JPH0530358Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、半導体素子を樹脂材料によつて封
止成形するための樹脂封止装置の改良に関するも
のであり、特に、マルチプランジヤー型における
各プランジヤーと各ポツトとの嵌合・組付けの容
易化及び各プランジヤーの往復摺動性の向上を図
るものに関する。

（従来の技術） 複数のプランジヤー及びポツトを備え、該各プ
ランジヤーをコイルスプリングによつて弾性押動
するように構成した半導体素子の樹脂封止装置が
提案されている（例えば、実開昭57−123222号・
特公昭61−46050号公報等）。

これらの従来装置は、第６図或は第７図に示す
ように、上型１と下型２とを対向配置し、また、
両型のP.L（パーテイングライン）面には多数の
キヤビテイ５を対設すると共に、その所定のキヤ
ビテイ５とポツト３とを溶融樹脂材料の移送用通
路６により連通して構成している。更に、上記各
プランジヤー４をそのホルダー７に対して上下方
向へ摺動自在に嵌装すると共に、各プランジヤー
４の上端面にコイルスプリング８の弾性を加える
ように設けている。

即ち、上記各プランジヤー４は、コイルスプリ
ング８の弾性に抗して後退（上動）できるように
設けられているため、例えば、各ポツト３内への
樹脂材料供給量に過不足等のバラツキがあつた場
合にも、その樹脂材料供給量に対応して各プラン
ジヤー４を後退させることができるから、これに
より、各ポツト３内の樹脂材料に対する加圧力及
びその他の樹脂成形条件の均等化を図ることがで
きるものである。

〔考案が解決しようとする問題点） ところで、上述した従来装置においては、実際
の樹脂成形時において、プランジヤー４とポツト
３との嵌合不良や、プランジヤー４のポツト３内
における摺動不良が発生して、プランジヤー４を
上下方向へ各別に摺動させると云う考案が所期の
目的を充分に達成することができないと云つた問
題があり、また、プランジヤー４とポツト３との
嵌合組付けが面倒で且つ手数を要する等の弊害が
みられるが、これは、次のような原因に基づくも
のと考えられる。

即ち、まず、各プランジヤー４はホルダー７に
対して密に嵌装されていること、そして、各プラ
ンジヤー４に対する各コイルスプリング８の弾性
は夫々のプランジヤー４に常時加えられているこ
と、また、ホルダー７は油圧・空圧等による上下
駆動機構によつて上下動されるが、該駆動機構に
よる上下動作用に不都合が生じた場合にプランジ
ヤー４とポツト３との軸心が合致しない状態とな
ることがあり、更に、ポツト３部とプランジヤー
ホルダー７部及びプランジヤー４自体の夫々に、
両型の加熱による温度差が生じ易く、これがプラ
ンジヤー４とポツト３との嵌合不良若しくは摺動
不良の原因となること等である。

なお、上記各プランジヤー４はホルダー７の嵌
合孔に嵌装されているので、該各プランジヤー４
の軸径はホルダー７の孔径よりも稍細くなるよう
に形成される。従つて、厳密な意味においては、
該各プランジヤー４とホルダー７との両者間には
微細な間隙が構成されることになる。

しかしながら、該各プランジヤー４とホルダー
７との両者間に上記のような間隙が構成されてい
たとしても、該各プランジヤー４には上記コイル
スプリング８による強い弾性押圧力が常時加えら
れているため、該各プランジヤー４は該弾性押圧
力によつてホルダー７に強圧状に止着されたよう
な状態となり、従つて、上記嵌合孔内における該
各プランジヤー４の自由性は全く存在しない。

本考案は、上述したような従来の問題点に対処
して、各プランジヤーと各ポツトとの嵌合・組付
けの容易化及び各プランジヤーの往復摺動性の向
上を図ることができる半導体素子の樹脂封止装置
を提供することを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案に係る半導体素子の樹脂封止装置は、固
定型と、該固定型に対向配置させた可動型と、こ
れらの両型におけるいずれか一方側の型に配置し
た所要複数個のポツトと、該各ポツトに夫々嵌装
させる樹脂材料加圧用のプランジヤーと、該各プ
ランジヤーを往復動させる往復動機構と、上記各
プランジヤーとその往復動機構との間に配設して
該各プランジヤーの基端部を夫々各別に且つ軸方
向へ往復摺動自在に支持させるプランジヤーホル
ダーと、該各プランジヤーに上記ポツト側へ押動
する方向の押圧力を加える弾性押圧部材とを備え
たマルチプランジヤー型の半導体素子の樹脂封止
装置であつて、上記各プランジヤーの基端部と上
記各弾性押圧部材との両者間に、該弾性押圧部材
の弾性押圧力を受ける受圧部材を夫々配設し、且
つ、該受圧部材を上記プランジヤーホルダー側に
該弾性押圧力によつて圧接させることにより、常
態において、該弾性押圧力が上記プランジヤーに
加えられないように配設すると共に、上記各プラ
ンジヤーの基端部とプランジヤーホルダーとの間
には、該各プランジヤーの基端部がその軸方向及
びこれと直交する方向に可動自在となる間隙を
夫々設けて構成したことを特徴とするものであ
る。

（作用） 本考案の構成によれば、各弾性押圧部材の弾性
は、常態においては、各プランジヤーには作用せ
ず、逆に、その弾性は各プランジヤーが各ポツト
内の樹脂材料に対する加圧を開始した後に加えら
れることになる。従つて、各プランジヤーによる
各ポツト内の樹脂材料に対する加圧力は夫々確実
に均等化される。

また、各プランジヤーの基端部とプランジヤー
ホルダーとの間に、該各プランジヤーの基端部が
その軸方向及びこれと直交する方向に可動自在と
なる間隙を夫々設けて構成したことにより、常態
において、該各プランジヤーの基端部は、上記間
隙の範囲内で可動自在となるフリーの状態に支持
されることになる。

（実施例） 次に、本考案を第１図乃至第５図に示す実施例
図に基づいて説明する。

第１図乃至第３図は、本考案に係る半導体素子
の樹脂封止装置の要部を示している。

この装置は、上型（固定型）１１と、該上型１
１に対向配置させた下型（可動型）１２と、該下
型１２に配置した所要複数個のポツト１３と、該
各ポツト１３に夫々嵌装させる樹脂材料加圧用の
プランジヤー１４と、該上下両型１１，１２のP.
L面に対設した成形用キヤビテイ１５と、所定の
上記キヤビテイ１５及び上記ポツト１３とを連通
させた溶融樹脂材料の移送用通路１６と、上記各
プランジヤー１４を支持させるプランジヤーホル
ダー１７と、該プランジヤーホルダー１７を上下
往復摺動させる往復動機構１８等から構成されて
いる。

また、上記プランジヤーホルダー１７は、各プ
ランジヤー１４の基端部（下端部）１４₁を夫々
各別に且つ軸方向（上下方向）へ往復摺動自在に
嵌合支持している。

更に、該基端面には、受圧部材１９を介して所
定の弾性を有する弾性押圧部材２０の弾性押圧力
が加えられている。しかし、該弾性押圧力は上記
受圧部材１９を介してプランジヤーホルダー１７
に加えられるが、第１図に示すように、該受圧部
材１９が弾性押圧部材２０の弾性によつてホルダ
ー本体１７₁の上部ストツパー面１７₂に圧接され
ている常態時においては、各プランジヤーの基端
部１４₁はこれとホルダー蓋体２１との間に設け
られる軸方向の間隙S₁の範囲内で該軸方向にフリ
ーの状態で支持されている。また、各プランジヤ
ーの基端部１４₁とホルダー本体１７₁及びそのホ
ルダー蓋体２１との間には、プランジヤーの軸方
向と直交する方向（周方向）の間隙S₂が設けられ
ている。このため、各プランジヤーの基端部１４
_１は、上記間隙S₂の範囲内で、軸方向に直交する
方向（水平方向）にフリーの状態で支持されてい
る。

従つて、各プランジヤーの基端部１４₁は、常
態時において、上記の両間隙S₁，S₂の範囲内で、
軸方向及びこれと直交する方向へ可動自在となる
フリーの状態で嵌合支持部材されていることにな
る。

また、上記各プランジヤーの基端部１４₁には
突起２２が設けられている。

該突起２２は、その上面２２₁が上記ホルダー
蓋体２１の上部ストツパー面２１₁に係合される
ことにより、各プランジヤー１４の上方への抜け
止めを図ると共に、その両側面２２₂がホルダー
本体１７₁の対向両側面１７₃またはホルダー蓋体
２１の対向両側面２１₂に係合されることにより、
該各プランジヤー１４の周方向への回り止めを図
るものである。

また、上記ホルダー本体１７₁にはプランジヤ
ー１４の下動を規制するための下部ストツパー面
１７₄が形成されている。該下部ストツパー面１
７₄は、プランジヤー１４が弾性押圧部材２０の
弾性に抗して所定の位置にまで下動したときにそ
の下動を規制するものである。即ち、第２図及び
第３図に示すように、上記往復動機構１８を介し
てプランジヤーホルダー１７とこれに支持された
各プランジヤー１４を上動させた場合において、
上記プランジヤー１４の上動がポツト１３内に供
給された樹脂材料Ｒの加圧を開始したときやその
他の理由によつて停止したとき、停止したプラン
ジヤー１４とプランジヤーホルダー１７との関係
においては、該プランジヤー１４が相対的に下動
されることになるため、このようなプランジヤー
１４の下動作用を阻害しないように、ホルダー本
体１７₁には上下方向のスペースＳが設けられて
いる。従つて、上記下部ストツパー面１７₄は、
該スペースＳにおける最下端位置等に設ければよ
い。

上記各プランジヤー１４は、上述したように、
第１図に示す常態においては、弾性押圧部材２０
の弾性を受けていないが、該各プランジヤー１４
が停止し且つプランジヤーホルダー１７が更に上
動する場合において、上記弾性が受圧部材１９を
介して停止したプランジヤー１４に加えられる。
その後、上記ホルダー１７の上動に伴つて該プラ
ンジヤー１４も上動し、ポツト１３内の樹脂材料
Ｒを弾性加圧することになるが、この作用は、
夫々の材料供給量に応じて各別に行われる。

なお、上記プランジヤー１４の上部には樹脂材
料Ｒの加圧部１４₂が着脱自在に装着されている。
該加圧部１４₂は通常のものよりも稍長尺に形成
されて上記ポツト１３内での摺動性の向上が図ら
れており、更に、該加圧部１４₂の周面には着脱
用工具類との係合面１４₃が形成されているため、
該加圧部１４₂の着脱作業を容易に行うことがで
きる。

また、上記往復動機構１８には、油圧或は空圧
またはその他の適当な駆動源（図示なし）によつ
て上下往復動される上下動部材１８₁と、該上下
動部材の上端部に固着されたプランジヤーホルダ
ー１７側との係合部材２３が備えられている。

該係合部材２３とプランジヤーホルダー１７と
は、該プランジヤーホルダーの底板２４中央部に
設けた係合溝２４₁に対して該係合部材の上端係
合部２３₁を着脱自在に係合させることによつて
一体に連結されている。従つて、上記プランジヤ
ーホルダー１７は、各プランジヤー１４を各ポツ
ト１３から下方へ抜き出すと共に、その底板の係
合溝２４₁と上端係合部２３₁との係合を解くこと
によつて、下型１２及び往復動機構１８に対して
着脱自在となるように設けられている。

また、上記した弾性押圧部材２０は、図例にお
いては、圧縮コイルスプリングを用いた場合を示
したが、例えば、皿バネを用いてもよい。

また、両キヤビテイ１５の形状や数に対応し
て、各プランジヤー１４間のピツチが狭くなるよ
うに設定する必要があるときは、各プランジヤー
基端部１４₁とホルダー本体１７₁及びホルダー蓋
体２１との嵌合位置関係を、第１図に示した角度
位置から、該プランジヤー１４の周方向へ略90度
回転させると共に、第４図に示すように、受圧部
１９ａを長方形に形成し、且つ、弾性押圧部材２
０ａを該受圧部材１９ａの短辺Ｗの範囲内に収容
される小形状に形成すればよい。

なお、このとき、プランジヤー基端部１４₁の
突起２２における両側面２２₂と、ホルダー本体
１７₁及びホルダー蓋体２１における対向両側面
１７₃，２１₂とは、プランジヤー１４の配設方向
に対して夫々直交する方向に配置されることにな
る。

従つて、上記長方形の受圧部材１９ａの短辺の
幅Ｗを突起２２の短辺の幅W₁と略同一に形成し、
且つ、この受圧部材１９ａと弾性押圧部材２０ａ
をホルダー本体１７₁に対して上記突起２２の配
置方向と同じ方向に嵌合装着すれば、各プランジ
ヤー１４をプランジヤーホルダー１７に対して狭
いピツチ間隔で嵌装することができる。更に、こ
の場合において、該弾性押圧部材２０ａはプラン
ジヤー１４の軸心位置に少なくとも１個を備えて
おけばよい（図には、軸心の左右位置に２個を備
えて、受圧部材１９ａに適正な弾性押動力が加え
られるようにした場合を示している）。

また、上記したプランジヤーホルダー１７の側
面部には、該プランジヤーホルダー１７の上下動
作用をスムーズに且つ正確に行わせるためのガイ
ド機構２５が備えられている。このガイド機構２
５は、第３図に示すように、プランジヤーホルダ
ー１７の側面に固着した上下方向のガイド孔２６
_１を有する摺動部材２６と、該ガイド孔２６₁に嵌
挿させた上下方向のガイド用ロツド２７とから構
成されている。

第５図に示すものは、上記ガイド機構２５に換
えて、プランジヤーホルダー１７の両側面に固着
した上下方向のラツク２８₁と、該ラツクに夫々
係合させたピニオン２８₂とから成り、且つ、該
ピニオンを同時に反対方向に回転させるようにし
たガイド機構２８の構成例である。この場合は、
該ピニオン２８₂の回転軸を装置フレーム（図示
なし）等に軸支させておけばよい。なお、上記ラ
ツク２８₁を装置フレーム側に固定すると共に、
ピニオン２８₂を上記ラツク２８₁に係合させた状
態でプランジヤーホルダー１７の両側面に軸支さ
せると云つた、上記図例とは逆の配置構成態様を
採用してもよい。

上記実施例の構成によれば、各弾性押圧部材２
０の弾性は、常態においては、各プランジヤー１
４には作用せず、逆に、その弾性は各プランジヤ
ー１４が各ポツト１３内の樹脂材料Ｒに対する加
圧を開始した後に加えられることになる。

従つて、各プランジヤー１４による各ポツト１
３内の樹脂材料に対する加圧力は夫々確実に均等
化されることになる。

また、上記各プランジヤーの基端部１４₁とプ
ランジヤーホルダー１７との間に、該各プランジ
ヤーの基端部１４₁がその軸方向及びこれと直交
する方向に可動自在となる間隙S₁，S₂を設けて構
成したことにより、常態において、該各プランジ
ヤーの基端部１４₁は、上記間隙の範囲内でフリ
ーの状態に支持されることになる。

従つて、各プランジヤー１４を各ポツト１３内
に夫々嵌合させる組付け等において、両者の軸心
を簡易に且つ完全に合致させることができる。こ
のため、各プランジヤー１４の上下摺動時におい
て、両者間には相互に無理が生じないので、その
摺動性を向上させることができる。

また、各ポツト１３内に供給された樹脂材料Ｒ
の供給量にバラツキがあつた場合、各プランジヤ
ー１４はその供給量に対応して、上述したように
相対的に下動する。そして、その後に、プランジ
ヤーホルダー１７が上動すると、各プランジヤー
１４は各ポツト１３内の樹脂材料Ｒを夫々均等に
加圧することになる。なお、このとき、各ポツト
１３内の樹脂材料Ｒは上下両型１１，１２に設け
たヒータ（図示なし）によつて同時的に加熱され
ているので、この加熱且つ加圧によつて溶融化さ
れた材料は通路１６を通してキヤビテイ１５内に
注入される。

また、上記各ポツト１３内の樹脂材料Ｒ及び溶
融樹脂材料は夫々均等に加圧されているので、上
記キヤビテイ１５内への注入圧力も一定となる。
従つて、各々の樹脂成形を夫々同一の条件下で行
うことができるため、均等な樹脂封止成形品を成
形することができる。

（考案の効果） 本考案の構成によれば、プランジヤーとポツト
との嵌合・組付けが容易且つ確実となるから、ポ
ツトに対して往復摺動するプランジヤーの摺動性
の向上を図ることができる。

特に、マルチプランジヤー型の半導体素子の樹
脂封止装置における各プランジヤーと各ポツトと
の嵌合・組付けの容易化と確実化、及び、各プラ
ンジヤーの往復摺動性の向上を図ることができる
ので、前述したような従来の問題点を確実に解消
することができ、従つて、使用性・操作性に優れ
た半導体素子の樹脂封止装置を提供できると云つ
た優れた実用的な効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は、本考案の実施例を示して
おり、第１図は半導体素子の樹脂封止装置の常態
時における要部を示す一部切欠縦断正面図、第２
図及び第３図はその樹脂材料加圧時における一部
切欠縦断正面図及び一部切欠縦断側面図である。
第４図は、受圧部材と弾性押圧部材の他の構成例
を示す一部切欠斜視図である。第５図は、ガイド
機構の他の構成例を示す一部切欠正面図である。
第６図及び第７図は、いずれも従来装置の構成例
を示す一部切欠縦断正面図である。 符号の説明、１１……上型（固定型）、１２…
…下型（可動型）、１３……ポツト、１４……プ
ランジヤー、１４₁……プランジヤーの基端部、
１７……プランジヤーホルダー、１８……往復動
機構、１９……受圧部材、２０……弾性押圧部
材、Ｓ……スペース、S₁……間隙、S₂……間隙、
Ｒ……樹脂材料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 固定型と、該固定型に対向配置させた可動型
   と、これらの両型におけるいずれか一方側の型に
   配置した所要複数個のポツトと、該各ポツトに
   夫々嵌装させる樹脂材料加圧用のプランジヤー
   と、該各プランジヤーを往復動させる往復動機構
   と、上記各プランジヤーとその往復動機構との間
   に配設して該各プランジヤーの基端部を夫々各別
   に且つ軸方向へ往復摺動自在に支持させるプラン
   ジヤーホルダーと、該各プランジヤーに上記ポツ
   ト側へ押動する方向の押圧力を加える弾性押圧部
   材とを備えたマルチプランジヤー型の半導体素子
   の樹脂封止装置であつて、上記各プランジヤーの
   基端部と上記各弾性押圧部材との両者間に、該弾
   性押圧部材の弾性押圧力を受ける受圧部材を夫々
   配設し、且つ、該受圧部材を上記プランジヤーホ
   ルダー側に該弾性押圧力によつて圧接させること
   により、常態において、該弾性押圧力が上記プラ
   ンジヤーに加えられないように配設すると共に、
   上記各プランジヤーの基端部とプランジヤーホル
   ダーとの間には、該各プランジヤーの基端部がそ
   の軸方向及びこれと直交する方向に可動自在とな
   る間隙を夫々設けて構成したことを特徴とする半
   導体素子の樹脂封止装置。