JPH0533339B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0533339B2 JPH0533339B2 JP59118509A JP11850984A JPH0533339B2 JP H0533339 B2 JPH0533339 B2 JP H0533339B2 JP 59118509 A JP59118509 A JP 59118509A JP 11850984 A JP11850984 A JP 11850984A JP H0533339 B2 JPH0533339 B2 JP H0533339B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- rectangular wave
- inductance value
- detection method
- magnetic alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金を用いた力学量−イン
ダクタンス変換型のセンサ検出方法に関するもの
である。
ダクタンス変換型のセンサ検出方法に関するもの
である。
従来例の構成とその問題点
従来非晶質磁性合金の磁歪効果を用い、各種の
力や歪等を検出するセンサが提昌されていたが、
感度、再現性、安定性において問題が残されてい
た。その検出方法は単一交流磁界を用いインダク
タンスを検出する方式であり、非晶質磁性合金を
少なくとも一部に有する磁気回路の検出方式とし
ては有効でなかつた。
力や歪等を検出するセンサが提昌されていたが、
感度、再現性、安定性において問題が残されてい
た。その検出方法は単一交流磁界を用いインダク
タンスを検出する方式であり、非晶質磁性合金を
少なくとも一部に有する磁気回路の検出方式とし
ては有効でなかつた。
発明の目的
本発明は、上記の様に感度、再現性、安定性に
おいて問題の残つている非晶質磁性合金応用セン
サにおいて、これら問題点を解決するセンサ検出
方法を提供するものである。
おいて問題の残つている非晶質磁性合金応用セン
サにおいて、これら問題点を解決するセンサ検出
方法を提供するものである。
発明の構成
上記問題解決のために、本発明はセンサのイン
ダクタンス値検出にあたつて、少なくとも２種類
の磁界波形を用い、非晶質磁性合金の磁区構造を
整列傾向をもたせ、同時にデイスアコモデーシヨ
ン（以下Ｄ，Ａ，と略す。）の影響を少なくして
検出するものである。
ダクタンス値検出にあたつて、少なくとも２種類
の磁界波形を用い、非晶質磁性合金の磁区構造を
整列傾向をもたせ、同時にデイスアコモデーシヨ
ン（以下Ｄ，Ａ，と略す。）の影響を少なくして
検出するものである。
実施例の説明
第１図は非晶質磁性合金を用いた圧力センサの
例を示したものである。１は磁歪を有する非晶質
磁性合金、２は軟磁性フエライトでこの２つで磁
気回路を構成している。３はこの磁気回路を励磁
するコイルであり、全体はケース４に納められて
いる。圧力は導入部５より透孔６を通じて非晶質
磁性合金１に加えられる。圧力の印加に伴い非晶
質磁性合金に歪が発生すると、磁歪効果により非
晶質磁性合金の磁性が変化しインダクタンス測定
回路７により検出され、圧力がインダクタンス値
の形で検出される。
例を示したものである。１は磁歪を有する非晶質
磁性合金、２は軟磁性フエライトでこの２つで磁
気回路を構成している。３はこの磁気回路を励磁
するコイルであり、全体はケース４に納められて
いる。圧力は導入部５より透孔６を通じて非晶質
磁性合金１に加えられる。圧力の印加に伴い非晶
質磁性合金に歪が発生すると、磁歪効果により非
晶質磁性合金の磁性が変化しインダクタンス測定
回路７により検出され、圧力がインダクタンス値
の形で検出される。
しかしながら第２図の如き通常の単一交流磁界
を用いると、その油圧−インダクタンス値変化の
出力は小さく、また再現性も悪くヒステリシスも
発生し、Ｄ，Ａ，による安定性も悪い。
を用いると、その油圧−インダクタンス値変化の
出力は小さく、また再現性も悪くヒステリシスも
発生し、Ｄ，Ａ，による安定性も悪い。
第３図は、この第２図の様な交流磁界のみで測
定した場合の、圧力−インダクタンス値変化の出
力例である。矢印は測定の順序と示している。
定した場合の、圧力−インダクタンス値変化の出
力例である。矢印は測定の順序と示している。
第４図は、この第１図油圧センサに直流磁界を
重畳した場合のインダクタンス値が、直流磁界
Hdcの大きさによりどの様に変化するかを０気
圧、30気圧において示したものである。測定温度
は50度、周波数は20kHzである。これからも交流
磁界のみで測定した場合は出力が小さい事が判
り、通常の測定方法が不適当である事が判る。そ
して直流磁界を重畳する事により出力が増大する
事が判る。
重畳した場合のインダクタンス値が、直流磁界
Hdcの大きさによりどの様に変化するかを０気
圧、30気圧において示したものである。測定温度
は50度、周波数は20kHzである。これからも交流
磁界のみで測定した場合は出力が小さい事が判
り、通常の測定方法が不適当である事が判る。そ
して直流磁界を重畳する事により出力が増大する
事が判る。
第５図は本発明による検出方式のインダクタン
ス値検出磁界を示している。低周波の矩形波に高
周波の交流が重畳している。この方式により出力
は第４図に示される様に改善される。さらに、こ
の方式では直流磁界がないため常に交流消磁が行
なわれているのと同等になり経時変化を抑制する
事もできる。
ス値検出磁界を示している。低周波の矩形波に高
周波の交流が重畳している。この方式により出力
は第４図に示される様に改善される。さらに、こ
の方式では直流磁界がないため常に交流消磁が行
なわれているのと同等になり経時変化を抑制する
事もできる。
第６図は本発明による検出方式の他の検出磁界
を示している。低周波の矩形波の立上がり部分が
大振巾Hnaxにされその後一定値Hsに収斂されて
いる。インダクタンス値の測定は、この収斂後の
部分で行なう。この様な測定波形では第７図に示
す様に、非晶質磁性合金のＢ−Ｈループの高磁界
側に一度に測定点が移動し、その結果磁区構造が
配向され、その後で測定に入るため、磁気的に安
定している。その結果、Ｄ，Ａ，及び、その他不
安定性を除去する事が可能となり、出力も上述の
例と同じく改善される。
を示している。低周波の矩形波の立上がり部分が
大振巾Hnaxにされその後一定値Hsに収斂されて
いる。インダクタンス値の測定は、この収斂後の
部分で行なう。この様な測定波形では第７図に示
す様に、非晶質磁性合金のＢ−Ｈループの高磁界
側に一度に測定点が移動し、その結果磁区構造が
配向され、その後で測定に入るため、磁気的に安
定している。その結果、Ｄ，Ａ，及び、その他不
安定性を除去する事が可能となり、出力も上述の
例と同じく改善される。
発明の効果
以上述べた様に本発明による検出方式を用いれ
ば、非晶質磁性合金の磁歪を用いた力学量−イン
ダクタンス変換型のセンサにおいて、出力の増大
が計れ、再現性及び安定性のより、経時変化の少
ないセンサが実現できその効果は極めて大きい。
ば、非晶質磁性合金の磁歪を用いた力学量−イン
ダクタンス変換型のセンサにおいて、出力の増大
が計れ、再現性及び安定性のより、経時変化の少
ないセンサが実現できその効果は極めて大きい。
第１図は非晶質磁性合金を用た圧力センサの断
面図、第２図は従来の検出磁界波形図、第３図は
従来の検出方法の測定結果を示す特性図、第４図
は０気圧、30気圧印加した時の圧力センサのイン
ダクタンス値の直流磁界重畳依存性を示す図、第
５図、第６図は本発明の検出磁界波形図、第７図
は非晶質磁性合金のＢ−Ｈループを示す図であ
る。 １……非晶質磁性合金、２……軟磁性フエライ
ト、３……コイル、４……ケース、５……導入
部、６……透孔。
面図、第２図は従来の検出磁界波形図、第３図は
従来の検出方法の測定結果を示す特性図、第４図
は０気圧、30気圧印加した時の圧力センサのイン
ダクタンス値の直流磁界重畳依存性を示す図、第
５図、第６図は本発明の検出磁界波形図、第７図
は非晶質磁性合金のＢ−Ｈループを示す図であ
る。 １……非晶質磁性合金、２……軟磁性フエライ
ト、３……コイル、４……ケース、５……導入
部、６……透孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも一部が磁歪を有する非晶質磁性合
金で構成され、かつ前記非晶質磁性合金に被検出
物による歪が発生する磁気回路のインダクタンス
値を検出するに際し、検出磁界として、低周波の
矩形波に重畳した高周波の交流磁界を用い、前記
矩形波の振幅をインダクタンス値の歪による変化
が大きくなるようにすることを特徴とするセンサ
検出方法。 ２ 前項記載の検出磁界にかえて、低周波の矩形
波において始め大振幅でその後一定値に修練され
る波形に重畳した高周波の交流磁界を用い、前記
矩形波の修練一定値をインダクタンス値の歪によ
る変化が大きくなるようにとり、インダクタンス
値測定は矩形波が一定値に修練した時に行うこと
を特徴とするセンサ検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118509A JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118509A JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262064A JPS60262064A (ja) | 1985-12-25 |
| JPH0533339B2 true JPH0533339B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=14738398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59118509A Granted JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262064A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5991329A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP59118509A patent/JPS60262064A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60262064A (ja) | 1985-12-25 |
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