JPH0528764Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0528764Y2 JPH0528764Y2 JP1987144174U JP14417487U JPH0528764Y2 JP H0528764 Y2 JPH0528764 Y2 JP H0528764Y2 JP 1987144174 U JP1987144174 U JP 1987144174U JP 14417487 U JP14417487 U JP 14417487U JP H0528764 Y2 JPH0528764 Y2 JP H0528764Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- bonding
- bonding position
- coordinates
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、ワイヤボンデイング装置におけるキ
ヤピラリ位置決め手段の改良に関する。
ヤピラリ位置決め手段の改良に関する。
（従来の技術）
ワイヤボンデイングを行うに際しては、セツト
されたチツプの各ボンデイング位置にワイヤが正
確にボンデイングされるようにキヤピラリの位置
決めを行う必要がある。以下、従来のワイヤボン
デイング装置のキヤピラリ位置決め手段について
図面を用いて説明する。
されたチツプの各ボンデイング位置にワイヤが正
確にボンデイングされるようにキヤピラリの位置
決めを行う必要がある。以下、従来のワイヤボン
デイング装置のキヤピラリ位置決め手段について
図面を用いて説明する。
第３図はボンデイング位置とキヤピラリとの位
置関係を示す図で、同図のａはキヤピラリの縦断
面図であつて、７はキヤピラリ、２１はキヤピラ
リの中心軸、２２はキヤピラリ先端、８はワイヤ
を示す。第１番目のボンデイング位置ではワイヤ
８がキヤピラリ７の中心位置でパツドに溶着され
るが、第２点目以降の第ｎ＋１（ｎ≧１）番目の
ボンデイング位置ではワイヤ８がキヤピラリ７の
外方にある第ｎ番目のボンデイング位置でパツド
に溶着しているため、パツドに対するワイヤ８の
押し付け溶着は、キヤピラリの中心軸２１からキ
ヤピラリの先端半径ｒだけ隔たつたキヤピラリ先
端２２に行われることになる。
置関係を示す図で、同図のａはキヤピラリの縦断
面図であつて、７はキヤピラリ、２１はキヤピラ
リの中心軸、２２はキヤピラリ先端、８はワイヤ
を示す。第１番目のボンデイング位置ではワイヤ
８がキヤピラリ７の中心位置でパツドに溶着され
るが、第２点目以降の第ｎ＋１（ｎ≧１）番目の
ボンデイング位置ではワイヤ８がキヤピラリ７の
外方にある第ｎ番目のボンデイング位置でパツド
に溶着しているため、パツドに対するワイヤ８の
押し付け溶着は、キヤピラリの中心軸２１からキ
ヤピラリの先端半径ｒだけ隔たつたキヤピラリ先
端２２に行われることになる。
第３図のｂは、ボンデイング面内におけるボン
デイング位置とキヤピラリとの位置関係を示し、
１０は第ｎ番目（ｎ≧１）のボンデイング位置、
３１は第ｎ＋１番目のボンデイング位置、３５は
第ｎ＋１番目のボンデイング位置３１に対応した
キヤピラリ中心位置であり、第ｎ＋１番目のボン
デイング位置３１に対応したキヤピラリ中心位置
３５は第ｎ番目のボンデイング位置１０と第ｎ＋
１番目のボンデイング位置３１とを結ぶ直線の延
長上にあつて第ｎ＋１番目のボンデイング位置３
１とはキヤピラリの先端半径ｒだけ隔たつてい
る。したがつて、第ｎ＋１番目のボンデイング位
置３１に対応したキヤピラリ中心位置３５の座標
と第ｎ＋１番目のボンデイング位置３１の座標と
の間にはキヤピラリ中心とキヤピラリ先端とのｘ
方向のずれdxおよびキヤピラリ中心とキヤピラ
リ先端とのｙ方向のずれdyが生ずる。
デイング位置とキヤピラリとの位置関係を示し、
１０は第ｎ番目（ｎ≧１）のボンデイング位置、
３１は第ｎ＋１番目のボンデイング位置、３５は
第ｎ＋１番目のボンデイング位置３１に対応した
キヤピラリ中心位置であり、第ｎ＋１番目のボン
デイング位置３１に対応したキヤピラリ中心位置
３５は第ｎ番目のボンデイング位置１０と第ｎ＋
１番目のボンデイング位置３１とを結ぶ直線の延
長上にあつて第ｎ＋１番目のボンデイング位置３
１とはキヤピラリの先端半径ｒだけ隔たつてい
る。したがつて、第ｎ＋１番目のボンデイング位
置３１に対応したキヤピラリ中心位置３５の座標
と第ｎ＋１番目のボンデイング位置３１の座標と
の間にはキヤピラリ中心とキヤピラリ先端とのｘ
方向のずれdxおよびキヤピラリ中心とキヤピラ
リ先端とのｙ方向のずれdyが生ずる。
キヤピラリ位置演算回路は、第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置３１の座標に対して上述したよう
なずれを有するキヤピラリ中心位置３５の座標を
予め入力されており、目合わせにより第ｎ＋１番
目のボンデイング位置３１の座標がセツトされた
チツプのボンデイング位置の座標と異なることが
知られた場合には、該第ｎ＋１番目のボンデイン
グ位置３１の座標と上記のセツトされたチツプの
ボンデイング位置の座標とのずれに対応させて第
ｎ＋１番目のボンデイング位置３１に対応したキ
ヤピラリ中心位置３５の座標を修正し、これをキ
ヤピラリ位置信号として出力する。上記の修正に
ついて図面を用いて説明すると以下の通りとな
る。
ンデイング位置３１の座標に対して上述したよう
なずれを有するキヤピラリ中心位置３５の座標を
予め入力されており、目合わせにより第ｎ＋１番
目のボンデイング位置３１の座標がセツトされた
チツプのボンデイング位置の座標と異なることが
知られた場合には、該第ｎ＋１番目のボンデイン
グ位置３１の座標と上記のセツトされたチツプの
ボンデイング位置の座標とのずれに対応させて第
ｎ＋１番目のボンデイング位置３１に対応したキ
ヤピラリ中心位置３５の座標を修正し、これをキ
ヤピラリ位置信号として出力する。上記の修正に
ついて図面を用いて説明すると以下の通りとな
る。
第２図は本考案実施例のキヤピラリ中心位置修
正過程を説明する図であつて、同図中には従来の
キヤピラリ中心位置修正過程を破線を用いて併示
してある。同図において１０は第ｎ番目のボンデ
イング位置、１１は入力時の第ｎ＋１番目のボン
デイング位置、１５は入力時の第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置１１に対応したキヤピラリ中心位
置を示す。キヤピラリ位置演算回路はボンデイン
グ対象のチツプのタイプに基づいて定められる入
力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１の座
標と第ｎ番目のボンデイング位置１０の座標とキ
ヤピラリの先端半径ｒとから算出される入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１に対応した
キヤピラリ中心位置１５の座標をボンデイング開
始時に予め入力されている。ボンデイング開始に
よりボンデイング対象のチツプがセツトされると
目合わせが行われ、目合わせ後の第ｎ＋１番目の
ボンデイング位置１２の座標が定まる。この目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２
は、第ｎ番目のボンデイング位置１０と入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１とを通る直
線上にあることは稀であり、この直線上以外の目
合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２
に対して、前記キヤピラリ演算回路は、入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１に対応した
キヤピラリ中心位置１５と目合わせ後の第ｎ＋１
番目のボンデイング位置１２とを結ぶ線分の中点
に関して入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位
置１１とほぼ点対象をなす位置の座標を算出して
修正キヤピラリ中心位置１７の座標とし、これを
キヤピラリ位置信号として出力する。
正過程を説明する図であつて、同図中には従来の
キヤピラリ中心位置修正過程を破線を用いて併示
してある。同図において１０は第ｎ番目のボンデ
イング位置、１１は入力時の第ｎ＋１番目のボン
デイング位置、１５は入力時の第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置１１に対応したキヤピラリ中心位
置を示す。キヤピラリ位置演算回路はボンデイン
グ対象のチツプのタイプに基づいて定められる入
力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１の座
標と第ｎ番目のボンデイング位置１０の座標とキ
ヤピラリの先端半径ｒとから算出される入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１に対応した
キヤピラリ中心位置１５の座標をボンデイング開
始時に予め入力されている。ボンデイング開始に
よりボンデイング対象のチツプがセツトされると
目合わせが行われ、目合わせ後の第ｎ＋１番目の
ボンデイング位置１２の座標が定まる。この目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２
は、第ｎ番目のボンデイング位置１０と入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１とを通る直
線上にあることは稀であり、この直線上以外の目
合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２
に対して、前記キヤピラリ演算回路は、入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１に対応した
キヤピラリ中心位置１５と目合わせ後の第ｎ＋１
番目のボンデイング位置１２とを結ぶ線分の中点
に関して入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位
置１１とほぼ点対象をなす位置の座標を算出して
修正キヤピラリ中心位置１７の座標とし、これを
キヤピラリ位置信号として出力する。
前記キヤピラリ位置信号を受けたキヤピラリ位
置制御回路は、このキヤピラリ位置信号に基づい
てキヤピラリの中心を修正キヤピラリ中心位置１
７に位置決めする。
置制御回路は、このキヤピラリ位置信号に基づい
てキヤピラリの中心を修正キヤピラリ中心位置１
７に位置決めする。
（考案が解決しようとする問題点）
しかるに以上説明した従来のワイヤボンデイン
グ装置のキヤピラリ位置決め手段は、第２図に示
したようにワイヤを第ｎ番目のボンデイング位置
１０から修正キヤピラリ中心位置１７に向かつて
引つ張ることになるので、第ｎ＋１番目の修正ボ
ンデイング位置１８は、修正キヤピラリ中心位置
１７を中心としキヤピラリの先端半径ｒを半径と
する円周と第ｎ番目のボンデイング位置１０から
修正キヤピラリ中心位置１７に向かつて引いた直
線との交点となる。
グ装置のキヤピラリ位置決め手段は、第２図に示
したようにワイヤを第ｎ番目のボンデイング位置
１０から修正キヤピラリ中心位置１７に向かつて
引つ張ることになるので、第ｎ＋１番目の修正ボ
ンデイング位置１８は、修正キヤピラリ中心位置
１７を中心としキヤピラリの先端半径ｒを半径と
する円周と第ｎ番目のボンデイング位置１０から
修正キヤピラリ中心位置１７に向かつて引いた直
線との交点となる。
また前述したように入力時の第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置１１に対応したキヤピラリ中心位
置１５は第ｎ番目のボンデイング位置１０と入力
時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１とを結
ぶ直線の延長上にあり、入力時の第ｎ＋１番目の
ボンデイング位置１１と目合わせ後の第ｎ＋１番
目のボンデイング位置１２とを結ぶ直線と入力時
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置に対応したキ
ヤピラリ中心位置１５と修正キヤピラリ中心位置
１７とを結ぶ直線とがほぼ平行かつ等長と見なせ
る関係にあることから、修正キヤピラリ中心位置
１７と第ｎ番目のボンデイング位置１０とを結ぶ
直線が目合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング
位置１２と第ｎ番目のボンデイング位置１０とを
結ぶ直線と一致することはない。したがつて修正
ボンデイング中心位置１７と第ｎ番目のボンデイ
ング位置１０とを結ぶ直線上にある前記の第ｎ＋
１番目の修正ボンデイング位置１８が目合わせ後
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に一致す
ることはあり得ない。すなわち、ボンデイング位
置の座標ではなくキヤピラリ中心位置の座標を入
力し、これを目合わせに基づいて修正したキヤピ
ラリ位置信号によつてキヤピラリの位置決めを行
う従来のワイヤボンデイング装置のキヤピラリ位
置決め手段は、第２点目以降のボンデイングがセ
ツトされたチツプのボンデイング位置で正確に行
えるようにはキヤピラリの位置決めをしていない
という問題を有する。
ンデイング位置１１に対応したキヤピラリ中心位
置１５は第ｎ番目のボンデイング位置１０と入力
時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１１とを結
ぶ直線の延長上にあり、入力時の第ｎ＋１番目の
ボンデイング位置１１と目合わせ後の第ｎ＋１番
目のボンデイング位置１２とを結ぶ直線と入力時
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置に対応したキ
ヤピラリ中心位置１５と修正キヤピラリ中心位置
１７とを結ぶ直線とがほぼ平行かつ等長と見なせ
る関係にあることから、修正キヤピラリ中心位置
１７と第ｎ番目のボンデイング位置１０とを結ぶ
直線が目合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング
位置１２と第ｎ番目のボンデイング位置１０とを
結ぶ直線と一致することはない。したがつて修正
ボンデイング中心位置１７と第ｎ番目のボンデイ
ング位置１０とを結ぶ直線上にある前記の第ｎ＋
１番目の修正ボンデイング位置１８が目合わせ後
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に一致す
ることはあり得ない。すなわち、ボンデイング位
置の座標ではなくキヤピラリ中心位置の座標を入
力し、これを目合わせに基づいて修正したキヤピ
ラリ位置信号によつてキヤピラリの位置決めを行
う従来のワイヤボンデイング装置のキヤピラリ位
置決め手段は、第２点目以降のボンデイングがセ
ツトされたチツプのボンデイング位置で正確に行
えるようにはキヤピラリの位置決めをしていない
という問題を有する。
本考案の目的は、キヤピラリ中心位置の座標で
はなくボンデイング位置そのものの座標を入力
し、これを目合わせによつて得られたボンデイン
グ位置の座標に置き換え、該置き換え後のボンデ
イング位置の座標に対応するキヤピラリ中心位置
を算出しキヤピラリ位置信号として出力するキヤ
ピラリ位置演算回路と、該キヤピラリ位置信号を
受け、これに基づきキヤピラリの位置決めを行う
キヤピラリ位置制御回路を有することによつて、
第２点目以降のボンデイングがセツトされたチツ
プのボンデイング位置で正確に行えるワイヤボン
デイング装置を提供することである。
はなくボンデイング位置そのものの座標を入力
し、これを目合わせによつて得られたボンデイン
グ位置の座標に置き換え、該置き換え後のボンデ
イング位置の座標に対応するキヤピラリ中心位置
を算出しキヤピラリ位置信号として出力するキヤ
ピラリ位置演算回路と、該キヤピラリ位置信号を
受け、これに基づきキヤピラリの位置決めを行う
キヤピラリ位置制御回路を有することによつて、
第２点目以降のボンデイングがセツトされたチツ
プのボンデイング位置で正確に行えるワイヤボン
デイング装置を提供することである。
（問題点を解決するための手段）
本考案は上記の目的を達成するために次の手段
構成を有する。すなわち、本考案のワイヤボンデ
イング装置は、ワイヤボンデイング装置におい
て、予め入力されているボンデイング位置を、目
合わせによつて得られたボンデイング位置に置き
換え、該置き換え後のボンデイング位置に対応す
るキヤピラリ中心位置を算出し、これをキヤピラ
リ位置信号として出力するキヤピラリ位置演算回
路と；前記のキヤピラリ位置信号を受け、これに
基づきキヤピラリの位置決めを行うキヤピラリ位
置制御回路と；を具備することを特徴とするワイ
ヤボンデイング装置である。
構成を有する。すなわち、本考案のワイヤボンデ
イング装置は、ワイヤボンデイング装置におい
て、予め入力されているボンデイング位置を、目
合わせによつて得られたボンデイング位置に置き
換え、該置き換え後のボンデイング位置に対応す
るキヤピラリ中心位置を算出し、これをキヤピラ
リ位置信号として出力するキヤピラリ位置演算回
路と；前記のキヤピラリ位置信号を受け、これに
基づきキヤピラリの位置決めを行うキヤピラリ位
置制御回路と；を具備することを特徴とするワイ
ヤボンデイング装置である。
（作用）
以下上記の手段構成を有する本考案のワイヤボ
ンデイング装置の作用について説明する。
ンデイング装置の作用について説明する。
本考案のワイヤボンデイング装置は、キヤピラ
リ位置演算回路とキヤピラリ位置制御回路を有し
ており、キヤピラリ位置演算回路はボンデイング
対象のチツプのタイプに基づくボンデイング位置
の座標を予め入力されており、目合わせによつて
該ボンデイング位置の座標とセツトされたチツプ
のボンデイング位置の座標にずれがあることを知
つた場合には、予め入力されているボンデイング
位置の座標を目合わせによつて得られたボンデイ
ング位置の座標に置き換え、該置き換え後のボン
デイング位置の座標とキヤピラリの先端半径に基
づいて該置き換え後のボンデイング位置の座標に
対応したキヤピラリ中心位置の座標を算出し、こ
れをキヤピラリ位置信号として出力する。
リ位置演算回路とキヤピラリ位置制御回路を有し
ており、キヤピラリ位置演算回路はボンデイング
対象のチツプのタイプに基づくボンデイング位置
の座標を予め入力されており、目合わせによつて
該ボンデイング位置の座標とセツトされたチツプ
のボンデイング位置の座標にずれがあることを知
つた場合には、予め入力されているボンデイング
位置の座標を目合わせによつて得られたボンデイ
ング位置の座標に置き換え、該置き換え後のボン
デイング位置の座標とキヤピラリの先端半径に基
づいて該置き換え後のボンデイング位置の座標に
対応したキヤピラリ中心位置の座標を算出し、こ
れをキヤピラリ位置信号として出力する。
該キヤピラリ位置信号を受けたキヤピラリ位置
制御回路は、このキヤピラリ位置信号に応じてキ
ヤピラリを移動させることにより、キヤピラリの
先端が目合わせ後のボンデイング位置でワイヤを
パツドに押し付け溶着させ得る位置にキヤピラリ
を位置決めする。
制御回路は、このキヤピラリ位置信号に応じてキ
ヤピラリを移動させることにより、キヤピラリの
先端が目合わせ後のボンデイング位置でワイヤを
パツドに押し付け溶着させ得る位置にキヤピラリ
を位置決めする。
以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置が有するキヤピラリ位置演算回路はキヤ
ピラリ中心位置の座標ではなくボンデイング位置
そのものの座標を予め入力させられ、これを目合
わせによつて得られたボンデイング位置の座標に
置き換え、該置き換え後のボンデイング位置の座
標に対応するキヤピラリ中心位置を算出してキヤ
ピラリ位置信号として出力する。該キヤピラリ演
算回路と併設されたキヤピラリ位置制御回路は前
記のキヤピラリ位置信号を受け、これに基づくキ
ヤピラリの位置決めを行うので、本考案のワイヤ
ボンデイング装置は第２点目以降のボンデイング
位置に対しても従来のワイヤボンデイング装置で
は行えなかつた正確な位置でのボンデイングを行
うことができる。
ング装置が有するキヤピラリ位置演算回路はキヤ
ピラリ中心位置の座標ではなくボンデイング位置
そのものの座標を予め入力させられ、これを目合
わせによつて得られたボンデイング位置の座標に
置き換え、該置き換え後のボンデイング位置の座
標に対応するキヤピラリ中心位置を算出してキヤ
ピラリ位置信号として出力する。該キヤピラリ演
算回路と併設されたキヤピラリ位置制御回路は前
記のキヤピラリ位置信号を受け、これに基づくキ
ヤピラリの位置決めを行うので、本考案のワイヤ
ボンデイング装置は第２点目以降のボンデイング
位置に対しても従来のワイヤボンデイング装置で
は行えなかつた正確な位置でのボンデイングを行
うことができる。
（実施例）
以下本考案実施例のワイヤボンデイング装置を
図面に基づいて説明する。第１図は本考案実施例
のワイヤボンデイング装置のキヤピラリ位置決め
手段の構成図、第２図は本考案実施例のキヤピラ
リ中心位置修正過程を説明する図である。
図面に基づいて説明する。第１図は本考案実施例
のワイヤボンデイング装置のキヤピラリ位置決め
手段の構成図、第２図は本考案実施例のキヤピラ
リ中心位置修正過程を説明する図である。
第１図において１は目合わせ回路、２は実ボン
デイング位置信号、３はキヤピラリ位置演算回
路、４はキヤピラリ位置信号、５はキヤピラリ位
置制御回路、６はキヤピラリ駆動信号、７はキヤ
ピラリ、７ａはキヤピラリ７の駆動部、８はワイ
ヤである。
デイング位置信号、３はキヤピラリ位置演算回
路、４はキヤピラリ位置信号、５はキヤピラリ位
置制御回路、６はキヤピラリ駆動信号、７はキヤ
ピラリ、７ａはキヤピラリ７の駆動部、８はワイ
ヤである。
キヤピラリ位置演算回路３はボンデイング対象
のチツプのタイプに基づき、第２図に示した第ｎ
番目のボンデイング位置１０（ｎ≧１）、第ｎ＋
１番目のボンデイング位置１１の各座標を予め入
力されている。ボンデイングの開始とともに目合
わせが行われると、目合わせ回路１が目合わせ後
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２を検出し
てその座標を実ボンデイング位置信号２としてキ
ヤピラリ位置演算回路３へ送出する。該実ボンデ
イング位置信号２を受けたキヤピラリ位置演算回
路３は、入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位
置１１の座標を目合わせ後の第ｎ＋１番目のボン
デイング位置１２の座標と置き換え、この座標お
よび第ｎ番目のボンデイング位置１０の座標なら
びにキヤピラリの先端半径ｒとから目合わせ後の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に対応した
キヤピラリ中心位置１６の座標を算出し、キヤピ
ラリ位置信号４として出力する。該キヤピラリ位
置信号４を受けたキヤピラリ位置制御回路５は、
キヤピラリ位置信号４に応じたキヤピラリ駆動信
号６をキヤピラリ７の駆動部７ａへ送出する。
のチツプのタイプに基づき、第２図に示した第ｎ
番目のボンデイング位置１０（ｎ≧１）、第ｎ＋
１番目のボンデイング位置１１の各座標を予め入
力されている。ボンデイングの開始とともに目合
わせが行われると、目合わせ回路１が目合わせ後
の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２を検出し
てその座標を実ボンデイング位置信号２としてキ
ヤピラリ位置演算回路３へ送出する。該実ボンデ
イング位置信号２を受けたキヤピラリ位置演算回
路３は、入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位
置１１の座標を目合わせ後の第ｎ＋１番目のボン
デイング位置１２の座標と置き換え、この座標お
よび第ｎ番目のボンデイング位置１０の座標なら
びにキヤピラリの先端半径ｒとから目合わせ後の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に対応した
キヤピラリ中心位置１６の座標を算出し、キヤピ
ラリ位置信号４として出力する。該キヤピラリ位
置信号４を受けたキヤピラリ位置制御回路５は、
キヤピラリ位置信号４に応じたキヤピラリ駆動信
号６をキヤピラリ７の駆動部７ａへ送出する。
キヤピラリ７はキヤピラリ駆動信号６に応じて
移動することによりその中心位置を目合わせ後の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に対応した
キヤピラリ中心位置１６に合致させ、第ｎ番目の
ボンデイング位置１０から目合わせ後の第ｎ＋１
番目のボンデイング位置１２に対応したキヤピラ
リ中心位置１６に向かつてワイヤ８を引つ張り、
これを目合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング
位置１２に位置しているキヤピラリ先端でパツド
に押し付け溶着する。
移動することによりその中心位置を目合わせ後の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に対応した
キヤピラリ中心位置１６に合致させ、第ｎ番目の
ボンデイング位置１０から目合わせ後の第ｎ＋１
番目のボンデイング位置１２に対応したキヤピラ
リ中心位置１６に向かつてワイヤ８を引つ張り、
これを目合わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング
位置１２に位置しているキヤピラリ先端でパツド
に押し付け溶着する。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置が有するキヤピラリ位置演算回路はキヤ
ピラリ中心位置の座標ではなくボンデイング位置
そのものの座標を予め入力させられ、これを目合
わせによつて得られたボンデイング位置の座標に
置き換え、該置き換え後のボンデイング位置の座
標に対応するキヤピラリ中心位置を算出してキヤ
ピラリ位置信号として出力する。該キヤピラリ演
算回路と併設されたキヤピラリ位置制御回路は前
記のキヤピラリ位置信号を受け、これに基づくキ
ヤピラリの位置決めを行うので、本考案のワイヤ
ボンデイング装置は第２点目以降のボンデイング
位置に対しても従来のワイヤボンデイング装置で
は行えなかつた正確な位置でのボンデイングを行
うことができるという利点を有する。
ング装置が有するキヤピラリ位置演算回路はキヤ
ピラリ中心位置の座標ではなくボンデイング位置
そのものの座標を予め入力させられ、これを目合
わせによつて得られたボンデイング位置の座標に
置き換え、該置き換え後のボンデイング位置の座
標に対応するキヤピラリ中心位置を算出してキヤ
ピラリ位置信号として出力する。該キヤピラリ演
算回路と併設されたキヤピラリ位置制御回路は前
記のキヤピラリ位置信号を受け、これに基づくキ
ヤピラリの位置決めを行うので、本考案のワイヤ
ボンデイング装置は第２点目以降のボンデイング
位置に対しても従来のワイヤボンデイング装置で
は行えなかつた正確な位置でのボンデイングを行
うことができるという利点を有する。
第１図は本考案実施例のワイヤボンデイング装
置のキヤピラリ位置決め手段の構成図、第２図は
本考案実施例のキヤピラリ中心位置修正過程を説
明する図、第３図はボンデイング位置とキヤピラ
リとの位置関係を示す図である。 １……目合わせ回路、２……実ボンデイング位
置信号、３……キヤピラリ位置演算回路、４……
キヤピラリ位置信号、５……キヤピラリ位置制御
回路、６……キヤピラリ駆動信号、７……キヤピ
ラリ、７ａ……駆動部、８……ワイヤ、１０……
第ｎ番目のボンデイング位置、１１……入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置、１２……目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置、１５
……入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１
１に対応したキヤピラリ中心位置、１６……目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に
対応したキヤピラリ中心位置、１７……修正キヤ
ピラリ中心位置、１８……第ｎ＋１番目の修正ボ
ンデイング位置、２１……キヤピラリの中心軸、
２２……キヤピラリ先端、３１……第ｎ＋１番目
のボンデイング位置、３５……第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置３１に対応したキヤピラリ中心位
置、dx……キヤピラリ中心とキヤピラリ先端と
のｘ方向のずれ、dy……キヤピラリ中心とキヤ
ピラリ先端とのｙ方向のずれ、ｒ……キヤピラリ
先端半径。
置のキヤピラリ位置決め手段の構成図、第２図は
本考案実施例のキヤピラリ中心位置修正過程を説
明する図、第３図はボンデイング位置とキヤピラ
リとの位置関係を示す図である。 １……目合わせ回路、２……実ボンデイング位
置信号、３……キヤピラリ位置演算回路、４……
キヤピラリ位置信号、５……キヤピラリ位置制御
回路、６……キヤピラリ駆動信号、７……キヤピ
ラリ、７ａ……駆動部、８……ワイヤ、１０……
第ｎ番目のボンデイング位置、１１……入力時の
第ｎ＋１番目のボンデイング位置、１２……目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置、１５
……入力時の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１
１に対応したキヤピラリ中心位置、１６……目合
わせ後の第ｎ＋１番目のボンデイング位置１２に
対応したキヤピラリ中心位置、１７……修正キヤ
ピラリ中心位置、１８……第ｎ＋１番目の修正ボ
ンデイング位置、２１……キヤピラリの中心軸、
２２……キヤピラリ先端、３１……第ｎ＋１番目
のボンデイング位置、３５……第ｎ＋１番目のボ
ンデイング位置３１に対応したキヤピラリ中心位
置、dx……キヤピラリ中心とキヤピラリ先端と
のｘ方向のずれ、dy……キヤピラリ中心とキヤ
ピラリ先端とのｙ方向のずれ、ｒ……キヤピラリ
先端半径。
Claims (1)
- ワイヤボンデイング装置において、予め入力さ
れているボンデイング位置を、目合わせによつて
得られたボンデイング位置に置き換え、該置き換
え後のボンデイング位置に対応するキヤピラリ中
心位置を算出し、これをキヤピラリ位置信号とし
て出力するキヤピラリ位置演算回路と；前記のキ
ヤピラリ位置信号を受け、これに基づきキヤピラ
リの位置決めを行うキヤピラリ位置制御回路と；
を具備することを特徴とするワイヤボンデイング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987144174U JPH0528764Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987144174U JPH0528764Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448030U JPS6448030U (ja) | 1989-03-24 |
| JPH0528764Y2 true JPH0528764Y2 (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=31411643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987144174U Expired - Lifetime JPH0528764Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0528764Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-21 JP JP1987144174U patent/JPH0528764Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6448030U (ja) | 1989-03-24 |
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