JPH053230A - ウエーハプローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】探針接触痕の撮像部２を備える。撮像部２から
の画像信号の記憶部５を備える。記憶部５からの画像再
生制御部６を備える。再生画像のディスプレイ８を備え
る。 【効果】任意の時点での被試験ウェーハの半導体チップ
の探針接触痕を記録再生することができるので、特定の
プローブカードにおける探針接触痕の経時変化の履歴を
点検することにより、探針の針圧や針ずれ等の経時変化
を管理できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はウェーハプローバに関
し、特に電極パッド上の探針接触痕を記録する機能を有
するウェーハプローバに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のウェーハプローバは、半導体ウエ
ーハ上に形成された半導体チップの電気的特性を試験す
るときの電極パッドに探針が接触したために発生した探
針接触痕を記録する機能を有していなかった。

【０００３】従来、半導体チップの電極パッド上の探針
接触痕の検出および認識は、ウェーハプローバによる試
験終了後に、被試験ウェーハを取出して顕微鏡により探
針接触痕を観察するか、あるいは、探針接触痕を撮影し
この写真を点検することにより行なっていた。

【０００４】また、ウェーハプローバ上で半導体チップ
の電極上の探針接触痕を直接観察する方法としては、ウ
ェーハプローバのステージ上に載置したウェーハを、テ
レビジョンカメラにより撮像し、その画像をモニタディ
スプレイ上に表示するという方法があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェー
ハプローバは、記録機能を有しないために、同一のプロ
ーブカードにおける探針の針圧や針ずれ等に起因する探
針接触痕の経時変化の履歴を点検することが不可能であ
るという欠点があった。また、探針接触痕を写真撮影に
より記録する方法は、撮影の都度被試験ウェーハを取出
す必要があり煩雑であるという欠点があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のウェーハプロー
バは、半導体ウエーハ上に形成された半導体チップの電
極パッドに接触する探針を有しこの探針を介して前記半
導体チップの電気的特性を試験するウェーハプローバに
おいて、前記電極パッド上に前記探針の接触により発生
した探針接触痕を撮像する撮像装置と、前記撮像装置か
ら出力される画像信号を記憶する記憶装置と、前記記憶
装置から読出した前記画像信号を再生する画像再生制御
部と、前記再生画像を表示する表示装置とを備えて構成
されている。

【０００７】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【０００８】図１は本発明のウェーハプローバの第一の
実施例を示すブロック図である。

【０００９】本実施例のウェーハプローバは、図１に示
すように、プローバ部１と、撮像部２と、画像処理制御
部３と、プローバ制御部４と、記憶部５と、画像再生制
御部６と、表示制御部７と、ディスプレイ８とを備えて
構成されている。

【００１０】プローバ部１は、ウェーハプローバの本体
であり、被試験ウェーハを載置するステージと、被試験
半導体チップの電極配置に適合するように探針を配列し
たプローブカードとを備えている。

【００１１】撮像部２は、プローバ部１のステージ上に
載置したウェーハを撮像するものであり、一例としてＣ
ＣＤ撮像デバイスを用いた画像センサ等で構成される。
画像センサとしては、二次元型のＣＣＤエリアセンサを
用いたビデオカメラ、または、適切な走査方法を併用す
る一次元型のＣＣＤラインセンサを用いたラインスキャ
ナのいずれでもよい。

【００１２】画像処理制御部３は、撮像部２の出力であ
る画像信号Ｖをディジタル化し、画像データＤＤとして
記憶部５に転送するとともに、画像信号Ｖからディスプ
レイ８に表示するための表示用画像信号ＶＤを生成す
る。

【００１３】プローバ制御部４は、プローバ部１を制御
するとともに、画像処理制御部２および画像再生制御部
６の制御を行なう。

【００１４】記憶部５は、画像処理部３からの画像デー
タＤＤを記憶する。

【００１５】画像再生制御部６は、プローバ制御部４の
制御により記憶部から読出した再生画像データＤＲから
ディスプレイ８に表示するための表示用画像信号ＶＤを
生成する。

【００１６】表示制御部７は、ディスプレイ８の表示の
制御を行なうものである。

【００１７】ディスプレイ８は、通常のＣＲＴディスプ
レイである。

【００１８】次に、本実施例の動作について説明する。

【００１９】まず、撮像部２は、プローバ部１のステー
ジ上に載置したウェーハ上の撮像対象の半導体チップを
撮像する。撮像部２からの出力である画像信号Ｖは、画
像処理制御部３に入力される。画像処理制御部３は、プ
ローバ制御部４の制御信号ＣＶにより、画像信号Ｖをデ
ィスプレイ８に適合する表示用画像信号ＶＤに変換しデ
ィスプレイ８に送る。ディスプレイ８は、この表示用画
像信号ＶＤを表示制御部７の制御により画像として表示
する。さらに、画像処理制御部３は、制御信号ＣＶによ
り、撮像部２の出力である画像信号Ｖをディジタル化
し、画像データＤＤとして記憶部５に送出する。記憶部
５は、転送されてきた画像データＤＤを記憶する。

【００２０】次に、記憶された画像データを再生すると
きには、プローバ制御部４から画像再生命令ＣＲを画像
処理制御部３と画像再生制御部６に対して送出する。画
像処理制御部３は、記憶部５から画像データを再生画像
データＤＲとして読出し、出力する。画像再生制御部６
は、再生画像データＤＲを処理し、再生表示用画像信号
ＶＤＲとして画像処理制御部３に返送し、ここで、表示
用画像信号ＶＤに変換してディスプレイ８に送られ、画
像表示される。

【００２１】次に、本発明の第二の実施例について説明
する。

【００２２】図２は本発明のウェーハプローバの第二の
実施例を示すブロック図である。

【００２３】図２に示す、本実施例の前述の第一の実施
例に対する相違点は、外部記憶装置９が付加されたこと
である。

【００２４】外部記憶装置９は、プローバ制御部４から
の画像データ格納命令ＣＳにより、記憶部５から画像デ
ータＤＤを転送し、フロッピーデスク等の記憶媒体に格
納するものである。この場合、記憶部５は、外部記憶装
置９に対し、画像データＤＤおよび再生画像データＤＲ
を一時的に記憶するバッファの役割を果すことになる。

【００２５】本実施例では、外部記憶装置９を設けるこ
とにより、探針接触痕の経時変化の履歴としての多量の
画像データを記録することができるという利点がある。

【００２６】また、記録媒体ＦＤを独立した他の画像再
生表示装置１０により再生表示することができるので、
ウェーハプローバの管理整備用として有効である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のウェーハ
プローバは、探針接触痕の撮像装置と、撮像装置からの
画像信号の記憶装置と、記憶装置からの画像再生制御部
と、再生画像の表示装置とを備えることにより、任意の
時点での被試験ウェーハの半導体チップの探針接触痕を
記録再生することができるので、特定のプローブカード
における探針接触痕の経時変化の履歴を点検することに
より、探針の針圧や針ずれ等の経時変化を管理できると
いう効果がある。また、探針接触痕の観察記録の度ごと
に被試験ウェーハを取出す必要がないので、ウェーハプ
ローバの管理整備が効率的に実施できるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハプローバの第一の実施例を示
すブロック図である。

【図２】本発明のウェーハプローバの第二の実施例を示
すブロック図である。

【符号の説明】

１ プローバ部 ２ 撮像部 ３ 画像処理制御部 ４ プローバ制御部 ５ 記憶部 ６ 画像再生制御部 ７ 表示制御部 ８ ディスプレイ ９ 外部記憶装置 １０ 画像再生表示装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエーハ上に形成された半導体チ
   ップの電極パッドに接触する探針を有しこの探針を介し
   て前記半導体チップの電気的特性を試験するウェーハプ
   ローバにおいて、前記電極パッド上に前記探針の接触に
   より発生した探針接触痕を撮像する撮像装置と、前記撮
   像装置から出力される画像信号を記憶する記憶装置と、
   前記記憶装置から読出した前記画像信号を再生する画像
   再生制御部と、前記再生画像を表示する表示装置とを備
   えることを特徴とするウェーハプローバ。
2. 【請求項２】 前記撮像装置はＣＣＤ撮像デバイスを備
   える画像センサであることを特徴とする請求項１記載の
   ウェーハプローバ。
3. 【請求項３】 前記記憶装置は前記撮像装置から出力さ
   れる前記画像信号をデジタル画像データに変換する画像
   処理回路と、前記デジタル画像データを一時記憶する内
   部記憶回路と、前記内部記憶回路に記憶した前記デジタ
   ル画像データを予め定めた命令により外部の記憶媒体に
   格納する外部記憶装置とを備えることを特徴とする請求
   項１記載のウェーハプローバ。