JPH05334612A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05334612A JPH05334612A JP13699692A JP13699692A JPH05334612A JP H05334612 A JPH05334612 A JP H05334612A JP 13699692 A JP13699692 A JP 13699692A JP 13699692 A JP13699692 A JP 13699692A JP H05334612 A JPH05334612 A JP H05334612A
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- core halves
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Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気ギャップ面に対し逆スパッタと呼ばれるス
パッタリング現象によるエッチング処理を施すことで磁
気ギャップにおけるトラック幅端部の短絡が見られなく
なり、記録・再生において良好な性能を有する磁気ヘッ
ドの製造方法を提供する。 【構成】軟磁性酸化物よりなる一対の磁気コア半体１、
２の端面を互いに突き合わせて両者間に磁気ギャップｇ
が形成されてなる磁気ヘッドの製造方法において、少な
くとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に対し
て、Ａｒ等のガスをイオン化し、そのイオンを電界で加
速することによって衝撃エネルギーを持たせ、表面をエ
ッチングするという、逆スパッタによるエッチング処理
を施し、その後非磁性材５の溶融充填により両磁気コア
半体を接着することを特徴とする。
パッタリング現象によるエッチング処理を施すことで磁
気ギャップにおけるトラック幅端部の短絡が見られなく
なり、記録・再生において良好な性能を有する磁気ヘッ
ドの製造方法を提供する。 【構成】軟磁性酸化物よりなる一対の磁気コア半体１、
２の端面を互いに突き合わせて両者間に磁気ギャップｇ
が形成されてなる磁気ヘッドの製造方法において、少な
くとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に対し
て、Ａｒ等のガスをイオン化し、そのイオンを電界で加
速することによって衝撃エネルギーを持たせ、表面をエ
ッチングするという、逆スパッタによるエッチング処理
を施し、その後非磁性材５の溶融充填により両磁気コア
半体を接着することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの製造方法
に関し、詳しくは磁気記録媒体の高密度記録化に対応す
るために、狭トラック幅の磁気ギャップを有する軟磁性
酸化物よりなる一対の磁気コア半体を突き合わせて形成
される、いわゆるフェライトヘッドの製造方法に関す
る。
に関し、詳しくは磁気記録媒体の高密度記録化に対応す
るために、狭トラック幅の磁気ギャップを有する軟磁性
酸化物よりなる一対の磁気コア半体を突き合わせて形成
される、いわゆるフェライトヘッドの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録の分野において、情報信
号の高密度記録化が進められており、これに伴い磁気記
録媒体上に記録される信号の幅は狭まってきている。こ
れに対応して、磁気ヘッドのトラック幅においても狭ト
ラック幅化が進められている。しかし、軟磁性酸化物、
即ちフェライトにより磁気コア半体が形成される、いわ
ゆるフェライトヘッドにおいては、トラック幅の減少に
伴いガラス等の非磁性材による磁気コア半体の溶融充填
接着時にフェライトの磁気ギャップ形成面に発生する圧
力が大きくなること等に伴い、物理的変形、および化学
的反応により磁気ギャップにおけるトラック幅方向の端
部にフェライトどうしの短絡が発生し、記録・再生過程
における磁気ヘッドの性能を著しく劣化させていた。
号の高密度記録化が進められており、これに伴い磁気記
録媒体上に記録される信号の幅は狭まってきている。こ
れに対応して、磁気ヘッドのトラック幅においても狭ト
ラック幅化が進められている。しかし、軟磁性酸化物、
即ちフェライトにより磁気コア半体が形成される、いわ
ゆるフェライトヘッドにおいては、トラック幅の減少に
伴いガラス等の非磁性材による磁気コア半体の溶融充填
接着時にフェライトの磁気ギャップ形成面に発生する圧
力が大きくなること等に伴い、物理的変形、および化学
的反応により磁気ギャップにおけるトラック幅方向の端
部にフェライトどうしの短絡が発生し、記録・再生過程
における磁気ヘッドの性能を著しく劣化させていた。
【０００３】図６には、従来の磁気ヘッドのＡは斜視
図、及びＢ、Ｃは要部部分拡大断面図を示す。図６にお
いて、従来の磁気ヘッドは、磁気ギャップｇを境として
左右別々に作製された一対のフェライトよりなる磁気コ
ア半体２１、２２の磁気ギャップ形成面を互いに突き合
わせれてガラス等の非磁性材２３により接合一体化され
てなる。そして、このガラス等の非磁性材２３による磁
気コア半体２１、２２の溶融充填接着時にフェライトの
磁気ギャップ形成面に発生する圧力が大きくなること等
に伴い、物理的変形、および化学的反応により磁気ギャ
ップｇにおけるトラック幅方向の端部に突起部２４が発
生し、フェライトどうしの短絡の原因となった。
図、及びＢ、Ｃは要部部分拡大断面図を示す。図６にお
いて、従来の磁気ヘッドは、磁気ギャップｇを境として
左右別々に作製された一対のフェライトよりなる磁気コ
ア半体２１、２２の磁気ギャップ形成面を互いに突き合
わせれてガラス等の非磁性材２３により接合一体化され
てなる。そして、このガラス等の非磁性材２３による磁
気コア半体２１、２２の溶融充填接着時にフェライトの
磁気ギャップ形成面に発生する圧力が大きくなること等
に伴い、物理的変形、および化学的反応により磁気ギャ
ップｇにおけるトラック幅方向の端部に突起部２４が発
生し、フェライトどうしの短絡の原因となった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、かか
る従来の実情に鑑みて提案されたもので、磁気ギャップ
面に対し逆スパッタと呼ばれるスパッタリング現象によ
るエッチング処理を施すことで磁気ギャップにおけるト
ラック幅端部の短絡が見られなくなり、記録・再生にお
いて良好な性能を有する磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることを目的にしている。
る従来の実情に鑑みて提案されたもので、磁気ギャップ
面に対し逆スパッタと呼ばれるスパッタリング現象によ
るエッチング処理を施すことで磁気ギャップにおけるト
ラック幅端部の短絡が見られなくなり、記録・再生にお
いて良好な性能を有する磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることを目的にしている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するために、軟磁性酸化物よりなる一対の磁気コア
半体の端面を互いに突き合わせて両者間に磁気ギャップ
が形成されてなる磁気ヘッドの製造方法において、少な
くとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に対し
て逆スパッタによるエッチング処理を施し、その後非磁
性材の溶融充填により両磁気コア半体を接着することを
特徴とする製造方法である。及び、該磁気ヘッドの製造
方法において、少なくとも一方の磁気コア半体の磁気ギ
ャップ形成面に対して鏡面化処理を施した後、逆スパッ
タによるエッチング処理を施し、その後非磁性材の溶融
充填により両磁気コア半体を接着することを特徴とする
製造方法である。及び、該磁気ヘッドの製造方法におい
て、逆スパッタによるエッチング処理のエッチング厚さ
は３０〜５００Åであることを特徴とする製造方法であ
る。
達成するために、軟磁性酸化物よりなる一対の磁気コア
半体の端面を互いに突き合わせて両者間に磁気ギャップ
が形成されてなる磁気ヘッドの製造方法において、少な
くとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に対し
て逆スパッタによるエッチング処理を施し、その後非磁
性材の溶融充填により両磁気コア半体を接着することを
特徴とする製造方法である。及び、該磁気ヘッドの製造
方法において、少なくとも一方の磁気コア半体の磁気ギ
ャップ形成面に対して鏡面化処理を施した後、逆スパッ
タによるエッチング処理を施し、その後非磁性材の溶融
充填により両磁気コア半体を接着することを特徴とする
製造方法である。及び、該磁気ヘッドの製造方法におい
て、逆スパッタによるエッチング処理のエッチング厚さ
は３０〜５００Åであることを特徴とする製造方法であ
る。
【０００６】
【作用】本発明においては、磁気ギャップ面に対して逆
スパッタと呼ばれるスパッタリング現象によるエッチン
グを施すことで、磁気ギャップにおけるトラック幅端部
の短絡がみられなくなる。
スパッタと呼ばれるスパッタリング現象によるエッチン
グを施すことで、磁気ギャップにおけるトラック幅端部
の短絡がみられなくなる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の製造方法を適用した具体的な
実施例について図面を参照しながら説明する。本発明の
製造方法により製造された磁気ヘッドを、図１にその一
例の斜視図を示し、図２にその記録媒体対接面の要部拡
大平面図を示す。本発明の製造方法により製造された磁
気ヘッドは、図１及び図２に示すように、記録媒体対接
面の略中央に位置する磁気ギャップｇを境として左右別
々に作製された一対の磁気コア半体１、２が磁気ギャッ
プ形成面を突き合わせて接合一体化されてなる。
実施例について図面を参照しながら説明する。本発明の
製造方法により製造された磁気ヘッドを、図１にその一
例の斜視図を示し、図２にその記録媒体対接面の要部拡
大平面図を示す。本発明の製造方法により製造された磁
気ヘッドは、図１及び図２に示すように、記録媒体対接
面の略中央に位置する磁気ギャップｇを境として左右別
々に作製された一対の磁気コア半体１、２が磁気ギャッ
プ形成面を突き合わせて接合一体化されてなる。
【０００８】この例では、一対の磁気コア半体１、２の
磁気ギャップｇのトラック幅を決めるトラック幅規制溝
３と、ギャップデプスを規定し、ヘッド巻線を巻装する
のに供するギャップデプス規制溝４が設けられている。
トラック幅規制溝３内には、それぞれ磁気記録媒体との
当り特性を確保するとともに、摺接による偏摩耗を防止
する目的で、磁気コア半体１、２どうしを溶融接着する
ガラス等の非磁性材５が充填されている。
磁気ギャップｇのトラック幅を決めるトラック幅規制溝
３と、ギャップデプスを規定し、ヘッド巻線を巻装する
のに供するギャップデプス規制溝４が設けられている。
トラック幅規制溝３内には、それぞれ磁気記録媒体との
当り特性を確保するとともに、摺接による偏摩耗を防止
する目的で、磁気コア半体１、２どうしを溶融接着する
ガラス等の非磁性材５が充填されている。
【０００９】本発明の磁気ヘッドの製造方法の特徴は、
少なくとも一方の磁気コア半体１の磁気ギャップ形成面
に対して逆スパッタにより、エッチング処理を施し、そ
の後ガラス等の非磁性材料５の溶融充填により両磁気コ
ア半体１、２を接着する。
少なくとも一方の磁気コア半体１の磁気ギャップ形成面
に対して逆スパッタにより、エッチング処理を施し、そ
の後ガラス等の非磁性材料５の溶融充填により両磁気コ
ア半体１、２を接着する。
【００１０】逆スパッタとは、これから処理しようとす
るコアブロック（磁気コア半体をスライシングする前の
基板）を陰極となるような電位になし、Ａｒ等の不活性
ガスを主とするプラズマ中で、このＡｒ等のガスをイオ
ン化し、そのイオンを電界で加速することによって衝撃
エネルギーを持たせ、そのイオンにより表面をエッチン
グ処理する方法をいう。
るコアブロック（磁気コア半体をスライシングする前の
基板）を陰極となるような電位になし、Ａｒ等の不活性
ガスを主とするプラズマ中で、このＡｒ等のガスをイオ
ン化し、そのイオンを電界で加速することによって衝撃
エネルギーを持たせ、そのイオンにより表面をエッチン
グ処理する方法をいう。
【００１１】図３は本発明の磁気ヘッドの製造方法の一
例を示すもので、トラック幅規制溝を切り込んだコアブ
ロックを示す斜視図である。図３に示すように、本発明
の磁気ヘッドの製造方法では、まず、最終的に得られる
磁気コア半体１、２の複数個に相当するコアブロック１
１を用意する。
例を示すもので、トラック幅規制溝を切り込んだコアブ
ロックを示す斜視図である。図３に示すように、本発明
の磁気ヘッドの製造方法では、まず、最終的に得られる
磁気コア半体１、２の複数個に相当するコアブロック１
１を用意する。
【００１２】このコアブロック１１は、例えばＭｎ−Ｚ
ｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の軟磁性酸化物
等によって、例えば長さ３４．５ｍｍ、幅２．５ｍｍに
形成されている。そして、その主面１１ａにその幅方向
に沿って磁気ギャップのトラック幅規制溝３を切り込
む。
ｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の軟磁性酸化物
等によって、例えば長さ３４．５ｍｍ、幅２．５ｍｍに
形成されている。そして、その主面１１ａにその幅方向
に沿って磁気ギャップのトラック幅規制溝３を切り込
む。
【００１３】このトラック幅規制溝３は、主面１１ａに
接する部分での主面の法線に対する側面の角度β＝８〜
４５°程度、深さ２００〜３００μｍ程度に形成され
る。そして、その主面１１ａを例えば表面粗度２０〜１
００Å程度になるように研磨、鏡面化処理されている。
接する部分での主面の法線に対する側面の角度β＝８〜
４５°程度、深さ２００〜３００μｍ程度に形成され
る。そして、その主面１１ａを例えば表面粗度２０〜１
００Å程度になるように研磨、鏡面化処理されている。
【００１４】図４は同じく製造方法を示すもので、ギャ
ップデプス規制溝を形成したコアブロックを示す斜視図
である。図４に示すように、コアブロック１１の主面１
１ａに、各トラック幅規制溝３を横切る方向に磁気ギャ
ップｇのギャップデプスを規制し、ヘッド巻線を巻装す
るのに供するギャップデプス規制溝（巻線溝ともいう）
４を形成する。
ップデプス規制溝を形成したコアブロックを示す斜視図
である。図４に示すように、コアブロック１１の主面１
１ａに、各トラック幅規制溝３を横切る方向に磁気ギャ
ップｇのギャップデプスを規制し、ヘッド巻線を巻装す
るのに供するギャップデプス規制溝（巻線溝ともいう）
４を形成する。
【００１５】このようにして各溝３、４の形成された両
コアブロック１１若しくは片方のコアブロック１１に対
し、逆スパッタを行う。本実施例では、直径３５ｃｍの
ホルダーにコアブロック１１を設置し、９０ｓｃｃｍの
Ａｒガス中で５００Ｗで３０分の逆スパッタを行った。
コアブロック１１若しくは片方のコアブロック１１に対
し、逆スパッタを行う。本実施例では、直径３５ｃｍの
ホルダーにコアブロック１１を設置し、９０ｓｃｃｍの
Ａｒガス中で５００Ｗで３０分の逆スパッタを行った。
【００１６】この逆スパッタによるコアブロックの主面
１１ａのエッチング量は約１００Å程度であったが、こ
のエッチング量は少ないと本発明による効果が現れない
し、多くても主面１１ａ上の表面粗度の荒れをもたらす
ので好ましくない。３０Åから５００Åが適当である。
１１ａのエッチング量は約１００Å程度であったが、こ
のエッチング量は少ないと本発明による効果が現れない
し、多くても主面１１ａ上の表面粗度の荒れをもたらす
ので好ましくない。３０Åから５００Åが適当である。
【００１７】その後ギャップスペーサを介して、それぞ
れのコアブロック１１の端面が一致するように重ね合わ
せ、両端面間に磁気ギャップｇを形成して合体される。
この場合、ギャップテプス規制溝４内にガラス等の非磁
性材５を溶融して、これら一対のコアブロック１１を融
着すると共に、この非磁性材５を各トラック幅規制溝３
内に充填し、両コアブロック１１を合体し、合体ブロッ
ク１２となす。
れのコアブロック１１の端面が一致するように重ね合わ
せ、両端面間に磁気ギャップｇを形成して合体される。
この場合、ギャップテプス規制溝４内にガラス等の非磁
性材５を溶融して、これら一対のコアブロック１１を融
着すると共に、この非磁性材５を各トラック幅規制溝３
内に充填し、両コアブロック１１を合体し、合体ブロッ
ク１２となす。
【００１８】このようにして一対のコアブロック１１が
合体された合体ブロック１２の磁気記録媒体との対接面
を円筒研磨した後、合体ブロック１２を、図５の合体ブ
ロックの斜視図に示すように、鎖線ａ１、ａ２で位置で
合体ブロック１２を横切ってスライシング加工し、複数
個のヘッドチップを切り出す。
合体された合体ブロック１２の磁気記録媒体との対接面
を円筒研磨した後、合体ブロック１２を、図５の合体ブ
ロックの斜視図に示すように、鎖線ａ１、ａ２で位置で
合体ブロック１２を横切ってスライシング加工し、複数
個のヘッドチップを切り出す。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように本発明
の磁気ヘッドの製造方法においては、磁気ギャップ面に
対して逆スパッタと呼ばれるスパッタリング現象による
エッチング処理を施すことで、磁気ギャップにおけるト
ラック幅端部の短絡が見られなくなり、このような方法
で形成された磁気ヘッドは、記録・再生において、良好
な性能を示すことが確かめられた。また、このエッチン
グ処理は、例えば磁気ギャップとなる一対の磁気コア半
体間に形成されるスペーサー、例えば酸化珪素をスパッ
タ処理により形成する場合には、その前処理としてエッ
チング処理を行えばよいので、製造工程としての増加は
僅かであり、逆にギャップ厚の不良や、フェライトへの
酸化珪素の侵食や、溶着圧力が不十分なためギャップ幅
の不良が発生する等新たなる問題点の発生を防止でき
る。
の磁気ヘッドの製造方法においては、磁気ギャップ面に
対して逆スパッタと呼ばれるスパッタリング現象による
エッチング処理を施すことで、磁気ギャップにおけるト
ラック幅端部の短絡が見られなくなり、このような方法
で形成された磁気ヘッドは、記録・再生において、良好
な性能を示すことが確かめられた。また、このエッチン
グ処理は、例えば磁気ギャップとなる一対の磁気コア半
体間に形成されるスペーサー、例えば酸化珪素をスパッ
タ処理により形成する場合には、その前処理としてエッ
チング処理を行えばよいので、製造工程としての増加は
僅かであり、逆にギャップ厚の不良や、フェライトへの
酸化珪素の侵食や、溶着圧力が不十分なためギャップ幅
の不良が発生する等新たなる問題点の発生を防止でき
る。
【図１】本発明の製造方法により製造された磁気ヘッド
の一例を示す斜視図である。
の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の製造方法により製造された磁気ヘッド
の記録媒体対接面の要部拡大平面図である。
の記録媒体対接面の要部拡大平面図である。
【図３】本発明の磁気ヘッドの製造方法の一例を示すも
ので、トラック幅規制溝を切り込んだコアブロックを示
す斜視図である。
ので、トラック幅規制溝を切り込んだコアブロックを示
す斜視図である。
【図４】同じく製造方法を示すもので、ギャップデプス
規制溝を形成したコアブロックの斜視図である。
規制溝を形成したコアブロックの斜視図である。
【図５】同じく製造方法を示すもので、一対のコアブロ
ックを非磁性材により融着充填して接着した合体ブロッ
クの斜視図である。
ックを非磁性材により融着充填して接着した合体ブロッ
クの斜視図である。
【図６】従来の磁気ヘッドのＡは斜視図、及びＢ、Ｃは
要部部分拡大断面図である。
要部部分拡大断面図である。
１、２ 磁気コア半体 ３ トラック幅規制溝 ４ ギャップデプス規制溝（巻線溝） ５ ガラス等の非磁性材 １１ コアブロック １１ａ 主面 １２ 合体ブロック ａ１、ａ２ スライシング面 ２１、２２ フェライトよりなる磁気コア半体 ２３ ガラス等の非磁性材 ２４ 突起部
Claims (4)
- 【請求項１】 軟磁性酸化物よりなる一対の磁気コア半
体の端面を互いに突き合わせて両者間に磁気ギャップが
形成されてなる磁気ヘッドの製造方法において、 少なくとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に
対して逆スパッタによるエッチング処理を施し、その後
非磁性材の溶融充填により両磁気コア半体を接着するこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１項記載の磁気ヘッドの製造方法
において、 少なくとも一方の磁気コア半体の磁気ギャップ形成面に
対して鏡面化処理を施した後、逆スパッタによるエッチ
ング処理を施し、その後非磁性材の溶融充填により両磁
気コア半体を接着することを特徴とする磁気ヘッドの製
造方法。 - 【請求項３】 逆スパッタによるエッチング処理のエッ
チング厚さは３０〜５００Åであることを特徴とする請
求項１項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 逆スパッタによるエッチング処理のエッ
チング厚さは３０〜５００Åであることを特徴とする請
求項２項記載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13699692A JPH05334612A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13699692A JPH05334612A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05334612A true JPH05334612A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15188356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13699692A Pending JPH05334612A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05334612A (ja) |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP13699692A patent/JPH05334612A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020903 |