JPH05317772A - レジスト塗布方法及び塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布方法及び塗布装置Info
- Publication number
- JPH05317772A JPH05317772A JP4154076A JP15407692A JPH05317772A JP H05317772 A JPH05317772 A JP H05317772A JP 4154076 A JP4154076 A JP 4154076A JP 15407692 A JP15407692 A JP 15407692A JP H05317772 A JPH05317772 A JP H05317772A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- shaped material
- belt
- roller
- strip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リードフレームやシャドウマスク等の製造に
使用される帯状材料にレジストを連続的に、ピンホール
等の欠陥を少なく、塗布する方法および装置を提案す
る。 【構成】 レジストを満したディップ槽内で、ディップ
ローラーを使用せずに、帯状材料を弛ませる構成であ
る。
使用される帯状材料にレジストを連続的に、ピンホール
等の欠陥を少なく、塗布する方法および装置を提案す
る。 【構成】 レジストを満したディップ槽内で、ディップ
ローラーを使用せずに、帯状材料を弛ませる構成であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームやシャ
ドウマスク等の製造において使用される帯状材料にレジ
ストを塗布する方法および装置に関するものである。
ドウマスク等の製造において使用される帯状材料にレジ
ストを塗布する方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フォトファブリケーション（写真製版）
によるエッチング工程では、感光性のレジストにより、
製品の形状を帯状材料に形成している。このレジストに
は均一な膜厚と、ピンホールなどの欠陥がないことが要
求される。従来、帯状材料の両面にレジストを塗布する
場合、図２に示す様な連続ディップ法による塗布が行な
われている。ディップローラー６は、塗布開始時にディ
ップ槽２へ降下され、レジストへ浸漬される。ディップ
ローラー６をレジストに浸漬した状態で帯状材料７を搬
送することにより、帯状材料７にレジストが塗布され
る。塗布の終了はディップローラー６をディップ槽２か
ら引き上げることにより完了する。
によるエッチング工程では、感光性のレジストにより、
製品の形状を帯状材料に形成している。このレジストに
は均一な膜厚と、ピンホールなどの欠陥がないことが要
求される。従来、帯状材料の両面にレジストを塗布する
場合、図２に示す様な連続ディップ法による塗布が行な
われている。ディップローラー６は、塗布開始時にディ
ップ槽２へ降下され、レジストへ浸漬される。ディップ
ローラー６をレジストに浸漬した状態で帯状材料７を搬
送することにより、帯状材料７にレジストが塗布され
る。塗布の終了はディップローラー６をディップ槽２か
ら引き上げることにより完了する。
【０００３】しかし、ディップローラー６をレジフト槽
２に浸漬する場合、ディップローラー６と帯状材料７の
間に挟まれた空気がレジスト中に放出され、気泡が発生
する。その気泡が帯状材料７に付着したままレジスト塗
布の後乾燥されると、レジストの薄い部分やピンホール
などのレジスト欠陥を生じる。また、ディップローラー
６と帯状材料７の間にレジストが入ると、レジストが潤
滑材となり、ディップローラー６と帯状材料７の間に滑
りを生じ、帯状材料７表面に傷が生じる。また、ディッ
プローラー６に付着したレジストが乾燥してしまうと、
これを除去しないと、レジスト中にレジストの固形物が
混入して欠陥の原因となる。
２に浸漬する場合、ディップローラー６と帯状材料７の
間に挟まれた空気がレジスト中に放出され、気泡が発生
する。その気泡が帯状材料７に付着したままレジスト塗
布の後乾燥されると、レジストの薄い部分やピンホール
などのレジスト欠陥を生じる。また、ディップローラー
６と帯状材料７の間にレジストが入ると、レジストが潤
滑材となり、ディップローラー６と帯状材料７の間に滑
りを生じ、帯状材料７表面に傷が生じる。また、ディッ
プローラー６に付着したレジストが乾燥してしまうと、
これを除去しないと、レジスト中にレジストの固形物が
混入して欠陥の原因となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、気泡の付着
によるピンホールなどのレジスト欠陥、ディップローラ
ーと帯状材料との間の滑り現象による帯状材料表面の
傷、固形状レジストにより起る欠陥等が生じないレジス
ト塗布方法および塗布装置を提案することを目的とす
る。
によるピンホールなどのレジスト欠陥、ディップローラ
ーと帯状材料との間の滑り現象による帯状材料表面の
傷、固形状レジストにより起る欠陥等が生じないレジス
ト塗布方法および塗布装置を提案することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明によるレジスト塗布方法は、帯状材料にレジス
トを連続的に塗布するレジスト塗布方法において、レジ
ストを満たしたディップ槽内で帯状材料を弛ませる点に
特徴がある。
に本発明によるレジスト塗布方法は、帯状材料にレジス
トを連続的に塗布するレジスト塗布方法において、レジ
ストを満たしたディップ槽内で帯状材料を弛ませる点に
特徴がある。
【０００６】また、本発明によるレジスト塗布装置は、
帯状材料を搬送する材料搬送ローラーと、ディップ槽内
の材料の弛みの下端を検知するセンサーと、帯状材料を
送り出す材料送り出しローラーと、材料送りだしローラ
ーの速度を制御するコントローラーとを備えた点に特徴
がある。
帯状材料を搬送する材料搬送ローラーと、ディップ槽内
の材料の弛みの下端を検知するセンサーと、帯状材料を
送り出す材料送り出しローラーと、材料送りだしローラ
ーの速度を制御するコントローラーとを備えた点に特徴
がある。
【０００７】
【作用】ディップ槽内に浸漬するローラーがないため、
レジスト中への気泡の浸入がなく、ディップローラーに
よる帯状材料表面の傷も無くなる。
レジスト中への気泡の浸入がなく、ディップローラーに
よる帯状材料表面の傷も無くなる。
【０００８】
【実施例】図１に於て、材料搬送ローラー１は、一定の
速度で帯状材料７を送っている。レジストはディップ槽
２に塗布に十分なだけの量が入れられている。超音波セ
ンサー３はディップ槽２の底部に設置され、コントロー
ラー４へディップ槽２内にある帯状材料７の弛み下端の
位置情報を送る。コントローラー４は、ディップ槽２内
の帯状材料７の弛み下端の位置が一定になるように、材
料送り出しローラー５の速度を調節する。
速度で帯状材料７を送っている。レジストはディップ槽
２に塗布に十分なだけの量が入れられている。超音波セ
ンサー３はディップ槽２の底部に設置され、コントロー
ラー４へディップ槽２内にある帯状材料７の弛み下端の
位置情報を送る。コントローラー４は、ディップ槽２内
の帯状材料７の弛み下端の位置が一定になるように、材
料送り出しローラー５の速度を調節する。
【０００９】本発明は上記の構造なので塗布中に、ディ
ップ槽２の中の帯状材料７の弛み下端の位置が設定位置
より高くなった場合、材料送り出しローラー５の速度を
速くして帯状材料７の弛みを多くする。逆に弛み量が多
すぎる場合は、材料送り出しローラー５の速度を遅くし
て弛み量を少なくする。ディップ槽２の中での帯状材料
７の弛みの量は、帯状材料７に塗布されたレジスト層の
状態を観察しながら決めれば良いが、弛んだ部分がレジ
ストの液面から２００ｍｍ以上の深さにするのが望まし
い。
ップ槽２の中の帯状材料７の弛み下端の位置が設定位置
より高くなった場合、材料送り出しローラー５の速度を
速くして帯状材料７の弛みを多くする。逆に弛み量が多
すぎる場合は、材料送り出しローラー５の速度を遅くし
て弛み量を少なくする。ディップ槽２の中での帯状材料
７の弛みの量は、帯状材料７に塗布されたレジスト層の
状態を観察しながら決めれば良いが、弛んだ部分がレジ
ストの液面から２００ｍｍ以上の深さにするのが望まし
い。
【００１０】なお、レジスト槽２でレジストを塗布され
た帯状材料７は、通常、図１の如く乾燥機８で乾燥され
た後に材料搬送ローラー１により搬送される。
た帯状材料７は、通常、図１の如く乾燥機８で乾燥され
た後に材料搬送ローラー１により搬送される。
【００１１】なお、本実施例において、材料搬送ローラ
ー１の速度を一定とし、材料送り出しローラー５で材料
搬送の速度を可変としてもよい。
ー１の速度を一定とし、材料送り出しローラー５で材料
搬送の速度を可変としてもよい。
【００１２】帯状材料として３２０ｍｍ巾、板厚０．１
２５ｍｍの銅系合金フィルムを１ｍ／分の速度で搬送
し、図１に示した装置により、カゼイン系のレジストを
１５μｍの厚さに塗布した。ここで、材料搬送ローラー
１の寸法は２５０φ×３５０ｍｍ、材料送り出しローラ
ー５の寸法は１００φ×３５０ｍｍであり、デップ槽２
（深さ５００ｍｍ）での帯状材料７の弛み部分のレジス
ト液面からの深さは２１０ｍｍである。得られた帯状材
料は表面に傷がなく、レジスト塗布層にはピンホールが
見られなかった。
２５ｍｍの銅系合金フィルムを１ｍ／分の速度で搬送
し、図１に示した装置により、カゼイン系のレジストを
１５μｍの厚さに塗布した。ここで、材料搬送ローラー
１の寸法は２５０φ×３５０ｍｍ、材料送り出しローラ
ー５の寸法は１００φ×３５０ｍｍであり、デップ槽２
（深さ５００ｍｍ）での帯状材料７の弛み部分のレジス
ト液面からの深さは２１０ｍｍである。得られた帯状材
料は表面に傷がなく、レジスト塗布層にはピンホールが
見られなかった。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は連続ディ
ップ法におけるディップローラーを使用することによっ
て生ずる欠点をなくし、従来の装置に比べて高品位なレ
ジスト塗布材を提供することで、品質の高い製品を効率
的に提供できる。
ップ法におけるディップローラーを使用することによっ
て生ずる欠点をなくし、従来の装置に比べて高品位なレ
ジスト塗布材を提供することで、品質の高い製品を効率
的に提供できる。
【図１】本発明のレジスト塗布装置の一例を示す説明図
である。
である。
【図２】従来のレジスト塗布装置を示す説明図である。
【符号の説明】 １ 材料搬送ローラー ２ ディップ槽 ３ 超音波センサー ４ コントローラー ５ 材料送り出しローラー ６ ディップローラー ７ 帯状材料 ８ 乾燥機
Claims (2)
- 【請求項１】 帯状材料にレジストを連続的に塗布する
レジスト塗布方法において、レジストを満たしたディッ
プ槽内で帯状材料を弛ませることを特徴とするレジスト
塗布方法。 - 【請求項２】 帯状材料を搬送する材料搬送ローラー
と、ディップ槽内の材料の弛みの下端を検知するセンサ
ーと、帯状材料を送り出す材料送り出しローラーと、材
料送りだしローラーの速度を制御するコントローラーと
を備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4154076A JPH05317772A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レジスト塗布方法及び塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4154076A JPH05317772A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レジスト塗布方法及び塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05317772A true JPH05317772A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=15576369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4154076A Pending JPH05317772A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | レジスト塗布方法及び塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05317772A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005347298A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Satsuma Tsushin Kogyo Kk | フレキシブルプリント基板の被膜形成方法とそのシステム |
| JP5884932B1 (ja) * | 2015-05-27 | 2016-03-15 | 千住金属工業株式会社 | 液体塗布装置 |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP4154076A patent/JPH05317772A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005347298A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Satsuma Tsushin Kogyo Kk | フレキシブルプリント基板の被膜形成方法とそのシステム |
| JP5884932B1 (ja) * | 2015-05-27 | 2016-03-15 | 千住金属工業株式会社 | 液体塗布装置 |
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