JPH05321879A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05321879A JPH05321879A JP13047492A JP13047492A JPH05321879A JP H05321879 A JPH05321879 A JP H05321879A JP 13047492 A JP13047492 A JP 13047492A JP 13047492 A JP13047492 A JP 13047492A JP H05321879 A JPH05321879 A JP H05321879A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- balance
- corrosion resistance
- vacuum pump
- plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】ロータ４のバランス修正用にメッキをせずとも
耐食性のある材質からできたバランス修正部材７を設け
た。 【効果】腐食性ガスを取り扱う真空ポンプにおいて、ロ
ータの耐食性を犠牲にすることなく、回転体であるロー
タの動バランスを十分とることができる。
耐食性のある材質からできたバランス修正部材７を設け
た。 【効果】腐食性ガスを取り扱う真空ポンプにおいて、ロ
ータの耐食性を犠牲にすることなく、回転体であるロー
タの動バランスを十分とることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排気口を大気圧で運転
する真空ポンプに係り、特に、腐食性の塩素系ガスやフ
ッ素系ガスを多く使用する半導体製造プロセスに使用す
るのに好適なドライ真空ポンプに関する。
する真空ポンプに係り、特に、腐食性の塩素系ガスやフ
ッ素系ガスを多く使用する半導体製造プロセスに使用す
るのに好適なドライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドライ真空ポンプは吸込口から流入する
気体が通過する流路に油や水が無いため、クリーンな真
空を得られるという優れた特徴をもっており、半導体製
造プロセスで多く使用されている。半導体製造プロセス
の中でも、特に、エッチングプロセスで使用するガスは
腐食性のガスが多い。そこで耐食性をもたせるため、ガ
スが接する部位にはステンレス鋼を用いていた。しか
し、最近のプロセスの多様化によりステンレス鋼では耐
食性が十分でなく、より耐食性のあるメッキを施すよう
になってきた。
気体が通過する流路に油や水が無いため、クリーンな真
空を得られるという優れた特徴をもっており、半導体製
造プロセスで多く使用されている。半導体製造プロセス
の中でも、特に、エッチングプロセスで使用するガスは
腐食性のガスが多い。そこで耐食性をもたせるため、ガ
スが接する部位にはステンレス鋼を用いていた。しか
し、最近のプロセスの多様化によりステンレス鋼では耐
食性が十分でなく、より耐食性のあるメッキを施すよう
になってきた。
【０００３】ロータは高速で回転するため、動バランス
をとる必要があるが、メッキ前に予めバランスをとった
としても、メッキ後にバランスがくるってしまい、再
度、バランスを修正する。メッキ後にバランス修正を行
なうと、メッキを削り素材が露出してしまう。素材が露
出するとその部分は、再度、メッキが必要となり、メッ
キすると、再び、バランスを修正せねばならないため、
従来はバランスを十分とりきれないか、又は、一部にメ
ッキのない部分があって耐食性が十分でないという問題
があった。
をとる必要があるが、メッキ前に予めバランスをとった
としても、メッキ後にバランスがくるってしまい、再
度、バランスを修正する。メッキ後にバランス修正を行
なうと、メッキを削り素材が露出してしまう。素材が露
出するとその部分は、再度、メッキが必要となり、メッ
キすると、再び、バランスを修正せねばならないため、
従来はバランスを十分とりきれないか、又は、一部にメ
ッキのない部分があって耐食性が十分でないという問題
があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】回転体であるロータに
メッキをする際、動バランスを重視するとバランス修正
部は耐食性の点で不十分になり、耐食性を重視するとバ
ランス修正が不十分になるという問題があった。
メッキをする際、動バランスを重視するとバランス修正
部は耐食性の点で不十分になり、耐食性を重視するとバ
ランス修正が不十分になるという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、ロータの耐食性は十分保
ち、かつ、バランス修正も十分に行なえる真空ポンプを
提供することにある。
ち、かつ、バランス修正も十分に行なえる真空ポンプを
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はロータのバランス修正用にロータとは別部
材でメッキをせずとも耐食性のある部材をロータにとり
つけ、その部分でバランス修正をすることができるよう
にした。
に、本発明はロータのバランス修正用にロータとは別部
材でメッキをせずとも耐食性のある部材をロータにとり
つけ、その部分でバランス修正をすることができるよう
にした。
【０００７】
【作用】ロータは、メッキを施した状態のままであり、
バランス修正でメッキ面を削ることがないため耐食性を
十分確保できる。ロータにとりつけた別部材はそもそも
耐食性のある材質なのでバランス修正時削っても耐食性
をそこなうことなく、又、回転体としてのバランスは十
分とることができる。
バランス修正でメッキ面を削ることがないため耐食性を
十分確保できる。ロータにとりつけた別部材はそもそも
耐食性のある材質なのでバランス修正時削っても耐食性
をそこなうことなく、又、回転体としてのバランスは十
分とることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。
る。
【０００９】図１において、吸気口１と排気口２とをも
つケーシング３内には、軸受６によって支承され、モー
タ８により駆動されるロータ４と、ロータ４を囲むよう
にして取付けられたステータ５から構成されており、ロ
ータ４にはバランス修正部材７を設けてある。
つケーシング３内には、軸受６によって支承され、モー
タ８により駆動されるロータ４と、ロータ４を囲むよう
にして取付けられたステータ５から構成されており、ロ
ータ４にはバランス修正部材７を設けてある。
【００１０】軸受６によって支承されたロータ４は、モ
ータ８によって回転する。吸込口１から吸い込まれた気
体は、ロータ４の回転力により、ステータ５の流路内で
圧縮作用を受け、上段より、順次、圧縮され、排気口２
を通って大気へ排気される。
ータ８によって回転する。吸込口１から吸い込まれた気
体は、ロータ４の回転力により、ステータ５の流路内で
圧縮作用を受け、上段より、順次、圧縮され、排気口２
を通って大気へ排気される。
【００１１】真空ポンプが、半導体製造プロセスのシリ
コンエッチング工程で使用される場合には、吸込口１か
らフッ素系のガスが流入する。フッ素系ガスに対して
は、ニッケル系の金属が耐食性をもっており、ロータ４
に焼ばめされる円筒状のバランス修正部材７はニッケル
系の金属が適している。ロータ４には無電解ニッケルメ
ッキを施し、ロータ４のバランスはバランス修正部材７
でとることにより、耐食性を確保した上でさらに、バラ
ンスを十分とることができる。
コンエッチング工程で使用される場合には、吸込口１か
らフッ素系のガスが流入する。フッ素系ガスに対して
は、ニッケル系の金属が耐食性をもっており、ロータ４
に焼ばめされる円筒状のバランス修正部材７はニッケル
系の金属が適している。ロータ４には無電解ニッケルメ
ッキを施し、ロータ４のバランスはバランス修正部材７
でとることにより、耐食性を確保した上でさらに、バラ
ンスを十分とることができる。
【００１２】種々のプロセスにより、使用されるガスも
異なり、それによって耐食性をもつ材質が異なることも
ある。バランス修正部材７は、耐食性に対し、最適な材
質を選択することができる。
異なり、それによって耐食性をもつ材質が異なることも
ある。バランス修正部材７は、耐食性に対し、最適な材
質を選択することができる。
【００１３】図２は、本発明の他の実施例で、ロータ４
へのバランス修正部材７のとりつけは、ねじ構造による
締結でも満足される。
へのバランス修正部材７のとりつけは、ねじ構造による
締結でも満足される。
【００１４】図３は、本発明の他の実施例で、ロータ４
へのバランス修正部材７のとりつけは、回転体として強
度的に問題なければ蓋１０とボルト１１によるものであ
ってもよい。
へのバランス修正部材７のとりつけは、回転体として強
度的に問題なければ蓋１０とボルト１１によるものであ
ってもよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、耐食性を犠牲にするこ
となく、回転体のバランスを十分にとることができる。
となく、回転体のバランスを十分にとることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す真空ポンプの断面図。
【図２】本発明の第二の実施例を示すロータの部分断面
図。
図。
【図３】本発明の第三の実施例を示すロータの部分断面
図。
図。
１…吸込口、２…排気口、３…ケーシング、４…ロー
タ、５…ステータ、７…バランス修正部材。
タ、５…ステータ、７…バランス修正部材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 真瀬 正弘 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内
Claims (1)
- 【請求項１】ケーシング内に設けたロータとステータよ
りなるポンプ部によって吸気口から吸い込んだ低圧の気
体を圧縮し、排気口より大気へ排気する真空ポンプにお
いて、前記ロータの回転時のバランスを修正する部位を
前記ロータに設けたことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13047492A JPH05321879A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13047492A JPH05321879A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05321879A true JPH05321879A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15035115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13047492A Pending JPH05321879A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05321879A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002506181A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-26 | スウエイジロク・カンパニー | モジュール式表面取付型マニホルド |
| JP2007224924A (ja) * | 2007-05-11 | 2007-09-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
| KR100880504B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2009-01-28 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
| CN102937100A (zh) * | 2012-10-14 | 2013-02-20 | 浙江大江山泵阀制造有限公司 | 衬氟合金液环真空泵及其制造方法 |
| CN104421171A (zh) * | 2013-08-30 | 2015-03-18 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| WO2022112212A1 (en) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | Edwards s.r.o. | Rotor assembly for a turbomolecular pump |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP13047492A patent/JPH05321879A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002506181A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-26 | スウエイジロク・カンパニー | モジュール式表面取付型マニホルド |
| KR100880504B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2009-01-28 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
| JP2007224924A (ja) * | 2007-05-11 | 2007-09-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
| CN102937100A (zh) * | 2012-10-14 | 2013-02-20 | 浙江大江山泵阀制造有限公司 | 衬氟合金液环真空泵及其制造方法 |
| CN104421171A (zh) * | 2013-08-30 | 2015-03-18 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
| US9926792B2 (en) | 2013-08-30 | 2018-03-27 | Shimadzu Corporation | Turbo-molecular pump |
| WO2022112212A1 (en) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | Edwards s.r.o. | Rotor assembly for a turbomolecular pump |
| US12345277B2 (en) | 2020-11-25 | 2025-07-01 | Edwards s.r.o. | Rotor assembly for a turbomolecular pump |
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