JPH05296933A - Ｉｃｐ発光分光分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPH05296933A JPH05296933A JP10298092A JP10298092A JPH05296933A JP H05296933 A JPH05296933 A JP H05296933A JP 10298092 A JP10298092 A JP 10298092A JP 10298092 A JP10298092 A JP 10298092A JP H05296933 A JPH05296933 A JP H05296933A
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- JP
- Japan
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- ultrasonic
- sample
- nebulizer
- plasma torch
- icp emission
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置としてのコストの大幅な上昇を招来する
ことなく、試料エアロゾルの発生量を増やし、プラスズ
マトーチでの検出感度を高める。 【構成】 超音波ネブライザ１を有するＩＣＰ発光分光
分析装置において、液体試料Ｓがそれぞれに供給される
複数の超音波振動子７と、各超音波振動子７で生成され
る試料エアロゾルを合流して単一のプラズマトーチ２に
導く合流部５とを備えた。
ことなく、試料エアロゾルの発生量を増やし、プラスズ
マトーチでの検出感度を高める。 【構成】 超音波ネブライザ１を有するＩＣＰ発光分光
分析装置において、液体試料Ｓがそれぞれに供給される
複数の超音波振動子７と、各超音波振動子７で生成され
る試料エアロゾルを合流して単一のプラズマトーチ２に
導く合流部５とを備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣＰ（高周波誘導結
合プラズマ）発光分光分析装置に係り、詳しくは、超音
波ネブライザと、この超音波ネブライザから試料エアロ
ゾルが導入されるプラスズマトーチとを有するＩＣＰ発
光分光分析装置に関する。
合プラズマ）発光分光分析装置に係り、詳しくは、超音
波ネブライザと、この超音波ネブライザから試料エアロ
ゾルが導入されるプラスズマトーチとを有するＩＣＰ発
光分光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣＰ発光分光分析装置には、超音波ネ
ブライザにより液体試料をエアロゾル化して、プラズマ
トーチに導入するようにしたものがある。
ブライザにより液体試料をエアロゾル化して、プラズマ
トーチに導入するようにしたものがある。
【０００３】図３に、従来のこの種のＩＣＰ発光分光分
析装置の要部の構成を示す。同図を参照して、２１は超
音波ネブライザであり、２２はプラズマトーチである。
析装置の要部の構成を示す。同図を参照して、２１は超
音波ネブライザであり、２２はプラズマトーチである。
【０００４】超音波ネブライザ２１は、超音波振動によ
り液体試料を霧化するネブライザ本体２３と、脱溶媒部
２４とからなる。
り液体試料を霧化するネブライザ本体２３と、脱溶媒部
２４とからなる。
【０００５】ネブライザ本体２３は、霧化室２５内に超
音波振動子２６を設けたもので、霧化室２５にはキャリ
アガス送入管２７を通じてキャリアガスが送入されると
ともに、超音波振動子２６の表面には、試料容器２８か
らポンプ２９の駆動により供給管３０を通じて液体試料
Ｓが送り込まれ、液体試料Ｓは超音波振動子２６の振動
により霧化し、その試料エアロゾルはキャリアガスとと
もに脱溶媒部２４へ送出される。
音波振動子２６を設けたもので、霧化室２５にはキャリ
アガス送入管２７を通じてキャリアガスが送入されると
ともに、超音波振動子２６の表面には、試料容器２８か
らポンプ２９の駆動により供給管３０を通じて液体試料
Ｓが送り込まれ、液体試料Ｓは超音波振動子２６の振動
により霧化し、その試料エアロゾルはキャリアガスとと
もに脱溶媒部２４へ送出される。
【０００６】脱溶媒部２４は、前段の加熱段２４ａと、
後段の冷却段２４ｂとからなり、加熱段２４ａでは、ネ
ブライザ本体２３からの試料エアロゾルが加熱乾燥され
て細粒子化され、冷却段２４ｂでは、冷却により気化溶
媒が結露して試料エアロゾルから取り除かれる。
後段の冷却段２４ｂとからなり、加熱段２４ａでは、ネ
ブライザ本体２３からの試料エアロゾルが加熱乾燥され
て細粒子化され、冷却段２４ｂでは、冷却により気化溶
媒が結露して試料エアロゾルから取り除かれる。
【０００７】このようにして脱溶媒部２４を通過した試
料エアロゾルは、プラズマトーチ２２に搬送される。
料エアロゾルは、プラズマトーチ２２に搬送される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波ネブ
ライザは、霧吹き方式のネブライザと比べた場合には、
粒径の細かい試料エアロゾルを得ることができ、また、
キャリアガスの供給量には関係なく試料エアロゾルの量
を調整できる等の利点があるものの、従来のものでは、
発生可能な試料エアロゾルの量に限度があり、そのた
め、さらに試料エアロゾルの発生量を増やして検出感度
を高めたいという要請に十分に応えることができない。
ライザは、霧吹き方式のネブライザと比べた場合には、
粒径の細かい試料エアロゾルを得ることができ、また、
キャリアガスの供給量には関係なく試料エアロゾルの量
を調整できる等の利点があるものの、従来のものでは、
発生可能な試料エアロゾルの量に限度があり、そのた
め、さらに試料エアロゾルの発生量を増やして検出感度
を高めたいという要請に十分に応えることができない。
【０００９】これに対しては、超音波ネブライザに大出
力の超音波振動子を使用して試料エアロゾルの発生量を
増やすことが考えられるのであるが、そのような超音波
振動子では非常にコストがかさむことになって、実際の
製品としての装置には採用しがたい。
力の超音波振動子を使用して試料エアロゾルの発生量を
増やすことが考えられるのであるが、そのような超音波
振動子では非常にコストがかさむことになって、実際の
製品としての装置には採用しがたい。
【００１０】したがって、本発明においては、コストの
大幅な上昇を招来することなく、超音波ネブライザでの
試料エアロゾルの発生量を増やし、プラスズマトーチで
の検出感度を高めることができるようにすることを課題
としている。
大幅な上昇を招来することなく、超音波ネブライザでの
試料エアロゾルの発生量を増やし、プラスズマトーチで
の検出感度を高めることができるようにすることを課題
としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
達成するために、超音波ネブライザと、この超音波ネブ
ライザから試料エアロゾルが導入されるプラスズマトー
チとを有するＩＣＰ発光分光分析装置において、前記超
音波ネブライザが、液体試料がそれぞれに供給される複
数の超音波振動子と、各超音波振動子で生成される試料
エアロゾルを合流して前記プラズマトーチに導入する合
流部とを備えたことを特徴としている。
達成するために、超音波ネブライザと、この超音波ネブ
ライザから試料エアロゾルが導入されるプラスズマトー
チとを有するＩＣＰ発光分光分析装置において、前記超
音波ネブライザが、液体試料がそれぞれに供給される複
数の超音波振動子と、各超音波振動子で生成される試料
エアロゾルを合流して前記プラズマトーチに導入する合
流部とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
【作用】上記の構成によれば、複数の超音波振動子の表
面で発生した試料エアロゾルが合流部で合流されてプラ
スズマトーチに導入されるから、各超音波振動子が小出
力のものであっても、全体としては多量の試料エアロゾ
ルが得られるとともに、これがプラズマトーチに導入さ
れることから、高感度の検出が可能になる。
面で発生した試料エアロゾルが合流部で合流されてプラ
スズマトーチに導入されるから、各超音波振動子が小出
力のものであっても、全体としては多量の試料エアロゾ
ルが得られるとともに、これがプラズマトーチに導入さ
れることから、高感度の検出が可能になる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の詳細を図示の各実施例に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】実施例１ 図１は本発明の実施例１に係るＩＣＰ発光分光分析装置
の要部の構成を示す構成図である。
の要部の構成を示す構成図である。
【００１５】図１を参照して説明するように、実施例１
のＩＣＰ発光分光分析装置は、基本的には、超音波ネブ
ライザ１と、プラズマトーチ２とを備えており、かつ、
超音波ネブライザ１が、ネブライザ本体と、脱溶媒部４
とからなる点は、前記した従来例と同様であり、また、
脱溶媒部４が、ネブライザ本体からの試料エアロゾルを
加熱する前段の加熱段４ａと、加熱された試料エアロゾ
ルを冷却する後段の冷却段４ｂとからなることについて
も、従来例と同様である。
のＩＣＰ発光分光分析装置は、基本的には、超音波ネブ
ライザ１と、プラズマトーチ２とを備えており、かつ、
超音波ネブライザ１が、ネブライザ本体と、脱溶媒部４
とからなる点は、前記した従来例と同様であり、また、
脱溶媒部４が、ネブライザ本体からの試料エアロゾルを
加熱する前段の加熱段４ａと、加熱された試料エアロゾ
ルを冷却する後段の冷却段４ｂとからなることについて
も、従来例と同様である。
【００１６】そして、実施例１に係るＩＣＰ発光分光分
析装置が従来のものと異なって特徴としている構造は、
超音波ネブライザ１においては、複数（図示例では３
個）のネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃが並列的に設け
られているとともに、各ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３
Ｃで発生した試料エアロゾルが合流部５で合流されたう
えで、単一の脱溶媒部４に流入されてプラスズマトーチ
２に導入されるようになっていることにある。
析装置が従来のものと異なって特徴としている構造は、
超音波ネブライザ１においては、複数（図示例では３
個）のネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃが並列的に設け
られているとともに、各ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３
Ｃで発生した試料エアロゾルが合流部５で合流されたう
えで、単一の脱溶媒部４に流入されてプラスズマトーチ
２に導入されるようになっていることにある。
【００１７】各ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃについ
て見ると、いずれも従来のネブライザ本体２３と同様
に、霧化室６内に超音波振動子７を設けたもので、各霧
化室６にはそれぞれキャリアガス送入管８と、液体試料
Ｓの供給管９とが連通接続されており、各霧化室６に
は、対応するキャリアガス送入管８を通じてキャリアガ
スが送入されるとともに、各超音波振動子７の表面に
は、対応する供給管９を通じて試料容器１０からの液体
試料Ｓがポンプ１１の駆動により送り込まれるようにな
っている。
て見ると、いずれも従来のネブライザ本体２３と同様
に、霧化室６内に超音波振動子７を設けたもので、各霧
化室６にはそれぞれキャリアガス送入管８と、液体試料
Ｓの供給管９とが連通接続されており、各霧化室６に
は、対応するキャリアガス送入管８を通じてキャリアガ
スが送入されるとともに、各超音波振動子７の表面に
は、対応する供給管９を通じて試料容器１０からの液体
試料Ｓがポンプ１１の駆動により送り込まれるようにな
っている。
【００１８】各キャリアガス送入管８にはそれぞれ流量
調整バルブ１２が設けられ、このバルブ１２により、各
霧化室６へのキャリアガス供給量が各別に制御される。
調整バルブ１２が設けられ、このバルブ１２により、各
霧化室６へのキャリアガス供給量が各別に制御される。
【００１９】上記の構成において、各ネブライザ本体３
Ａ，３Ｂ，３Ｃでは、液体試料Ｓが超音波振動子７の表
面に供給されることで、その液体試料Ｓは超音波振動子
７の超音波振動によりエアロゾル化される。
Ａ，３Ｂ，３Ｃでは、液体試料Ｓが超音波振動子７の表
面に供給されることで、その液体試料Ｓは超音波振動子
７の超音波振動によりエアロゾル化される。
【００２０】各ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃで発生
した試料エアロゾルは、それぞれ霧化室６の出口から流
出させられるが、合流部５で合流されて脱溶媒部４に流
入されるとともに、この脱溶媒部４を経てプラズマトー
チ２に搬送される。このようにして各超音波振動子７で
生成された試料エアロゾルが合流部５で合流されるの
で、各超音波振動子７が小出力のものであっても、全体
としては多量の試料エアロゾルが得られ、これが単一の
プラズマトーチ２に導入されることになるから、プラス
ズマトーチ２での高感度の検出が可能になる。
した試料エアロゾルは、それぞれ霧化室６の出口から流
出させられるが、合流部５で合流されて脱溶媒部４に流
入されるとともに、この脱溶媒部４を経てプラズマトー
チ２に搬送される。このようにして各超音波振動子７で
生成された試料エアロゾルが合流部５で合流されるの
で、各超音波振動子７が小出力のものであっても、全体
としては多量の試料エアロゾルが得られ、これが単一の
プラズマトーチ２に導入されることになるから、プラス
ズマトーチ２での高感度の検出が可能になる。
【００２１】実施例２ 図２は、本発明の実施例２に係るネブライザ本体の断面
図である。実施例１にあっては、図１を参照するように
一つの霧化室６内に１個の超音波振動子７を設けたネブ
ライザ本体３Ａ（もしくは３Ｂ，３Ｃ）が示されている
が、この実施例２においては図２を参照するように、一
つの霧化室６内に２個の超音波振動子７，７を有するネ
ブライザ本体３Ｄを構成してもよい。このネブライザ本
体３Ｄでは、各超音波振動子７で発生した試料エアロゾ
ルは、霧化室６内で混合され、出口６ａから脱溶媒部に
流入されることになる。したがって、この実施例２で
は、霧化室６が試料エアロゾルの合流部としても作用す
ることになる。霧化室６には、単一のキャリアガス送入
管８と、２本の液体試料の供給管９，９とが連通接続さ
れる。１３は、冷却ブロックである。
図である。実施例１にあっては、図１を参照するように
一つの霧化室６内に１個の超音波振動子７を設けたネブ
ライザ本体３Ａ（もしくは３Ｂ，３Ｃ）が示されている
が、この実施例２においては図２を参照するように、一
つの霧化室６内に２個の超音波振動子７，７を有するネ
ブライザ本体３Ｄを構成してもよい。このネブライザ本
体３Ｄでは、各超音波振動子７で発生した試料エアロゾ
ルは、霧化室６内で混合され、出口６ａから脱溶媒部に
流入されることになる。したがって、この実施例２で
は、霧化室６が試料エアロゾルの合流部としても作用す
ることになる。霧化室６には、単一のキャリアガス送入
管８と、２本の液体試料の供給管９，９とが連通接続さ
れる。１３は、冷却ブロックである。
【００２２】なお、実施例１においては図１を参照する
ように、単一の試料容器１０から同一の液体試料Ｓを各
ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃに供給するようにして
あったが、別個の試料容器から異なる液体試料Ｓをそれ
ぞれのネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃに供給するよう
にしてもよく、その場合は、標準添加法による分析を容
易に行える。
ように、単一の試料容器１０から同一の液体試料Ｓを各
ネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃに供給するようにして
あったが、別個の試料容器から異なる液体試料Ｓをそれ
ぞれのネブライザ本体３Ａ，３Ｂ，３Ｃに供給するよう
にしてもよく、その場合は、標準添加法による分析を容
易に行える。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の超音波振動子で発生する試料エアロゾルを合流する
ことで、多量の試料エアロゾルをプラズマトーチに導入
することができ、この多量の試料エアロゾルを供給する
ことにより、プラスズマトーチでの検出感度を高めるこ
とができる。
数の超音波振動子で発生する試料エアロゾルを合流する
ことで、多量の試料エアロゾルをプラズマトーチに導入
することができ、この多量の試料エアロゾルを供給する
ことにより、プラスズマトーチでの検出感度を高めるこ
とができる。
【００２４】しかも、超音波振動子としては、特に大出
力のものを使用する必要がないから、従来と同様、小出
力のものでもよいことになって、結果、コストの大幅な
上昇を招来することがなくなる。
力のものを使用する必要がないから、従来と同様、小出
力のものでもよいことになって、結果、コストの大幅な
上昇を招来することがなくなる。
【図１】本発明の実施例１に係るＩＣＰ発光分光分析装
置の要部の構成図である。
置の要部の構成図である。
【図２】本発明の実施例２に係るネブライザ本体の断面
図である。
図である。
【図３】従来例に係るＩＣＰ発光分光分析装置の要部の
構成図である。
構成図である。
１ 超音波ネブライザ ２ プラズマトーチ ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ ネブライザ本体 ４ 脱溶媒部 ５ 合流部 ６ 霧化室 ７ 超音波振動子
Claims (1)
- 【請求項１】 超音波ネブライザと、この超音波ネブラ
イザから試料エアロゾルが導入されるプラスズマトーチ
とを有するＩＣＰ発光分光分析装置において、 前記超音波ネブライザが、液体試料がそれぞれに供給さ
れる複数の超音波振動子と、各超音波振動子で生成され
る試料エアロゾルを合流して前記プラズマトーチに導入
する合流部とを備えていることを特徴とするＩＣＰ発光
分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10298092A JPH05296933A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10298092A JPH05296933A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296933A true JPH05296933A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14341881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10298092A Pending JPH05296933A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05296933A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6048552B1 (ja) * | 2015-08-21 | 2016-12-21 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| CN110865068A (zh) * | 2018-08-28 | 2020-03-06 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 电感耦合等离子体发射光谱仪高电离能元素进样系统 |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP10298092A patent/JPH05296933A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6048552B1 (ja) * | 2015-08-21 | 2016-12-21 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| WO2017033796A1 (ja) * | 2015-08-21 | 2017-03-02 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| EP3236243A4 (en) * | 2015-08-21 | 2018-01-10 | Ias Inc. | System for analyzing online-transferred assay samples |
| US10024801B2 (en) | 2015-08-21 | 2018-07-17 | Ias Inc. | Analysis system for online-transferred analysis sample |
| CN110865068A (zh) * | 2018-08-28 | 2020-03-06 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 电感耦合等离子体发射光谱仪高电离能元素进样系统 |
| CN110865068B (zh) * | 2018-08-28 | 2024-09-17 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 电感耦合等离子体发射光谱仪高电离能元素进样系统 |
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