JPH05319545A - 真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング方法 - Google Patents
真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング方法Info
- Publication number
- JPH05319545A JPH05319545A JP4128720A JP12872092A JPH05319545A JP H05319545 A JPH05319545 A JP H05319545A JP 4128720 A JP4128720 A JP 4128720A JP 12872092 A JP12872092 A JP 12872092A JP H05319545 A JPH05319545 A JP H05319545A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- cleaning
- vacuum container
- conveying means
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器内
で、被加工物搬送手段に付着しているダストを低減して
製品歩留りを向上し、且つ、クリーニングのタクトの短
縮が可能な真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニン
グ方法を提供することを目的としている。 【構成】 真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器５内
で、真空容器５内の任意の位置４にある被加工物２を加
工作業台３上に搬送する被加工物搬送手段１のクリーニ
ング方法において、この被加工物搬送手段１に電圧を印
加し、放電させることによって、この被加工物搬送手段
１をクリーニングすることを特徴とする。
で、被加工物搬送手段に付着しているダストを低減して
製品歩留りを向上し、且つ、クリーニングのタクトの短
縮が可能な真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニン
グ方法を提供することを目的としている。 【構成】 真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器５内
で、真空容器５内の任意の位置４にある被加工物２を加
工作業台３上に搬送する被加工物搬送手段１のクリーニ
ング方法において、この被加工物搬送手段１に電圧を印
加し、放電させることによって、この被加工物搬送手段
１をクリーニングすることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品等を真空雰囲
気中で加工する際に実施する、装置及び被加工物のクリ
ーニング方法に関し、特に、真空容器内の被加工物搬送
手段のクリーニング方法に関するものである。
気中で加工する際に実施する、装置及び被加工物のクリ
ーニング方法に関し、特に、真空容器内の被加工物搬送
手段のクリーニング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以前から、電子部品の加工に、スパッタ
リング、エッチング、ＣＶＤ等が真空雰囲気中で行われ
ている。これらのスパッタリング、エッチング、ＣＶＤ
等は、被加工物にダストの付着がない状態で加工する必
要があるので、以前から、真空雰囲気中で被加工物に電
圧を印加し、放電させて、被加工物をクリーニングして
いる。
リング、エッチング、ＣＶＤ等が真空雰囲気中で行われ
ている。これらのスパッタリング、エッチング、ＣＶＤ
等は、被加工物にダストの付着がない状態で加工する必
要があるので、以前から、真空雰囲気中で被加工物に電
圧を印加し、放電させて、被加工物をクリーニングして
いる。
【０００３】次に、真空容器内の被加工物のクリーニン
グ方法の従来例を図２に基づいて説明する。
グ方法の従来例を図２に基づいて説明する。
【０００４】図２に示すように、外壁に、排気口７とガ
ス導入口６とを有し、排気口７からの真空引きで高真空
状態にし、ガス導入口６からＡｒ等のガスを一定量導入
して、放電可能な真空状態に設定した内部に、スパッタ
リング、エッチング、ＣＶＤ等の加工設備Ａ及び加工後
の被加工物を移動させる移動手段Ｂとを設けた真空容器
５内に、被加工物として、例えば、基板２が、基板カセ
ット４にセットされて任意の位置に置かれ、前記加工設
備Ａの下方に加工作業台３が配されている場合、従来例
のクリーニング方法では、加工作業台３に、ＲＦ又はＤ
Ｃ電源８を接続しておき、基板カセット４にセットされ
ている基板２が、上下に移動すると共に回転する被加工
物搬送手段１によって、加工作業台３上に搬送され、加
工作業台３上にセットされた後に、加工作業台３にＲＦ
又はＤＣ電圧を印加し、放電させることによって、加工
作業台３とその上にセットされた基板２とに付着してい
るダストを加工作業台３及び基板２から離してクリーニ
ングしている。
ス導入口６とを有し、排気口７からの真空引きで高真空
状態にし、ガス導入口６からＡｒ等のガスを一定量導入
して、放電可能な真空状態に設定した内部に、スパッタ
リング、エッチング、ＣＶＤ等の加工設備Ａ及び加工後
の被加工物を移動させる移動手段Ｂとを設けた真空容器
５内に、被加工物として、例えば、基板２が、基板カセ
ット４にセットされて任意の位置に置かれ、前記加工設
備Ａの下方に加工作業台３が配されている場合、従来例
のクリーニング方法では、加工作業台３に、ＲＦ又はＤ
Ｃ電源８を接続しておき、基板カセット４にセットされ
ている基板２が、上下に移動すると共に回転する被加工
物搬送手段１によって、加工作業台３上に搬送され、加
工作業台３上にセットされた後に、加工作業台３にＲＦ
又はＤＣ電圧を印加し、放電させることによって、加工
作業台３とその上にセットされた基板２とに付着してい
るダストを加工作業台３及び基板２から離してクリーニ
ングしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
のクリーニング方法では、真空容器５内で基板２を搬送
する被加工物搬送手段１に付着しているダストは除去さ
れず、このダストは、場合によっては搬送する被加工物
に付着し、又、真空容器５を大気開放した時に拭き取ら
ねばならないという問題点がある。又、基板２のクリー
ニングは、これを加工作業台３上にセットした後にしか
できないために、このクリーニング時間分だけ、クリー
ニングのためだけの作業時間を要し、余分なタクトが必
要であるという問題点がある。
のクリーニング方法では、真空容器５内で基板２を搬送
する被加工物搬送手段１に付着しているダストは除去さ
れず、このダストは、場合によっては搬送する被加工物
に付着し、又、真空容器５を大気開放した時に拭き取ら
ねばならないという問題点がある。又、基板２のクリー
ニングは、これを加工作業台３上にセットした後にしか
できないために、このクリーニング時間分だけ、クリー
ニングのためだけの作業時間を要し、余分なタクトが必
要であるという問題点がある。
【０００６】本発明は、上記の問題点を解決し、被加工
物搬送手段に付着しいるダストを低減して製品歩留りを
向上し、クリーニングのためだけの余分なタクトの短縮
が可能な真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング
方法を提供することを課題としている。
物搬送手段に付着しいるダストを低減して製品歩留りを
向上し、クリーニングのためだけの余分なタクトの短縮
が可能な真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング
方法を提供することを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の真空容器内の被
加工物搬送手段のクリーニング方法は、上記の課題を解
決するために、真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器
内で、真空容器内の任意の位置にある被加工物を加工作
業台上に搬送する被加工物搬送手段のクリーニング方法
において、この被加工物搬送手段に電圧を印加し、放電
させることによって、この被加工物搬送手段をクリーニ
ングすることを特徴とする。
加工物搬送手段のクリーニング方法は、上記の課題を解
決するために、真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器
内で、真空容器内の任意の位置にある被加工物を加工作
業台上に搬送する被加工物搬送手段のクリーニング方法
において、この被加工物搬送手段に電圧を印加し、放電
させることによって、この被加工物搬送手段をクリーニ
ングすることを特徴とする。
【０００８】又、本発明の真空容器内の被加工物搬送手
段のクリーニング方法は、被加工物搬送手段が被加工物
を保持・搬送中に、この被加工物搬送手段に電圧を印加
し、放電させることによって、この被加工物搬送手段と
これが保持・搬送中の被加工物とを同時にクリーニング
することが好適である。
段のクリーニング方法は、被加工物搬送手段が被加工物
を保持・搬送中に、この被加工物搬送手段に電圧を印加
し、放電させることによって、この被加工物搬送手段と
これが保持・搬送中の被加工物とを同時にクリーニング
することが好適である。
【０００９】
【作用】本発明の真空容器内の被加工物搬送手段のクリ
ーニング方法は、被加工物搬送手段に電圧を印加するこ
とによって、従来例では真空雰囲気の作業中には除去で
きなかった被加工物搬送手段に付着したダストを放電に
よってクリーニングすることができ、又、被加工物搬送
手段が被加工物を保持・搬送中に、前記放電によって、
被加工物搬送手段と共に、被加工物をクリーニングでき
るので、被加工物のクリーニングのタクトを短縮でき
る。
ーニング方法は、被加工物搬送手段に電圧を印加するこ
とによって、従来例では真空雰囲気の作業中には除去で
きなかった被加工物搬送手段に付着したダストを放電に
よってクリーニングすることができ、又、被加工物搬送
手段が被加工物を保持・搬送中に、前記放電によって、
被加工物搬送手段と共に、被加工物をクリーニングでき
るので、被加工物のクリーニングのタクトを短縮でき
る。
【００１０】
【実施例】本発明の真空容器内の被加工物搬送手段のク
リーニング方法の一実施例方法を使用した真空容器内の
被加工物搬送手段のクリーニング装置を図１に基づいて
説明する。
リーニング方法の一実施例方法を使用した真空容器内の
被加工物搬送手段のクリーニング装置を図１に基づいて
説明する。
【００１１】図１に示すように、外壁に、排気口７とガ
ス導入口６とを有し、排気口７からの真空引きで高真空
状態にし、ガス導入口６からＡｒ等のガスを一定量導入
して、放電可能な真空状態に設定した内部に、スパッタ
リング、エッチング、ＣＶＤ等の加工設備Ａ及び加工後
の被加工物を移動させる移動手段Ｂとを設けた真空容器
５内に、被加工物として、例えば、基板２（被加工物）
が、基板カセット４（任意の位置）にセットされて任意
の位置に置かれ、前記加工設備Ａの下方に加工作業台３
が配されている場合、本発明のクリーニング方法の一実
施例方法を使用した真空容器内の被加工物搬送手段のク
リーニング装置では、加工作業台３及び上下に移動する
と共に回転する被加工物搬送手段１に、ＲＦ又はＤＣ電
源８を接続し、加工作業台３には、スパッタリング、エ
ッチング、ＣＶＤ等の加工作業時以外の任意の時期に、
電源８によってＲＦ又はＤＣ電圧を印加して加工作業台
３に放電を起こさせて加工作業台３をクリーニングし、
被加工物搬送手段１には、被加工物搬送手段１が基板カ
セット４にセットされている基板２を加工作業台３上に
搬送する際に、電源８によって、ＲＦ又はＤＣ電圧を印
加して、被加工物搬送手段１と、これが搬送している基
板２とに放電を起こさせて、これらに付着しているダス
トをクリーニングし、クリーニングされた基板２を、先
にクリーニングされた加工作業台３にセットする。
ス導入口６とを有し、排気口７からの真空引きで高真空
状態にし、ガス導入口６からＡｒ等のガスを一定量導入
して、放電可能な真空状態に設定した内部に、スパッタ
リング、エッチング、ＣＶＤ等の加工設備Ａ及び加工後
の被加工物を移動させる移動手段Ｂとを設けた真空容器
５内に、被加工物として、例えば、基板２（被加工物）
が、基板カセット４（任意の位置）にセットされて任意
の位置に置かれ、前記加工設備Ａの下方に加工作業台３
が配されている場合、本発明のクリーニング方法の一実
施例方法を使用した真空容器内の被加工物搬送手段のク
リーニング装置では、加工作業台３及び上下に移動する
と共に回転する被加工物搬送手段１に、ＲＦ又はＤＣ電
源８を接続し、加工作業台３には、スパッタリング、エ
ッチング、ＣＶＤ等の加工作業時以外の任意の時期に、
電源８によってＲＦ又はＤＣ電圧を印加して加工作業台
３に放電を起こさせて加工作業台３をクリーニングし、
被加工物搬送手段１には、被加工物搬送手段１が基板カ
セット４にセットされている基板２を加工作業台３上に
搬送する際に、電源８によって、ＲＦ又はＤＣ電圧を印
加して、被加工物搬送手段１と、これが搬送している基
板２とに放電を起こさせて、これらに付着しているダス
トをクリーニングし、クリーニングされた基板２を、先
にクリーニングされた加工作業台３にセットする。
【００１２】被加工物搬送手段１は、基板２を加工作業
台３にセットすると、定位置に戻り、加工作業台３にセ
ットされた基板２に、スパッタリング、エッチング、Ｃ
ＶＤ等の加工作業が行われる。被加工物搬送手段１は、
この加工作業が終了し加工された基板２が移動されるタ
イミングに合わせて、次の基板２を加工作業台３上にセ
ットするために、次の搬送動作を開始する。
台３にセットすると、定位置に戻り、加工作業台３にセ
ットされた基板２に、スパッタリング、エッチング、Ｃ
ＶＤ等の加工作業が行われる。被加工物搬送手段１は、
この加工作業が終了し加工された基板２が移動されるタ
イミングに合わせて、次の基板２を加工作業台３上にセ
ットするために、次の搬送動作を開始する。
【００１３】
【発明の効果】本発明の真空容器内の被加工物搬送手段
のクリーニング方法は、被加工物搬送手段に電圧を印加
することによって、従来例では真空雰囲気での作業中に
は除去できなかった被加工物搬送手段に付着しているダ
ストを、真空雰囲気での作業中に、真空雰囲気での放電
によってクリーニングすることができるので、従来は被
加工物搬送手段に付着しているダストが加工作業台上の
被加工物に付着して不良発生の原因になっていたことが
なくなり、製品の品質が向上し、歩留りも向上するとい
う効果を奏する。又、被加工物搬送手段が被加工物を保
持・搬送中に、前記放電によって、保持・搬送中の被加
工物をクリーニングできるので、加工作業台上での被加
工物のクリーニングのタクトを短縮し、作業能率を向上
できるという効果を奏する。
のクリーニング方法は、被加工物搬送手段に電圧を印加
することによって、従来例では真空雰囲気での作業中に
は除去できなかった被加工物搬送手段に付着しているダ
ストを、真空雰囲気での作業中に、真空雰囲気での放電
によってクリーニングすることができるので、従来は被
加工物搬送手段に付着しているダストが加工作業台上の
被加工物に付着して不良発生の原因になっていたことが
なくなり、製品の品質が向上し、歩留りも向上するとい
う効果を奏する。又、被加工物搬送手段が被加工物を保
持・搬送中に、前記放電によって、保持・搬送中の被加
工物をクリーニングできるので、加工作業台上での被加
工物のクリーニングのタクトを短縮し、作業能率を向上
できるという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例方法を使用した真空容器内の
被加工物搬送手段のクリーニング装置の構成図である。
被加工物搬送手段のクリーニング装置の構成図である。
【図２】従来例の方法を使用した真空容器内の被加工物
のクリーニング装置の構成図である。
のクリーニング装置の構成図である。
１ 被加工物搬送手段 ２ 基板（被加工物） ３ 加工作業台 ４ 基板カセット（任意の位置） ５ 真空容器 ６ ガス導入口 ７ 排気口 ８ ＲＦ又はＤＣ電源
フロントページの続き (72)発明者 末吉 貴志 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 真空雰囲気中で加工作業を行う真空容器
内で、真空容器内の任意の位置にある被加工物を加工作
業台上に搬送する被加工物搬送手段のクリーニング方法
において、この被加工物搬送手段に電圧を印加し、放電
させることによって、この被加工物搬送手段をクリーニ
ングすることを特徴とする真空容器内の被加工物搬送手
段のクリーニング方法。 - 【請求項２】 被加工物搬送手段が被加工物を保持・搬
送中に、この被加工物搬送手段に電圧を印加し、放電さ
せることによって、この被加工物搬送手段とこれが保持
・搬送中の被加工物とを同時にクリーニングする請求項
１に記載の真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニン
グ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4128720A JPH05319545A (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | 真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4128720A JPH05319545A (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | 真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05319545A true JPH05319545A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=14991766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4128720A Pending JPH05319545A (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | 真空容器内の被加工物搬送手段のクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05319545A (ja) |
-
1992
- 1992-05-21 JP JP4128720A patent/JPH05319545A/ja active Pending
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