JPS5991329A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5991329A JPS5991329A JP57201478A JP20147882A JPS5991329A JP S5991329 A JPS5991329 A JP S5991329A JP 57201478 A JP57201478 A JP 57201478A JP 20147882 A JP20147882 A JP 20147882A JP S5991329 A JPS5991329 A JP S5991329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- pressure
- groove
- lid
- magnetic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力セン
サに関する。
サに関する。
従来例の構成とその問題点
近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力セン？か
提案されている。かかる圧力センサにおいては、受圧部
への圧力の伝達をできるだけ簡単な構造で円滑・に行な
う必要がありまた、用途によっては高速応答性が要求さ
れることもある。
提案されている。かかる圧力センサにおいては、受圧部
への圧力の伝達をできるだけ簡単な構造で円滑・に行な
う必要がありまた、用途によっては高速応答性が要求さ
れることもある。
まず、第１図、第２図に非晶質磁性合金を用いた圧力セ
ンサの従来例の構成を示して説明する。
ンサの従来例の構成を示して説明する。
図において、１は円柱状の軟磁性体、２は軟磁性体１に
設けられた円環状の溝３の中に巻装されたコイル、４は
孔５を介して引き出されたコイル２の引出線である。６
はこの軟磁性体１の上面にその溝３の開口部を覆うよう
に設けられだ磁歪を有する非晶質磁性合金である。７は
さらにその上部に設けられた蓋部で、圧力を検出すべき
流体が加えられる円孔８と、この円孔８からの流体を円
環状の溝３と対向する位置で非晶質磁性合金６の上面に
加えるように第２図の如く円環状に配さｉまた複数個の
透孔９とを有している。さらに、１０はこれらを収納し
て支持している筒状容器である。
設けられた円環状の溝３の中に巻装されたコイル、４は
孔５を介して引き出されたコイル２の引出線である。６
はこの軟磁性体１の上面にその溝３の開口部を覆うよう
に設けられだ磁歪を有する非晶質磁性合金である。７は
さらにその上部に設けられた蓋部で、圧力を検出すべき
流体が加えられる円孔８と、この円孔８からの流体を円
環状の溝３と対向する位置で非晶質磁性合金６の上面に
加えるように第２図の如く円環状に配さｉまた複数個の
透孔９とを有している。さらに、１０はこれらを収納し
て支持している筒状容器である。
圧力Ｐを有する流体は透孔８から透孔９を通って非晶質
磁性合金６に加えられ、その結果、非晶質磁性合金６は
、軟磁性体１の溝３の開口部でたわみ変形をしてその内
部応力が発生する。この時、コイル２のインダクタンス
を測定すれば、そのインダクタンスは圧力Ｐに応じて変
化するので圧力−インダクタンス変換型の圧力センサが
構成される。
磁性合金６に加えられ、その結果、非晶質磁性合金６は
、軟磁性体１の溝３の開口部でたわみ変形をしてその内
部応力が発生する。この時、コイル２のインダクタンス
を測定すれば、そのインダクタンスは圧力Ｐに応じて変
化するので圧力−インダクタンス変換型の圧力センサが
構成される。
この様な構成の圧力センサにおいては、圧力伝達のため
の透孔９の位置及び大きさが限定される。
の透孔９の位置及び大きさが限定される。
すなわち、透孔９は圧力を伝達するために軟磁性体１の
溝３の開口部の上になければならない。また、非晶質磁
性合金６の固定を確実にするためにその溝３の開口部内
に透孔９の全体が入っていることが望ましい。
溝３の開口部の上になければならない。また、非晶質磁
性合金６の固定を確実にするためにその溝３の開口部内
に透孔９の全体が入っていることが望ましい。
しかしながら、軟磁性体１の溝３の開口部が狭い場合に
は、透孔９の全体を開口部におさめることは難しく、著
しい場合には加工が不可能となる。
は、透孔９の全体を開口部におさめることは難しく、著
しい場合には加工が不可能となる。
また、軟磁性体１の開口部が狭いと、透孔９の位置と開
口部の位置とを対応させることも難しくなシ、両者にず
れが生じる。
口部の位置とを対応させることも難しくなシ、両者にず
れが生じる。
さらに、圧力レンジの異なる圧力センサについては、こ
の軟磁性体１の開口部の位置及び幅が種々に変化し、そ
れぞれの軟磁性体１の開口部に対応した蓋部７を用意し
なければならなくなるという欠点もある。
の軟磁性体１の開口部の位置及び幅が種々に変化し、そ
れぞれの軟磁性体１の開口部に対応した蓋部７を用意し
なければならなくなるという欠点もある。
また、直接受圧部が透孔９の部分のみであって残りの軟
磁性体１の開口部にあたる非晶質磁性合金６には圧力伝
達媒質のまわシ込みによってのみ圧力が伝達されるため
、高速の応答性も望めないという問題がある。
磁性体１の開口部にあたる非晶質磁性合金６には圧力伝
達媒質のまわシ込みによってのみ圧力が伝達されるため
、高速の応答性も望めないという問題がある。
申発明の目的
本発明は上記の様な従来の欠点を解消して、軟磁性体の
溝の開口部の位置や幅にかかわらず正確な圧力検出がで
き、しかも加工しやすい簡単な構造で生産性に優れ、さ
らに高速応答性も良好な圧力センサを提供することを目
的とするものである。
溝の開口部の位置や幅にかかわらず正確な圧力検出がで
き、しかも加工しやすい簡単な構造で生産性に優れ、さ
らに高速応答性も良好な圧力センサを提供することを目
的とするものである。
発明の構成
本発明においては、軟磁性体と非晶質磁性合金と蓋部を
重ね、その蓋部には軟磁性体の中心部分と対向する部分
に圧力伝達媒質を伝えるための円孔を設け、との円孔か
ら放射状に非晶質磁性合金に接する側に伝達用の溝を少
なくとも軟磁性体の円環状の溝部に達するように設ける
。特に、高速応答性を必要とする場合には、軟磁性体の
溝の開口部と対向する部分において放射状溝を結ぶ連結
溝を設ける。
重ね、その蓋部には軟磁性体の中心部分と対向する部分
に圧力伝達媒質を伝えるための円孔を設け、との円孔か
ら放射状に非晶質磁性合金に接する側に伝達用の溝を少
なくとも軟磁性体の円環状の溝部に達するように設ける
。特に、高速応答性を必要とする場合には、軟磁性体の
溝の開口部と対向する部分において放射状溝を結ぶ連結
溝を設ける。
実施例の説明
第３図、第４図に本発明の一実施例における圧力センサ
を示す。なお、従来例と同様の部分には第１図、第２図
中と同一符号を付して説明を省略する。この圧力センサ
においては、軟磁性体１の中心部分と相対向する部分に
おいて蓋体７に圧力伝達媒体を通すための円孔１１を設
け、さらに、その下面に軟磁性体１の溝３の開口部をこ
える部分にまで達する複数の放射溝１２を設けている。
を示す。なお、従来例と同様の部分には第１図、第２図
中と同一符号を付して説明を省略する。この圧力センサ
においては、軟磁性体１の中心部分と相対向する部分に
おいて蓋体７に圧力伝達媒体を通すための円孔１１を設
け、さらに、その下面に軟磁性体１の溝３の開口部をこ
える部分にまで達する複数の放射溝１２を設けている。
このような円孔１１と放射溝１２を有する蓋部７を用い
れば、圧力Ｐの圧力伝達媒体は円孔１１から放射溝１２
に伝えられ、軟磁性体１の溝３の開口部に対向する非晶
質磁性合金６の受圧部に伝達される。これにより、非晶
質磁性合金６は軟磁性体１の溝３の開口部でたわみ変形
を生じ、コイル２のインダクタンスがその圧力Ｐに応じ
て変化する。
れば、圧力Ｐの圧力伝達媒体は円孔１１から放射溝１２
に伝えられ、軟磁性体１の溝３の開口部に対向する非晶
質磁性合金６の受圧部に伝達される。これにより、非晶
質磁性合金６は軟磁性体１の溝３の開口部でたわみ変形
を生じ、コイル２のインダクタンスがその圧力Ｐに応じ
て変化する。
そして、この蓋部７は円孔１１と放射溝１２とを用いて
いるため、軟磁性体１の溝３の開口部に対向する非晶質
磁性合金６の受圧変形部分がこの放射溝１２の到達する
範囲内にある限シ圧カＰに応じた変形を生じることがで
きる。そのため、従来の透孔９を用いる場合のように多
種の蓋部を用意することなく１つの蓋部７を多種の圧力
センサに共用することが可能である。まだ従来のような
透孔９と軟磁性体１の溝３の開口部との位置合せも必要
なくなシ、その結果、各部品の寸法誤差の許容度も大き
くでき、さらに筒状容器１０に収納してかしめ止めをす
る工程での蓋部７のずれの許容度も大きくすることが可
能となった。そして筒状容器１ｏも許容寸法公魚を大き
くてき不。これらにより、従来よりも生産性を大幅に向
上することができ、正確な検出のできる圧力センサを低
コストに得ることができるものである。
いるため、軟磁性体１の溝３の開口部に対向する非晶質
磁性合金６の受圧変形部分がこの放射溝１２の到達する
範囲内にある限シ圧カＰに応じた変形を生じることがで
きる。そのため、従来の透孔９を用いる場合のように多
種の蓋部を用意することなく１つの蓋部７を多種の圧力
センサに共用することが可能である。まだ従来のような
透孔９と軟磁性体１の溝３の開口部との位置合せも必要
なくなシ、その結果、各部品の寸法誤差の許容度も大き
くでき、さらに筒状容器１０に収納してかしめ止めをす
る工程での蓋部７のずれの許容度も大きくすることが可
能となった。そして筒状容器１ｏも許容寸法公魚を大き
くてき不。これらにより、従来よりも生産性を大幅に向
上することができ、正確な検出のできる圧力センサを低
コストに得ることができるものである。
第６図は、本発明の他の実施例に用いる蓋部７の下面図
で、この実施例のものでは特に高速応答性を必要とする
場合に適するようにするために軟磁性体１の溝３の開口
部に対向する位置に放射状溝１２どうしを結ぶ結合溝１
３を設けている。この連結溝１３は、圧力゛伝達媒質が
軟磁性体１の溝３の開口部と対向する非晶質磁性合金６
の受圧部に高速で圧力を伝達することを可能にし、その
結果、圧力センサとしての応答速度を極めて向上するも
のである。
で、この実施例のものでは特に高速応答性を必要とする
場合に適するようにするために軟磁性体１の溝３の開口
部に対向する位置に放射状溝１２どうしを結ぶ結合溝１
３を設けている。この連結溝１３は、圧力゛伝達媒質が
軟磁性体１の溝３の開口部と対向する非晶質磁性合金６
の受圧部に高速で圧力を伝達することを可能にし、その
結果、圧力センサとしての応答速度を極めて向上するも
のである。
発明の効果
このように、本発明によれば、軟磁性体上に設けた非晶
質磁性合金に圧力伝達物質を加えるだめの蓋部に放射溝
を設けるようにしたので多種の圧力センサを同一の蓋部
を用いて構成することができ、しかも使用する部品や組
立工程での寸法誤差の許容範囲も大きくすることができ
て、正確な検出のできる圧力センサを生産性良く低コス
トに得ることができる。また高速応答性も良くすること
ができ、その効果は大きい。
質磁性合金に圧力伝達物質を加えるだめの蓋部に放射溝
を設けるようにしたので多種の圧力センサを同一の蓋部
を用いて構成することができ、しかも使用する部品や組
立工程での寸法誤差の許容範囲も大きくすることができ
て、正確な検出のできる圧力センサを生産性良く低コス
トに得ることができる。また高速応答性も良くすること
ができ、その効果は大きい。
第１図は従来例の圧カセ／すの断面図、第２図は同圧力
センサに用いられる蓋部の断上面図、第３図は本発明の
二実絶倒における圧カセ、ンサの断面図、第４図は同圧
力センサに用いられる蓋部の下面図、第６図は、本発明
の別の実施例における圧力センサに用いられる蓋部の下
面図である。 １・・・・・・軟磁性体、２・・・・・・コイル、３・
・・・・・円環状の溝、６・・・・・・非晶質磁性合金
、７・・・・・・蓋部、１０・・・・・・筒状容器、１
１・・・・・・円孔、１２・・・・・・放射溝、１３・
・・・・・連結溝。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 １１か１名第
１図 第２図 第３図
センサに用いられる蓋部の断上面図、第３図は本発明の
二実絶倒における圧カセ、ンサの断面図、第４図は同圧
力センサに用いられる蓋部の下面図、第６図は、本発明
の別の実施例における圧力センサに用いられる蓋部の下
面図である。 １・・・・・・軟磁性体、２・・・・・・コイル、３・
・・・・・円環状の溝、６・・・・・・非晶質磁性合金
、７・・・・・・蓋部、１０・・・・・・筒状容器、１
１・・・・・・円孔、１２・・・・・・放射溝、１３・
・・・・・連結溝。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 １１か１名第
１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）円環状の溝が設けられた円柱状の軟磁性体と、前
記軟磁性体の溝の開口部を覆うように設けられた磁歪を
有する非晶質磁性合金と、前記軟磁性体の溝内に巻装さ
れたコイルと、前記軟磁性体を保持する筒状容器と、前
記非晶質磁性合金上に設けられ、前記軟磁性体の中心部
分と対向する部分に円孔が開けられかつ前記非晶質磁性
合金と接する面に前記円孔から放射状に少なくとも前記
溝をこえる部分まで達する複数の放射溝が形成されてい
る蓋部とを備えたことを特徴とする圧力センサ。 - （２）複数の放射状溝が前記軟磁性体の溝をこえない部
分において相互に連結溝によシ連結されていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57201478A JPS5991329A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57201478A JPS5991329A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5991329A true JPS5991329A (ja) | 1984-05-26 |
| JPH0122569B2 JPH0122569B2 (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=16441731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57201478A Granted JPS5991329A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5991329A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262064A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | センサ検出方法 |
| JPS62218833A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 圧力センサ |
| JPS62228927A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-07 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 圧力センサ |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP57201478A patent/JPS5991329A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262064A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | センサ検出方法 |
| JPS62218833A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 圧力センサ |
| JPS62228927A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-07 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0122569B2 (ja) | 1989-04-27 |
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