JPH05325156A - 磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05325156A JPH05325156A JP12656692A JP12656692A JPH05325156A JP H05325156 A JPH05325156 A JP H05325156A JP 12656692 A JP12656692 A JP 12656692A JP 12656692 A JP12656692 A JP 12656692A JP H05325156 A JPH05325156 A JP H05325156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- magnetic head
- alloy film
- core
- core chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 238000004904 shortening Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層型磁気ヘッドの組立工程において導電製
材料の塗布作業を容易にする。 【構成】 非磁性体基板で挾みつけたブロックを突き合
わせて形成するヘッド１６の製造工程においてコアチッ
プ１２形成時にヘッドベースへの貼付け面ではない逆の
面の非磁性体基板の下端を短くまたは下部に軟磁性材料
まで達する溝を設けるか、あるいは下部に貫通穴を設け
軟磁性合金膜２を露出させ、その部分に導電性材料１を
塗布する。
材料の塗布作業を容易にする。 【構成】 非磁性体基板で挾みつけたブロックを突き合
わせて形成するヘッド１６の製造工程においてコアチッ
プ１２形成時にヘッドベースへの貼付け面ではない逆の
面の非磁性体基板の下端を短くまたは下部に軟磁性材料
まで達する溝を設けるか、あるいは下部に貫通穴を設け
軟磁性合金膜２を露出させ、その部分に導電性材料１を
塗布する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高飽和磁束密度を有する
積層型薄膜コアを用いるＳ−ＶＨＳ ＶＴＲや、ＨＤＴ
Ｖ−ＶＴＲの磁気ヘッドコア及び磁気ヘッド製造方法に
関し、特にＶＴＲ再生時に軟磁性合金膜からの放電によ
り発生する放電ノイズ防止の対策として用いる導電性材
料の塗布を容易とするためのコアチップ形状及び磁気ヘ
ッドの製造方法に関する。
積層型薄膜コアを用いるＳ−ＶＨＳ ＶＴＲや、ＨＤＴ
Ｖ−ＶＴＲの磁気ヘッドコア及び磁気ヘッド製造方法に
関し、特にＶＴＲ再生時に軟磁性合金膜からの放電によ
り発生する放電ノイズ防止の対策として用いる導電性材
料の塗布を容易とするためのコアチップ形状及び磁気ヘ
ッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近Ｓ−ＶＨＳ ＶＴＲヘッド、ＨＤＴ
Ｖ−ＶＴＲヘッドに使用されている薄膜コアを用いるい
わゆる積層型ヘッドの製造は、たとえば図７に示すよう
に非磁性体基板３に高飽和磁束密度材であるセンダスト
等の軟磁性合金膜２を積層形成し、さらに両面にスパッ
タ等によりガラス６を形成しＡブロック２０を得る。そ
のＡブロック２０を複数本重ねトルク７で締め付け、熱
処理して接合し、図８のウェハ２１を得る。この後の製
作工程は一般的なものなので述べないが、各種の加工、
組立工程を経て、最終的には図６に示すような導電性材
料１がチップの厚み方向の側面２５に塗布されたＤヘッ
ド１９を得ていた。ここで２は軟磁性合金膜、３は非磁
性体基板、４は接着剤、５はヘッドベースであり、導電
性材料１はコアチップからの放電ノイズを防止するた
め、Ｄコアチップ１５とＤヘッド１９との接着には接着
剤４を用いている。なお、チップの厚み方向の下端面に
は接着剤の流れ込みがあるため、導電性材料１の塗布は
不可能である。
Ｖ−ＶＴＲヘッドに使用されている薄膜コアを用いるい
わゆる積層型ヘッドの製造は、たとえば図７に示すよう
に非磁性体基板３に高飽和磁束密度材であるセンダスト
等の軟磁性合金膜２を積層形成し、さらに両面にスパッ
タ等によりガラス６を形成しＡブロック２０を得る。そ
のＡブロック２０を複数本重ねトルク７で締め付け、熱
処理して接合し、図８のウェハ２１を得る。この後の製
作工程は一般的なものなので述べないが、各種の加工、
組立工程を経て、最終的には図６に示すような導電性材
料１がチップの厚み方向の側面２５に塗布されたＤヘッ
ド１９を得ていた。ここで２は軟磁性合金膜、３は非磁
性体基板、４は接着剤、５はヘッドベースであり、導電
性材料１はコアチップからの放電ノイズを防止するた
め、Ｄコアチップ１５とＤヘッド１９との接着には接着
剤４を用いている。なお、チップの厚み方向の下端面に
は接着剤の流れ込みがあるため、導電性材料１の塗布は
不可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
図６に示すように導電性材料１をチップの厚み方向の側
面２５に塗布する場合、塗布作業そのものが困難である
と同時に、前工程のＤコアチップ１５をヘッドベース５
に貼付ける際、接着剤４が導電ペースト材１を塗布すべ
き位置まで流れ込むこともあり、そのため塗布作業を行
っても導通不良が発生することもあった。
図６に示すように導電性材料１をチップの厚み方向の側
面２５に塗布する場合、塗布作業そのものが困難である
と同時に、前工程のＤコアチップ１５をヘッドベース５
に貼付ける際、接着剤４が導電ペースト材１を塗布すべ
き位置まで流れ込むこともあり、そのため塗布作業を行
っても導通不良が発生することもあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドコア
は上記の問題点を解決するために、軟磁性合金膜を積層
し、非磁性体基板で挾み付けたブロックを突き合わせて
形成する磁気ヘッドコアにおいて、コアチップ形成時に
ヘッドベースへの貼付け面ではない逆の面の非磁性体基
板の下端を短く、または下部に軟磁性合金膜まで達する
溝を設けるか、あるいはコアチップ下部に貫通穴を設
け、軟磁性合金膜を露出させたことを特徴とする。
は上記の問題点を解決するために、軟磁性合金膜を積層
し、非磁性体基板で挾み付けたブロックを突き合わせて
形成する磁気ヘッドコアにおいて、コアチップ形成時に
ヘッドベースへの貼付け面ではない逆の面の非磁性体基
板の下端を短く、または下部に軟磁性合金膜まで達する
溝を設けるか、あるいはコアチップ下部に貫通穴を設
け、軟磁性合金膜を露出させたことを特徴とする。
【０００５】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
上記磁気ヘッドをヘッドベースに貼付ける際に、導電性
材料を磁気ヘッドの露出した軟磁性合金膜とヘッドベー
スにわたって塗布することを特徴とする。
上記磁気ヘッドをヘッドベースに貼付ける際に、導電性
材料を磁気ヘッドの露出した軟磁性合金膜とヘッドベー
スにわたって塗布することを特徴とする。
【０００６】
【作用】上記のようにコアチップ形成時に軟磁性合金膜
をコアチップの一部に新たに大きく露出させることによ
り、軟磁性合金膜とヘッドベースの導通を持たせるため
の導電性材料の塗布が容易となる。また接着剤の流れ込
み方にも左右されない。加えて、塗布作業後、樹脂によ
り完全にモールドすることもできる。
をコアチップの一部に新たに大きく露出させることによ
り、軟磁性合金膜とヘッドベースの導通を持たせるため
の導電性材料の塗布が容易となる。また接着剤の流れ込
み方にも左右されない。加えて、塗布作業後、樹脂によ
り完全にモールドすることもできる。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を説明するにあたって、従来
と同様の工程を有する部分について念のため説明してお
く。
と同様の工程を有する部分について念のため説明してお
く。
【０００８】ますはじめに、図７に示すように従来通り
非磁性体基板３に片面にセンダスト等の軟磁性合金膜２
を積層形成し、さらに両面にスパッタ等によりガラス６
を形成し、Ａブロック２０を得る。そのＡブロック２０
を複数本重ねトルク７で締め付け熱処理して接合し、図
８に示すようなウェハ２１を得る。その後溝入れ、切
断、研摩等の各種加工工程を経て図５に示すようにＢブ
ロック２２を得る。
非磁性体基板３に片面にセンダスト等の軟磁性合金膜２
を積層形成し、さらに両面にスパッタ等によりガラス６
を形成し、Ａブロック２０を得る。そのＡブロック２０
を複数本重ねトルク７で締め付け熱処理して接合し、図
８に示すようなウェハ２１を得る。その後溝入れ、切
断、研摩等の各種加工工程を経て図５に示すようにＢブ
ロック２２を得る。
【０００９】以上のようにして準備したＢブロック２２
を用いた本発明による磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの
製造方法の要部についての実施例を示す。図２に示すよ
うにＢブロック２２の下端面にヘッドベース５への貼付
け面ではない逆の面となる位置に、Ａ溝８を軟磁性合金
膜２と平行に設ける。この時、軟磁性合金膜２が図２の
ようにＡ溝８内に深さ方向に露出していなければなら
い。さらに各種加工工程を経て図１に示すようなＡコア
チップ１２を得る。次に、ヘッドベース５にＡコアチッ
プ１２を接着剤４で貼付け、Ａコアチップ１２の軟磁性
合金膜２が露出した部分にベースト状の導電性材料１を
塗布し、さらにコイル２３を巻き、モールド樹脂９をモ
ールドし、図１のＡヘッド１６が得られる。
を用いた本発明による磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの
製造方法の要部についての実施例を示す。図２に示すよ
うにＢブロック２２の下端面にヘッドベース５への貼付
け面ではない逆の面となる位置に、Ａ溝８を軟磁性合金
膜２と平行に設ける。この時、軟磁性合金膜２が図２の
ようにＡ溝８内に深さ方向に露出していなければなら
い。さらに各種加工工程を経て図１に示すようなＡコア
チップ１２を得る。次に、ヘッドベース５にＡコアチッ
プ１２を接着剤４で貼付け、Ａコアチップ１２の軟磁性
合金膜２が露出した部分にベースト状の導電性材料１を
塗布し、さらにコイル２３を巻き、モールド樹脂９をモ
ールドし、図１のＡヘッド１６が得られる。
【００１０】
【実施例２】図３に本発明の磁気ヘッドコア及び磁気ヘ
ッドの製造方法の第２実施例を示す。図５に示すＢブロ
ック２２を得るまでの各種加工工程は同様であるので省
略する。その後、従来の技術同様、図６のＤコアチップ
１５を得る。そのＤコアチップ１５のヘッドベース５へ
の貼付け面ではない逆の面となる側面に深さ方向で軟磁
性合金膜２まで達するＢ溝１０を設け図３にＢコアチッ
プ１３を得る。この場合、第１実施例とはちがい、チッ
プの状態でＢ溝１０を設けるので任意の位置に決定でき
る（第１実施例ではブロックの状態なので下端部にしか
設けることができない）。
ッドの製造方法の第２実施例を示す。図５に示すＢブロ
ック２２を得るまでの各種加工工程は同様であるので省
略する。その後、従来の技術同様、図６のＤコアチップ
１５を得る。そのＤコアチップ１５のヘッドベース５へ
の貼付け面ではない逆の面となる側面に深さ方向で軟磁
性合金膜２まで達するＢ溝１０を設け図３にＢコアチッ
プ１３を得る。この場合、第１実施例とはちがい、チッ
プの状態でＢ溝１０を設けるので任意の位置に決定でき
る（第１実施例ではブロックの状態なので下端部にしか
設けることができない）。
【００１１】次にヘッドベース５にＢコアチップ１３を
接着剤４で貼付け、Ｂコアチップ１３の軟磁性合金膜２
が露出した部分にペースト状の導電性材料１を塗布し、
さらにコイル２３を巻き、モールド樹脂９をモールド
し、図３のＢヘッド１７が得られる。
接着剤４で貼付け、Ｂコアチップ１３の軟磁性合金膜２
が露出した部分にペースト状の導電性材料１を塗布し、
さらにコイル２３を巻き、モールド樹脂９をモールド
し、図３のＢヘッド１７が得られる。
【００１２】
【実施例３】図４に本発明の磁気ヘッドコア及び磁気ヘ
ッドの製造方法の第３実施例を示す。図８に示すウェハ
２１を得るまでの各種加工工程は同様であるので省略す
る。その後、図９に示すように、Ｂブロック２２にあら
かじめ貫通穴１１を設けておき、従来の技術同様に加工
を行い図４に示すＣコアチップ１４を得る。
ッドの製造方法の第３実施例を示す。図８に示すウェハ
２１を得るまでの各種加工工程は同様であるので省略す
る。その後、図９に示すように、Ｂブロック２２にあら
かじめ貫通穴１１を設けておき、従来の技術同様に加工
を行い図４に示すＣコアチップ１４を得る。
【００１３】次にヘッドベース５にＣコアチップ１４を
接着剤４で貼付け、Ｃコアチップ１４の貫通穴１１にペ
ースト状の導電性材料１を塗布し、さらにコイル２３を
巻き、モールド樹脂９をモールドし図４のＣヘッド１８
が得られる。
接着剤４で貼付け、Ｃコアチップ１４の貫通穴１１にペ
ースト状の導電性材料１を塗布し、さらにコイル２３を
巻き、モールド樹脂９をモールドし図４のＣヘッド１８
が得られる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、コアチップ形成時
にヘッドベースへの貼付け面ではない逆の面の非磁性体
基板の下端を短く、または下部に軟磁性合金膜まで達す
る溝を設けるか、あるいはコアチップ下部に貫通穴を設
け、軟磁性合金膜を露出させることにより、塗布作業そ
のものを容易にすることができるとともに導電性材料の
塗布すべき場所を容易に確保できる。また、接着剤の流
れ込みにも左右されないため、導通不良の発生を防ぐこ
とができるという優れた効果がある。加えて塗布後、樹
脂により完全にモールドすることができるので出荷後、
はがれたりすることがなく信頼性の向上にもなる。
にヘッドベースへの貼付け面ではない逆の面の非磁性体
基板の下端を短く、または下部に軟磁性合金膜まで達す
る溝を設けるか、あるいはコアチップ下部に貫通穴を設
け、軟磁性合金膜を露出させることにより、塗布作業そ
のものを容易にすることができるとともに導電性材料の
塗布すべき場所を容易に確保できる。また、接着剤の流
れ込みにも左右されないため、導通不良の発生を防ぐこ
とができるという優れた効果がある。加えて塗布後、樹
脂により完全にモールドすることができるので出荷後、
はがれたりすることがなく信頼性の向上にもなる。
【図１】 本発明の第１実施例を示すＡヘッドの斜視
図。
図。
【図２】 同ＡヘッドをえるためにＡ溝を設けた状態の
Ｂブロックの斜視図。
Ｂブロックの斜視図。
【図３】 本発明の第２実施例を示すＢヘッドの斜視
図。
図。
【図４】 本発明の第３実施例を示すＣヘッドの斜視
図。
図。
【図５】 本発明の第１、第２実施例及び従来の磁気ヘ
ッド製造方法に使用するＢブロックの斜視図。
ッド製造方法に使用するＢブロックの斜視図。
【図６】 従来の磁気ヘッド製造方法によって得られた
Ｄヘッドの斜視図。
Ｄヘッドの斜視図。
【図７】 本発明の実施例及び従来の磁気ヘッド製造方
法に使用するＡブロックの斜視図。
法に使用するＡブロックの斜視図。
【図８】 本発明の実施例及び従来の磁気ヘッド製造方
法に使用するウェハの斜視図。
法に使用するウェハの斜視図。
【図９】 本発明の第３実施例に示すＣヘッドを得るた
めに貫通穴を設けた状態のＢブロックの斜視図。
めに貫通穴を設けた状態のＢブロックの斜視図。
１ 導電性材料 ２ 軟磁性合金膜 ３ 非磁性体基板 ８ Ａ溝 １０ Ｂ溝 １１ 貫通穴 １２ Ａコアチップ １３ Ｂコアチップ １４ Ｃコアチップ １５ Ｄコアチップ １６ Ａヘッド １７ Ｂヘッド １８ Ｃヘッド １９ Ｄヘッド ２３ コイル ２４ ギャップ ２５ 側面
Claims (8)
- 【請求項１】積層型磁気ヘッドにおいてヘッドベースの
貼付を行わない側のコアチップの面積を、ヘッドベース
の貼付を行う側のコアチップ面積より小さくし、コアチ
ップ間の軟磁性合金膜を露出させたことを特徴とする磁
気ヘッドコア。 - 【請求項２】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、ヘッ
ドベースへの貼付を行わない側のコアチップの最下端を
短くしたことにより軟磁性合金膜を露出させたことを特
徴とする磁気ヘッドコア。 - 【請求項３】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、ヘッ
ドベースへの貼付を行わない側のコアチップの一部に溝
を設けたことにより軟磁性合金膜を露出させたことを特
徴とする磁気ヘッドコア。 - 【請求項４】積層型磁気ヘッドにおいて、コアチップの
一部に貫通穴を設けたことにより磁性合金膜を露出させ
たことを特徴とする磁気ヘッドコア。 - 【請求項５】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、露出
した軟磁性合金膜に導電性材料を塗布して、ヘッドベー
スと導通をとることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項６】請求項２記載の磁気ヘッドにおいて、露出
した軟磁性合金膜に導電性材料を塗布して、ヘッドベー
スと導通をとることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項７】請求項３記載の磁気ヘッドにおいて、露出
した軟磁性合金膜に導電性材料を塗布して、ヘッドベー
スと導通をとることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項８】請求項４記載の磁気ヘッドにおいて、露出
した軟磁性合金膜に導電性材料を塗布して、ヘッドベー
スと導通をとることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12656692A JPH05325156A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12656692A JPH05325156A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05325156A true JPH05325156A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=14938337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12656692A Pending JPH05325156A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05325156A (ja) |
-
1992
- 1992-05-20 JP JP12656692A patent/JPH05325156A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH036564B2 (ja) | ||
| JPH071527B2 (ja) | 磁気式記録ヘッドのホール効果センサを製造する方法 | |
| JPH06223316A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH05325156A (ja) | 磁気ヘッドコア及び磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS5812120A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| US5267113A (en) | Magnetic head | |
| JP2669965B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2618860B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH04255904A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH08287407A (ja) | 複合型磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JPH04289508A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製法 | |
| JPH0110731Y2 (ja) | ||
| JPH03127308A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS5928215A (ja) | 垂直磁気記録用主磁極ヘツドの作製方法 | |
| JPH03168909A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS5975421A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH05159225A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0554318A (ja) | 磁気ヘツドコアの製造方法 | |
| JPH03147507A (ja) | 垂直磁気薄膜ヘッドとその製造方法 | |
| JPH0340205A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH02162509A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS59140622A (ja) | 磁気ヘツドコアの製造方法 | |
| JPH01159810A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62202304A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH044644B2 (ja) |