JPH05322343A - リザーバタンク付き冷凍装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】被冷却体の熱負荷に対応して、寒冷発生回路と
Ｊ・Ｔ回路のヘリウムガス流量を別々に、短時間で最適
に調整し、冷凍装置を効率的に簡便に運転できる冷凍装
置を提供することにある。 【構成】寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路に別々にリザーバタ
ンク２１ａ、２１ｂを設け、被冷却体の熱負荷に対応し
て、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路のヘリウムガス流量を別
々に、制御することによって、冷凍装置の冷凍量、液化
量をコントロールする。 【効果】Ｊ・Ｔ弁出口の温度約４．５Ｋの冷凍量および
液化量を制御し、熱負荷に見合った冷凍量および液化量
を安定に、かつ短時間内に、効率よく簡便に発生するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、極低温冷凍装置に関
し、特に冷凍量、液化量を任意に、効率よく調整できる
冷凍装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超伝導マグネットを使用した核磁気共鳴
診断装置、熱物性測定装置、ジョセフソン素子や各種セ
ンサー等の各種電子機器や、高真空、高排気速度のクラ
イオポンプ、超伝導マグネットを使用した電子加速器や
放射光発生装置の冷媒には、極低温の液体ヘリウムを使
用する。冷媒の液体ヘリウムは、わずかな熱で蒸発し、
かつ、高価であるため、蒸発したヘリウムガスを凝縮す
る冷凍装置を装着する。

【０００３】しかし、上記した装置の被冷却体、例えば
超電導磁石等を内蔵した液体ヘリウム容器への熱負荷
は、常時変動する場合が多く、冷凍装置の冷凍量もその
熱負荷に合わせて調整することが、冷凍装置の消費電力
を低減することになり、運転効率が向上する。

【０００４】この冷凍装置は２段の圧縮機ユニットで加
圧したヘリウムガスを、予冷用の寒冷発生機に膨張ター
ビンやクロード式往復動形膨張機やギフォード・マクマ
ホン（Ｇ・Ｍ）式往復動形膨張機を使用した寒冷発生回
路と、ジュール・トムソン弁（Ｊ・Ｔ弁）を極低温部に
有するジュール・トムソン回路（Ｊ・Ｔ回路）の高圧流
路に同じ配管で供給し、前記予冷用の寒冷発生機の排気
ヘリウムガスを前記２段に配置した圧縮機ユニットの中
圧ラインに戻し、Ｊ・Ｔ回路の排気ヘリウムガスを前記
２段に配置した圧縮機ユニットの低圧ラインに戻する方
法が特開平１ー１５９５６８号公報に記載されている。

【０００５】この場合、被冷却体の熱負荷に対応して、
冷凍装置の常温部の高圧及び低圧配管の少なくとも片方
の配管に流量制御弁を介して連通したリザーバガスタン
クに、冷凍装置内を循環する高圧ガス流量の一部のガス
を出し入れすることにより、該高圧ガス流量を調整し
て、効率的に運転する。

【０００６】このとき、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路同一
流路内で２段圧縮機を２回路用に兼用して構成している
ため、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路のヘリウムガス流量が
ともに変化してしまう。

【０００７】このため、膨張機側の流量を増減させる
と、Ｊ・Ｔ弁の通過流量も変化することになり最適ヒー
トバランス状態に到達させるためには複雑な調整が必要
となる。従って、調整後の高圧ガス流量を最適配分する
配分操作の簡便さにかける。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たごとく従来の技術は、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路のヘ
リウムガス流量を別々に調整しながら冷却する方法に関
しては触れられていない。また、寒冷発生回路とＪ・Ｔ
回路の運転圧力が異なる回路に対する適切な圧力に制御
されたリザーバタンクも設置されていない。

【０００９】本発明の目的は、被冷却体の熱負荷に対応
して、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路のヘリウムガス流量を
別々に、短時間で最適に調整し冷凍装置を効率的に簡便
に運転できる冷凍装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的は、運転圧力が
異なる寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路に別々の圧縮機を配置
し、それぞれの常温部の高圧及び低圧配管の少なくとも
片方の配管に、圧力制御弁を介して連通したガスリザー
バタンクを別々に設け、冷凍装置内の寒冷発生回路とＪ
・Ｔ回路を循環する高圧ガス流量の一部のガスを出し入
れして、該両回路に適切な高圧ガス流量を供給すること
により達成する。

【００１１】本発明のリザーバタンク付き冷凍装置は、
予冷用の寒冷発生手段と寒冷発生手段に第１の作動媒体
を供給する第１のガス圧縮手段とを含む寒冷発生回路
と、冷凍または液化用の冷凍発生手段と冷凍発生手段に
第２の作動媒体を供給する第２のガス圧縮手段を含む冷
凍発生回路を備えたものにおいて、（１）少なくとも第
１作動媒体を弁を介して出し入れする作動媒体貯蔵手段
を前記第１のガス圧縮手段に連通したこと、（２）第１
作動媒体を弁を介して出し入れする第１作動媒体貯蔵手
段を第１のガス圧縮手段に連通し、第２作動媒体を弁を
介して出し入れする第２作動媒体貯蔵手段を第２のガス
圧縮手段に連通したこと、または（３）第１作動媒体を
弁を介して出し入れする第１作動媒体貯蔵手段を第１の
ガス圧縮手段に連通し、第２作動媒体を弁を介して出し
入れする第２作動媒体貯蔵手段を第２のガス圧縮手段に
連通し、第１、第２作動媒体貯蔵手段を弁を介して連通
したことを特徴する。

【００１２】また本発明のリザーバタンク付き冷凍装置
は、寒冷発生手段と寒冷発生手段に作動媒体を供給する
ガス圧縮手段とを含む寒冷発生回路を備えたものにおい
て、作動媒体を弁を介して出し入れする作動媒体貯蔵手
段をガス圧縮手段に連通したことを特徴する。

【００１３】上記各本発明においては、（１）冷凍装置
内の温度、圧力、熱負荷に応じて該弁群を通過する第
１、第２作動媒体量を調整すること、（２）寒冷発生回
路と、冷凍発生回路を任意に隔離できること、（３）冷
凍装置内の温度、圧力、熱負荷に応じて前記弁群を通過
する作動媒体量を調整すること、等が好ましい。

【００１４】

【作用】予冷用の寒冷発生機に例えばギフォード・マク
マホン（Ｇ・Ｍ）式往復動形膨張機を使用し、予冷用の
寒冷発生回路と隔離したＪ・Ｔ回路で冷凍装置を構成し
た場合、両回路の高圧ガス流量はそれぞれクローズドの
回路に配置したリザーバガスタンクのガスホールド量を
任意の値に制御し、両回路内のガス流量および運転圧力
を適切な値に、短時間内に制御する。それによって、Ｊ
・Ｔ弁出口の温度約４．５Ｋの冷凍量を制御し、熱負荷
に見合った冷凍量を安定に、かつ短時間内に、効率よく
簡便に発生できる冷凍装置となる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。

【００１６】予冷用の寒冷発生回路に配置した寒冷発生
機１は、例えば、ギフォード・マクマホン膨張機で構成
される。圧縮機、アフタークーラ、油分離器（図示せ
ず）から成るヘリウム圧縮機ユニット２の圧力約２０ａ
ｔｍの高圧ガスは寒冷発生機１中に流入して内部で断熱
膨張し、第１ステージ３、第２ステージ４でそれぞれ温
度約４０Ｋ、１５Ｋの寒冷を発生する。

【００１７】圧力約５ａｔｍの膨張後のガスは、再び、
圧縮機ユニット２に戻る。一方、予冷用の寒冷発生回路
と隔離した液化用のＪ・Ｔ回路の圧縮機、アフタークー
ラ、油分離器（図示せず）から成る圧縮機ユニット５で
加圧された圧力約１６ａｔｍの高圧のヘリウムガスは、
高圧配管１６ａを通り第１熱交換器６、熱交換器７、第
２熱交換器８、第１吸着器９、熱交換器１０、第３熱交
換器１１、第２吸着器１２、を通り温度約６Ｋ以下に冷
却され、ジュール・トムソン弁（以下Ｊ・Ｔ弁）１３で
断熱膨張してその一部のガスが液化し、液体ヘリウム槽
１４に溜まり超電導マグネット１５等の被冷却体を冷却
する。

【００１８】圧力約１.２ａｔｍの未液化のヘリウムガ
ス、液体ヘリウム１７の蒸発ガスは低圧配管１６ｂ内に
流入し、第３熱交換器１１、第２熱交換器８、第１熱交
換器６、を通り、ほぼ常温となって、圧縮機ユニット５
に戻る。

【００１９】圧縮機ユニット２の高圧配管１９ａ、低圧
配管１９ｂは、高圧配管１９ａの内圧で制御される圧力
調整弁２０ａ、圧力調整弁２０ｂおよびバイパス弁２０
ｃ、弁２０ｄを介して、リザーバタンク２１ａと連通し
ている。高圧配管１９ａには安全弁２２ａを配置してい
る。

【００２０】圧縮機ユニット５の高圧配管１６ａ、低圧
配管１６ｂは、低圧配管１６ｂの内圧で制御される圧力
調整弁２３ａ、圧力調整弁２３ｂを介して、リザーバタ
ンク２１ｂと連通している。高圧配管１６ａには安全弁
２２ｂを配置している。

【００２１】液体ヘリウム槽１４の液面は、温度、液面
計２４で測定し、その測定信号は計測線２５で信号処理
・制御装置２６に入力される。ここで、計測値、処理値
に従って、各制御弁、バイパス弁、ＪＴ弁、および各圧
縮機ユニットの運転周波数制御器２７ａ、２７ｂ，を制
御する。

【００２２】クライオスッタト１８内は真空断熱されて
いる。各吸着器ではヘリウムガス中の不純物を除去す
る。冷凍装置は以上の構成である。

【００２３】以下、リザーバタンク回りの制御弁、バイ
パス弁、ＪＴ弁、および各圧縮機ユニットの運転周波数
制御器の操作手順に付いて説明する。

【００２４】被冷却体を含め冷凍装置が、常温状態にあ
るときから冷凍装置の運転を開始する。まず、予冷用の
寒冷発生回路の寒冷発生機１は常温状態にあり、寒冷発
生機内にヘリウムガスをあまり吸い込むことができな
い。このため、容積型、定圧縮比型のヘリウム圧縮機ユ
ニット２の吐出圧力は、低温定常状態の圧力よりも高く
なる。

【００２５】この圧力状態では、吸入圧力も高くなり圧
縮機ユニット２の吸入圧力と吐出圧力の差圧が大きくな
る。これによって、この差圧条件で断熱膨張する寒冷発
生機１の第１ステージ３、第２ステージ４の寒冷発生量
が増加する。しかし、各ステージ温度は、液化運転時の
温度よりも高い。

【００２６】一方、圧縮機ユニット５で加圧された圧力
約１６ａｔｍの高圧のヘリウムガスは、高圧配管１６ａ
を通り熱交換器７、熱交換器１０で寒冷発生機１の第１
ステージ３、第２ステージ４の寒冷により冷却され、第
２熱交換器８、第１吸着器９、第３熱交換器１１、第２
吸着器１２、Ｊ・Ｔ弁１３、液体ヘリウム槽１４、超電
導マグネット１５、および、第１熱交換器６を順次冷却
し、徐々に温度を下げる。 冷凍装置の温度が下がるに
したがって、従来の寒冷発生機では、ヘリウムガスの吸
込み量が増加し、ガスの補給が無ければ、容積型、定圧
縮比型のヘリウム圧縮機ユニット２の吐出圧力は、順次
低下する。この圧力状態では、吸入圧力も低くなり圧縮
機ユニット２の吸入圧力と吐出圧力の差圧が小さくな
る。これによって、この差圧条件で断熱膨張する寒冷発
生機１の第１ステージ３、第２ステージ４の寒冷発生量
が順次低下する。これによって、冷凍装置の冷却速度は
低下し迅速な予冷運転が出来ない。

【００２７】ここで、高圧配管１９ａの内圧の低下を感
知して圧力調整弁２０ｂ、および弁２０ｄが開き、不足
したヘリウムガスを中圧のリザーバタンク２１ａから圧
縮機ユニット２の吸入側に補給し、吐出圧力を所定の値
に保持して、寒冷発生量の低減を防止する。この時、さ
らに運転周波数制御器２７ｂにより、圧縮機ユニット２
の運転周波数を増加させると、さらに寒冷発生量が増加
し、寒冷発生量の低減を防止できる。これらの運転操作
は信号処理・制御装置２６で制御される。

【００２８】また、冷凍装置の温度が下がるにしたがっ
て、液化回路のガスホールド量が増加し、ガスの補給が
無ければ、容積型、定圧縮比型のヘリウム圧縮機ユニッ
ト５の吐出圧力は、順次低下する。

【００２９】この圧力状態では、吸入圧力が低くなり所
定の圧力を維持できなくなる。このため、低圧配管１６
ｂの内圧の低下を感知して圧力調整弁２３ｂが開き、不
足したヘリウムガスを中圧のリザーバタンク２１ｂから
圧縮機ユニット５の吸入側に補給し、吸入圧力を所定の
値に保持する。

【００３０】Ｊ・Ｔ弁１３入口の温度が約２０Ｋに達す
ると、ジュール・トムソン効果により、断熱膨張後のＪ
・Ｔ弁出口温度が入口の温度より低下し、冷却速度が早
くなる。Ｊ・Ｔ弁１３入口の温度が約６Ｋに達すると、
断熱膨張後のガスの一部が液化し、液体ヘリウム槽１４
に液体ヘリウムが溜まり始める。

【００３１】超電導マグネット１５を覆うまでは急速に
液体ヘリウムをためる必要があるので、この時、更に運
転周波数制御器２７ａにより、圧縮機ユニット２の運転
周波数を増加させると、液化回路の流量が増加し更に液
化量増加し、短時間内に所定の液体ヘリウム量をためる
ことができる。この時ヘリウムが液化すると低圧配管１
６ｂ内のヘリウム戻りがス量が減少するので、低圧配管
１６ｂの内圧が低下し、この低下を感知して圧力調整弁
２３ｂが開き、不足したヘリウムガスを中圧のリザーバ
タンク２１ｂから圧縮機ユニット５の吸入側に補給し、
吸入圧力を所定の値に保持する。

【００３２】所定の液体ヘリウムが所定の温度、液面ま
で貯まったのちは、信号処理・制御装置２６により、液
面維持に必要な冷凍運転状態に移り、運転消費電力を節
減する。すなわち、運転周波数制御器２７ａ、２７ｂに
より、圧縮機ユニット２、５の運転周波数を減少して吐
出ガス流量を減少し、必要であれば更に、弁２０ｄが閉
じバイパス弁２０ｃが開いて、圧縮機ユニット２のヘリ
ウムガスを中圧のリザーバタンク２１ａに所定の量戻
し、吸入圧力を低下させ、更に吐出ガス流量を減少させ
る。

【００３３】一方、液体ヘリウム槽１４への熱侵入量の
増加や超電導マグネット１５の発熱の増加などにより熱
負荷が１時的に増加した場合、液体ヘリウムレベルが減
少し、更に液体ヘリウムの蒸発量が増加するため低圧配
管１６ｂの圧力が上昇する。この場合の運転操作は、速
やかに圧力調整弁２３ａが開き、液化用のＪ・Ｔ回路の
ガスがリザーバタンク２１ｂに戻り吸入圧力を低下させ
る。更に、信号処理・制御装置２６により、吐出ガス流
量を減少させる。更に、信号処理・制御装置２６の制御
により、運転周波数制御器２７ａ、２７ｂで圧縮機ユニ
ット２、５の運転周波数を増加させ液化量を増加させ
る。

【００３４】必要であれば更に、弁２０ｄが開きバイパ
ス弁２０ｃ閉じて、圧縮機ユニット２のヘリウムガスを
中圧のリザーバタンク２１ａから圧縮機ユニット２にガ
スを補給し、吸入圧力を上げて、更に寒冷発生量を増や
し、液化量を増加させることができる短時間内に所定の
液面に戻すことできる。

【００３５】また、冷凍装置スタート時には、バイパス
弁２０ｄを閉じ、バイパス弁２０ｃが開いて、圧縮機ユ
ニット２のヘリウムガスを中圧のリザーバタンク２１ａ
に所定の量戻し、吸入圧力を低下させる方が、初期回転
圧縮負荷が少ない。

【００３６】また、寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路のリザー
バタンク２１ａ、２１ｂを隔離することにより、超電導
マグネット１５等の構成物例えば接着剤のアウトガス等
の不純物が寒冷発生回路に混入することを防止でき、寒
冷発生機の運転信頼性を向上させることができる。

【００３７】また、リザーバタンク２１ｂの必要最低圧
力は、１.２ａｔｍあれば良いが、リザーバタンク２１
ａの必要最低圧力は５.５ａｔｍ程度必要である。した
がって、リザーバタンク２１ａ、２１ｂを隔離し、それ
ぞれ所定の圧力に設定することにより、安定して圧縮機
ユニットにガスの補給ができるので、冷凍装置の安定し
た適切な冷凍量を確保できる。

【００３８】以上、本実施例によれば、予冷用の寒冷発
生回路と隔離したＪ・Ｔ回路の高圧ガス流量を適正な値
に、それぞれ別々に短時間内に制御できる。これによっ
て、冷凍装置では、予冷時間が短くて済み、Ｊ・Ｔ弁出
口の温度約４．５Ｋの冷凍量および液化量を制御し、熱
負荷に見合った冷凍量および液化量を安定に、かつ短時
間内に、効率よく簡便に発生することができ、単位冷凍
量当りの圧縮機入力電力量も小さくて済む効果がある。

【００３９】また，本実施例によれば、予冷用の寒冷発
生回路と隔離したＪ・Ｔ回路のリザーバタンクを隔離で
きるので、Ｊ・Ｔ回路内の被冷却体から生じる不純ガス
で、リザーバタンクを介して予冷用の寒冷発生回路内を
汚染することがないので、寒冷発生回路内の寒冷発生機
が不純ガスでトラブルことがなく、信頼性の高い冷凍装
置を提供できる効果がある。この場合、両リザーバタン
クを弁を介して必要に応じて連通しても良い。

【００４０】なお、本実施例では、寒冷発生機にＧ・Ｍ
サイクルの膨張機を適用した例で説明したが、ソルベイ
サイクル、スターリングサイクル、ビルマイヤサイク
ル、タービン式、クロード式膨張機を適用した冷凍サイ
クルやブレイトンサイクルでも同等な効果がある。ま
た，予冷用の寒冷発生回路の寒冷発生ステージは３段以
上でも良く、Ｊ・Ｔ回路のＪ・Ｔ弁が２段以上ある場合
でも同等な効果がある。

【００４１】また、本実施例では、超電導マグネットを
被冷却体にした場合について説明したが、ジョセフソン
素子や各種センサー等の各種電子機器や、高真空、高排
気速度のクライオパネルを被冷却体にしても、同等な効
果がある。

【００４２】また、本実施例では、液体ヘリウムの液面
を基準にして冷凍量、液化量の増減を制御したが、液面
が振動している場合には液面計で正確な液面を感知でき
ないので、その場合は、Ｊ・Ｔ回路低圧配管の圧力やＪ
・Ｔ回路のリザーバタンクの内圧を基準にして冷凍量、
液化量の増減を制御しても、同等な効果がある。

【００４３】また、本実施例では、予冷用の寒冷発生回
路とＪ・Ｔ回路のリザーバタンクを隔離した場合につい
て説明したが、Ｊ・Ｔ回路内から発生する不純ガスが非
常に少ない場合には、両回路のリザーバタンクを１個の
タンクで共有しても、同等な効果がある。

【００４４】また、本実施例では、予冷用の寒冷発生回
路とＪ・Ｔ回路を有した冷凍装置について説明したが、
予冷用の寒冷発生回路とこれに連通した制御弁、リザー
バタンクで構成した冷凍装置でも、同等な効果がある。

【００４５】また、本実施例では、１台の冷凍装置の場
合について説明したが、複数台の冷凍装置を設置する場
合には、それぞれの予冷用の寒冷発生回路とＪ・Ｔ回路
同士に共有のリザーバタンクを配置しても、同等な効果
がある。

【００４６】また、本実施例では、寒冷発生回路とＪ・
Ｔ回路の作動流体にヘリウムガスを使用したが、寒冷発
生回路の作動流体にヘリウムガスを使用し、Ｊ・Ｔ回路
の作動流体に窒素ガスを使用した冷凍装置においても、
冷凍温度が違う以外は、同等な効果がある。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、予冷用の寒冷発生回路
と隔離したＪ・Ｔ回路の高圧ガス流量を効率よく冷凍量
を発生できる適正な値に、それぞれ別々に短時間内に制
御できる。これによって、冷凍装置の予冷時間が短くて
済み、Ｊ・Ｔ弁出口の温度約４．５Ｋの冷凍量および液
化量を制御し、熱負荷に見合った冷凍量および液化量を
安定に、かつ短時間内に、効率よく簡便に発生すること
ができ、単位冷凍量当りの圧縮機入力電力量も小さくて
済む冷凍装置を提供できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の冷凍装置の構成の説明図で
ある。

【符号の説明】

１…寒冷発生機、２、５…圧縮機ユニット、２１ａ、２
１ｂ…リザーバタンク、２０ａ、２０ｂ、２３ａ、２３
ｂ…流量調整弁、２０ｃ…バイパス弁、２０ｄ…弁、
６、７、８、１１、１２…熱交換器、１３…Ｊ・Ｔ弁、
１７…液体ヘリウム、１５…超電導マグネット。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】予冷用の寒冷発生手段と該寒冷発生手段に
   第１の作動媒体を供給する第１のガス圧縮手段とを含む
   寒冷発生回路と、冷凍または液化用の冷凍発生手段と該
   冷凍発生手段に第２の作動媒体を供給する第２のガス圧
   縮手段を含む冷凍発生回路を備えた冷凍装置において、
   少なくとも第１作動媒体を弁を介して出し入れする作動
   媒体貯蔵手段を前記第１のガス圧縮手段に連通したこと
   を特徴するリザーバタンク付き冷凍装置。
2. 【請求項２】寒冷発生手段と該寒冷発生手段に作動媒体
   を供給するガス圧縮手段とを含む寒冷発生回路を備えた
   冷凍装置において、作動媒体を弁を介して出し入れする
   作動媒体貯蔵手段を前記ガス圧縮手段に連通したことを
   特徴するリザーバタンク付き冷凍装置。
3. 【請求項３】予冷用の寒冷発生手段と該寒冷発生手段に
   第１の作動媒体を供給する第１のガス圧縮手段とを含む
   寒冷発生回路と、冷凍または液化用の冷凍発生手段と該
   冷凍発生手段に第２の作動媒体を供給する第２のガス圧
   縮手段を含む冷凍発生回路を備えた冷凍装置において、
   第１作動媒体を弁を介して出し入れする第１作動媒体貯
   蔵手段を前記第１のガス圧縮手段に連通し、第２作動媒
   体を弁を介して出し入れする第２作動媒体貯蔵手段を前
   記第２のガス圧縮手段に連通したことを特徴するリザー
   バタンク付き冷凍装置。
4. 【請求項４】予冷用の寒冷発生手段と該寒冷発生手段に
   第１の作動媒体を供給する第１のガス圧縮手段とを含む
   寒冷発生回路と、冷凍または液化用の冷凍発生手段と該
   冷凍発生手段に第２の作動媒体を供給する第２のガス圧
   縮手段を含む冷凍発生回路を備えた冷凍装置において、
   第１作動媒体を弁を介して出し入れする第１作動媒体貯
   蔵手段を前記第１のガス圧縮手段に連通し、第２作動媒
   体を弁を介して出し入れする第２作動媒体貯蔵手段を前
   記第２のガス圧縮手段に連通し、前記第１、第２作動媒
   体貯蔵手段を弁を介して連通したことを特徴するリザー
   バタンク付き冷凍装置。
5. 【請求項５】請求項１乃至４いずれか記載において、該
   冷凍装置内の温度、圧力、熱負荷に応じて該弁群を通過
   する前記第１、第２作動媒体量を調整することを特徴す
   るリザーバタンク付き冷凍装置。
6. 【請求項６】請求項１乃至５いずれか記載において、前
   記寒冷発生回路と、前記冷凍発生回路を任意に隔離でき
   ることを特徴とするリザーバタンク付き冷凍装置。
7. 【請求項７】請求項２記載において、該冷凍装置内の温
   度、圧力、熱負荷に応じて該弁群を通過する該作動媒体
   量を調整することを特徴するリザーバタンク付き冷凍装
   置。