JPH052973A

JPH052973A - 静電リレー

Info

Publication number: JPH052973A
Application number: JP15191991A
Authority: JP
Inventors: Koichi Aizawa; 浩一相澤; Atsushi Sakai; 淳阪井; Keiji Kakinote; 啓治柿手; Hiromi Nishimura; 広海西村; Fumihiro Kasano; 文宏笠野; Takayoshi Awai; 崇善粟井
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1991-06-24
Filing date: 1991-06-24
Publication date: 1993-01-08

Abstract

(57)【要約】【目的】外部の電磁界に影響され難く、かつ、熱衝撃
に強く、さらに、接点間耐圧の向上や駆動電圧の低下が
図れる静電リレーを提供する。【構成】可動側基体Ａの裏側に設けられた可動接点２
と固定側基体Ｂの表側に設けられた固定接点３が対面す
るようにして前記可動側基体Ａと固定側基体Ｂとが配置
され、前記可動側基体Ａが裏面に前記可動接点２を有す
る可動部１２とこの可動部１２を可動接点２と固定接点
３が接離する変位可能に支持する支持部１３とを備えて
おり、前記両基体Ａ，Ｂにおける駆動電極１６，２２へ
の駆動電圧印加により発生する静電力で前記可動部１２
が変位して接点の接離がなされるようになっている静電
リレーにおいて、前記可動側基体Ａと固定側基体Ｂとが
ともに導電性材料からなっており、固定側駆動電極２２
と可動側駆動電極１６の間に変位の際の静電力を強める
エレクトレット８が設けられていることを特徴とする静
電リレー１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、静電力（クーロン
力）を利用して接点の接離を行う静電リレーに関する。

【０００２】

【従来の技術】静電リレーは、電磁リレーとは違って電
磁コイルを必要とせず、より小型化が図れることから、
開発が盛んに進められている。素子サイズ１０ｍｍ□以
下のものが可能である。図８および図９は、従来の静電
リレーをあらわす。この静電リレー１９１では、可動側
基体Ａの裏側に設けられた可動接点１９４と固定側基体
Ｂの表側に設けられた固定接点１９７が対面するように
して前記可動側基体Ａと固定側基体Ｂが配置されてい
る。これら両基体Ａ，ＢはスペーサＣを介して接合され
ている。

【０００３】可動側基体Ａは裏面に可動接点１９４を備
えた可動板（可動部）１９２とこの可動板１９２を可動
接点１９４と固定接点１９７が接離する変位可能に支持
する支持部（枠部）１９３からなる。そして、可動側基
体Ａの駆動電極を兼ねる可動板１９２と固定側基体Ｂの
駆動電極１９８の間への駆動電圧印加により発生する静
電力で前記可動板１９２が固定側基体Ｂに近づいて前記
両接点１９４，１９７が接触し、静電力の消滅に伴い前
記可動板１９２が自身のバネ性で元の水平状態に復元す
ることにより固定側基体Ｂから遠ざかり前記両接点１９
４，１９７が離れるようになっている。

【０００４】可動基体Ａはシリコン基板を選択エッチン
グ等の微細加工手段で加工することにより必要な構造部
分の作り込みがなされており、一方、固定側基体Ｂはガ
ラス基板である。可動接点１９４や固定接点１９７、あ
るいは、固定側駆動電極１９８は、金属薄膜形成・パタ
ーンニング等により形成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような構造およ
び動作から分かるように、静電リレーは、写真製版技術
や微細加工技術等の半導体素子の製造技術を利用して製
造することができるので、極めて小型のものが製造で
き、従来の電磁リレーに比べて体積を１／１０以下にす
ることも可能になり、また、高速動作が可能で、使用時
の発熱が非常に小さく、低コストで大量生産することが
できる等の利点がある。

【０００６】しかしながら、上記の静電リレーは、外部
の電磁界に影響されやすいという問題や熱衝撃に弱いと
いう問題がある。上記の静電リレーは、固定側基体Ｂの
ガラス基板が絶縁材であるため、外部からの電磁誘導が
強く影響する場や強電界の場に静電リレーが置かれた場
合、駆動電圧による静電力が変動して誤動作するのであ
る。

【０００７】また、可動側基体Ａのシリコン基板と固定
側基体Ｂのガラス基板は熱膨係数が大きく異なってお
り、熱衝撃を受けた際の両基体Ａ，Ｂの寸法変動量の差
が大きく大きな歪みや応力が発生するため、破損してし
まうのである。従来の静電リレーは、可動側・固定側の
二つの駆動電極の間に印加する駆動電圧によって発生す
る静電力（クーロン力）で動作するものであるが、十分
な接点圧を確保するために両駆動電極間の距離を短くし
ている。静電力は両駆動電極間の距離の２乗に逆比例す
る一方、接点圧が静電力に比例するからである。しか
し、両駆動電極間の距離を短くしているため、接点間の
耐圧がどうしても低くなるという問題があった。

【０００８】また、静電リレーの場合、必要な静電力を
得るための駆動電圧が高め（普通、数十Ｖ〜数百Ｖ）で
あるために使い難く、駆動電圧の低下が望まれている。
通常の電子回路では信号電圧は数Ｖ〜十数Ｖ程度なの
で、昇圧回路が必要となる。駆動電圧の低下は外付回路
の不用化ないし軽減化をもたらす。この発明は、上記事
情に鑑み、外部の電磁界に影響され難く、かつ、熱衝撃
に強く、さらに、接点間耐圧の向上や駆動電圧の低下が
図れる静電リレーを提供することを課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１〜５記載の静電
リレーは、前記課題を解決するため、可動側基体の裏側
に設けられた可動接点と固定側基体の表側に設けられた
固定接点が対面するようにして前記可動側基体と固定側
基体とが配置され、前記可動側基体が裏面に前記可動接
点を有する可動部とこの可動部を可動接点と固定接点が
接離する変位可能に支持する支持部とを備えており、前
記両基体における駆動電極への駆動電圧印加により発生
する静電力で前記可動部が変位して接点の接離がなされ
るようになっている構成において、可動側基体と固定側
基体とがともに導電性材料からなっており、前記固定側
駆動電極と可動側駆動電極の間に変位の際の静電力を強
めるエレクトレットを設けるようにしている。

【００１０】導電性材料からなる基体としては、例え
ば、請求項２のように、シリコン基板が挙げられる。可
動側・固定側の具体的形態例としては、請求項３のよう
に、可動側基体の表面には絶縁膜が形成されていて、そ
の上に可動接点と可動側駆動電極が形成されており、固
定側基体の表面には絶縁膜が形成されていて、その上に
固定接点と固定側駆動電極が形成されている態様が挙げ
られる。また、請求項４のように、可動側基体と固定側
基体が電気的に接続され同電位にある態様が好ましい。

【００１１】さらに、静電リレーの利用性を高めるため
の形態例として、請求項５のように、可動側基体および
／または固定側基体に駆動用回路部を設けた態様が挙げ
られる。前述のように、静電リレーの場合、普通、数十
Ｖ〜数百Ｖの駆動電圧が必要とされる。したがって、駆
動電圧発生用の昇圧回路が必要となる。また、駆動電圧
の解除後、駆動電極の間に蓄積された電荷を放電させな
いと接点が開かないため、通常、放電回路も要求され
る。静電リレー自体は小型でも、他に昇圧回路や放電回
路等の外付回路を付加する必要があるため使い難いので
ある。

【００１２】駆動用回路部の具体的形態例としては、放
電回路を有する態様や、駆動電圧発生用昇圧回路の少な
くとも一部を有する態様が挙げられる。駆動用回路部は
駆動に必要な全ての回路を備えている必要はなく一部の
回路だけを有していてもよい。例えば、昇圧回路の一部
と放電回路を有するという態様もある。もちろん、駆動
に必要な全ての回路を有している態様が望ましい。な
お、駆動用回路部は、可動側基体あるいは固定側基体の
どちらに設けられてもよいし、分割して両基体にまたが
って設けるようにしてもよい。

【００１３】可動側駆動電極と固定側駆動電極の間に設
けられるエレクトレットは、正および／または負の電荷
を有しかつその和が０でない電荷を保持する絶縁体が挙
げられるが、これに限らない。エレクトレットには様々
な材質・厚みものが挙げられる。例えば、厚み５μｍの
ポリプロピレンでコロナ放電で帯電させたものが例示さ
れる。

【００１４】次に、駆動用回路部の具体的構成例につい
て説明する。駆動用回路部は、通常、図５にみるよう
に、昇圧回路と放電回路とを備え、信号電圧が昇圧回路
で昇圧され駆動電圧として可動側駆動電極１６と固定側
駆動電極２２の間に印加される。なお、放電回路は、駆
動電圧印加時には放電動作を行わないことは言うまでも
ない。そして、駆動電圧印加が停止された時には放電回
路が駆動電極１６，２２の間に蓄積された電荷を速やか
に放電させる。

【００１５】駆動用回路部のより具体的な回路例を図６
に示す。図６の場合、発光ダイオード（発光素子）１０
０と、この発光ダイオード１００の光を受けて起電力を
発生する複数の光電池１０２・・・が直列接続されたフ
ォトセルアレイ１０１とで昇圧回路が構成され、ノーマ
リイオフ型ＮＰＮトランジスタ１０３、抵抗１０４およ
びダイオード１０５で放電回路が構成されている。

【００１６】図６の駆動用回路部の動作は、以下の通り
である。低い信号電圧で発光ダイオード１００を発光さ
せるとフォトセルアレイ１０１で信号電圧より高い駆動
電圧が発生する。必要な高さの電圧が得られるように光
電池１０２の数が調整されているのである。駆動電圧の
発生中は、トランジスタ１０３はオフ状態であり、駆動
電圧が両駆動電極１６，２２の間に正常にかかり充電さ
れる。信号電圧が消滅すると駆動電圧はなくなるが、駆
動電極１６，２２の間の蓄積電荷による電圧でトランジ
スタ１０３がオン状態になると共に蓄積電荷の放電が始
まる。

【００１７】駆動回路部は、上記のものに限らない。例
えば、昇圧回路として、ｎ個のダイオードとｎ個のコン
デンサを直並列接続したチャージポンプ式の回路や薄膜
トランスとダイオードとコンデンサの整流部を組み合わ
せた薄膜トランス型整流昇圧回路などが使える。ただ、
これらの昇圧回路は交流信号電圧を入力としている。こ
の発明の静電リレーは、上記の構成に限らない。例え
ば、可動・固定の駆動電極の一方は基体の絶縁膜上に設
けるが、他方の駆動電極は導電性基体自身の全体ないし
一部で構成するようにしてもよい。この場合は、駆動電
極やその上を覆う絶縁膜の形成工程が省けるため、製造
工程の簡素化・コストダウンが図れるという利点が出て
くる。

【００１８】

【作用】この発明の静電リレーでは、可動側基体と固定
側基体の両方ともが導電性材料である。そのため、熱膨
張率の差が小さく熱衝撃を受けた際に生ずる歪みや応力
が小さくなるために熱衝撃に対し強く、両導電性基体に
挟まれた区間は電気的シールド区間となるために外部の
電磁界の影響が軽減され外的要因による誤動作が起り難
い。

【００１９】また、固定側駆動電極と可動側駆動電極の
間にはエレクトレットがあって静電力が増すため、その
分、駆動電圧を下げたり、接点ギャップを大きくし接点
間耐圧の向上が図れる。駆動電圧や接点ギャップがその
ままでよければ接点圧を大きくすることができる。可動
側基体と固定側基体が共にシリコン基板であれば、両基
体の熱膨張率が同一であるため、熱衝撃を受けた際の歪
みや応力が極めて僅かであるため、熱衝撃に対し著しく
強くなる。また、シリコン基板の場合は、駆動用回路部
のためのトランジスタや抵抗等の素子を作り込むのに利
用することもできる。駆動回路部も含め全体を極めて小
型のものにすることが可能となる。

【００２０】可動・固定の両接点および両駆動電極が基
体の表面の絶縁膜上に形成されている場合、両接点およ
び両駆動電極を導電性の両基体で十分に電気的シールド
することができるため、外部の電磁界の影響が極めて少
なくなり、その結果、外的要因による誤動作が非常に起
り難くなる。可動側基体と固定側基体が同電位にある場
合、両基体の間は常に電界がかからない状態が確実に維
持されることになるため、非常に安定性が高い。

【００２１】さらに、駆動用回路部が基体に設けられて
いれば、その分、外付回路の付加が不要ないし軽減され
ることとなり、使い易くなる。

【００２２】

【実施例】以下、この発明の実施例を、図面を参照しな
がら詳しく説明する。この発明は、下記の実施例に限ら
ないことは言うまでもない。図１は、実施例にかかる静
電リレーの要部構成をあらわす。図２は、実施例の静電
リレー全体を上方からみた状態をあらわす。図３は、実
施例の静電リレーの駆動用回路部まわりをあらわす。図
４は、図２のＸ−Ｘ断面をあらわす。

【００２３】実施例の静電リレー１はリレー部と駆動用
回路部とを有する。リレー部を先に説明し、その後で駆
動用回路部を説明する。静電リレー１のリレー部では、
可動側基体Ａの裏側に設けられた可動接点２と固定側基
体Ｂの表側に設けられた固定接点３が対面するようにし
て、両基体Ａ，Ｂが配置されている。これら両基体Ａ，
Ｂは接合面Ｄで電気的導通がとれるようにして結合され
ている。この場合、導電性ペーストを塗布して接合させ
ることで電気的導通を確保しつつ結合させている。この
他の結合方法もあるが、電気的導通がとれない結合方法
を用いた場合は、結合の後で電気的導通をとる処理を基
体Ａ，Ｂに対して行うようにする。

【００２４】可動側基体Ａは裏面に可動接点２を備えた
可動板（可動部）１２とこの可動板１２を可動接点２と
固定接点３が接離する変位可能に支持する支持部（枠
部）１３からなる。可動板１２はＴ字型連結部１４で支
持部１３とつながって変位可能な支持状態が実現されて
いるのである。可動板１２は、例えば、厚み３０μｍで
あって、支持部１３の底から僅かに窪んだ位置、例えば
５０μｍ引っ込んだ位置にある。

【００２５】可動側基体Ａは（１００）面を表面にもつ
シリコン単結晶基板からなり、上記のような構造は、水
酸化カリウムの水溶液エッチャントとマスク材料として
窒化シリコン膜を用いることで比較的容易に作ることが
できる。可動板１２の裏面（固定側基体Ｂ側の面）は絶
縁膜１５が形成されている。絶縁膜１５上の先端域には
金属薄膜からなる可動接点２がパターン形成され、中央
域には金属薄膜からなる可動側駆動電極１６がパターン
形成されている。この駆動電極１６は絶縁膜１７で被覆
されていて、必要な電気的絶縁が確保されている。駆動
電極１６からは接続ライン１６ａが延びており、この接
続ライン１６ａも絶縁膜１７で覆われているが、絶縁膜
１７は固定側基体Ｂの駆動電圧導入端子２９との接続部
分Ｅは電気的接続のために覆わないパターンとされてい
る。なお、接続部分Ｅでの接続は、例えば、金共晶法で
行える。

【００２６】固定側基体Ｂもシリコン単結晶基板からな
り、可動板１２と対面する箇所に絶縁膜２１が形成され
ていて、この絶縁膜２１の先端域に金属薄膜からなる固
定接点３がパターン形成されており、中央域には金属薄
膜からなる固定側駆動電極２２がパターン形成されてい
る。なお、絶縁膜２１は駆動用回路形成域等の必要箇所
へも形成されている。

【００２７】固定接点３は可動接点２と対面し、固定側
駆動電極２２は可動側駆動電極１６と対面するパターン
で形成されている。固定側駆動電極２２も絶縁膜２３で
被覆され必要な電気的絶縁が確保されている。駆動電極
２２の接続ライン２２ａの先端は駆動電圧導入端子２８
に繋がっている。なお、固定接点３の先端には接続端子
３０、３０がそれぞれ設けられている。また、図４にみ
るように、支持部１３の底の一部が、例えば５０μｍほ
ど窪んでいて固定接点３の接続ラインと支持部１３が接
触しないようになっている。

【００２８】可動接点２、絶縁膜１５，１７、駆動電極
１６は、よく知られている薄膜形成プロセス、半導体プ
ロセス、フォトリソグラフィー技術等を用いて形成でき
る。また、それらの材料も、目的に応じて種々選択でき
る。固定接点３、絶縁膜２１，２３、可動側駆動電極２
２、端子２８〜３０も、やはり、よく知られている薄膜
形成プロセス、半導体プロセス、フォトリソグラフィー
技術等を用いて形成できる。また、それらの材料も、目
的に応じて種々選択できる。

【００２９】接点２，３や駆動電極１６，２２は、真空
蒸着法による厚み０．５μｍの金薄膜をフォトリソグラ
フィー技術でパターン化したものである。絶縁膜１５，
２１は、常圧ＣＶＤ法で厚み１μｍの酸化シリコン薄膜
を堆積しフォトリソグラフィー技術でパターン化したも
のである。絶縁膜１７，２３は、プラズマＣＶＤ法で厚
み１μｍの酸化シリコン薄膜を堆積しフォトリソグラフ
ィー技術でパターン化したものである。端子２８〜３０
は、真空蒸着法による厚み１μｍのアルミニウム薄膜を
フォトリソグラフィー技術でパターン化したものであ
る。

【００３０】そして、この静電リレー１は、駆動電極１
６、２２の間にエレクトレット８が設けられている。図
２にみるように、略駆動電極１６、２２と同程度の大き
さのエレクトレット８が絶縁膜２３の上に駆動電極１
６，２２に相対するようにして積まれているのである。
実施例のエレクトレット８は比誘電率が約２であってポ
リプロピレンで厚み５μｍである。エレクトレット８に
保持する電荷は、そのリレーに持たせる動作状態に合わ
せて選ばれるが、この実施例の場合、エレクトレット８
の可動側駆動電極１６側を負に逆の側を正に帯電させ、
かつ、それらの電荷量の合計が０となるようにしてい
る。帯電方法も色々あるが、この場合はコロナ放電を用
いる方法である。

【００３１】このようにして形成したエレクトレット８
を用いた静電リレー１は、駆動電圧を印加しない（印加
電圧０）時は接点２、３が開いた状態で安定するような
シングルモード動作を行い、可動側駆動電極１６が正の
電圧となるように駆動電圧を印加すると接点が閉じる。
エレクトレット８のある分、静電力が強まることは言う
までもない。

【００３２】静電力の強化に関して簡単なモデルに基づ
いて具体的に説明する。静電リレーの駆動電極とエレク
トレットまわりの構成は、図７にみるように、２枚の電
極ａ，ｂが間隔（ｄ₁＋ｄ₂）隔てて配置され電極ｂの
上に厚みｄ₂のエレクトレットｃが載った状態で近似さ
れる。但しε₁は空気の誘電率であり、ε₂はエレクト
レットｃの誘電率である。σ_{1 ,}σ₂はエレクトレット
の表面電荷である。

【００３３】もし、エレクトレットｃがない場合はｄ₂
＝０として、電極ａに働く力ＦｘがＦｘ＝−ε₁Ａ（Ｖ／ｄ₁）²／２〔但し：Ａは電極およびエレクトレットの面積である〕
となる。一方、エレクトレットｃのある場合は、電極ａ
に働く力Ｆｙが、Ｆｙ＝−ε₁Ａ〔（Ｖａ−Ｖ）／Ｌ〕²／２となる。ここで、エレクトレットｃが表面電荷だけをも
つものとすると、Ｖａ＝σ₂ｄ₂／ε₂，Ｌ＝（ε₁ｄ
₂／ε₂）＋ｄ₁であるから、Ｆｙ＝−ε₁Ａ｛〔（σ
₂ｄ₂／ε₂）−Ｖ〕／〔（ε₁ｄ₂／ε₂）＋
ｄ₁〕｝²／２になる。

【００３４】さらに、σ₁＋σ₂＝０、σ₁＞０、σ₂
＜０とすると、エレクトレットｃの有る場合と無い場合
の比Ｆｙ／Ｆｘは、｛〔（σ₂ｄ₂／ε₂）−Ｖ〕ｄ₁／〔（ε₁ｄ₂／ε₂）＋ｄ₁〕Ｖ｝² ＝｛〔（σ₂ｄ₂／ε₂Ｖ）−１〕／〔（ε₁ｄ₂／ε₂ｄ₁）＋１〕〕｝² であるから、σ₂＜０、Ｖ＞０とすると、１− （σ₂ｄ₂／ε₂Ｖ）＞（ε₁ｄ₂／ε₂ｄ₁）＋１であるから、故に、Ｖ＜−σ₂ｄ₁／ε₁の時、エレク
トレットｃを設けた方が電極ａに働く静電力は強くな
る。

【００３５】例えば、電極間ギャップが３０μｍでエレ
クトレットｃの無い場合のＦｘと電極間ギャップが５０
μｍで表面電荷−５×１０^-4Ｃ／ｍ²、厚み５μｍ、比
誘電率２のエレクトレットｃが有る場合のＦｙは、駆動
電圧が１００Ｖとして、Ｆｘ＝−ε₁×Ａ×１．１×１０¹³÷２Ｆｙ＝−ε₁×Ａ×２．６×１０¹³÷２となり、エレクトレットｃの有る場合の方が電極間ギャ
ップが大きいにもかかわらず倍以上も力が強いのであ
る。

【００３６】続いて、駆動用回路部の説明を行う。駆動
用回路部は、固定側基体Ｂの一側を中心に設けられてい
る。図６は駆動用回路部の等価回路をあらわす。駆動用
回路部は、昇圧回路と放電回路を備える。昇圧回路は、
赤色系の発光ダイオード１００とこの発光ダイオード１
００の光を受けて起電力を発生する多数の光電池１０２
・・・が多数個直列接続されたフォトセルアレイ１０１
とで構成されている。各光電池１０２はｐｉｎ型アモル
ファスシリコン光電池素子を３つ積層したタンデム構成
であって、このフォトセルアレイでは３０セル接続され
ている。また、放電回路は、ノーマリイオフ型ＮＰＮト
ランジスタ１０３、抵抗１０４およびダイオード（ない
しダイオードアレイ）１０５で構成されている。回路の
動作は前述した通りであるため省略する。なお、発光ダ
イオード１００は、フォトセルアレイ１０１の上に、例
えば、透光性絶縁膜を介して積層したり、空間を隔てて
配置したりすることができる。さらには、発光ダイオー
ド１００だけを外付にするようにしてもよい。この場合
は、昇圧回路は一部だけが内蔵という形になる。

【００３７】最後に静電リレーの動作を説明する。発光
ダイオード１００に信号電圧が印加されると、フォトセ
ルアレイ１０１に駆動電圧が発生し、これが可動側基体
Ａの駆動電極１６と固定側基体Ｂの駆動電極２２の間に
印加されると同時にトランジスタ１０３がオフになり、
駆動電圧印加による静電力で可動板１２が固定側基体Ｂ
に近づいて接点２、３が接触する。発光ダイオード１０
０に信号電圧が印加されなくなると、フォトセルアレイ
１０１での電圧発生が停止するとともにトランジスタ１
０３がオンになり、蓄積電荷が放電され静電力が消滅
し、可動板１２が自身のバネ性で元の水平状態に復元す
ることにより固定側基体Ｂから遠ざかり接点２、３が離
れる。

【００３８】

【発明の効果】以上に述べたように、請求項１〜５記載
の発明にかかる静電リレーでは、熱衝撃を受けた際の歪
みや応力が小さくなるために熱衝撃に対し強くなり、外
部の電磁界の影響が軽減されるために外的要因による誤
動作が起り難くなっており、さらに、固定側駆動電極と
可動側駆動電極の間にはエレクトレットがあって静電力
が増すため、その分、駆動電圧を下げたり、接点ギャッ
プを大きくし接点間耐圧の向上を図ったりすることがで
きるから、大変に実用性が高い。

【００３９】請求項２記載の静電リレーの場合は、熱衝
撃を受けた際の歪みや応力が極めて小さくなるため、熱
衝撃に対し著しく強く、また、駆動用回路部の素子の形
成に基板がそのまま利用でき、駆動回路も含め全体を極
めて小型のものにすることが可能となるという利点があ
る。請求項３記載の静電リレーの場合は、外部の電磁界
の影響が極めて少なく外的要因による誤動作が非常に起
り難くなるという利点がある。

【００４０】請求項４記載の静電リレーの場合は、両基
体の間が常に電界がかからない状態が維持されるため、
非常に安定性が高いという利点がある。請求項５記載の
静電リレーの場合は、駆動用回路部が基体に設けられて
いる分、外付回路の付加が省略ないし軽減できることか
ら、使いやすいという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例にかかる静電リレーの要部構成をあらわ
す断面図である。

【図２】実施例の静電リレーを上方からみた状態をあら
わす平面図である。

【図３】実施例の静電リレーの駆動用回路部の詳細をあ
らわす平面図である。

【図４】図２のＸ−Ｘ断面図である。

【図５】この発明の静電リレーの駆動用回路部の構成例
をあらわすブロック図である。

【図６】この発明の静電リレーの駆動用回路部の具体的
構成例をあらわす回路図である。

【図７】静電リレーの駆動電極とエレクトレットまわり
のモデル構成をあらわす概略断面図である。

【図８】従来の静電リレーをあらわす平面図である。

【図９】従来の静電リレーをあらわす断面図である。

【符号の説明】

１静電リレー２可動接点３固定接点８エレクトレット１２可動部１３支持部１６可動側駆動電極２２固定側駆動電極Ａ可動側基体Ｂ固定側基体

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【手続補正書】

【提出日】平成３年９月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】駆動回路部は、上記のものに限らない。例
えば、昇圧回路として、ｎ個のダイオードとｎ個のコン
デンサを直並列接続したチャージポンプ式の回路や薄膜
トランスとダイオードとコンデンサの整流部を組み合わ
せた薄膜トランス型整流昇圧回路などが使える。この発
明の静電リレーは、上記の構成に限らない。例えば、可
動・固定の駆動電極の一方は基体の絶縁膜上に設ける
が、他方の駆動電極は導電性基体自身の全体ないし一部
で構成するようにしてもよい。この場合は、駆動電極や
その上を覆う絶縁膜の形成工程が省けるため、製造工程
の簡素化・コストダウンが図れるという利点が出てく
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西村広海大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者笠野文宏大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者粟井崇善大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可動側基体の裏側に設けられた可動接点
と固定側基体の表側に設けられた固定接点が対面するよ
うにして前記可動側基体と固定側基体とが配置され、前
記可動側基体が裏面に前記可動接点を有する可動部とこ
の可動部を可動接点と固定接点が接離する変位可能に支
持する支持部とを備えており、前記両基体における駆動
電極への駆動電圧印加により発生する静電力で前記可動
部が変位して接点の接離がなされるようになっている静
電リレーにおいて、前記可動側基体と固定側基体とがと
もに導電性材料からなっており、固定側駆動電極と可動
側駆動電極の間に変位の際の静電力を強めるエレクトレ
ットが設けられていることを特徴とする静電リレー。
【請求項２】可動側基体と固定側基体がシリコン基板
である請求項１記載の静電リレー。
【請求項３】可動側基体の表面には絶縁膜が形成され
ていて、その上に可動接点と可動側駆動電極が形成され
ており、固定側基体の表面には絶縁膜が形成されてい
て、その上に固定接点と固定側駆動電極が形成されてい
る請求項１または２記載の静電リレー。
【請求項４】可動側基体と固定側基体が電気的に接続
され同電位となっている請求項１から３までのいずれか
に記載の静電リレー。
【請求項５】可動側基体および／または固定側基体に
駆動用回路部が設けられている請求項１から４までのい
ずれかに記載の静電リレー。