JPH05317681A

JPH05317681A - 高温高真空装置用内装材

Info

Publication number: JPH05317681A
Application number: JP4148864A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Umemoto; 靖梅本; Fumiyuki Shimizu; 史幸清水; Yasumasa Yugawa; 康正湯川
Original assignee: Japan Energy Corp
Current assignee: Eneos Corp
Priority date: 1992-05-15
Filing date: 1992-05-15
Publication date: 1993-12-03

Abstract

(57)【要約】【目的】強度，耐熱性，耐熱応力性に優れ、かつ高温
・超真空下で使用しても不純物ガスを発生しないMo又は
Mo合金製の高温高真空装置用内装材を提供する。【構成】高温高真空装置用内装材を、ガス成分の含有
量が合計で１００ppm 以下の溶製モリブデン又はモリブ
デン合金の塑性加工材にて構成するか、或いは更に結晶
粒径（平均結晶粒径）が１mm以下に調整されて成る構成
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、高温・超真空下で使
用しても不純物ガス発生が殆ど認められず、しかも耐熱
応力性能（耐熱疲労性等）に優れたモリブデン又はモリ
ブデン合金製の高温高真空装置用内装材に関するもので
ある。

【０００２】

【従来技術とその課題】モリブデンは比較的古くから工
業的生産がなされてきた高融点金属の１つであり、これ
まで耐熱材料，真空管材料，電気抵抗体等としての貴重
な用途を担ってきた。特に、高温でのモリブデン及びモ
リブデン合金の強度は実用金属材料中でも群を抜いてお
り、１０００℃前後で信頼できる唯一の耐熱材料として
高温機器関連部材等への適用を目指した研究は多い。

【０００３】ところが、モリブデンは融点が２６００℃
を超える高い値であることに加えて酸化物の蒸気圧が著
しく低いという物性を有しているため、通常の金属に適
用される手段では所要部材（板，棒，線等）の生産が困
難で、モリブデン又はモリブデン合金から成る金属部材
の製造には格別な手立てを必要としていた。

【０００４】即ち、モリブデン又はモリブデン合金から
成る金属部材の工業的な生産手段としてこれまで採用さ
れてきたのは、「モリブデン又はモリブデン合金のパウ
ダ−を加圧成型した後、これを焼結してインゴットと
し、このインゴットに鍛造，圧延等の塑性加工を施して
所望形状に仕上げる」という粉末冶金の手法である。

【０００５】しかしながら、このようにして製造された
モリブデン又はモリブデン合金部材に対して、最近、
「高温・高真空下で使用すると、使用中に該部材から不
純物ガスが放出されて設備性能に悪影響を及ぼす」との
問題が指摘されるようになってきた。これは、パウダ−
原料を焼結して作成した“焼結インゴット”の場合には
どうしても不純物（特にＯ，Ｎ，Ｃ，Ｓ，Ｈ等のガス成
分）の混入が多くなり、これが塑性加工後の製品部材に
まで持ち来たされることに起因したものと考えられる。
しかも、前記方法で製造されたモリブデン又はモリブデ
ン合金部材は、熱応力に弱くて急激な加熱冷却や熱疲労
により割れを生じたり、溶融部でガスが発生しがちであ
るため溶接性が悪いという問題も有していた。

【０００６】ところで、近年、電子機器デバイスの半導
体薄膜形成法として、超真空中でルツボから蒸発させた
成分元素をビ−ム状にして基板に向けエピタキシャル成
長させるＭＢＥ（Molecular Beam Epitaxial：分子線気
相成長）技術が注目を集めており、それに使用する装置
の内装材として、良好な耐熱性を示すことからモリブデ
ン又はモリブデン合金製部材が適用されている。

【０００７】しかし、ＭＢＥ装置のような超高真空下で
高温の処理を行わなければならない装置の部品には、単
なる耐熱性の他に“不純物ガス発生（吸蔵ガスの放出）
による処理環境の汚染”や“温度変化による部品の劣化
（割れ等）”を起こさない等の特性が要求されるが、上
述したように、従来のモリブデン又はモリブデン合金部
材ではこれらの要求に十分応えることができず、特に高
温高真空装置の内装材に対する (a) 使用中における不純物ガス発生量の減少，(b) 室
温〜１０００℃の繰り返し加熱・冷却で生じる熱応力へ
の抵抗性（耐熱疲労性）の向上，等の特性改善が切実な
問題となっている。

【０００８】一方、これらの問題とは別に、モリブデン
又はモリブデン合金部材を製造する場合には次のような
不都合を余儀無くされていた。つまり、モリブデン又は
モリブデン合金は大気中では非常に活性であり、特に高
温に加熱すると大気中の酸素や窒素等のガス成分と激し
く反応して表面及び表面近傍が汚染されてしまう。そし
て、このようにガス成分に汚染されたモリブデン又はモ
リブデン合金は加工性に乏しく、これらに鍛造等の塑性
加工を施すと低い加工度でも割れ等の欠陥を生じること
が多かったので、十分な加工組織を有したモリブデン又
はモリブデン合金部材を実現するのは極めて困難であっ
た。そして、そのためか、従来のモリブデン又はモリブ
デン合金部材は、理論上からすると強度や耐熱性（高温
強度等）の面で今一つ十分に満足できるものとは言えな
かった。

【０００９】このようなことから、本発明が目的とする
のは、より優れた強度，耐熱性，耐熱応力性能を備え、
かつ高温・超真空下での使用に際しても不純物ガスを発
生しないモリブデン又はモリブデン合金製の高温高真空
装置用内装材を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成すべく様々な観点に立って鋭意研究を重ねたとこ
ろ、以下に示すような新しい知見を得ることができた。

【００１１】a) モリブデン又はモリブデン合金製の
板，棒，線等を製造するための素材として、モリブデン
又はモリブデン合金を電子ビ−ム溶解法等により溶解・
鋳造した“鋳造インゴット”を用い、これに不純物ガス
汚染の少ない状態（環境）で塑性加工を施した場合に
は、該塑性加工が比較的容易となる上、高温・高真空下
での発生ガス量が非常に少なく、かつ溶接性，成形性等
に優れた部材を得ることが可能となる。特に、素材たる
“鋳造インゴット”を造る際に“電子ビ−ムコ−ルドハ
−スリメルト法”を適用すると共に、その後の処理での
不純物ガス汚染の適切な防止策を講じると、材料中に含
有されるガス成分の合計含有量を１００ppm以下という
極めて低い値にまで低減することができ、上述した諸特
性の更なる向上が期待できる。

【００１２】b) また、モリブデン又はモリブデン合金
製の鋳造インゴットに熱間鍛造や熱間押出し等の熱間加
工を施す際、該鋳造インゴットに対して、従来は粉末材
等の成型加工に用いられていた“キャニング”を特に適
用し、別材で鋳造インゴットの全面をシ−ルしてから加
工を実施すると、大気中においてもガス成分による汚染
の懸念なく安定した作業を行えるようになると同時に、
欠陥（割れ等）発生が極力抑えられて十分な加工度での
加工が可能となる。

【００１３】c) しかも、キャニングしたモリブデン又
はモリブデン合金の鋳造インゴットに熱間加工を施した
場合には、得られる加工材は強度や変形能の点で非常に
有利な組織状態を有したものとなり、この加工材に対し
ては通常の熱間圧延，冷間圧延，減径・減肉加工（スウ
ェ−ジング，押出し，鍛造，溝ロ−ル圧延，ドロ−イン
グ等）が適用できるため、これを素材とすれば、良好で
安定した機械的特性を有し、ＭＢＥ装置等の如き高温高
真空装置用の内装材としても十分に満足できるモリブデ
ン又はモリブデン合金部材を得ることができる。

【００１４】d) 更に、上記工程でモリブデン又はモリ
ブデン合金製の高温高真空装置用内装材を製造するに際
して、用いる鋳造インゴットの結晶粒径，加工条件（加
熱温度，加工度，中間熱処理条件）等を制御し得られる
部材の平均結晶粒径を特定の値以下に調整すると、機械
加工性が向上してその製造性が一段と安定化する。

【００１５】本発明は、上記知見事項等に基づいて完成
されたもので、「高温高真空装置用内装材を、ガス成分
の含有量が合計で１００ppm 以下の溶製モリブデン又は
モリブデン合金の塑性加工材にて構成するか、或いは更
に結晶粒径（平均結晶粒径）が１mm以下に調整されて成
る如くに構成した点」に大きな特徴を有するものであ
る。

【００１６】ここで、高温高真空装置用内装材の主要な
ものをＭＢＥ装置を例に取って示すと次の通りである。 A) 基板ホルダ−， B) 蒸発源セル部材（セルステ−ジ，ベ−スプレ−ト，
セル支柱，ネジ，ナット類等）， C) マニピュレ−タ部材（基板アクセプタ−，シ−ルド
プレ−ト，ネジ，ナット類等）。

【００１７】なお、本発明に係るモリブデン又はモリブ
デン合金（ＴＺＭとして知られるMo−Zr−Ti合金等）製
の高温高真空装置用内装材は、特に次の方法によって製
造することができる。即ち、モリブデン又はモリブデン
合金鋳造インゴットを出発材とし、これをシ−ス材でキ
ャニングしてから熱間鍛造又は押出し加工するか、或い
はこの鍛造又は押出し加工の後、更に熱間圧延，冷間圧
延又は減径・減肉加工等を施してから機械加工により所
要内装材とする方法である。

【００１８】そして、使用するモリブデン又はモリブデ
ン合金の鋳造インゴットは、例えば次に示す何れの手段
にても得ることができる。ｉ) モリブデン又はモリブデン合金のバ−ジン材又はス
クラップ材を圧縮成形するか、或いはこれらの原料をこ
れと同じ材質からなる箱又は管に詰めて溶解電極を形成
し、該電極を電子ビ−ム溶解或いは真空ア−ク溶解して
インゴットとする“電子ビ−ム溶解法”又は“真空ア−
ク溶解法”。 ii) 電子ビ−ム溶解した原料溶湯を一旦水冷式のコ−ル
ドハ−ス内に保持して不純物を真空環境へ逸散させ、こ
れをモ−ルド内へオ−バ−フロ−させて連続的に凝固さ
せつつインゴットとして下方から引き抜く“電子ビ−ム
コ−ルドハ−スリメルト法”。

【００１９】このように、粉末冶金法によるのではなく
溶解・鋳造したモリブデン又はモリブデン合金を素材と
した場合には、ガス成分を主とした揮発し易い不純物の
含有量が少ないので、加工性が良好な上に、溶接のため
に部分溶解したときや製品を高温高真空下、例えばＭＢ
Ｅ操業条件で使用したときでもガスの発生が殆ど見られ
ず、溶接欠陥や環境の汚染を生じる恐れが殆ど無くな
る。中でも、“電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法”
にて得られる不純物含有量が極めて少ない鋳造インゴッ
トの使用は、諸性能（非ガス発生性，強度，耐熱応力性
能，溶接性等）がより優れたモリブデン又はモリブデン
合金製の高温高真空装置用内装材を得る上で極めて好ま
しいことである。特に、一度溶解された溶製材は熱歪に
強く、耐熱性が著しく向上する。

【００２０】取り分け、“電子ビ−ムコ−ルドハ−スリ
メルト法”により不純物含有量を極力低減し、製品部材
のガス成分含有量を合計で１００ppm 以下に調整したモ
リブデン又はモリブデン合金製の高温高真空装置用内装
材では、高温・超真空中での使用時におけるガスの放出
量が極めて少なく、その使用雰囲気を実害が出るほどに
汚染することがなくなる。

【００２１】なお、出来れば製品部材中の各ガス成分や
その他の不純物成分は次のレベルにまで低減することが
好ましく、これは“電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト
法”の採用によって実現することが可能である。〈ガス成分〉Ｏ：５０ppm 以下，Ｎ：５０ppm 以下，Ｃ：５０pp
m 以下，Ｓ：１０ppm 以下，Ｈ：１０ppm 以下。〈その他の不純物成分〉 Nb：0.01wt％以下， Ta：0.01wt％以下，Ｗ：0.05wt
％以下，Fe：0.01wt％以下， Al：0.01wt％以下， N
i：0.01wt％以下。

【００２２】そして、更に推奨されるのは、結晶粒径
（鋳造方向とは垂直の断面における平均結晶粒径）が３
０mm以下（特に好ましくは１０mm以下）に抑えられた高
純度インゴットの使用である。モリブデン又はモリブデ
ン合金鋳造インゴットの結晶粒径が３０mm以下、より好
ましくは１０mm以下になると、結晶粒の微細化によって
粒界の総面積が著しく増大するので結晶粒界におけるガ
ス成分等の偏析が小さくなり、結晶粒界における粒界面
積当りの不純物偏析量は極めて少ない値となる。そし
て、これが著しい加工性の向上に結び付いて鍛造や圧延
等の加工が一段と容易化する。また、最終製品中に存在
する不純物ガス量の低減や最終製品の結晶粒微細化にも
大きく寄与する。

【００２３】ただ、このような微細結晶インゴットは、
既知の“電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法”をその
まま適用したとしても安定に得ることはできない。前記
インゴットは、モリブデン又はモリブデン合金材を電子
ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法にて溶製すると共に、
その際、(1) モ−ルド内の溶湯プ−ルに振動を加える，
(2) 溶湯プ−ルにモリブデン又はモリブデン合金の粒を
添加する，(3) モ−ルドから引き抜かれる凝固材を二次
冷却して冷却を促進する，(4) 上記手段を適宜組合わせ
る，等の手立てを講じて結晶粒の“微細化促進”及び
“成長・粗大化の防止”を図ることによって得ることが
できる。

【００２４】モリブデン又はモリブデン合金鋳造インゴ
ットのキャニングは、加熱・加工中の表面汚染による割
れ等の欠陥を防止し、かつ静水圧効果による３軸圧縮加
工を可能にして変形能が改善された組織を実現するため
に行われる。そして、この加工に有利な組織を有したモ
リブデン又はモリブデン合金では、比較的容易に熱間圧
延や冷間圧延を行うことができ、また従来の減肉・減径
加工を容易に行うことができる。

【００２５】なお、従来より粉末材等の成型加工に用い
られてきたキャニングを、特にモリブデン又はモリブデ
ン合金鋳造インゴットに適用して加工した場合の主な作
用効果をまとめると、次のようになる。

【００２６】(A) 大気中においてもガス成分による汚染
の懸念なく成形加工を行えるようになる。 (B) 比較的強度が高くて厚肉のキャニング材を用いる
と、１軸方向の圧縮荷重のみではなく３軸方向の圧縮荷
重を被加工材（鋳造インゴット）に負荷できる静水圧効
果も加わって、加工（鍛造等）時における欠陥（割れ
等）発生が効果的に抑えられる（モリブデン又はモリブ
デン合金のような難加工性材料に対して前記の如き静水
圧効果は特に有効である）。

【００２７】(C) 更に、高温に加熱した被加工材をハン
マ−又はプレス等の如き鍛造装置で加工する場合には、
冷えた金敷等の工具で支持して圧縮荷重を被加工材に負
荷するため被加工材の熱が工具に奪われ、被加工材の表
面温度が低下して欠陥発生の原因となるが、キャニング
を施しておくことでこのような温度低下も効果的に防止
され健全な加工を行うことが可能になる。なお、高温加
工中の温度低下を防止し、一定温度でしかも歪速度（加
工速度）を低く保ちつつ加工を行う方法として“恒温鍛
造法”が知られているが、この恒温鍛造法ではやはり高
価な装置を必要とする上、品質面からは好ましい加工法
ではあるが歪速度を低く保たなければならないことから
生産能率面で実際的な方法とは言えない。

【００２８】(D) つまり、上述した「ガス成分の汚染防
止」, 「静水圧効果による３軸圧縮」及び「表面温度の低
下防止」の３つの効果を醸し出す“キャニング法”の採
用により、モリブデン又はモリブデン合金鋳造インゴッ
トを工業的に極めて有利な手段で板材，棒材，線材等へ
容易に成形加工することが可能になる。

【００２９】キャニングは、例えば図１で示すように、
円柱状の被加工材たるモリブデン又はモリブデン合金イ
ンゴット１を被覆するため、市販の耐熱鋼（ＳＵＳ３１
６，ＳＵＳ３１０等）製のチュ−ブを適当な長さに切断
したシ−ス２とその両端面を被覆する２枚の円板３（シ
−スと同材質が好ましい）とを用いて行えば良い。な
お、円筒状のシ−ス２と円板３とはＴＩＧ等の適当な溶
接方法で接合・密封される。図１における符号４は、こ
の溶接部を示す。

【００３０】シ−ス２内径とモリブデン又はモリブデン
合金インゴット１との隙間（クリアランス）は小さいほ
ど良いが、このクリアランスが大きい場合でも残留する
ガス成分を除去するための脱気処理を行う必要はない。
ただ、クリアランスの容積が５％を超えると、モリブデ
ン又はモリブデン合金インゴット１の表面と接触するガ
ス成分量が多くなる結果となり、そのため加熱・加工が
終了した後に余分な皮剥きを必要とするので加工歩留が
低下することになる。

【００３１】キャニング後の被加工材においてシ−ス材
が占める断面積は全体の１０〜４０％が適切であり、材
質に応じてこの範囲でシ−スの肉厚を調整するのが良
い。即ち、シ−ス断面積が１０％未満であると、前述し
たキャニングの３つの効果のうち「静水圧効果による３
軸圧縮」及び「表面温度の低下防止」が十分でなく、一
方、シ−ス断面積が４０％を超えると溶接等による接合
が困難となる上、キャニング材質によっては材料代が嵩
むことになる。

【００３２】なお、シ−スの寸法及び材質は鍛造，押出
し前の加熱温度やインゴットの材質により決定される
が、静水圧効果をより期待する場合には肉厚は厚い方が
良く、材質は被加工材であるモリブデン又はモリブデン
合金インゴットの変形抵抗に近い特性を持つものが望ま
しい。一般的には、先に例示した市販の３１６ステンレ
ス鋼や３１０ステンレス鋼といった耐熱鋼がキャニング
材として望ましいが、より安価な炭素鋼でも厚肉とする
ことでキャニング材として用いることができる。

【００３３】以上のキャニングを行ったモリブデン又は
モリブデン合金鋳造インゴットは、既に述べたように大
気中でも容易に鍛造加工，押出し加工が可能となり、こ
れにより健全な組織及び変形能を持った加工材を容易に
得ることができる。つまり、このような手法によって得
られた加工材（鍛造材，押出し材）は一般の熱間圧延，
温間圧延，冷間圧延，減径・減肉加工も可能で、優れた
特性（非ガス発生性，高強度，耐熱性，耐熱応力性能）
を持ったより小さい寸法のモリブデン又はモリブデン合
金製板，棒，線等にまで容易かつ安定に成形加工するこ
とができる。

【００３４】鍛造等の熱間加工後に圧延（温間圧延，熱
間圧延又は冷間圧延、或いはこれらの１種以上を組合わ
せた圧延）を施して板材を得る場合には、次の加工条件
を選ぶのが良い。即ち、温間又は熱間圧延については、
加熱温度５００〜１２００℃にて圧下率５０％以上の条
件で行う。なぜなら、温間又は熱間圧延に際しての材料
加熱温度が５００℃未満であると被圧延材のエッジ部に
割れを発生することが多くなり、一方、１２００℃を超
える温度にまで加熱すると組織が粗大化したり、表面汚
染が激しくなるためである。また、温間又は熱間圧延の
圧下率が５０％未満であると不均一な断面組織となるこ
とが多く、均一な断面組織を得るためには５０％以上、
特に好ましくは６０％以上の圧下率が必要となる。

【００３５】冷間圧延については、適当な処理によって
表面のスケ−ル層を除去した後に実施されるが、冷間圧
延での圧下率は３０％以上とするのが良い。なぜなら、
圧下率が３０％未満であると均一な断面組織を得ること
が困難な上に、美麗な冷間加工肌とすることができない
からである。また、冷間圧延において、圧延方向を途中
で変更しクロスさせて圧延することにより、面内異方性
の小さな組織及び機械的特性を持ったモリブデン又はモ
リブデン合金板を得ることができる。

【００３６】なお、鍛造，押出し等の熱間加工後に減径
・減肉加工を施して棒，線，管材を得る時も、圧延の場
合と同様の加熱温度や加工率が適用される。勿論、これ
らの加工に際し、必要に応じて歪取り熱処理（真空熱処
理）を施しても良い。

【００３７】熱間圧延，冷間圧延又は減径・減肉加工を
施して得られたモリブデン又はモリブデン合金板は、更
に８００〜１２００℃で 0.5〜４時間の真空熱処理を行
うことでより安定な組織の焼鈍材とすることができる。
この場合、８００℃未満の加熱温度では加工歪の除去が
不十分であり、溶接等の加熱で変形することがある。ま
た、１２００℃を超える加熱温度では、結晶粒が成長粗
大化して脆化を引き起こすことがある。加熱時間につい
ては、 0.5時間よりも短いと歪の除去が不十分となり易
く、一方、４時間を超える長時間加熱では結晶粒の粗大
化を起こすことがあるため、加熱温度と相関した加熱時
間が選ばれる。なお、上記真空熱処理は10^-4torr以上の
真空度で実施するのが良い。つまり、真空度が10^-4torr
よりも低いとガス汚染（Ｏ，Ｎとの反応）により表面が
着色するきらいがある。

【００３８】そして、これらの処理を経て得られたモリ
ブデン又はモリブデン合金の塑性加工材は、機械加工に
より所要のＭＢＥ装置等の高温高真空装置用内装材に加
工され、使用に供される。この場合、上記モリブデン又
はモリブデン合金部材は、良好な機械加工性を確保する
上で平均結晶粒径を１mm以下（好ましくは 0.5mm以下）
に調整しておくことが好ましい。平均結晶粒径が１mmよ
りも大きいと、加工中に結晶粒の剥離等が起きてクラッ
クが入る原因となり易いためである。この結晶粒径の調
整は、鋳造インゴットの結晶粒径，加工条件（加熱温
度，加工度，熱処理条件）等の制御により可能である。

【００３９】続いて、本発明を実施例により更に具体的
に説明する。

【実施例】

〔実施例１〕まず、電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト
法を適用した溶解・鋳造により、何れも結晶粒径が１０
mm以下の "純モリブデンインゴット" 及び "ＴＺＭ（Mo
−Zr−Ti合金）インゴット" を製造した。何れのインゴ
ットも直径は１２０mmであった。

【００４０】なお、 "純モリブデンインゴット" 及び
"ＴＺＭインゴット" の化学分析値は次の通りであっ
た。純モリブデンインゴット Al：0.0003wt％，Fe： 0.001wt％，Ti：0.01wt％以下，
Ｗ：0.02wt％，Ｏ：４ppm, Ｎ：1ppm以下，Ｃ：25ppm
，Ｓ：1ppm以下，Ｈ：1ppm以下，Mo： 99.95wt％以
上。ＴＺＭインゴット Al：0.0004wt％，Fe： 0.002wt％，Ti：0.48wt％以下，
Zr：0.08wt％，Ｗ：0.01wt％以下，Ｏ：５ppm, Ｎ：1p
pm以下，Ｃ：30ppm ，Ｓ：1ppm以下，Ｈ：1ppm以下，M
o：bal.。

【００４１】次に、これら純モリブデン及びモリブデン
合金インゴットを、ＳＵＳ３１６鋼製のチュ−ブ（肉厚
２０mm）と厚さ３０mmの円板とを使用して図１で示す如
くにキャニングした後（キャニング材は外径Ｄ：１５０
mm，長さＬ：４５０mm）、これらを１２００℃に加熱し
加工率９０％で熱間鍛造した。

【００４２】次いで、上記鍛造板から直径７インチの円
板を切出し、これに１２００℃で１hrの真空熱処理を施
してＭＢＥ装置用基板ホルダ−（内装材）を作成した。
このようにして作成されたＭＢＥ装置用基板ホルダ−の
ガス成分含有量は鋳造インゴットのそれと実質的に同じ
であり、平均結晶粒径は５０μｍであった。ところで、
図２は、上記ＭＢＥ装置用基板ホルダ−断面（純モリブ
デン製）の組織写真図を示しているが、欠陥の無い非常
に均一な再結晶組織となっていることが確認できる。

【００４３】そして、これらＭＢＥ装置用基板ホルダ−
につき、ＭＢＥ操業条件に相当する１０００℃，10^-1to
rrの高温・超真空中でガス発生状況を調査したところ、
何れもＭＢＥ装置用内装材として十分に満足できるほど
ガス発生量の少ないことが確認された。

【００４４】

【効果の総括】以上に説明した如く、この発明によれ
ば、強度，耐熱性，耐熱応力性，溶接性等が共に優れて
いて、高温・超真空下で使用しても不純物ガスを殆ど発
生しないモリブデン又はモリブデン合金製の高温高真空
装置用内装材をコスト安く提供することができ、高温高
真空装置の性能を一段と向上することが可能になるな
ど、産業上極めて有用な効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インゴットのキャニング手法例を説明した概念
図である。

【図２】実施例で製造された本発明係るモリブデン製Ｍ
ＢＥ装置用基板ホルダ−断面の金属組織写真図である。

【符号の説明】

１モリブデン又はモリブデン合金インゴット２シ−ス（円筒状）３円板４溶接部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガス成分の含有量が合計で１００ppm 以
下の、溶製モリブデン又はモリブデン合金の塑性加工材
から成ることを特徴とする、高温高真空装置用内装材。
【請求項２】結晶粒径が１mm以下に調整されて成る、
請求項１に記載の高温高真空装置用内装材。