JPH0529453A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシング装置において切削液により切削ダ
ストをより有効に除去できるようにする。 【構成】 円形のブレードに近接してその中心部側から
外周側に向けて切削液を噴出するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置、例え
ば半導体ウェハをダイシングしてペレタイズするダイシ
ング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハのペレタイズは、円形ブレ
ードを高速回転させて該円形ブレードにより半導体ウェ
ハを縦横に切削することにより行われ、その高速回転円
形ブレードによる半導体ウェハの切削には円形ブレード
の冷却と、切削により生じるダストの除去のために切削
液、一般に純水の供給が不可欠である。

【０００３】図５（Ａ）、（Ｂ）は従来のダイシング装
置の要部を示すもので、（Ａ）は回転円形ブレードに向
って視た正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図で
ある。尚、この図において便宜上円形ブレードと該円形
ブレードが取り付けられた円板及びダイシングされる半
導体ウェハのみ実線で示し、他の部材を２点鎖線で示し
た。

【０００４】図面において、１は回転板、２は該回転板
１を回転スピンドル３に固定するナット、４は上記回転
板１に固定されたドーナツ状のブレード（円形ブレー
ド）で、高速回転しながら半導体ウェハ５を切削してダ
イシングする。６はカバーで、２つの切削液噴出部７
ａ、７ｂを有している。また、該カバー６には切削液噴
出部７ｃ、７ｃ、７ｃが形成された切削液供給管８、８
が取り付けられている。従来のダイシング装置は、図５
に示すように、円形ブレード４の外側から該円形ブレー
ド４に向けて切削液を供給するようになっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のダイ
シング装置においては、図５に示すように、円形ブレー
ド４の外側から円形ブレード４に向けて切削液を供給す
るようになっていたので、切削液による円形ブレード４
に対する冷却効果は充分に得ることができたが、切削に
より生じたダストを有効に除去する効果は充分には得ら
れなかった。そのため、ダイシング不良が生じたり、円
形ブレードの摩耗が激しいという問題があった。

【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、切削液により切削ダストを迅速、確
実に除去できるようにすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明ダイシング装置
は、円形ブレードに近接してその中心側から外側に向け
て切削液を噴出する切削液噴出手段を設けたことを特徴
とする。

【０００８】

【実施例】以下、本発明ダイシング装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図１（Ａ）、（Ｂ）は本発明ダ
イシング装置の一つの実施例の要部を示す正面図であ
る。尚、カバーの図示は便宜上省略した。図面におい
て、１は回転板で、その周縁部に円形ブレード４が固定
されている。

【０００９】９ａは回転板１の前側に配置された切削液
供給体、９ｂは回転板１の後側に配置された切削液供給
体で、共に外周面に放射状に切削液を噴出する噴出部
７、７、…（点で示している）を複数有している。切削
液供給体９ａ、９ｂは、その両方又はそのうちの一方が
固定されている場合もあれば両方又は一方が回転板１と
一体的に回転する場合もある。

【００１０】本ダイシング装置においては、切削液供給
体９ａ、９ｂの外周面の切削液噴出部７、７、…から放
射状に切削液を噴出しながらダイシングを行う。従っ
て、切削液は円形ブレード４を冷却すると共に、外側に
向う勢いにより切削ダスト１０を吹き飛ばす。依って、
切削ダスト１０を迅速且つ確実に除去することができ
る。

【００１１】図２、図３は図１に示すダイシング装置の
切削液噴出手段の一つの具体例を示すもので、図２は断
面図、図３は切削液供給経路図である。１１はエアース
ピンドルで、エアーを介して軸受１２に軸支されてお
り、図示しないモータにより高速回転せしめられてい
る。

【００１２】１３ａ、１３ｂは軸受１２内に設けられた
冷却液供給経路であり、この中を軸受１２自身を冷却す
る冷却液が通るが、本ダイシング装置においてはその冷
却液を切削液としても用いるのである。そして、本実施
例では冷却液供給経路１３ａと１３ｂとは中心軸からの
距離が互いに異なっており、１３ａの方が１３ｂよりも
遠い。

【００１３】切削液供給体９ａ、９ｂは本具体例におい
ては回転板１と共にエアースピンドル１１に一体的に固
定されており、従って回転板１、円形ブレード４と一体
に回転する。２は取付用のナットである。

【００１４】１４は切削液供給体９ｂの内部に形成され
たリング状の切削液供給腔、１５、１５、…は該切削液
供給腔１４から放射状に外側に延びる切削液噴出孔であ
り、該切削液噴出孔１５、１５、…の切削液供給体９ｂ
外周面に開口する部分が切削液噴出部７にあたる。上記
切削液供給腔１４は切削液供給体９ｂの背面側（図２に
おける右側）に開口する孔１６を有し、該孔１６を通じ
て冷却水供給経路１３ｂからの切削液の供給を受ける。

【００１５】１７は切削液供給体９ｂ、９ａ及び回転体
に形成された切削液中継孔で、上記軸受１２の冷却水供
給経路１３ａからの切削液を切削液供給体９ａの後述す
る切削液供給腔（１８）に供給するための中継をする。
１８は上記中継孔１７に連通したところの切削液供給体
９ａの内部に形成されたリング状の切削液供給腔、１
９、１９は切削液供給腔１８から放射状に外側に延びる
切削液噴出孔であり、該切削液噴出孔１９、１９、…の
切削液供給体９ａ外周面に開口する部分が切削液噴出部
７にあたる。尚、図３においては、中継孔１７を示すラ
インの切削液供給腔１８を示すラインと交わる部分を便
宜上敢えて切欠いて示した。

【００１６】このような切削液噴出手段によれば、軸受
１２の冷却液供給経路１３ａ、１３ｂから供給される純
水を切削液として切削液供給体９ａ、９ｂにより円形ブ
レード４の両側から放射状に円形ブレード４の先端側に
向け噴出することができる。そして、軸受１２の冷却水
をそのまま切削液として利用でき、経済的である。

【００１７】図５は本発明ダイシング装置の他の実施例
を示す正面図である。本実施例は、切削液の噴出方向を
切削液供給体９ａ、９ｂの周面の接線方向に近づけたも
のであり、これにより切削ダスト除去効果をより強める
ことができる。尚、この切削液の噴出方向は、切削液噴
出孔の向き、形状により任意に設定することができるの
で接線方向あるいはそれに近い向きにすることは容易に
為し得る。

【００１８】尚、上記実施例においては切削液噴出手段
が円形ブレード４の両側に設けられていたが、片側だけ
に設けるようにしても良い。

【００１９】

【発明の効果】本発明ダイシング装置は、回転円形ブレ
ードの少なくとも一方の側に、円形ブレードに近接して
その内側から外周側に向けて切削液を噴出する切削液噴
出手段を設けたことを特徴とするものである。従って、
本発明ダイシング装置によれば円形ブレードの中心部側
から外周側に向けて噴出される切削液により切削ダスト
を有効に吹き飛ばすことができ、切削ダストの迅速且つ
確実な除去ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）、（Ｂ）は本発明ダイシング装置の一つ
の実施例の要部を示すもので、（Ａ）は正面図、（Ｂ）
は側面図である。

【図２】切削液噴出手段の具体例を示す断面図である。

【図３】図２に示す切削液噴出手段の切削液の供給経路
を示す切削液供給経路図である。

【図４】本発明ダイシング装置の他の実施例の要部を示
す正面図である。

【図５】（Ａ）、（Ｂ）は従来例の要部を示すもので、
（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線視断面図で
ある。

【符号の説明】

４ 円形ブレード ７ 切削液噴出部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 円形ブレードの少なくとも一方の側に近
   接してその中心部から外周側に向けて切削液を噴出する
   切削液噴出手段を設けたことを特徴とするダイシング装
   置