えられ伸びの歪みを生じ
る。その他はａと同じである。ｃへ移るとクラン
プ素子１０が円板１３をクランプする。その他は
ｂと同じである。ｄへ移るとクランプ素子９のク
ランプ状態が解除され、同時に電歪効果素子１１
に加わつていた電気信号が取り除かれノーマルな
状態へ戻る。その他はｃと同じである。ｅへ移る
とクランプ素子９が円板１３をクランプする。そ
の他はｄと同じである。次にまたａへ戻り上述し
た一連の動作がくり返され、円板を左方向へ送
り、動かすことができる。クランプ素子９と１０
のクランプ圧力は第１図の電歪効果素子７に加え
る電気信号電圧を適当に選ぶことによつて自由に
選択でき、動作周期は電気信号の周期を適当に選
ぶことによつて自由に選択できる。電歪効果素子
１１の伸び歪みの大きさは同素子に加える電気信
号の電圧を適当に選ぶことにより自由に選択で
き、動作周期は電気信号の周期を適当に選ぶこと
によつて自由に選択できる。また、円板を動かす
方向はクランプ素子９と１０で円板１３をクラン
プするタイミングを変えることによつて左、右い
ずれの方向でも選択できる。なお、停電などの際
に円板を固定しておきたい場合は第１図ａにおい
てアーム８と電歪効果素子７の位置を入れ替え、
クランプ素子９と１０が定常状態で第２図の円板
１３をクランプしているようにあらかじめ設定し
ておけばよい。
電歪効果素子にNEC積層圧電セラミツクアク
チユエータ素子を用い円板の直径が５cmのものを
用いれば、回転体の回転角度を1000分の数度まで
制御でき、毎分30回転の速度が得られ、電気機械
変換効率が従来の電磁気力を利用した回転角制御
装置の約５倍まで改善される。また、回転方向も
左右自在に変えることができ、回転速度も円板の
直径を適当に選ぶことによつて選択でき、回転ト
ルクも大きく、急速動作、急停止が可能で、バツ
クラツシユも少なく更に従来の圧電セラミツクア
クチユエータに比べゼロから50Vの比較的低い電
圧で駆動できるメリツトがある。また従来のステ
ツピングモータやダイレクトドライブモータより
も安価にできる可能性がある。
チユエータ素子を用い円板の直径が５cmのものを
用いれば、回転体の回転角度を1000分の数度まで
制御でき、毎分30回転の速度が得られ、電気機械
変換効率が従来の電磁気力を利用した回転角制御
装置の約５倍まで改善される。また、回転方向も
左右自在に変えることができ、回転速度も円板の
直径を適当に選ぶことによつて選択でき、回転ト
ルクも大きく、急速動作、急停止が可能で、バツ
クラツシユも少なく更に従来の圧電セラミツクア
クチユエータに比べゼロから50Vの比較的低い電
圧で駆動できるメリツトがある。また従来のステ
ツピングモータやダイレクトドライブモータより
も安価にできる可能性がある。
第１図ａは本発明の圧電アクチユエータの例を
示す正面図である。第１図ｂは同上の側面図であ
る。第２図は本発明の回転角制御装置の例を示す
図である。第３図ａからｅは動作原理を示す図で
ある。 １，２……アーム、３，４，５，６……ヒン
ジ、７，１１……電歪素子、８……連結部、９，
１０……クランプ素子、１２……固定素子、１３
……円板、１４……回転軸、１５……軸受け、２
０……圧電アクチユエータ、３０……駆動制御装
置、３１，３２，３３……信号線。
示す正面図である。第１図ｂは同上の側面図であ
る。第２図は本発明の回転角制御装置の例を示す
図である。第３図ａからｅは動作原理を示す図で
ある。 １，２……アーム、３，４，５，６……ヒン
ジ、７，１１……電歪素子、８……連結部、９，
１０……クランプ素子、１２……固定素子、１３
……円板、１４……回転軸、１５……軸受け、２
０……圧電アクチユエータ、３０……駆動制御装
置、３１，３２，３３……信号線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電アクチユエータ２０と、駆動制御装置３
０とを有する、円板１３などの回転体用回転角制
御装置であつて、 圧電アクチユエータ２０は、第１のクランプ素
子９と、第２のクランプ素子１０と、第１の電歪
効果素子１１とを有し、第１のクランプ素子９と
第２のクランプ素子１０とは、並行して配置さ
れ、そのそれぞれは、所定の間隔で対向して配置
される２本のアーム１，２が、一端側で、並列に
配置された第２の電歪効果素子７と連結部８とに
よつてヒンジ３，４；５，６を介して接続され、
両者の連結部８が第１の電歪効果素子１１によつ
て結合されたものであり、回転軸１４を有する円
板１３などの回転体を他端側の２本のアーム１，
２間に挟着して回転駆動するものであり、 駆動制御装置３０は、第１および第２のクラン
プ素子９，１０のぞれぞれの第２の電歪効果素子
７と、第１の電歪効果素子１１とに異なるタイミ
ングで電気信号を印加して、第１および第２の電
歪効果素子１１，７に異なるタイミングの伸びの
歪をそれぞれ生じさせることにより、円板１３な
どの回転体を回転駆動するものである 円板などの回転体用回転角制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60096225A JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
| US06/860,392 US4714855A (en) | 1985-05-07 | 1986-05-07 | Piezo-electric actuator and stepping device using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60096225A JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61258679A JPS61258679A (ja) | 1986-11-17 |
| JPH0528071B2 true JPH0528071B2 (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=14159289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60096225A Granted JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | 回転角制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4714855A (ja) |
| JP (1) | JPS61258679A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014155461A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 撮像レンズおよび撮像装置 |
Families Citing this family (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2525019B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
| JPH0295180A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Canon Inc | 尺取り虫型駆動機構 |
| US5049775A (en) * | 1988-09-30 | 1991-09-17 | Boston University | Integrated micromechanical piezoelectric motor |
| JPH0767292B2 (ja) * | 1989-05-17 | 1995-07-19 | シーケーデイ株式会社 | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
| US5314175A (en) * | 1990-02-27 | 1994-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Wire clamping device and wire clamping method |
| US5017820A (en) * | 1990-04-23 | 1991-05-21 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric rotary union system |
| US5068566A (en) * | 1990-06-04 | 1991-11-26 | Rockwell International Corporation | Electric traction motor |
| JPH04275850A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-10-01 | Nec Corp | 位置決め機構 |
| US5319257A (en) * | 1992-07-13 | 1994-06-07 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Unitaxial constant velocity microactuator |
| EP0592030B1 (en) * | 1992-10-02 | 1998-05-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electromechanical displacement device and actuator suitable for use in such an electromechanical displacement device |
| US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
| FR2721675A1 (fr) * | 1994-06-27 | 1995-12-29 | Serge Prat | Dispositif d'entraînement en rotation utilisant plusieurs vérins de micro déplacements tangentiels. |
| JP2658930B2 (ja) * | 1994-12-27 | 1997-09-30 | 日本電気株式会社 | 圧電型回転駆動装置 |
| NL1001059C2 (nl) * | 1995-08-25 | 1997-02-27 | Stichting Fund Ond Material | Piëzo-elektrische motor. |
| US5780956A (en) * | 1996-11-12 | 1998-07-14 | Meritor Light Vehicle Systems, Inc. | Rotary piezoelectric motor for vehicle applications |
| FR2767980B1 (fr) * | 1997-09-03 | 1999-11-26 | Sfim Ind | Perfectionnements aux moteurs a vibrations |
| US6104125A (en) * | 1998-01-26 | 2000-08-15 | Industrial Technology Research Institute | Linear actuator |
| SE515985C2 (sv) * | 1999-06-13 | 2001-11-05 | Nanofactory Instruments Ab | Anordning för mikropositionering av objekt genom användning av mekanisk tröghet |
| US6246157B1 (en) * | 1999-08-23 | 2001-06-12 | Rockwell Science Center Llc | Push-pull high force piezoelectric linear motor |
| IL137206A0 (en) * | 1999-10-31 | 2001-07-24 | Nanomotion Ltd | Piezoelectric motors and motor driving configurations |
| US6836056B2 (en) * | 2000-02-04 | 2004-12-28 | Viking Technologies, L.C. | Linear motor having piezo actuators |
| US6518689B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-02-11 | Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc | Piezoelectric wave motor |
| US6437226B2 (en) | 2000-03-07 | 2002-08-20 | Viking Technologies, Inc. | Method and system for automatically tuning a stringed instrument |
| US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
| US6548938B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
| US6390104B1 (en) * | 2000-05-19 | 2002-05-21 | Steven P. Gagnon | Denture wash |
| US6429573B2 (en) | 2000-06-23 | 2002-08-06 | The Penn State Research Foundation | Smart material motor with mechanical diodes |
| US6759790B1 (en) | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US6879087B2 (en) | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US6388364B1 (en) | 2001-03-15 | 2002-05-14 | Optovation (Canada) Corp. | Piezoelectric rotator |
| WO2004001871A2 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-31 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
| CA2521307C (en) | 2003-04-04 | 2014-07-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparratus and process for optimizing work from a smart material actuator product |
| US7196453B2 (en) * | 2005-05-23 | 2007-03-27 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | High-efficiency radial piezoelectric motor |
| JP4511437B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2010-07-28 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 音響信号発生用圧電装置 |
| EP2122702B1 (en) * | 2007-01-18 | 2015-08-26 | Newport Corporation | Optical adjustment mounts with piezoelectric inertia driver |
| EP2112759A3 (de) * | 2008-04-21 | 2011-09-07 | Helmut Wurm | Piezoelektrischer Motor |
| DE102008034285A1 (de) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Aktuator zur hochpräzisen Positionierung bzw. Manipulation von Komponenten und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie |
| EP2593826A4 (en) | 2010-07-15 | 2014-12-17 | Newport Corp | ADJUSTABLE OPTICAL SUPPORTS ENSURING A RETURN TO THE ABSOLUTE POSITION |
| US9312790B2 (en) | 2013-09-13 | 2016-04-12 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Compact versatile stick-slip piezoelectric motor |
| US9425711B2 (en) | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
| JP2018506741A (ja) | 2015-01-29 | 2018-03-08 | ニューポート・コーポレイションＮｅｗｐｏｒｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 一体型ピコモーターマウント |
| US11482658B1 (en) | 2018-06-06 | 2022-10-25 | Government Of The United States As Represented By The Secretary Of The Air Force | Piezoelectric rotary optical mount |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3666975A (en) * | 1970-05-18 | 1972-05-30 | Ultrasonic Systems | Ultrasonic motors |
| US4219755A (en) * | 1977-03-18 | 1980-08-26 | Physics International Company | Electromotive actuator |
| US4547086A (en) * | 1982-12-06 | 1985-10-15 | Nec Corporation | Piezoelectrically driven printing mechanism for dot matrix printers |
| JPS602081A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転駆動アクチユエ−タ |
-
1985
- 1985-05-07 JP JP60096225A patent/JPS61258679A/ja active Granted
-
1986
- 1986-05-07 US US06/860,392 patent/US4714855A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014155461A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 撮像レンズおよび撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61258679A (ja) | 1986-11-17 |
| US4714855A (en) | 1987-12-22 |
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