JPH053230B2 - - Google Patents
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- JPH053230B2 JPH053230B2 JP58183744A JP18374483A JPH053230B2 JP H053230 B2 JPH053230 B2 JP H053230B2 JP 58183744 A JP58183744 A JP 58183744A JP 18374483 A JP18374483 A JP 18374483A JP H053230 B2 JPH053230 B2 JP H053230B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric effect
- ceramic
- driving
- support
- piezoelectric
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は積層形の圧電効果セラミツクの歪を利
用して産業用ロボツトのアーム等の動作源に利用
できるようにしたアクチユエーターに関する。
用して産業用ロボツトのアーム等の動作源に利用
できるようにしたアクチユエーターに関する。
例えば産業用ロボツトのアクチユエーターは、
一般にモータ或いは油圧・空圧機器を使用し、回
転或いは直線運動として出力するようにしてい
る。しかしながら、上記のアクチユエーターは大
形で且つ重いものになり勝ちである外、モータを
使用したものでは、回転の立上りが遅いため、応
答速度が遅く精度の点でも劣るという問題があ
り、また、油圧・空圧機器を使用したものでは、
シリンダ内のプランジヤやケーシング内のベーン
の摺動による摩擦損失或いは圧力流体の漏れ等が
あるため、応答速度が遅く精度も悪いという問題
がある。
一般にモータ或いは油圧・空圧機器を使用し、回
転或いは直線運動として出力するようにしてい
る。しかしながら、上記のアクチユエーターは大
形で且つ重いものになり勝ちである外、モータを
使用したものでは、回転の立上りが遅いため、応
答速度が遅く精度の点でも劣るという問題があ
り、また、油圧・空圧機器を使用したものでは、
シリンダ内のプランジヤやケーシング内のベーン
の摺動による摩擦損失或いは圧力流体の漏れ等が
あるため、応答速度が遅く精度も悪いという問題
がある。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
その目的は圧電効果セラミツクの歪を利用するこ
とにより、応答速度及び精度に優れる上、圧電効
果セラミツクの小さな歪を増幅して大きな変位と
して取り出すことができるアクチユエーターを提
供するにある。
その目的は圧電効果セラミツクの歪を利用するこ
とにより、応答速度及び精度に優れる上、圧電効
果セラミツクの小さな歪を増幅して大きな変位と
して取り出すことができるアクチユエーターを提
供するにある。
本発明は、筒状の胴体の端部に蓋体を設けて成
り、蓋体に支持孔を有した支持部を設けると共
に、胴体の内面部に支承部を設けた基体と、軸状
をなし、外面部に支承部を設けた出力部と、一方
の端部に作動部を往復動可能に設けた筒体内に該
筒体の底部と作動部との間に位置するようにして
圧電効果セラミツク板を積層状態に収納して成
り、電圧の印加により生ずるこれら圧電効果セラ
ミツク板の歪によつて作動部を筒体の軸方向に変
位させる駆動体とを備え、前記出力部とその支承
部が前記基体内に位置するようにして前記支持部
の支持孔に軸方向に往復動可能に嵌合支持し、前
記駆動体を前記基体内に前記出力部の往復移動方
向と直交する方向に対し傾けて配設して、該駆動
体の筒体の底部側及び前記作動部を前記胴体の支
承部及び出力部の支承部に回動可能に連結し、前
記圧電効果セラミツク板に電圧を印加したときの
前記作動部の変位により、前記駆動体が傾き角の
変化を伴つて回動しつつ前記出力部を基体に対し
て移動させる構成としたことしたことを特徴とす
るものである。
り、蓋体に支持孔を有した支持部を設けると共
に、胴体の内面部に支承部を設けた基体と、軸状
をなし、外面部に支承部を設けた出力部と、一方
の端部に作動部を往復動可能に設けた筒体内に該
筒体の底部と作動部との間に位置するようにして
圧電効果セラミツク板を積層状態に収納して成
り、電圧の印加により生ずるこれら圧電効果セラ
ミツク板の歪によつて作動部を筒体の軸方向に変
位させる駆動体とを備え、前記出力部とその支承
部が前記基体内に位置するようにして前記支持部
の支持孔に軸方向に往復動可能に嵌合支持し、前
記駆動体を前記基体内に前記出力部の往復移動方
向と直交する方向に対し傾けて配設して、該駆動
体の筒体の底部側及び前記作動部を前記胴体の支
承部及び出力部の支承部に回動可能に連結し、前
記圧電効果セラミツク板に電圧を印加したときの
前記作動部の変位により、前記駆動体が傾き角の
変化を伴つて回動しつつ前記出力部を基体に対し
て移動させる構成としたことしたことを特徴とす
るものである。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
まず本実施例において使用する積層形の圧電効
果セラミツクについて第１図を参照して説明す
る。この圧電効果セラミツク１は、近時、日本電
気株式会社により開発実用化されたもので、圧電
効果セラミツク板２（以下単にセラミツク板２と
称する）と内部電極板３とを交互に積層一体化し
て焼結した素子を所望の形状・大きさに切断し、
全周面に露出した内部電極板３を左右両側面にお
いて一層おきに絶縁材４により電気的に絶縁する
と共に、左右両側面に外部電極５及び６を形成し
て構成したものである。従つて、内部電極板３は
一層おきに外部電極板５及び６に電気的に接続さ
れている。本圧電効果セラミツク１は従来の圧電
効果セラミツクとは異なり、印加電圧が低くても
（例えば100Vでも）或る量以上の歪を発生し、電
圧を繰返し印加しても全く劣化しない（実験によ
れば、電圧パルスを５億回以上連続的に印加して
も劣化は何らみとめられなかつた。）という特徴
を有する。反面、本圧電効果セラミツク１は従来
の圧電効果セラミツクと同様に積層厚を余り厚く
することは困難で、９mm程度が限界とされてい
る。ちなみに本圧電効果セラミツク１のセラミツ
ク板２としては、マグネシウム・ニオブ酸鉛とチ
タン酸鉛の二成分固溶体セラミツク、（１−Ｘ）
Pb（Mg1／3Nb2／３）O3−PbTiO3、のうち例え
ばＸが0.35近くのものが使用されている。
果セラミツクについて第１図を参照して説明す
る。この圧電効果セラミツク１は、近時、日本電
気株式会社により開発実用化されたもので、圧電
効果セラミツク板２（以下単にセラミツク板２と
称する）と内部電極板３とを交互に積層一体化し
て焼結した素子を所望の形状・大きさに切断し、
全周面に露出した内部電極板３を左右両側面にお
いて一層おきに絶縁材４により電気的に絶縁する
と共に、左右両側面に外部電極５及び６を形成し
て構成したものである。従つて、内部電極板３は
一層おきに外部電極板５及び６に電気的に接続さ
れている。本圧電効果セラミツク１は従来の圧電
効果セラミツクとは異なり、印加電圧が低くても
（例えば100Vでも）或る量以上の歪を発生し、電
圧を繰返し印加しても全く劣化しない（実験によ
れば、電圧パルスを５億回以上連続的に印加して
も劣化は何らみとめられなかつた。）という特徴
を有する。反面、本圧電効果セラミツク１は従来
の圧電効果セラミツクと同様に積層厚を余り厚く
することは困難で、９mm程度が限界とされてい
る。ちなみに本圧電効果セラミツク１のセラミツ
ク板２としては、マグネシウム・ニオブ酸鉛とチ
タン酸鉛の二成分固溶体セラミツク、（１−Ｘ）
Pb（Mg1／3Nb2／３）O3−PbTiO3、のうち例え
ばＸが0.35近くのものが使用されている。
次に本発明に係るアクチユエーターを示す第２
図及び第３図において、７及び８は第１及び第２
の駆動体で、これらは上述の圧電効果セラミツク
の歪をある程度大きな変位として取出すためのも
ので、その具体的構成は第４図及び第５図に示さ
れている。即ち、第４図及び第５図において、９
は金属製の筒体で、この筒体９の一端側に形成さ
れた雌ねじ１０に栓体（筒体９の底部）を兼ねる
コネクター１１を螺合してロツクナツト１２によ
り固定している。１３は筒体９の中空内部に嵌着
された摩擦係数の小なる例えばポリアセタール樹
脂製の絶縁筒で、これの内部に円形もしくは小判
形に形成された前述の圧電効果セラミツク１を多
数積み重ね状態に収納しており、これら圧電効果
セラミツク１は接着剤により相互に結合されてい
て絶縁筒１３に対して摺動自在になつている。１
４は電気抵抗の低い電線で、ここでは銅線を用い
ており、外部電極５及び６のうち同一極性どうし
の電極の一箇所ずつをロー付け等により電気的に
接続している。この電線１４は圧電効果セラミツ
ク１間にたるみを残してロー付けされている。ま
た電線１４は圧電効果セラミツク１を絶縁筒１３
内に挿入した時に生ずる空間Ｓを利用して配線し
ている。そして、コネクター１１側に位置する一
個の圧電効果セラミツク１の両外部電極５及び６
に接続されたリード線１５及び１６を筒体９外方
に導出し、以てリード線１５及び１６を電源に接
続したとき各圧電効果セラミツク１が電源に対し
並列に接続されるようにしている。尚、１７は圧
電効果セラミツク１とコネクター１１との間に設
けたセラミツク製の絶縁板である。１８は作動部
としてのプランジヤで、このプランジヤ１８を筒
体９の他端部内方に摺動自在に挿入し、その挿入
端をセラミツク製の絶縁板１９を介して圧電効果
セラミツク１に当接させている。
図及び第３図において、７及び８は第１及び第２
の駆動体で、これらは上述の圧電効果セラミツク
の歪をある程度大きな変位として取出すためのも
ので、その具体的構成は第４図及び第５図に示さ
れている。即ち、第４図及び第５図において、９
は金属製の筒体で、この筒体９の一端側に形成さ
れた雌ねじ１０に栓体（筒体９の底部）を兼ねる
コネクター１１を螺合してロツクナツト１２によ
り固定している。１３は筒体９の中空内部に嵌着
された摩擦係数の小なる例えばポリアセタール樹
脂製の絶縁筒で、これの内部に円形もしくは小判
形に形成された前述の圧電効果セラミツク１を多
数積み重ね状態に収納しており、これら圧電効果
セラミツク１は接着剤により相互に結合されてい
て絶縁筒１３に対して摺動自在になつている。１
４は電気抵抗の低い電線で、ここでは銅線を用い
ており、外部電極５及び６のうち同一極性どうし
の電極の一箇所ずつをロー付け等により電気的に
接続している。この電線１４は圧電効果セラミツ
ク１間にたるみを残してロー付けされている。ま
た電線１４は圧電効果セラミツク１を絶縁筒１３
内に挿入した時に生ずる空間Ｓを利用して配線し
ている。そして、コネクター１１側に位置する一
個の圧電効果セラミツク１の両外部電極５及び６
に接続されたリード線１５及び１６を筒体９外方
に導出し、以てリード線１５及び１６を電源に接
続したとき各圧電効果セラミツク１が電源に対し
並列に接続されるようにしている。尚、１７は圧
電効果セラミツク１とコネクター１１との間に設
けたセラミツク製の絶縁板である。１８は作動部
としてのプランジヤで、このプランジヤ１８を筒
体９の他端部内方に摺動自在に挿入し、その挿入
端をセラミツク製の絶縁板１９を介して圧電効果
セラミツク１に当接させている。
而して本発明のアクチユエーターは上述のよう
に構成された駆動体から取出される変位を更に大
きく増幅して出力するもので、第２図及び第３図
中、２０はアクチユエーターの基体であり、筒状
例えば短円筒状をなす胴体２１の図示上下両側に
蓋体２２及び２３をねじ２４により締結して構成
されている。２５は出力部たる出力軸であり、上
側の蓋体２２の中央にこの出力軸２５を支持する
ための支持部たる円筒状の軸受２６が設けられて
いる。上記出力軸２５は、この軸受２６の支持
孔、すなわち軸受２６の中空内部に通されること
により、該軸受２６に軸方向たる上下方向に往復
動可能に嵌合支持されている。そして、基体２０
内に位置された出力軸２５の下端部にはロツド２
７が螺合手段により連結一体化されている。２８
は胴体２１の内周面に突設された環状凸部で、こ
れの上面側及び下面側には支承部としての半球状
の凹部２９及び３０が例えば六個ずつ等間隔に形
成されている。３１は出力軸２５の下部位に各凹
部２９に対応してこれらよりも上方に位置するよ
うに形成された支承部としての半球状の凹部、３
２はロツド２７の下方部に各凹部３０に対応して
これらよりも下方に位置するように形成された半
球状の凹部である。そして、前記第１及び第２の
駆動体７及び８は夫々六個ずつ基体２０内に上下
の位置関係をもつて共に放射状に配設され、中心
側のプランジヤ１８の球状先端部が夫々凹部３１
及び３２に嵌合されていると共にコネクター１１
の球状先端部が夫々凹部２９及び３０に嵌合され
ている。この結果、両駆動体７，８は出力軸２５
の往復動方向と直交する方向に対して傾いて配設
されることとなり、第１の駆動体７については中
心側のプランジヤ１８側が斜め上方に傾いた状態
で両端部が夫々出力軸２５及び胴体２１に回動可
能に連結された形態になされ、第２の駆動体８に
ついては中心側のプランジヤ１８側が斜め下方に
傾いた状態で両端部が夫々ロツド２７及び胴体２
１に回動可能に連結された形態になされている。
に構成された駆動体から取出される変位を更に大
きく増幅して出力するもので、第２図及び第３図
中、２０はアクチユエーターの基体であり、筒状
例えば短円筒状をなす胴体２１の図示上下両側に
蓋体２２及び２３をねじ２４により締結して構成
されている。２５は出力部たる出力軸であり、上
側の蓋体２２の中央にこの出力軸２５を支持する
ための支持部たる円筒状の軸受２６が設けられて
いる。上記出力軸２５は、この軸受２６の支持
孔、すなわち軸受２６の中空内部に通されること
により、該軸受２６に軸方向たる上下方向に往復
動可能に嵌合支持されている。そして、基体２０
内に位置された出力軸２５の下端部にはロツド２
７が螺合手段により連結一体化されている。２８
は胴体２１の内周面に突設された環状凸部で、こ
れの上面側及び下面側には支承部としての半球状
の凹部２９及び３０が例えば六個ずつ等間隔に形
成されている。３１は出力軸２５の下部位に各凹
部２９に対応してこれらよりも上方に位置するよ
うに形成された支承部としての半球状の凹部、３
２はロツド２７の下方部に各凹部３０に対応して
これらよりも下方に位置するように形成された半
球状の凹部である。そして、前記第１及び第２の
駆動体７及び８は夫々六個ずつ基体２０内に上下
の位置関係をもつて共に放射状に配設され、中心
側のプランジヤ１８の球状先端部が夫々凹部３１
及び３２に嵌合されていると共にコネクター１１
の球状先端部が夫々凹部２９及び３０に嵌合され
ている。この結果、両駆動体７，８は出力軸２５
の往復動方向と直交する方向に対して傾いて配設
されることとなり、第１の駆動体７については中
心側のプランジヤ１８側が斜め上方に傾いた状態
で両端部が夫々出力軸２５及び胴体２１に回動可
能に連結された形態になされ、第２の駆動体８に
ついては中心側のプランジヤ１８側が斜め下方に
傾いた状態で両端部が夫々ロツド２７及び胴体２
１に回動可能に連結された形態になされている。
次に上記構成の作用を説明するに、本実施例に
おいては第１及び第２の駆動体７及び８に交互に
通電することを基本とする。まず第１の駆動体７
に通電すると、その各圧電効果セラミツク１に所
定の電圧が印加され、各圧電効果セラミツク１が
積み重ね方向に伸長する如く歪む。この歪みは圧
電効果セラミツク１個々では微少なものである
が、多数の圧電効果セラミツク１が積み重ね状態
に設けられていることから、プランジヤ１８には
多数の圧電効果セラミツク１の歪の総和が作用
し、従つてプランジヤ１８が圧電効果セラミツク
１に強く押圧されて、矢印Ａ方向に進出するよう
に直線的に変位する。すると、第１の駆動体７が
上方に傾けて配設されていることから、プランジ
ヤ１８の矢印Ａ方向の変位により出力軸２５を押
上げようとする分力が生じ、この結果、第１の駆
動体７が胴体２１の凹部２９を中心に矢印Ｂ方向
に回動しつつ出力軸２５を矢印Ｃ方向に進出させ
るように直線的に変位させる。尚、この出力軸２
５の矢印Ｃ方向の変位により、第２の駆動体８は
プランジヤ１８の筒体９内への押込みを伴つて胴
体２１の凹部３０を中心に矢印Ｄ方向に回動す
る。斯る出力軸２５の進出後の状態を第２図に二
点鎖線で示す。次に第１の駆動体７を断電して第
２の駆動体８に通電すると、第１の駆動体７の圧
電効果セラミツク１は縮む如く元の状態に戻ると
共に、第２の駆動体８の圧電効果セラミツク１に
所定の電圧が印加されて歪み、前述したと同様に
してプランジヤ１８が圧電効果セラミツク１に強
く押圧されて矢印Ｅ方向に進出するよう直線的に
変位する。すると、第２の駆動体８が下方に傾け
て配設されていることから、プランジヤ１８の矢
印Ｅ方向の変位により出力軸２５を押下げようと
する分力が生じ、この結果、第２の駆動体８が胴
体２１の凹部３０を中心に反矢印Ｄ方向に回動し
つつ出力軸２５を反矢印Ｃ方向に後退させるよう
に変位せしめ、この出力軸２５の反矢印Ｃ方向の
変位により、第１の駆動体７がプランジヤ１８の
筒体９内への押込みを伴つて反矢印Ｂ方向に回動
し、全てが第２図に実線で示す元の状態に戻る。
斯くして、第１及び第２の駆動体７及び８に交互
に通電することにより、出力軸２５が矢印Ｃ方向
及び反矢印Ｃ方向に往復動するものである。
おいては第１及び第２の駆動体７及び８に交互に
通電することを基本とする。まず第１の駆動体７
に通電すると、その各圧電効果セラミツク１に所
定の電圧が印加され、各圧電効果セラミツク１が
積み重ね方向に伸長する如く歪む。この歪みは圧
電効果セラミツク１個々では微少なものである
が、多数の圧電効果セラミツク１が積み重ね状態
に設けられていることから、プランジヤ１８には
多数の圧電効果セラミツク１の歪の総和が作用
し、従つてプランジヤ１８が圧電効果セラミツク
１に強く押圧されて、矢印Ａ方向に進出するよう
に直線的に変位する。すると、第１の駆動体７が
上方に傾けて配設されていることから、プランジ
ヤ１８の矢印Ａ方向の変位により出力軸２５を押
上げようとする分力が生じ、この結果、第１の駆
動体７が胴体２１の凹部２９を中心に矢印Ｂ方向
に回動しつつ出力軸２５を矢印Ｃ方向に進出させ
るように直線的に変位させる。尚、この出力軸２
５の矢印Ｃ方向の変位により、第２の駆動体８は
プランジヤ１８の筒体９内への押込みを伴つて胴
体２１の凹部３０を中心に矢印Ｄ方向に回動す
る。斯る出力軸２５の進出後の状態を第２図に二
点鎖線で示す。次に第１の駆動体７を断電して第
２の駆動体８に通電すると、第１の駆動体７の圧
電効果セラミツク１は縮む如く元の状態に戻ると
共に、第２の駆動体８の圧電効果セラミツク１に
所定の電圧が印加されて歪み、前述したと同様に
してプランジヤ１８が圧電効果セラミツク１に強
く押圧されて矢印Ｅ方向に進出するよう直線的に
変位する。すると、第２の駆動体８が下方に傾け
て配設されていることから、プランジヤ１８の矢
印Ｅ方向の変位により出力軸２５を押下げようと
する分力が生じ、この結果、第２の駆動体８が胴
体２１の凹部３０を中心に反矢印Ｄ方向に回動し
つつ出力軸２５を反矢印Ｃ方向に後退させるよう
に変位せしめ、この出力軸２５の反矢印Ｃ方向の
変位により、第１の駆動体７がプランジヤ１８の
筒体９内への押込みを伴つて反矢印Ｂ方向に回動
し、全てが第２図に実線で示す元の状態に戻る。
斯くして、第１及び第２の駆動体７及び８に交互
に通電することにより、出力軸２５が矢印Ｃ方向
及び反矢印Ｃ方向に往復動するものである。
ところで、第１及び第２の駆動体７及び８のプ
ランジヤ１８の変位量は比較的小さく、プランジ
ヤ１８によつて産業用ロボツトのアーム等を直接
駆動することは実際上困難である。しかしなが
ら、本発明のアクチユエーターによれば、プラン
ジヤ１８の変位を増幅して出力することができ
る。このことを第６図により原理的に説明する
に、駆動体は通電前Ｏ−Y1間にあり、通電によ
りプランジヤが進出するとＯを中心に角度θだけ
回動してＯ−Y2間に位置するとし、そのときの
プランジヤの進出変位量をΔx、出力側の変位量
をｙとすると、SINθ≒Δx／ｙ従つてｙ≒Δx／
SINθとなる。然るにθは比較的小さく、SINθ≪
１であるため、プランジヤ１８の変位量を増幅し
て出力軸２５の大きな往復動変位として取出すこ
とができ、出力軸２５によつて産業用ロボツトの
アーム等を直接駆動することができるものであ
る。
ランジヤ１８の変位量は比較的小さく、プランジ
ヤ１８によつて産業用ロボツトのアーム等を直接
駆動することは実際上困難である。しかしなが
ら、本発明のアクチユエーターによれば、プラン
ジヤ１８の変位を増幅して出力することができ
る。このことを第６図により原理的に説明する
に、駆動体は通電前Ｏ−Y1間にあり、通電によ
りプランジヤが進出するとＯを中心に角度θだけ
回動してＯ−Y2間に位置するとし、そのときの
プランジヤの進出変位量をΔx、出力側の変位量
をｙとすると、SINθ≒Δx／ｙ従つてｙ≒Δx／
SINθとなる。然るにθは比較的小さく、SINθ≪
１であるため、プランジヤ１８の変位量を増幅し
て出力軸２５の大きな往復動変位として取出すこ
とができ、出力軸２５によつて産業用ロボツトの
アーム等を直接駆動することができるものであ
る。
尚、上記実施例では第１及び第２の駆動体７及
び８によつて出力軸２５を矢印Ｃ方向及び反矢印
Ｃ方向に変位させるようにしたが、例えば第２の
駆動体８を省き、その代わりに出力軸２５を反矢
印Ｃ方向に付勢するスプリングを設けてもよい。
び８によつて出力軸２５を矢印Ｃ方向及び反矢印
Ｃ方向に変位させるようにしたが、例えば第２の
駆動体８を省き、その代わりに出力軸２５を反矢
印Ｃ方向に付勢するスプリングを設けてもよい。
本発明は以上の説明から明らかなように、駆動
体により圧電効果セラミツクの歪をある程度大き
な変位として取出し、更にその変位を増幅して出
力することができるので、産業用ロボツトのアー
ム等の駆動源としての利用が可能となる。しかも
圧電効果セラミツクの電歪効果を利用して出力部
を変位させる構成であるから、応答性が良く且つ
変位の精度も高いという種々の優れた効果を奏す
るものである。
体により圧電効果セラミツクの歪をある程度大き
な変位として取出し、更にその変位を増幅して出
力することができるので、産業用ロボツトのアー
ム等の駆動源としての利用が可能となる。しかも
圧電効果セラミツクの電歪効果を利用して出力部
を変位させる構成であるから、応答性が良く且つ
変位の精度も高いという種々の優れた効果を奏す
るものである。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は圧電
効果セラミツクの概略を示す断面図、第２図及び
第３図はアクチユエーターの縦断面図及び部分平
面図、第４図は駆動体の縦断面図、第５図は第４
図中−線に沿う縦断面図、第６図は変位増幅
の原理図である。 図中、１は圧電効果セラミツク、２は圧電効果
セラミツク板、７，８は第１，第２の駆動体、９
は筒体、１８はプランジヤ（作動部）、２０は基
体、２１は胴体、２２は蓋体、２５は出力軸（出
力部）、２６は軸受（支持部）、２９ないし３２は
凹部（支承部）である。
効果セラミツクの概略を示す断面図、第２図及び
第３図はアクチユエーターの縦断面図及び部分平
面図、第４図は駆動体の縦断面図、第５図は第４
図中−線に沿う縦断面図、第６図は変位増幅
の原理図である。 図中、１は圧電効果セラミツク、２は圧電効果
セラミツク板、７，８は第１，第２の駆動体、９
は筒体、１８はプランジヤ（作動部）、２０は基
体、２１は胴体、２２は蓋体、２５は出力軸（出
力部）、２６は軸受（支持部）、２９ないし３２は
凹部（支承部）である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 筒状の胴体２１の端部に蓋体２２を設けて成
り、蓋体２２に支持孔を有した支持部２６を設け
ると共に、胴体２１の内面部に支承部２９又は３
０を設けた基体２０と、 軸状をなし、外面部に支承部３１又は３２を設
けた出力部２５と、 一方の端部に作動部１８を往復動可能に設けた
筒体９内に該筒体９の底部１１と作動部１８との
間に位置するようにして圧電効果セラミツク板２
を積層状態に収納して成り、電圧の印加により生
ずるこれら圧電効果セラミツク板２の歪によつて
作動部１８を筒体９の軸方向に変位させる駆動体
７又は８とを備え、 前記出力部２５とその支承部３１又は３２が前
記基体２０内に位置するようにして前記支持部２
６の支持孔に軸方向に往復動可能に嵌合支持し、 前記駆動体７又は８を前記基体２０内に前記出
力部２５の往復移動方向と直交する方向に対し傾
けて配設して、該駆動体７又は８の筒体９の底部
側及び前記作動部１８を前記胴体２１の支承部２
９又は３０及び出力部２５の支承部３１又は３２
に回動可能に連結し、 前記圧電効果セラミツク板２に電圧を印加した
ときの前記作動部１８の変位により、前記駆動体
７又は８が傾き角の変化を伴つて回動しつつ前記
出力部２５を基体２０に対して移動させる構成と
したこと、 を特徴とするアクチユエーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58183744A JPS6077684A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アクチユエ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58183744A JPS6077684A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アクチユエ−タ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6077684A JPS6077684A (ja) | 1985-05-02 |
| JPH053230B2 true JPH053230B2 (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=16141214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58183744A Granted JPS6077684A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アクチユエ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6077684A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013208027A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 発電素子 |
| JP2013208028A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 発電ユニット |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6326766U (ja) * | 1986-08-05 | 1988-02-22 | ||
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| JP5890721B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-03-22 | 東洋ゴム工業株式会社 | 発電素子 |
| EP2743179B1 (en) | 2012-12-17 | 2016-06-01 | Airbus Defence and Space GmbH | Actuator arrangement and control surface arrangement, especially for an aircraft |
| CN110957938B (zh) * | 2019-12-09 | 2020-09-15 | 西安交通大学 | 基于剪切型压电陶瓷的正负双向微位移放大柔性机构及方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2223865B1 (ja) * | 1973-03-27 | 1978-10-20 | Thomson Csf | |
| JPS59175386A (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-04 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58183744A patent/JPS6077684A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6077684A (ja) | 1985-05-02 |
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