JPH05299723A - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
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- JPH05299723A JPH05299723A JP10270092A JP10270092A JPH05299723A JP H05299723 A JPH05299723 A JP H05299723A JP 10270092 A JP10270092 A JP 10270092A JP 10270092 A JP10270092 A JP 10270092A JP H05299723 A JPH05299723 A JP H05299723A
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電励起エキシマレーザ装置において、放電
により発生するダストを効率よく捕集することによっ
て、レーザガスの長寿命化を実現する。 【構成】 エキシマレーザ装置のレーザガス容器内で発
生するダストを捕集するために設ける電気集塵器におい
て、電気集塵エレメントの集塵電極２に永久磁石３によ
る集塵効果を加える。 【効果】 特に、ニッケル（Ｎｉ）ダストを効率よく捕
集し、エキシマレーザガスの長寿命化を実現する。
により発生するダストを効率よく捕集することによっ
て、レーザガスの長寿命化を実現する。 【構成】 エキシマレーザ装置のレーザガス容器内で発
生するダストを捕集するために設ける電気集塵器におい
て、電気集塵エレメントの集塵電極２に永久磁石３によ
る集塵効果を加える。 【効果】 特に、ニッケル（Ｎｉ）ダストを効率よく捕
集し、エキシマレーザガスの長寿命化を実現する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ装置に
関し、特に、放電励起型のエキシマレーザ装置に関す
る。
関し、特に、放電励起型のエキシマレーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来のエキシマレーザ装置を示
す。図３に示すように、エキシマレーザ装置は、放電励
起部を有し、これは、対向する一対の主放電電極７と、
その両脇に各々紙面に垂直な方向に複数対並べて設置さ
れる予備電離電極８とから成る。この放電励起部は、ガ
ス循環ファン９および熱交換器１０と共に、レーザガス
容器６内に収納されている。
す。図３に示すように、エキシマレーザ装置は、放電励
起部を有し、これは、対向する一対の主放電電極７と、
その両脇に各々紙面に垂直な方向に複数対並べて設置さ
れる予備電離電極８とから成る。この放電励起部は、ガ
ス循環ファン９および熱交換器１０と共に、レーザガス
容器６内に収納されている。
【０００３】次に、従来のエキシマレーザ装置の動作に
ついて説明する。エキシマレーザ媒質となりうる混合ガ
スをレーザガス容器６内に加圧封入し、ガス循環ファン
９により上記混合ガスを内部循環させる。レーザガス容
器６の外部に設けた励起回路１１より、予備電離電極８
間、ついで主放電電極７間に高電圧を印加することによ
り、各電極対の間で放電が発生し、ガスが励起され、レ
ーザ光が発生する。
ついて説明する。エキシマレーザ媒質となりうる混合ガ
スをレーザガス容器６内に加圧封入し、ガス循環ファン
９により上記混合ガスを内部循環させる。レーザガス容
器６の外部に設けた励起回路１１より、予備電離電極８
間、ついで主放電電極７間に高電圧を印加することによ
り、各電極対の間で放電が発生し、ガスが励起され、レ
ーザ光が発生する。
【０００４】以上述べたようなメカニズムを、従来のエ
キシマレーザ装置は一般に有している。
キシマレーザ装置は一般に有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のエキシマレーザ装置では、放電により電極表面
が削られ、細かい金属ダストが発生する。この結果、従
来のエキシマレーザ装置には、レーザ出力が低下した
り、レーザ窓が汚染するといった現象を起こすという問
題点があった。
た従来のエキシマレーザ装置では、放電により電極表面
が削られ、細かい金属ダストが発生する。この結果、従
来のエキシマレーザ装置には、レーザ出力が低下した
り、レーザ窓が汚染するといった現象を起こすという問
題点があった。
【０００６】この金属ダストを回収するための手段の一
つとして、レーザ発振器に電気集塵器を装着したものが
知られている。しかしながら、電気集塵器を備えた従来
のエキシマレーザ装置では、金属ダストの固有電気抵抗
が小さいことから、電気集塵器からの再飛散が生じてい
た。したがって、電気集塵器を備えた従来のエキシマレ
ーザ装置では、集塵効率が十分でないといった問題点を
有している。
つとして、レーザ発振器に電気集塵器を装着したものが
知られている。しかしながら、電気集塵器を備えた従来
のエキシマレーザ装置では、金属ダストの固有電気抵抗
が小さいことから、電気集塵器からの再飛散が生じてい
た。したがって、電気集塵器を備えた従来のエキシマレ
ーザ装置では、集塵効率が十分でないといった問題点を
有している。
【０００７】したがって、本発明の目的は、効率良く金
属ダストを集塵できるタスト捕集手段を備えたエキシマ
レーザ装置を提供することにある。
属ダストを集塵できるタスト捕集手段を備えたエキシマ
レーザ装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、エキシマレー
ザ装置内での放電により発生する金属ダストが主に電極
表面の金属材料に用いられるニッケル（Ｎｉ）及びその
化合物であることに着目してなされた。
ザ装置内での放電により発生する金属ダストが主に電極
表面の金属材料に用いられるニッケル（Ｎｉ）及びその
化合物であることに着目してなされた。
【０００９】すなわち、本発明のエキシマレーザ装置
は、発生する金属ダストを捕集するための電気集塵器の
集塵電極に磁石を備えている。
は、発生する金属ダストを捕集するための電気集塵器の
集塵電極に磁石を備えている。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】図２に本発明の一実施例によるエキシマレ
ーザ装置を示す。エキシマレーザ装置は、レーザガス容
器６を含み、その内部には、一対の主放電電極７と、紙
面に対して垂直な方向に複数対設けられた予備電離電極
８と、ガス循環ファン９と、熱交換器１０を有してい
る。このレーザガス容器６の側壁部には電気集塵器４が
取り付けられている。
ーザ装置を示す。エキシマレーザ装置は、レーザガス容
器６を含み、その内部には、一対の主放電電極７と、紙
面に対して垂直な方向に複数対設けられた予備電離電極
８と、ガス循環ファン９と、熱交換器１０を有してい
る。このレーザガス容器６の側壁部には電気集塵器４が
取り付けられている。
【００１２】図１に電気集塵器４内の一つの集塵エレメ
ント５を示す。集塵エレメント５は、コロナ放電極１と
集塵電極２との間をダストを含んだレーザガスが流れる
ように配置している。このような構造により、ダストが
通過中に帯電し、集塵電極２に引き込まれ、捕集され
る。ここで、一般的に固有電気抵抗値の小さい金属ダス
トは、集塵電極２に接すると、電荷を放出するので、再
飛散してしまう。
ント５を示す。集塵エレメント５は、コロナ放電極１と
集塵電極２との間をダストを含んだレーザガスが流れる
ように配置している。このような構造により、ダストが
通過中に帯電し、集塵電極２に引き込まれ、捕集され
る。ここで、一般的に固有電気抵抗値の小さい金属ダス
トは、集塵電極２に接すると、電荷を放出するので、再
飛散してしまう。
【００１３】これを防止するため、図１（ａ）に示され
るように、集塵電極２の外側に永久磁石３を取り付け
る。これにより、金属ダスト中の大部分を占めるＮｉダ
ストは、磁石に吸いよせられ、飛散を防止できる。
るように、集塵電極２の外側に永久磁石３を取り付け
る。これにより、金属ダスト中の大部分を占めるＮｉダ
ストは、磁石に吸いよせられ、飛散を防止できる。
【００１４】図１（ｂ）に集塵電極２にメッキを施した
永久磁石を用いた例を示す。このような構造にすること
により、図１（ａ）の構造のものよりも、磁石による集
塵効果がより強くなるという利点がある。
永久磁石を用いた例を示す。このような構造にすること
により、図１（ａ）の構造のものよりも、磁石による集
塵効果がより強くなるという利点がある。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、放電励起エキシマレーザ装置において、放電により
発生するダストを捕集するために設ける電気集塵器の集
塵電極に磁石を組み合わせることにより、従来の電気集
塵器では捕集効率の低かった金属ダストのうち強磁性体
であるＮｉダストの捕集効率を高めることができる。そ
の結果として、エキシマレーザ装置のガス寿命を延命で
きるという効果を有する。
は、放電励起エキシマレーザ装置において、放電により
発生するダストを捕集するために設ける電気集塵器の集
塵電極に磁石を組み合わせることにより、従来の電気集
塵器では捕集効率の低かった金属ダストのうち強磁性体
であるＮｉダストの捕集効率を高めることができる。そ
の結果として、エキシマレーザ装置のガス寿命を延命で
きるという効果を有する。
【図１】本発明のエキシマレーザ装置に用いる電気集塵
エレメントの一部を示す断面図である。
エレメントの一部を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施例用によるエキシマレーザ装置
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図３】従来のエキシマレーザ装置を示す断面図であ
る。
る。
１ コロナ放電極 ２ 集塵電極 ３ 永久磁石 ４ 電気集塵器 ５ 集塵エレメント ６ レーザガス容器
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザガス容器内に封入した混合ガス中
で、放電により前記混合ガスを励起して、レーザ光を得
るエキシマレーザ装置において、 前記放電により生じるダストを捕集する手段を有し、 該ダスト捕集手段は、集塵電極をもつ電気集塵器と、前
記集塵電極に前記ダストを捕集させる磁石とを有するこ
とを特徴とするエキシマレーザ装置。 - 【請求項２】 前記ダストが、ニッケル及びその化合物
を含む金属ダストであることを特徴とする請求項１記載
のエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270092A JPH05299723A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270092A JPH05299723A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | エキシマレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299723A true JPH05299723A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14334541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10270092A Withdrawn JPH05299723A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299723A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002119816A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 汚染物質捕集装置 |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP10270092A patent/JPH05299723A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002119816A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 汚染物質捕集装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |