JPS6281078A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6281078A JPS6281078A JP22020685A JP22020685A JPS6281078A JP S6281078 A JPS6281078 A JP S6281078A JP 22020685 A JP22020685 A JP 22020685A JP 22020685 A JP22020685 A JP 22020685A JP S6281078 A JPS6281078 A JP S6281078A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- main electrode
- oscillation device
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、気体レーザ発振装置に係り、特にこの発振
装置のためのガスナ環機構に関するものである。
装置のためのガスナ環機構に関するものである。
Ｗ、３図は従来の気体レーザ発振装置の一例な断面で示
した模式図であり、（１）はレーザ筺体、（２）は第１
の主電極、（３）は第２の主電極、（４）は第１の主電
極（２）とアース間に設けられたピーキングコンデンサ
、（５）は予備電離電極、（６）はレーザ筐体（１）内
のガスを循環させるためのファン、（７）はこのファン
（６）忙よって攪拌されたガスの流れをコントロールす
るためのガイド板、（８）はガス純化装置、（９）はガ
スの流れ方向を示している。
した模式図であり、（１）はレーザ筺体、（２）は第１
の主電極、（３）は第２の主電極、（４）は第１の主電
極（２）とアース間に設けられたピーキングコンデンサ
、（５）は予備電離電極、（６）はレーザ筐体（１）内
のガスを循環させるためのファン、（７）はこのファン
（６）忙よって攪拌されたガスの流れをコントロールす
るためのガイド板、（８）はガス純化装置、（９）はガ
スの流れ方向を示している。
上記のような構成の従来の気体レーザ発振装置において
、先ずピーキングコンデンサ（４）に電荷が蓄積される
と、第１の主電極（２）と予備電離電極（５）との間に
電位差が生じて、これらの両電極（２＞ 、 （５）間
に放電が発生する。次いで、この放電によって紫外域光
（Ｕ■光）が発生するために、第１の主を極（２）と第
２の主電極（３）との間の空間が予備電離されて、予備
電子が放射する。さらに、ピーキングコンデンサ（４）
の両端電圧が高くなると、第１の主電極（２）と第２の
主電極（３）との間でグロー放電が発生し、これによっ
てレーザ媒質が励起されてレーザ発振が生じる。
、先ずピーキングコンデンサ（４）に電荷が蓄積される
と、第１の主電極（２）と予備電離電極（５）との間に
電位差が生じて、これらの両電極（２＞ 、 （５）間
に放電が発生する。次いで、この放電によって紫外域光
（Ｕ■光）が発生するために、第１の主を極（２）と第
２の主電極（３）との間の空間が予備電離されて、予備
電子が放射する。さらに、ピーキングコンデンサ（４）
の両端電圧が高くなると、第１の主電極（２）と第２の
主電極（３）との間でグロー放電が発生し、これによっ
てレーザ媒質が励起されてレーザ発振が生じる。
ファン（６）Ｋよって循環するレーザ筐体（１）内のガ
スは、予備電離電極（５）と第１．第２の主電極（２）
。
スは、予備電離電極（５）と第１．第２の主電極（２）
。
（３）との間の放電で発生した金属蒸気や不純物を放電
空間中より吹き飛ばしてガス流に混入させ、循環中にガ
ス純化装置（８）内において不純物微粒子が除去される
よう罠なっている。
空間中より吹き飛ばしてガス流に混入させ、循環中にガ
ス純化装置（８）内において不純物微粒子が除去される
よう罠なっている。
通常、レーザ出力を増大させるためには第１゜第２の主
電極（２） 、 （３＞の幅を増す必要があるカー、上
記のような従来の気体レーザ発振装置では、第１゜第２
の主１！極（２） ＊ （３）の幅を増すと、この増加
分に応じて放電空間内で発生した金属蒸気や不純物微粒
子を吹き飛ばすための循環するガスの流速を高める必要
が生じて（る。
電極（２） 、 （３＞の幅を増す必要があるカー、上
記のような従来の気体レーザ発振装置では、第１゜第２
の主１！極（２） ＊ （３）の幅を増すと、この増加
分に応じて放電空間内で発生した金属蒸気や不純物微粒
子を吹き飛ばすための循環するガスの流速を高める必要
が生じて（る。
このために、ファン（６）の形状およびこれの駆動用モ
ータを大きくすると、容積が制約されたレーザ筐体内１
）内に設けるファン（６）などの送風手段の大きさに限
界があり、コ／ノくクトな装置によって大出力化を美男
させることが困難であるという問題があった。
ータを大きくすると、容積が制約されたレーザ筐体内１
）内に設けるファン（６）などの送風手段の大きさに限
界があり、コ／ノくクトな装置によって大出力化を美男
させることが困難であるという問題があった。
この発明はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、放電空間内で発生する金属粒子や不純物微粒子を効
率よく排除するようにして、比較的低いガス流速でも高
出力の発振が可能な気体レーザ発振装置を得ることを目
的とする。
で、放電空間内で発生する金属粒子や不純物微粒子を効
率よく排除するようにして、比較的低いガス流速でも高
出力の発振が可能な気体レーザ発振装置を得ることを目
的とする。
この発明に係る気体レーザ発振装置は、レーザ筐体内を
循環するレーザガスが多数の貫通孔を有する主電極面の
直交方向へ流れるように、レーザガスを送風するファン
およびガス流のガイド板を配設し、上記貫通孔にレーザ
ガスを流通させて循環するような流路を形成したもので
ある。
循環するレーザガスが多数の貫通孔を有する主電極面の
直交方向へ流れるように、レーザガスを送風するファン
およびガス流のガイド板を配設し、上記貫通孔にレーザ
ガスを流通させて循環するような流路を形成したもので
ある。
この発明においては、主電極面に直交するガス流路が形
成されるので、この流路を循環するガスによって金属蒸
気および不純物微粒子を主放電空間に侵入するのを防止
し、主放電を安定なグロー放電にする。
成されるので、この流路を循環するガスによって金属蒸
気および不純物微粒子を主放電空間に侵入するのを防止
し、主放電を安定なグロー放電にする。
第１図はこの発明の一実施例による気体レーザ発振装置
の構成を示した模式図であり、図における（１）〜（９
）は従来例を示した第４図における同符号と同一または
相当部分である。ガス流（９）はファン（６）の風力罠
よってガイド板（７）の内壁面に沿うようにして循環し
、第１の主電極（２）と第２の主電極（３）の空間部を
経て第１の主電極（２）面に対して直交する方向へ進み
、第１の主電極（２）に設けられた貫通孔および予備電
離電極（５）の空隙部を通り、循環流の一部がガス純化
装置（８）の入口（８ａ）より出口（８ｂ）を経由して
ファン（６）へ戻るように、レーザ筐体（１）内にファ
ン（６）、ガイド板（７）およびガス純化装置（８）が
配設されている。
の構成を示した模式図であり、図における（１）〜（９
）は従来例を示した第４図における同符号と同一または
相当部分である。ガス流（９）はファン（６）の風力罠
よってガイド板（７）の内壁面に沿うようにして循環し
、第１の主電極（２）と第２の主電極（３）の空間部を
経て第１の主電極（２）面に対して直交する方向へ進み
、第１の主電極（２）に設けられた貫通孔および予備電
離電極（５）の空隙部を通り、循環流の一部がガス純化
装置（８）の入口（８ａ）より出口（８ｂ）を経由して
ファン（６）へ戻るように、レーザ筐体（１）内にファ
ン（６）、ガイド板（７）およびガス純化装置（８）が
配設されている。
上記のよ、うな構成のこの発明による気体レーザ発振器
において、先ずガス流（９）は第１の主電極（２）の貫
通孔および予備電離電極（５）の空隙部を通り循環し、
コンデンサ（４）に電荷が充電し始めると、予備電離Ｗ
極（５）と第１の主電極（２）との間に予備放電が生じ
てＵ■光が発生する。このＵ■光が第１゜第２の電極（
２） 、 （３３間の主放電空間を予備電離して予備電
子が放射される。次いで、ピーキングコンデンサ（４）
の電圧が上昇して所定の電圧値に達すると、第１．第２
の主電極（２＋ 、 （３）間に主放電が起り、レーザ
ガスが励起されてレーザ発振が始まる。
において、先ずガス流（９）は第１の主電極（２）の貫
通孔および予備電離電極（５）の空隙部を通り循環し、
コンデンサ（４）に電荷が充電し始めると、予備電離Ｗ
極（５）と第１の主電極（２）との間に予備放電が生じ
てＵ■光が発生する。このＵ■光が第１゜第２の電極（
２） 、 （３３間の主放電空間を予備電離して予備電
子が放射される。次いで、ピーキングコンデンサ（４）
の電圧が上昇して所定の電圧値に達すると、第１．第２
の主電極（２＋ 、 （３）間に主放電が起り、レーザ
ガスが励起されてレーザ発振が始まる。
上記の予備電離および主放電によって発生した金属蒸気
および不純物微粒子を含むレーザガスは、ファン（６）
の風力によって循環されるガス流（９１に従って第１の
主電極（２ンの貫通孔および予備電離電極（５）の空隙
部を経て流動するので、主放電空間の金属蒸気および不
純物微粒子は常圧循環するガス流に混入されながら排除
され、ガス純化装置（８）の入口（８ａ）より誘引され
たガス流（９）は浄化されて出口（８ｂ）よりガイド板
（７）の内壁に沿ってファン（６）へ戻される。
および不純物微粒子を含むレーザガスは、ファン（６）
の風力によって循環されるガス流（９１に従って第１の
主電極（２ンの貫通孔および予備電離電極（５）の空隙
部を経て流動するので、主放電空間の金属蒸気および不
純物微粒子は常圧循環するガス流に混入されながら排除
され、ガス純化装置（８）の入口（８ａ）より誘引され
たガス流（９）は浄化されて出口（８ｂ）よりガイド板
（７）の内壁に沿ってファン（６）へ戻される。
なお、上記実施例では金属を用いた予備電離電極（４）
にょろりｖ予備電離方式の場合について印可したが、第
２図に示すような予備電離電極（５１を誘電体α０で被
覆し、これと第１の主電極（２）との間のコロナ放電に
よって予備電子を放射させ、この時に発生した不純物微
粒子をガス流（９）によって排除し、主電極間の放電空
間に侵入させないようにしてもよい。
にょろりｖ予備電離方式の場合について印可したが、第
２図に示すような予備電離電極（５１を誘電体α０で被
覆し、これと第１の主電極（２）との間のコロナ放電に
よって予備電子を放射させ、この時に発生した不純物微
粒子をガス流（９）によって排除し、主電極間の放電空
間に侵入させないようにしてもよい。
また、予備電離方式が例えばＸ線や電子ビームのような
高エネルギビームによる場合にも適用することができる
。
高エネルギビームによる場合にも適用することができる
。
この発明は以上説明したとおり、ガス流が主電極面に対
して直交する方向にとって、主電極に設けた貫通孔を通
り抜けるように構成したので、主電極の幅が広くても比
較的低速のガス流によって主放電空間のガスを入れ替え
ることができ、また予備電離で発生した不純物微粒子な
どが主放電空間に侵入することを防止できるので、コン
パクトな装置によって大出力のレーザ発振装置が得られ
る効果がある。
して直交する方向にとって、主電極に設けた貫通孔を通
り抜けるように構成したので、主電極の幅が広くても比
較的低速のガス流によって主放電空間のガスを入れ替え
ることができ、また予備電離で発生した不純物微粒子な
どが主放電空間に侵入することを防止できるので、コン
パクトな装置によって大出力のレーザ発振装置が得られ
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による気体レーザ発振装置
の構成を示す模式図、第２図はこの発明の他の奥施例を
示す模式図、第６図は従来の気体レーザ発振装置の構成
の一例を示す模式図である。 図において、（１）はレーザ筐体、（２）は第１の主電
極、（３）は第２の主電極、（６）はファン、（７）は
ガイド板、（９）はガス流。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁即士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第８図
の構成を示す模式図、第２図はこの発明の他の奥施例を
示す模式図、第６図は従来の気体レーザ発振装置の構成
の一例を示す模式図である。 図において、（１）はレーザ筐体、（２）は第１の主電
極、（３）は第２の主電極、（６）はファン、（７）は
ガイド板、（９）はガス流。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁即士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第８図
Claims (1)
- 主電極間に電圧を印加し、レーザガスを励起させて発振
させるレーザ発振装置において、レーザ筐体内を循環す
るレーザガスが上記主電極面に直交する方向に流れるよ
うに、レーザガスを送風するファンおよび上記レーザガ
スの流れ方向を定めるガイド板を上記レーザ筐体内に配
設し、上記主電極に設けられた貫通孔が上記循環するレ
ーザガスの流路になるようにしたことを特徴とするレー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22020685A JPS6281078A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22020685A JPS6281078A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281078A true JPS6281078A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=16747547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22020685A Pending JPS6281078A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6281078A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03203277A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-04 | Toshiba Corp | パルスガスレーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP22020685A patent/JPS6281078A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03203277A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-04 | Toshiba Corp | パルスガスレーザ発振装置 |
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