JPH0529966B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気デイスク基板の全外表面に欠陥の
ない無電解めつきを施すために用いられる磁気デ
イスク基板のめつき装置に関するものである。

（従来の技術） 情報処理システムの記憶装置に使用される磁気
デイスクは、アルミニウム合金製の磁気デイスク
基板の上面に下地層として厚さ約10μｍのニツケ
ルめつき層を形成した上に磁気記録層を形成し更
にその上面を保護層でカバーしたものであり、こ
のニツケルめつき層の形成には無電解ニツケルめ
つきが広く行われている。ところがこの無電解ニ
ツケルめつき工程中においては化学反応によつて
磁気デイスク基板の表面に水素ガスの気泡が発生
しこれを放置するとめつきむらを生ずるので、従
来は磁気デイスク基板を支持している治具に上下
方向の振動を与えて気泡の除去を図るようにした
めつき装置が用いられていた。

しかし上記のような従来の磁気デイスク基板の
めつき装置においては磁気デイスク基板を確実に
動かすことができず微細な気泡を完全に除去する
ことができないために磁気デイスク基板の表面に
ピツトと呼ばれる微細な凹欠陥が発生する問題が
あり、また磁気デイスク基板とその支持治具との
接触部にめつきを行うことができない問題があつ
た。更にまた、従来の磁気デイスク基板のめつき
装置は小型のものが多く、多量のめつき処理を能
率良く行うことができない問題があつた。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明はこのような従来の問題点を解決して、
多数の磁気デイスク基板の全外表面にピツト等の
欠陥のない無電解めつきを能率良く施すことがで
きる磁気デイスク基板のめつき装置を目的として
完成されたものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は処理層の内部に浸漬される左右一対の
垂直な支持板の内側に、半径方向に延びる長孔を
外周部に備えた一対の回転円板とこれと同軸の太
陽歯車とを設け、これらの長孔間には磁気デイス
ク基板を支持するための多数の溝が形成された軸
部と歯車とを備えた基板保持軸の両端を嵌入保持
させるとともに、前記支持板には上部のみに切欠
きを有するリングを設けて長孔に嵌入保持された
基板保持軸の脱落を防止させたことを特徴とする
ものである。

（実施例） 次に本発明を図示の実施例について詳細に説明
すると、１は内面にポリフツ化エチレンのライニ
ング層２を有するステンレス鋼のような耐食性材
料からなる処理槽、３は該処理槽１の上部にセツ
トされ得るキヤリア本体、４，４は該キヤリア本
体３の両端部下面に垂設された左右一対の垂直な
支持板である。これらの支持板４，４間には水平
な中心軸５が架設されており、該中心軸５上の支
持板４，４の内側部分には一対の回転円板６，７
が取付けられている。この中心軸５の一端にはギ
ア８が固定されており、キヤリア本体３に内蔵さ
れたモータ９によつてベベルギア１０及びこれに
噛み合つている駆動ギア１１が回転されると、ギ
ア８は中心軸５とともに回転円板６，７を回転さ
せることとなる。また一方の支持板４には中心軸
５と同軸上に太陽歯車１２が設けられており、回
転円板６にはこの太陽歯車１２と噛み合う遊星歯
車１２Ａが設けられている。従つて回転円板６，
７が回転するとき各遊星歯車１２Ａは公転しつつ
自転することとなる。

第２図に示されるように、これらの回転円板
６，７の外周部には半径方向に延びる長孔１３が
等間隔に形成されている。そしてこれらの長孔１
３，１３間には第１図に示されるように基板保持
軸１４の両端が嵌入保持されている。基板保持軸
１４は中央部に把手部１５と円板状の整流板１６
とを備えるとともに、その両側に延びる軸部１７
に磁気デイスク基板５０を支持するための溝１８
を一定ピツチで多数凹設したものである。軸部１
７の外径は磁気デイスク基板５０の中心孔の内径
よりも細くしておくものとする。このような基板
保持軸１４は両端を回転円板６，７の長孔１３，
１３に嵌入することにより回転円板６，７間に保
持されているが、長孔１３が下向きになつたとき
に長孔１３から脱落することを防止するため、支
持板４，４の内側には第２図に示すような上部の
みに切欠き１９を有するリング２０を設け、基板
保持軸１４の両端部をその内面に沿つて案内して
脱落を防止している。基板保持軸１４はこの切欠
き１９を通して長孔１３に出し入れされることと
なる。また基板保持軸１４はその一端に前記の遊
星歯車１２Ａと噛み合う歯車２１を備えており、
長孔１３に嵌入保持された状態で回転円板６，７
を回転させたとき、基板保持軸１４が比較的早い
速度で自転するようになつている。

（作用） このように構成されたものは、基板保持軸１４
の軸部１７に凹設された多数の溝１８に磁気デイ
スク基板５０をそれぞれ支持させ、その中央部の
把手部１５を握つて基板保持軸１４をリング２０
の切欠き１９を介して回転円板６，７の長孔１
３，１３間に嵌入させたうえでキヤリア本体３を
処理槽１の上部にセツトして回転円板６，７を含
む部分全体を処理液中に浸漬させ、モータ９を回
転させて前述のとおり回転円板６，７を垂直面内
で回転させる。この結果、基板保持軸１４はリン
グ２０の内面に案内されつつ中心軸５のまわりを
公転するとともに各基板保持軸１４はその端部の
歯車２１が回転円板６の遊星歯車１２Ａと噛合し
て比較的高速度で自転し、また各磁気デイスク基
板５０もその中心孔の内径が溝１８の外径よりも
大きいために基板保持軸１４に対して回転してそ
の接触点を常に移動させることとなる。このよう
にして各磁気デイスク基板５０は処理液中を移動
しつつ無電解ニツケルめつき等を施されることと
なり、この際に磁気デイスク基板５０の表面に生
ずる水素ガスは各磁気デイスク基板５０間に生ず
る液流によつて除去されるとともに、整流板１６
が処理液の乱れを防止するので磁気デイスク基板
５０が左右に振動することなく磁気デイスク基板
５０の全表面にピツト等の欠陥のない無電解めつ
き層が形成されることとなる。なお、処理槽１の
外側面に超音波振動子を設けて処理液に超音波振
動を与えれば、ピツトの発生を更に確実に防止す
ることができる。

このようにしてめつきが完了した後、多数の磁
気デイスク基板５０が取付けられた基板保持軸１
４はリング２０の上部の切欠き１９の部分から取
外される。かかる基板保持軸１４の着脱は一定位
置で行われ、しかも単に長孔１３内へ挿入すれば
回転円板６，７の回転につれてリング２０により
自動的に脱落が防止され、また取出しの際にも単
に長孔１３内から引出すだけで良いので、例えば
簡易ロボツト等の自動機によつて能率良く着脱で
きることとなる。

（発明の効果） 本発明は以上の説明からも明らかなように、磁
気デイスク基板の全外表面にピツト等の欠陥のな
い均一な無電解めつきを施すことができるもので
あり、また基板保持軸に多数の溝を設けて磁気デ
イスク基板を保持させるようにしたので、数百枚
の磁気デイスク基板を同時に処理することができ
るものである。更に、基板保持軸はリングの切欠
き部分を介して長溝内へ挿入し、あるいは長溝か
ら引出すのみで容易に回転円板に着脱できるの
で、取扱いが容易で作業性にも優れたものであ
り、従来の磁気デイスク基板のめつき装置の問題
点を解決したものとして産業に寄与するところは
極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す一部切欠正面
図、第２図はその一部切欠側面図である。 １：処理槽、４：支持板、５：中心軸、６，
７：回転円板、１２：太陽歯車、１３：長孔、１
４：基板保持軸、１７：軸部、１８：溝、１９：
切欠き、２０：リング、２１：歯車、５０：磁気
デイスク基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 処理槽１の内部に浸漬される左右一対の垂直
   な支持板４，４の内側に、半径方向に延びる長孔
   １３を外周部に備えた一対の回転円板６，７とこ
   れと同軸の太陽歯車１２とを設け、これらの長孔
   １３，１３間には磁気デイスク基板５０を支持す
   るための多数の溝１８が形成された軸部１７と歯
   車２１とを備えた基板保持軸１４の両端を嵌入保
   持させるとともに、前記支持板４，４には上部の
   みに切欠き１９を有するリング２０を設けて長孔
   １３に嵌入保持された基板保持軸１４の脱落を防
   止させたことを特徴とする磁気デイスク基板のめ
   つき装置。