JPH053284A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPH053284A
JPH053284A JP18196791A JP18196791A JPH053284A JP H053284 A JPH053284 A JP H053284A JP 18196791 A JP18196791 A JP 18196791A JP 18196791 A JP18196791 A JP 18196791A JP H053284 A JPH053284 A JP H053284A
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JP
Japan
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semiconductor chip
resin
die pad
semiconductor device
semiconductor
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Pending
Application number
JP18196791A
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English (en)
Inventor
Tomonori Nishino
友規 西野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH053284A publication Critical patent/JPH053284A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂封止型半導体装置を安定にマルチチップ
化する。 【構成】 リードフレームのダイパッドの上下両面に半
導体チップを接着し、各半導体チップの電極をワイヤ・
ボンディングによりあるいはTABテープによりリード
フレームのインナーリードに接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止型半導体装
置、特に複数の半導体チップを樹脂封止した樹脂封止型
半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置は一般に一個の半
導体チップを樹脂封止してなる。そして、一個の半導体
チップを樹脂封止した半導体制御装置や半導体記憶装置
を、マザーボードと称される多層回路基板上に平面的に
配置して実装していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の技術によれば、樹脂封止型半導体装置から引き出さ
れる各配線が多層回路基板に占める面積の割合は、デー
タバスが多ビット化する程大きくなる。そして、配線パ
ターンの高密度化に伴って配線膜が細く且つ長くなる。
また、樹脂封止型半導体装置は多端子化する程サイズが
大きくなり、多層回路基板上に多数の樹脂封止型半導体
装置を配置したときの樹脂封止型半導体装置自身のサイ
ズの総和も大きくなる。
【0004】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、占有面積に対する集積回路の密度が
高い樹脂封止型半導体装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明樹脂封止型半導体
装置は、ダイパッドの表裏両面に半導体チップを接着
し、樹脂封止したことを特徴とする。
【0006】
【実施例】以下、本発明樹脂封止型半導体装置を図示実
施例に従って詳細に説明する。図(A)、(B)は本発
明樹脂封止型半導体装置の一つの実施例を示すもので、
(A)は樹脂封止前の状態を示す断面図、(B)は封止
樹脂の第1の半導体チップより上の部分を切り欠いて示
す断面図であり、図2はダイパッドに第1の半導体チッ
プを取り付けた状態の斜視図である。図面において、1
はリードフレーム5のダイパッド、2aは該ダイパッド
1の裏面に上面が低応力エポキシ樹脂3を介して接着さ
れた第1の半導体チップで、例えばメモリである。尚、
第1の半導体チップ2aはその両端部の電極4、4、…
がダイパッド1から食み出している。
【0007】2bは上記ダイパッド1の表面に下面が低
応力エポキシ樹脂3を介して接着された第2の半導体チ
ップで、例えばCPU、ロジックアレイであり、第1の
半導体チップ2aより小さい。リードフレーム5は、第
1の半導体チップ2aに接続される各インナーリードは
デプレスにより第2の半導体チップ2aと同じ高さまで
低くされ、該各インナーリードの肩部と第1の半導体チ
ップ2aの各電極4、4、…とはワイヤ6、6、…を介
して電気的に接続されている。尚、ダイパッド1はデプ
レスによりインナーリードの先端よりも高く、インナー
リードの肩部よりも低いところに位置するようにされて
いる。
【0008】7は第2の半導体チップ2bの電極8、
8、…とリードフレーム5のインナーリードとの間を接
続するためのTABテープで、例えばポリイミド(ある
いはカラエポ系樹脂等)からなる平面形状矩形枠状のベ
ースキャリア9の表面にそれを内側から外側によぎるよ
うにリード10、10、…が形成されている。そして、
各リード10、10、…の内端部は例えば金バンプ1
1、11、…を介して第2の半導体チップ2bの電極
8、8、…に接続され、外端部はリードフレーム5のリ
ードに接続されている。
【0009】尚、12、12、12、12はダイパッド
1を支持するサポートバーで、樹脂封止型半導体装置の
最終的段階では封止樹脂13(図1では2点鎖線で示
す)から露出した部分は切断除去される。
【0010】本樹脂封止型半導体装置においては、第1
の半導体チップ2aに半導体装置の一対の相対する側縁
部にのみ電極4、4、…が形成されており、第2の半導
体チップ2bには4つの側縁部にすべて電極8、8、…
が形成されている。そして、第1の半導体チップ2aの
電極4、4、…はほとんどリードフレーム5のインナー
リード5a、5a、…及びTABリード7のリード1
0、10、…を介して第2の半導体チップ2bの電極
8、8、…と接続されている。即ち、アドレス線、デー
タ入出力線の互いに対応するものどうしが樹脂封止型半
導体装置内部で接続されている。
【0011】本樹脂封止型半導体装置によれば、2つの
半導体チップ2a、2bはダイパッド1の両面に配置さ
れ樹脂封止されているので、装置の占有面積を広くする
ことなくマルチチップ化して装置内部の回路集積密度を
高めることができる。そして、樹脂封止型半導体装置内
部の半導体チップ2aと2bとの間における電気的接続
は、封止樹脂13内部で行われ、樹脂封止型半導体装置
を搭載する多層回路基板の配線により行う必要がない。
従って、多層回路基板の配線の数を多く、配線長を長
く、配線密度等を高くすることなく大容量の回路を実装
できる。
【0012】また、本樹脂封止型半導体装置によれば、
ダイパッド1に半導体チップ2a、2bに接着した状態
で、即ちダイパッド1をベースとしてTABテープの接
続、ワイヤボンディングができ、組立がやり易くなる。
そして、樹脂封止時においても半導体チップ2a、2b
はダイパッド1の両面に固定されているので注入されて
くる樹脂によって動く虞れが少ない。従って、不良も生
じにくくなり、マルチチップ化が容易になる。
【0013】図3及び図4は本発明樹脂封止型半導体装
置の他の実施例を示すものであり、図3は封止樹脂の第
2の半導体チップより上側を切り欠いて示す平面図、図
4はダイパッドと第1の半導体チップを示す斜視図であ
る。本実施例は、ダイパッド1の相対する一対の側辺部
(第1の半導体チップ2aの電極4、4、…が形成され
ていない方と対応する一対の側辺部)を少し張り出さ
せ、ダイパッド1の面積を広くすることにより放熱性を
高めると共に、張り出した部分14、14に接着性強化
用孔15、15、…を形成し、樹脂封止したときに封止
樹脂13がこの孔15、15、…に入って接着力が強く
なるようにしたものである。尚、それ以外の点では本実
施例は、図1、図2に示す実施例と異なるところはな
い。
【0014】尚、上記実施例においては、TABテープ
としてベースにポリイミド樹脂を用いたものを使用して
いたが、TABリードの長さが長くなったりした場合の
取扱い容易性やリード変形性を考慮して強度の強いガラ
エポ系樹脂フィルムによりベースを形成したものを用い
るようにしても良い。また、上記実施例においては、ダ
イパッド1と半導体チップ2a、2bを接着する接着剤
3として低応力エポキシ樹脂を用いていたが、それに代
えて熱可塑性接着剤が両面に塗布されたポリイミドフィ
ルムを用いるようにしても良い。また、上記実施例にお
いては第1の半導体チップ2aの電極4、4、…とイン
ナーリード5a、5a、…との接続をワイヤ6により行
っているが、第2の半導体チップ2bの電極8、8、…
とインナーリード5a、5a、…の肩部との接続と同様
にTABテープを用いて接続するようにしても良い。
【0015】
【発明の効果】本発明樹脂封止型半導体装置は、第1の
半導体チップの上面にダイパッドを接着し、上記ダイパ
ッドの上面に該第1の半導体チップよりも小さな第2の
半導体チップを接着し、該第1の半導体チップと第2の
半導体チップの各電極をリードフレームのインナーリー
ドに電気的に接続したことを特徴とするものである。本
樹脂封止型半導体装置によれば2つの半導体チップがダ
イパッドの両面に接着され樹脂封止されているので装置
の占有面積を広くすることなくマルチチップ化して装置
の集積回路の集積密度を高めることができる。そして、
ダイパッドの両面に半導体チップを接着し、その状態で
TABテープを用いる等して電極とインナーリードとの
接続をし、樹脂封止することができるので半導体チップ
を安定にした状態で組立ができる。また、樹脂封止型半
導体装置の内部で2つの半導体チップ間の電気的接続が
できるので、樹脂封止型半導体装置を実装する回路基板
の配線膜の数、集積密度を低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)、(B)は本発明樹脂封止型半導体装置
の一つの実施例を示すもので、(A)は断面図、(B)
は封止樹脂の上部を切り欠いて示す平面図である。
【図2】上記実施例のダイパッドの裏面に第1の半導体
チップの表面を接着した状態を示す斜視図である。
【図3】本発明樹脂封止型半導体装置の他の実施例の封
止樹脂の上部を切り欠いて示す平面図である。
【図4】上記他の実施例のダイパッドの裏面に第1の半
導体チップの表面を接着した状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 ダイパッド 2a 第1の半導体チップ 2b 第2の半導体チップ 4 第1の半導体チップの電極 5 リードフレーム 5a リードフレームのリード 8 第2の半導体チップの電極 13 封止樹脂
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成3年11月21日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【実施例】以下、本発明樹脂封止型半導体装置を図示実
施例に従って詳細に説明する。図(A)、(B)は本
発明樹脂封止型半導体装置の一つの実施例を示すもの
で、(A)は樹脂封止前の状態を示す断面図、(B)は
封止樹脂の第の半導体チップより上の部分を切り欠い
て示す断面図であり、図2はダイパッドに第1の半導体
チップを取り付けた状態の斜視図である。図面におい
て、1はリードフレーム5のダイパッド、2aは該ダイ
パッド1の裏面に上面が低応力エポキシ樹脂3を介して
接着された第1の半導体チップで、例えばメモリであ
る。尚、第1の半導体チップ2aはその両端部の電極
4、4、…がダイパッド1から食み出している。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】2bは上記ダイパッド1の表面に下面が低
応力エポキシ樹脂3を介して接着された第2の半導体チ
ップで、例えばCPU、ロジックアレイであり、第1の
半導体チップ2aより小さい。リードフレーム5は、第
1の半導体チップ2aに接続される各インナーリードは
デプレスにより第の半導体チップ2aと同じ高さまで
低くされ、該各インナーリードの肩部と第1の半導体チ
ップ2aの各電極4、4、…とはワイヤ6、6、…を介
して電気的に接続されている。尚、ダイパッド1はデプ
レスによりインナーリードの先端よりも高く、インナー
リードの肩部よりも低いところに位置するようにされて
いる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】7は第2の半導体チップ2bの電極8、
8、…とリードフレーム5のインナーリードとの間を接
続するためのTABテープで、例えばポリイミド(ある
いはカラエポ系樹脂等)からなる平面形状矩形枠状のベ
ースフィルム9の表面にそれを内側から外側によぎるよ
うにリード10、10、…が形成されている。そして、
各リード10、10、…の内端部は例えば金バンプ1
1、11、…を介して第2の半導体チップ2bの電極
8、8、…に接続され、外端部はリードフレーム5のリ
ードに接続されている。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】
【発明の効果】本発明樹脂封止型半導体装置は、第1の
半導体チップの上面にダイパッドを接着し、上記ダイパ
ッドの上面に該第1の半導体チップよりも小さな第2の
半導体チップを接着し、該第1の半導体チップと第2の
半導体チップの各電極をリードフレームのインナーリー
ドに電気的に接続したことを特徴とするものである。本
樹脂封止型半導体装置によれば2つの半導体チップがダ
イパッドの両面に接着され樹脂封止されているので装置
の占有面積を広くすることなくマルチチップ化して装置
の集積回路の集積密度を高めることができる。そして、
ダイパッドの両面に半導体チップを接着し、その状態で
TABテープを用いる等して電極とインナーリードとの
接続をし、樹脂封止することができるので半導体チップ
を安定にした状態で組立ができる。また、樹脂封止型半
導体装置の内部で2つの半導体チップ間の電気的接続が
できるので、樹脂封止型半導体装置を実装する回路基板
の配線膜の数を低減し、集積密度を高めることが可能に
なる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/60 301 B 6918−4M 311 R 6918−4M 23/28 A 8617−4M 23/50 W 9272−4M S 9272−4M

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 第1の半導体チップの上面にダイパッド
    を接着し、上記ダイパッドの上面に上記第1の半導体チ
    ップよりも小さな第2の半導体チップを接着し、上記第
    1の半導体チップと第2の半導体チップの各電極をリー
    ドフレームのインナーリードに電気的に接続したことを
    特徴とする樹脂封止型半導体装置
JP18196791A 1991-06-25 1991-06-25 樹脂封止型半導体装置 Pending JPH053284A (ja)

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JP18196791A JPH053284A (ja) 1991-06-25 1991-06-25 樹脂封止型半導体装置

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ID=16109998

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5793108A (en) * 1995-05-30 1998-08-11 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit having a plurality of semiconductor chips
US6777264B2 (en) 2000-03-07 2004-08-17 Oki Electric Industry Co., Ltd. Method of manufacturing a semiconductor device having a die pad without a downset
TWI384601B (zh) * 2008-05-12 2013-02-01 日月光半導體製造股份有限公司 封裝結構及其製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5793108A (en) * 1995-05-30 1998-08-11 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit having a plurality of semiconductor chips
US6777264B2 (en) 2000-03-07 2004-08-17 Oki Electric Industry Co., Ltd. Method of manufacturing a semiconductor device having a die pad without a downset
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