JPS60262064A - センサ検出方法 - Google Patents
センサ検出方法Info
- Publication number
- JPS60262064A JPS60262064A JP59118509A JP11850984A JPS60262064A JP S60262064 A JPS60262064 A JP S60262064A JP 59118509 A JP59118509 A JP 59118509A JP 11850984 A JP11850984 A JP 11850984A JP S60262064 A JPS60262064 A JP S60262064A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic field
- amorphous
- alloy
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金を用いた力学量−インダクタン
ス弯換型のセンサ検出方法に関ｊるものである。
ス弯換型のセンサ検出方法に関ｊるものである。
従来例の構成とその問題点
従来非晶質磁性合金の磁歪効果を用い、各種の力や歪等
を検出するセンサがｉ昌されていたが、感度、再現性、
安定性において問題が残されていた。その検出方法は単
一交流磁界を用いインダクタンスを検出する方式であり
、非晶質磁性５合金を少なくとも一部に有する磁気回路
の検出方式としては有効でなかった。
を検出するセンサがｉ昌されていたが、感度、再現性、
安定性において問題が残されていた。その検出方法は単
一交流磁界を用いインダクタンスを検出する方式であり
、非晶質磁性５合金を少なくとも一部に有する磁気回路
の検出方式としては有効でなかった。
発明の目的
本発明は、上記の様に感度、再現性、安定性において問
題の残っている非晶質磁性合金応用センサにおいて、こ
れら問題点を解決するセンサ検出方法を提供す本もので
あるア 発明の構成 。
題の残っている非晶質磁性合金応用センサにおいて、こ
れら問題点を解決するセンサ検出方法を提供す本もので
あるア 発明の構成 。
上記問題解決のために、本発明はセンサのインダクタン
ス値検出にあたって、少なくとも２種類の磁界波形を用
い、非晶質磁性合金の磁区構造を整列傾向をもた；、同
時にディスアコモデーション（以下り、Ａ、と略す。）
の影響を少なくして検出するものである。
ス値検出にあたって、少なくとも２種類の磁界波形を用
い、非晶質磁性合金の磁区構造を整列傾向をもた；、同
時にディスアコモデーション（以下り、Ａ、と略す。）
の影響を少なくして検出するものである。
実施例の説明
第１図は非晶質磁性合金を用いた圧力センサの例を示し
たものである。１は磁歪を有する非晶質磁性合金、２は
軟磁性フェライトでこの２つで磁気回路を構成している
。３はこの磁気回路を励磁するコイルであり、全体はケ
ース４に納められている。圧力は導入部６より透孔６を
通じて非晶質磁性合金１に加えられる。圧力の印加に伴
い非晶質磁性合金に歪が発生すると、磁歪効果により非
晶質磁性合金の磁性が変化しインタツタレスｉｌＪ定回
路７により検出され、圧力がインダクタンス値の形で検
出される。
たものである。１は磁歪を有する非晶質磁性合金、２は
軟磁性フェライトでこの２つで磁気回路を構成している
。３はこの磁気回路を励磁するコイルであり、全体はケ
ース４に納められている。圧力は導入部６より透孔６を
通じて非晶質磁性合金１に加えられる。圧力の印加に伴
い非晶質磁性合金に歪が発生すると、磁歪効果により非
晶質磁性合金の磁性が変化しインタツタレスｉｌＪ定回
路７により検出され、圧力がインダクタンス値の形で検
出される。
しかしながら第２図の如き通常の単一交流磁界を用いる
と、その油圧−インダクタンス値変化の出力は小さく、
また再現性も悪くヒステリシスも発生し、Ｄ、Ａ、によ
る安定性も悪い。
と、その油圧−インダクタンス値変化の出力は小さく、
また再現性も悪くヒステリシスも発生し、Ｄ、Ａ、によ
る安定性も悪い。
第３図は、この第２図の様な交流磁界のみで測定した場
合の、圧力−インダクタンス値変化の出力例である。矢
印は測定の順序と示している。
合の、圧力−インダクタンス値変化の出力例である。矢
印は測定の順序と示している。
第４図は、この第１図油圧センサに直流磁界を重畳した
場合のインダクタンス値が、直流磁界Ｈｄｃの大きさに
より−どの様に変化するかを０気圧。
場合のインダクタンス値が、直流磁界Ｈｄｃの大きさに
より−どの様に変化するかを０気圧。
３０ｆＡＥ Ｋ ｋＩｈ”’Ｃ，ｙｚ″Ｌ、ｆｃ ４
ｃｖ −ｃ ｈ １． ＩＱ＠１ＩＩＥＩｔ６０度１周
波数は２０＆である。これからも交流磁界のみで測定し
た場合は出力が小さい事が判り、通常の測定方法が不適
当である事が判る。そして直流磁界を重畳する事により
出力が増大する事が判る。
ｃｖ −ｃ ｈ １． ＩＱ＠１ＩＩＥＩｔ６０度１周
波数は２０＆である。これからも交流磁界のみで測定し
た場合は出力が小さい事が判り、通常の測定方法が不適
当である事が判る。そして直流磁界を重畳する事により
出力が増大する事が判る。
第・６図は本発明による検出方式のインダクタンス値検
出磁界を示している。低周波の矩形波に高周波の交流が
重畳している。この方式により出力は第４図に示される
様に改善される。さらに、この方式では直流磁界がない
ため常に交流消磁が行なわれているのと同等になり経時
変化を抑制する事もできる。
出磁界を示している。低周波の矩形波に高周波の交流が
重畳している。この方式により出力は第４図に示される
様に改善される。さらに、この方式では直流磁界がない
ため常に交流消磁が行なわれているのと同等になり経時
変化を抑制する事もできる。
第６図は本発明による検出方式の他の検出磁界を示して
いる。低周波の矩形波の立上がり部分が大振中Ｈｍａ工
にされその後一定値Ｈ８に収斂されている。インダクタ
ンス値の測定は、この収斂後め部分で行なう。この様な
測定波形では第７図に示す様に、非晶質磁性合金のＢ−
Ｈループの高磁界側に一度に測定点が移動し１、その結
果磁区構造が配向され、その後で測定に入るため、磁気
的に安定している。その結果１．、 Ｄ 、 Ａ 、
ｍＳその他の不安定性を除去する事が可能となり、出力
も上述の ）例と同じく改善される。
いる。低周波の矩形波の立上がり部分が大振中Ｈｍａ工
にされその後一定値Ｈ８に収斂されている。インダクタ
ンス値の測定は、この収斂後め部分で行なう。この様な
測定波形では第７図に示す様に、非晶質磁性合金のＢ−
Ｈループの高磁界側に一度に測定点が移動し１、その結
果磁区構造が配向され、その後で測定に入るため、磁気
的に安定している。その結果１．、 Ｄ 、 Ａ 、
ｍＳその他の不安定性を除去する事が可能となり、出力
も上述の ）例と同じく改善される。
発明の効果
以上述べた様に本発明による検出方式を用いれば、非晶
質磁性合金の磁歪を用いた力学量−インダクタンス変換
型のセンサにおいて、出力の増大が計れ、再現性及び安
定性のよ 経時変化の少ないセ／すが実現できその効果
は極めて大きい。
質磁性合金の磁歪を用いた力学量−インダクタンス変換
型のセンサにおいて、出力の増大が計れ、再現性及び安
定性のよ 経時変化の少ないセ／すが実現できその効果
は極めて大きい。
４、図面の簡単な説明 □
第１図は非晶質磁性合金を用た圧力センサの断面□図、
第２図は従来の検出磁界波形図、第３図は従来の検出方
法の測定結果をケオ特性図、第４図は０気圧、３０気圧
印加した時の圧力センサのインダクタンス値の直流磁界
重畳依存性を示す図、第５図、第６図は本発明の検出磁
界波形図、第７図は非晶質磁性合金のＢ−Ｈループを示
す図である０ １・・・・・・非晶質磁性合金、２・・・・・・軟磁性
フェライト、３・・・・・・コイル、４・・・・・・ケ
ース、６・・・・・・導入部、代理人の氏名 弁理士
中 尾 敏 男 ほか１名第１図 第２図
第２図は従来の検出磁界波形図、第３図は従来の検出方
法の測定結果をケオ特性図、第４図は０気圧、３０気圧
印加した時の圧力センサのインダクタンス値の直流磁界
重畳依存性を示す図、第５図、第６図は本発明の検出磁
界波形図、第７図は非晶質磁性合金のＢ−Ｈループを示
す図である０ １・・・・・・非晶質磁性合金、２・・・・・・軟磁性
フェライト、３・・・・・・コイル、４・・・・・・ケ
ース、６・・・・・・導入部、代理人の氏名 弁理士
中 尾 敏 男 ほか１名第１図 第２図
Claims (1)
- 少なくとも一部が磁歪を有する非晶質磁性合金で構成さ
れ、かつ前ｉ己卯晶質ｉ性合金に被検出物による歪が発
生する磁気回路のインダクタンス値を検出するに際し、
少なくとも２種類の磁界波形を用いる事を特徴とするセ
ンサ検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118509A JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118509A JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262064A true JPS60262064A (ja) | 1985-12-25 |
| JPH0533339B2 JPH0533339B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=14738398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59118509A Granted JPS60262064A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | センサ検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262064A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5991329A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP59118509A patent/JPS60262064A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5991329A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533339B2 (ja) | 1993-05-19 |
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